專利名稱：提高機器生產(chǎn)率的系統(tǒng)及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及提高機器生產(chǎn)率的系統(tǒng)及其方法，更具體地說，例如涉及通過能夠?qū)ιa(chǎn)電子器件等的機器進行遠(yuǎn)程監(jiān)視，來提高機器的利用率(可動率)等，從而提高生產(chǎn)率的生產(chǎn)率提高系統(tǒng)及其方法。
背景技術(shù)：
近年來，隨著制造者之間的開發(fā)競爭的更加激烈化，工業(yè)產(chǎn)品，尤其是電子器件產(chǎn)品的壽命的制造者，提供一種能夠確保、維持產(chǎn)品的高生產(chǎn)率的制造設(shè)備。更具體地說，就是要求提供在相同的時間內(nèi)能夠制造出更多產(chǎn)品的，或者能夠用更少的設(shè)備生產(chǎn)出相同數(shù)量的產(chǎn)品的制造設(shè)備。
為了確保以及維持高生產(chǎn)率，需要有效地使用用于生產(chǎn)產(chǎn)品的機器。在工廠中，用于生產(chǎn)的機器的使用管理，通常，是以利用率為指標(biāo)進行的。一般來說，機器的利用率，雖然在設(shè)備制造者的試驗條件下其值是一定的，但是，會根據(jù)客戶的利用條件的不同而不同。這里，機器的利用率在提供機器的銷售商和作為用戶的制造者之間決定。例如，對于某一臺機器，當(dāng)設(shè)定利用率為90％的運行標(biāo)準(zhǔn)時，使用機器的制造者及提供機器的技術(shù)支持(support)的銷售商為了使機器的運行狀態(tài)達到上述值，對機器進行維護管理。
維護管理大致可分為改良維護、事后維護及預(yù)防維護。一般的，在開始使用機器的初期，主要進行改良維護來使機器穩(wěn)定運行。然后，在機器達到規(guī)定的利用率，并達到穩(wěn)定運行的狀態(tài)后，為了維持機器的運行狀態(tài)，事后維護及預(yù)防維護變得很重要。事后維護是指在機器發(fā)生故障以后進行的、事后的維護管理。同時，預(yù)防維護是指鑒別可能會發(fā)生故障的部分，并對該部分重點進行維護管理的、預(yù)防性維護管理。
此外，利用率可以用[(可運行時間)-(停止時間)]/(可運行時間)×100％來表示。所述的可運行時間就是機器能夠處于運行狀態(tài)的時間。因此，可運行時間減去停止時間得到的值表示機器的有效(實際)運行時間。由此式可知，要想獲得高利用率來確保高生產(chǎn)能力，就需要縮短機器的運行停止時間。
眾所周知，作為縮短停止時間的方法有將進行機器維護管理(事后維護)的維護管理系統(tǒng)自動化，從而縮短如發(fā)生故障時的突發(fā)的停止時間。上述可以通過，例如，對在銷售商和制造者(用戶)之間進行的、有關(guān)機器的運行狀態(tài)、故障狀況等的信息交換實行網(wǎng)絡(luò)化、自動化來進行。日本專利特開平11-15520號公報公開了一種使這種事后維護更有效的、僅在銷售商和制造者之間進行的遠(yuǎn)程監(jiān)視(遠(yuǎn)程維護)系統(tǒng)。
上述所公開的遠(yuǎn)程維護系統(tǒng)由配置在多個工廠中的機器、配置在各工廠中并用于監(jiān)視的主計算機、配置在供應(yīng)機器的銷售商企業(yè)中并用于管理的計算機構(gòu)成，其中，所述用于管理的計算機與工廠方的主計算機通過通信線路連接。工廠(制造者)方的主計算機時常監(jiān)視著機器。另一方面，銷售方的主計算機監(jiān)視是否有故障發(fā)生的報告，若有故障發(fā)生的報告則獲得該報告。然后，銷售方的主計算機對故障發(fā)生的報告進行分析，向工廠方發(fā)送對策信息。
但是，對于上述所公開的遠(yuǎn)程系統(tǒng)，用于監(jiān)視的主計算機直接與設(shè)備連接，構(gòu)成發(fā)送信息的結(jié)構(gòu)，然而從安全的角度考慮，監(jiān)視和信息的發(fā)送最好能分別進行。而且，因為生產(chǎn)是設(shè)備的最主要任務(wù)，所以，這種將包含用于遠(yuǎn)程維護的數(shù)據(jù)外、還包含其它數(shù)據(jù)的大量數(shù)據(jù)經(jīng)主計算機向銷售方發(fā)送的方法，很有可能會降低設(shè)備的生產(chǎn)能力，因此并不現(xiàn)實。
但是，近年來，并不是「損壞之后再修理」的事后維護，而是「損壞之前就進行修理」的預(yù)防維護逐漸成為主流。預(yù)防維護能夠預(yù)防故障發(fā)生于未然，并且，充分的預(yù)防維護還能夠減少設(shè)備的突發(fā)性停止。但是，在進行預(yù)防維護的時候需要停止機器，因此，頻繁或低效率的預(yù)防維護也會使機器的利用率降低、抑制機器的生產(chǎn)率。然而，預(yù)防維護可以不是突發(fā)性的，而是有計劃的維護，從而可以有計劃地進行生產(chǎn)。因此，作為用于確保機器高利用率的系統(tǒng)，應(yīng)該是一種能夠有效地進行包含預(yù)防維護的維護管理的系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種提高機器生產(chǎn)率的系統(tǒng)及方法。
并且，本發(fā)明的另一目的是提供一種能夠有效進行機器的維護管理的系統(tǒng)及方法。
為了達到上述目的，本發(fā)明的第一技術(shù)方案的是一種為了提高機器生產(chǎn)率而對所述機器進行遠(yuǎn)程監(jiān)視的系統(tǒng)，其特征在于，具有接收裝置，通過通信與所述機器連接，從所述機器接收表示所述機器運行狀態(tài)的運行信息；監(jiān)視裝置，根據(jù)在所述接收裝置中接收的運行信息，監(jiān)視所述機器。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，所述監(jiān)視裝置根據(jù)所述運行信息，通過通信進行遠(yuǎn)程監(jiān)視。這樣，通過通信直接連接機器和監(jiān)視設(shè)備，可以對機器進行實時監(jiān)視，進而能夠進行有效的維護管理。
所述監(jiān)視裝置根據(jù)所述運行信息，檢測所述機器的故障，并且在確定了該機器的故障部件時，可以進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。于是，能夠減少由于沒有庫存部件等而使機器停止運行的時間，進而能夠進行高效的維護管理。
所述監(jiān)視裝置，也可以根據(jù)所述機器的運行信息導(dǎo)出該機器最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的該機器最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
所述接收裝置還可以從所述機器接收與所述機器的替換部件有關(guān)的維護數(shù)據(jù)。此時，所述監(jiān)視裝置根據(jù)在所述接收裝置中接收的維護信息，監(jiān)視所述機器。于是，在該監(jiān)視裝置中，幾乎能夠?qū)崟r掌握關(guān)于機器的維護數(shù)據(jù)。
所述維護數(shù)據(jù)是在替換構(gòu)成所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換時間、種類、使用時間有關(guān)的數(shù)據(jù)。同時，所述監(jiān)視裝置可以根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)導(dǎo)出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。于是，能夠通過將導(dǎo)出部件的最佳替換周期發(fā)送到機器一側(cè)，并反饋到機器的使用上，來提高機器的生產(chǎn)率。
所述監(jiān)視裝置也可以根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或者訂購準(zhǔn)備處理。于是，能夠減少由于沒有庫存部件等而使機器停止運行的時間，進而能夠進行高效的維護管理。
所述運行信息可以包含，所述機器對所述被處理件進行規(guī)定處理的規(guī)定工序的處理條件參數(shù)。所述處理條件參數(shù)可以包含所述機器容器(chamber)內(nèi)的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，監(jiān)視裝置(例如，計算機)可以從各種參數(shù)的變化知道機器的運行狀態(tài)。通過各種參數(shù)的變化來判斷機器狀態(tài)，能夠進行高可靠性的遠(yuǎn)程監(jiān)視。同時，除了設(shè)備銷售商指定的方法以外，設(shè)備用戶有時也自行設(shè)置參數(shù)來排除這種簡單錯誤，從而能夠獲得高利用率。
所述運行信息也可以包含圖像數(shù)據(jù)。即，可以具有如下結(jié)構(gòu)在機器上設(shè)置傳感器裝置，使用作為該傳感器裝置的攝像設(shè)備來獲得與機器的運行狀態(tài)有關(guān)的圖像數(shù)據(jù)，并根據(jù)獲得的圖像數(shù)據(jù)對機器進行監(jiān)視。于是，能夠從多個方面對機器的運行狀態(tài)進行監(jiān)視。
所述運行信息也可以包含所述機器的成品率(步留まり)數(shù)據(jù)。所述運行信息還可以包含用所述機器處理的被處理件的數(shù)量。所述機器可以是半導(dǎo)體器件或液晶顯示器件的制造設(shè)備。
為了達到上述目的，本發(fā)明的第二技術(shù)方案是一種系統(tǒng)，其特征在于，具有機器，所述機器具有傳感裝置，能夠獲得表示機器運行情況的運行信息；及發(fā)送裝置，發(fā)送在所述傳感裝置中獲得的運行信息；監(jiān)視設(shè)備，所述監(jiān)視設(shè)備具有接收裝置，通過通信與所述機器連接，接收由所述機器的發(fā)送裝置發(fā)送的運行信息，及監(jiān)視裝置，根據(jù)在該接收裝置中接收的運行信息，監(jiān)視所述機器。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，監(jiān)視設(shè)備根據(jù)在機器自身具有的傳感裝置中獲得的機器自身的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，通過通信對機器進行遠(yuǎn)程監(jiān)視。這樣，通過通信直接連接機器和遠(yuǎn)處的監(jiān)視設(shè)備，從而能夠在監(jiān)視設(shè)備上對機器進行實時監(jiān)視，進而能夠進行有效的維護管理。
所述監(jiān)視裝置檢測所述機器的故障，并在確定了該機器的故障部件時，可以進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
所述監(jiān)視裝置，也可以根據(jù)所述機器的運行信息導(dǎo)出該機器最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
所述機器也可以具有能夠輸入與替換該機器的部件有關(guān)的維護數(shù)據(jù)的輸入裝置。此時，所述發(fā)送裝置將從所述輸入裝置輸入的維護數(shù)據(jù)發(fā)送到所述監(jiān)視裝置中。
所述維護數(shù)據(jù)可以是在替換所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換時間、種類、使用時間有關(guān)的數(shù)據(jù)。同時，所述監(jiān)視裝置可以從所述維護數(shù)據(jù)導(dǎo)出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。
所述監(jiān)視裝置也可以根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
所述機器可以進行規(guī)定工序，從而對所述被處理件進行規(guī)定處理。并且，所述運行信息也可以包含所述工序的處理條件參數(shù)。
所述機器具有容器，而所述處理條件參數(shù)可以包含所述容器內(nèi)的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
所述運行信息可以包含圖像數(shù)據(jù)。所述運行信息也可以包含所述機器的成品率數(shù)據(jù)。所述運行信息還可以包含通過所述機器處理的被處理件的數(shù)量。所述機器可以是半導(dǎo)體器件或液晶顯示器件的制造設(shè)備。
為了達到上述目的，本發(fā)明第三技術(shù)方案是一種為了提高機器生產(chǎn)率而對所述機器進行遠(yuǎn)程監(jiān)視的方法，其特征在于，該方法具有接收工序，通過通信從所述機器接收表示所述機器的運行狀態(tài)的運行信息；監(jiān)視工序，根據(jù)在所述接收工序中接收的運行信息，監(jiān)視所述機器。
所述監(jiān)視工序根據(jù)所述運行信息檢測所述機器的故障，并在確定了該機器的故障部件時，可以進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或者訂購準(zhǔn)備處理。
所述監(jiān)視工序可以根據(jù)所述機器的運行信息導(dǎo)出該機器的最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
所述接收工序還可以從所述機器接收與替換所述機器的部件有關(guān)的維護數(shù)據(jù)。此時，所述監(jiān)視工序根據(jù)在所述接收工序接收的維護信息，監(jiān)視所述機器。
所述維護數(shù)據(jù)可以是在替換構(gòu)成所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換時間、種類、使用時間有關(guān)的數(shù)據(jù)。此時，所述監(jiān)視工序從所述維護數(shù)據(jù)導(dǎo)出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。
所述監(jiān)視工序也可以根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
所述運行信息可以包含所述機器對所述被處理件進行規(guī)定處理的規(guī)定工序的處理條件參數(shù)。并且，所述處理條件參數(shù)可以包含所述機器容器內(nèi)的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。所述機器例如是半導(dǎo)體器件或液晶顯示器件的制造設(shè)備。
附圖的簡要說明圖1是本發(fā)明實施方式的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
圖2表示本發(fā)明實施方式的歷史信息數(shù)據(jù)庫的一個例子。
圖3表示本發(fā)明實施方式的歷史信息數(shù)據(jù)庫的一個例子。
圖4表示本發(fā)明實施方式的概況(profile)信息數(shù)據(jù)庫的一個例子。
圖5表示本發(fā)明實施方式的概況信息數(shù)據(jù)庫的的一個例子。
圖6表示本發(fā)明實施方式的聯(lián)絡(luò)方式數(shù)據(jù)庫的一個例子。
圖7表示本發(fā)明實施方式的聯(lián)絡(luò)方式數(shù)據(jù)庫的一個例子。
圖8表示本發(fā)明實施方式的替換周期數(shù)據(jù)庫的一個例子。
圖9是本發(fā)明實施方式的系統(tǒng)動作流程圖。
圖10是本發(fā)明實施方式的系統(tǒng)動作流程圖。
圖11是本發(fā)明實施方式的工廠結(jié)構(gòu)圖。
圖12是本發(fā)明實施方式的CVD設(shè)備結(jié)構(gòu)圖。
圖13是圖12的控制器結(jié)構(gòu)圖。
圖14表示本發(fā)明實施方式的歷史信息數(shù)據(jù)庫的一個例子。
圖15表示本發(fā)明實施方式的替換周期數(shù)據(jù)庫的一個例子。
發(fā)明的最佳實施方式下面，參照附圖，對本發(fā)明實施方式的提高機器生產(chǎn)率的系統(tǒng)及其方法進行說明。在本實施方式中，以銷售商是半導(dǎo)體制造設(shè)備的制造者、而制造者是半導(dǎo)體器件的制造者的場合為例進行說明。
圖1是本發(fā)明實施方式的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
如圖1所示，本實施方式的系統(tǒng)由使用銷售商提供的機器10的工廠101、離工廠101很遠(yuǎn)的銷售商的企業(yè)102及連接工廠101和銷售商企業(yè)102的通信線路100構(gòu)成。
工廠101例如是半導(dǎo)體制造工廠，其內(nèi)部配有機器10、工廠方計算機11及連接機器10和工廠方計算機11的廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12。
機器10是一臺或多臺由銷售商提供的用于生產(chǎn)的機器。機器10為半導(dǎo)體制造設(shè)備，例如是，用于前工序的機器(成膜設(shè)備、熱處理設(shè)備等)、用于后工序的機器(安裝設(shè)備、試驗設(shè)備等)及存儲各種數(shù)據(jù)的計算機(服務(wù)器)，在本實施方式中，以具有容器的設(shè)備為例進行說明。
如圖1所示，機器10具有中央處理部分13、監(jiān)視部分14、通信控制設(shè)備15、輸入輸出控制部分16及存儲部分17。
中央處理部分13具有在圖中沒有示出的RAM和ROM等，通過進行規(guī)定處理來控制機器10整體的動作。監(jiān)視部分14具有傳感器等監(jiān)視設(shè)備，對機器10的運行狀態(tài)進行監(jiān)視。而且，中央處理部分13利用監(jiān)視部分14(監(jiān)視設(shè)備18)依次獲得機器10的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)。
通信控制設(shè)備15在LAN(Local Area Network，局域網(wǎng))等廠內(nèi)配線網(wǎng)路12中起機器10側(cè)的接口作用。中央處理部分13經(jīng)過通信控制設(shè)備15，與外部進行收發(fā)信息。
輸入輸出控制器16連接在配電盤等輸入輸出設(shè)備19上。輸入輸出設(shè)備19起人機接口的作用。工廠101內(nèi)的操作員從輸入輸出設(shè)備19對機器10進行主要控制。而且，在對部件進行了定期替換或修理替換時，操作員從輸入輸出設(shè)備19輸入部件的替換日期、部件的種類、使用時間等維護數(shù)據(jù)。另外，維護數(shù)據(jù)中還包含設(shè)備所具有的日志數(shù)據(jù)(log data)。日志數(shù)據(jù)和時間戳(timestamp)是數(shù)據(jù)化了的該設(shè)備所有的動作歷史，從中能夠知道，操作員對該設(shè)備進行了何種操作、設(shè)備的某個傳感器何時進行了何種動作、設(shè)備的軟件何時進入到何種程序(routine)以及何時向設(shè)備內(nèi)的存儲部分(存儲器)輸入了何種數(shù)據(jù)等。
存儲部分17存儲監(jiān)視設(shè)備18獲得的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)及從輸入輸出設(shè)備19輸入的維護數(shù)據(jù)。監(jiān)視設(shè)備18例如是容器所具備的壓力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器等。運行狀態(tài)數(shù)據(jù)是通過這些傳感器得到的與容器內(nèi)的壓力、溫度、氣體流量等有關(guān)的數(shù)據(jù)。中央處理部分13向工廠方計算機11實時發(fā)送存儲在機器部分17內(nèi)的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)。同時，每當(dāng)有新的維護數(shù)據(jù)輸入時，中央處理部分13就將這些維護數(shù)據(jù)發(fā)送到工廠方計算機11內(nèi)。此外，在圖1中，存儲部分17被設(shè)置在機器10內(nèi)，但是，例如也可以將存儲部分11設(shè)置在機器10外。
工廠方計算機11對在工廠101中使用的多臺機器10進行集中管理。如圖1所示，工廠方計算機11具有中央處理部分20、存儲部分21、輸入輸出控制部分22及通信控制設(shè)備23。
中央處理部分20具有在圖中沒有示出的RAM和ROM等，并通過進行規(guī)定處理來控制工廠方計算機11的動作。存儲部分21存儲經(jīng)過廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12從各工廠10接收的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)和部件替換日期等的維護數(shù)據(jù)。
中央處理部分20時常監(jiān)視著接收的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，并且，當(dāng)檢測到機器10的狀態(tài)(運行狀態(tài))出現(xiàn)異常的時候，向工廠101內(nèi)的操作員及銷售商報告發(fā)生了故障。此時，若能夠通過來自銷售商的、對應(yīng)于故障的應(yīng)答信息進行修復(fù)時，即，例如能夠通過更新軟件等進行修復(fù)時，中央處理部分20，從銷售商的計算機26下載規(guī)定軟件，自動進行修復(fù)處理。
從機器10經(jīng)過廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12向工廠方計算機11發(fā)送的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，經(jīng)過通信線路100，同樣地被發(fā)送到銷售方。同時，從機器10定期發(fā)送的、與部件替換有關(guān)的維護數(shù)據(jù)，也經(jīng)過工廠方計算機11，被發(fā)送到銷售方。此外，也可以從銷售方連接工廠方計算機11，來獲得運行狀態(tài)數(shù)據(jù)和維護數(shù)據(jù)。
輸入輸出控制部分22與具有顯示器、鍵盤等的輸入輸出設(shè)備25連接。輸入輸出設(shè)備25起人機接口的作用。工廠101內(nèi)的操作員通過輸入輸出設(shè)備25，對工廠方計算機11及與之相連接的機器10進行控制。并且，當(dāng)發(fā)生故障時，通過輸入輸出設(shè)備25向操作員告知在機器10內(nèi)發(fā)生了故障，此時，操作員有時也通過輸入輸出設(shè)備25進行必要的維護操作。
然而，機器10一般都配置在無塵室內(nèi)。但是，因為操作員進入無塵室之前，必須要穿防塵服、進行空氣淋浴及洗手，所以，也可以將機器10的輸入輸出設(shè)備25設(shè)置在無塵室以外。例如，當(dāng)通過改變設(shè)定在機器10內(nèi)的處理條件(配方)來對機器10內(nèi)發(fā)生的工序異常狀況做對應(yīng)處理的時候，操作員可以不進入無塵室，而是在無塵室外對輸入輸出設(shè)備25進行操作來改變配方。這里，最好在機器10內(nèi)一發(fā)生故障就向輸入輸出設(shè)備25發(fā)送發(fā)生故障的信息，從而使在無塵室外也能夠知道機器10發(fā)生了故障。
通信控制設(shè)備23在廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12及通信線路100中，起工廠方計算機11一側(cè)的接口的作用。中央處理部分20經(jīng)通信控制設(shè)備23與機器10及銷售商進行收發(fā)信息。
通信線路100，例如，可以使用能夠高速通信的互聯(lián)網(wǎng)、ISDN、光纖等公用線路或?qū)Ｓ镁€路。并且，也可以是公用線路網(wǎng)。而作為連接，可以使用時常連接或者每次使用時連接的方法。
通信線路100連接著上述工廠101、使用銷售商提供的機器10的多個工廠110、120及銷售商企業(yè)102。多個工廠110、120具有與上述工廠101相同的結(jié)構(gòu)(沒有圖示)。例如，多個工廠110、120具有集中管理機器10的工廠方計算機。各工廠110、120內(nèi)的機器10的維護管理信息通過該工廠方計算機向銷售商發(fā)送。
銷售商企業(yè)102具有銷售方計算機26。如圖1所示，銷售方計算機26具有中央處理部分27、通信控制設(shè)備28、存儲部分29、輸入輸出控制部分30。
中央處理部分27具有在圖中沒有示出的RAM、ROM，并通過進行規(guī)定處理來控制銷售方計算機26的動作。通信控制設(shè)備28在通信線路100中起銷售方計算機26一側(cè)的接口的作用。中央處理部分27通過通信控制裝置28與多個工廠方計算機11進行收發(fā)信息。
輸入輸出控制部分30與具有顯示器(畫面)、鍵盤等的輸入輸出設(shè)備31連接。輸入輸出設(shè)備31起人機接口的作用。銷售方操作員(operator)通過輸入輸出設(shè)備31對銷售方計算機26進行控制。而且，在發(fā)生故障時，銷售方操作員能夠用郵件等向工廠101一側(cè)發(fā)送對應(yīng)的處理信息，并且，能夠確認(rèn)各機器10的運行狀態(tài)等。
存儲部分29具有歷史信息數(shù)據(jù)庫(DB)32、概況信息數(shù)據(jù)庫33、聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34以及替換周期信息數(shù)據(jù)庫35。
歷史信息數(shù)據(jù)庫32，存儲從工廠方計算機11接收的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)和維護數(shù)據(jù)。歷史信息數(shù)據(jù)庫32中所存儲的信息是從多個工廠101、110、120等中的運行的各機器10獲得的、規(guī)定期間內(nèi)的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)和維護數(shù)據(jù)。
圖2表示存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)的一個例子。如圖2所示，歷史信息數(shù)據(jù)庫32收集機器10的收貨方(制造者)、使用的工廠、每個個體(序列號)的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)。運行狀態(tài)數(shù)據(jù)是表示機器10的運行狀態(tài)的物理數(shù)據(jù)，例如是，在利用機器10對被處理件進行規(guī)定的處理工序中，基于容器內(nèi)的溫度、壓力、氣體流量等參數(shù)的物理量。運行狀態(tài)數(shù)據(jù)通過機器10的監(jiān)視設(shè)備18取得，并定期向銷售方計算機26發(fā)送。歷史信息數(shù)據(jù)庫32例如存儲作為溫度數(shù)據(jù)的如圖2中的*1所示的數(shù)據(jù)。
圖3表示本發(fā)明實施方式的歷史信息數(shù)據(jù)庫的一個例子。
如圖3所示，與運行狀態(tài)數(shù)據(jù)一樣，在歷史信息數(shù)據(jù)庫中存儲著收貨方、工廠及每個個體的維護數(shù)據(jù)。每當(dāng)機器10替換部件的時候從機器10的一側(cè)發(fā)送維護數(shù)據(jù)。
銷售方計算機26將接收的維護數(shù)據(jù)作為構(gòu)成機器10的各部件的替換歷史(時間)及使用時間數(shù)據(jù)來存儲。如后所述，從存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的使用時間數(shù)據(jù)導(dǎo)出各部件的最佳替換周期。
概況信息數(shù)據(jù)庫33存儲機器10的每個動作工序的參數(shù)(溫度、壓力等)的基準(zhǔn)概況。例如，在機器10進行規(guī)定工序的時候，該工序中的溫度變化是已經(jīng)規(guī)定好了的。概況信息數(shù)據(jù)庫33中存儲著與各工序的各種參數(shù)有關(guān)的基準(zhǔn)概況。
圖4是概況信息數(shù)據(jù)庫33內(nèi)的、機器10的工序A、B等中的各參數(shù)的基準(zhǔn)概況的一個例子。如圖4所示，作為在工序A中變化的參數(shù)，使用壓力和溫度等。因此，作為各參數(shù)的概況，存儲著如*2(壓力)、*3(溫度)所示的基準(zhǔn)概況。
同時，如圖5所示，概況信息數(shù)據(jù)庫33中存儲每個機器10的工序表。工序表表示各收貨方(制造者)、各工廠及每個機器10的使用計劃，這些是預(yù)先由制造方向銷售商通知的。例如，工序表如圖5的*4所示。在此例中，機器10連續(xù)進行工序A、B、C后停止，然后重新進行工序A、B、C。
在機器10的動作中，銷售方計算機26按照圖5所示的工序表，并關(guān)于各參數(shù)，讀取圖4所示的基準(zhǔn)概況，同時，對從機器10接收的實際運行狀態(tài)數(shù)據(jù)中的、各參數(shù)的變化概況和讀取的基準(zhǔn)概況進行比較，來監(jiān)視機器10的狀態(tài)。例如，各參數(shù)的實際變化概況與基準(zhǔn)概況間的誤差不在5％范圍內(nèi)時，銷售方計算機26判斷為機器10處于異常狀態(tài)。
聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34存儲構(gòu)成機器10的每個部件的部件供應(yīng)商與其聯(lián)絡(luò)方式(郵件地址、移動電話號碼等)。圖6是部件供應(yīng)商的聯(lián)絡(luò)方式數(shù)據(jù)庫34的一個例子。當(dāng)銷售方計算機26從機器10接收到維護數(shù)據(jù)(部件替換信息)時，就進行訂購處理或者訂購準(zhǔn)備處理。即，銷售方計算機26參照圖6所示的聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34，向供應(yīng)部件的供應(yīng)生產(chǎn)商(業(yè)者)發(fā)送該部件的訂購信息。
同時，銷售方計算機26在監(jiān)視動作中檢測機器10的異常，當(dāng)判斷出需要替換特定的部件時，參照聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34，向生產(chǎn)商發(fā)送該部件的訂購信息(訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理)。
此外，聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34中存儲工廠方操作員及銷售商操作員(現(xiàn)場工程師)的聯(lián)絡(luò)方式(郵件地址等)。圖7是已建立的數(shù)據(jù)庫的一個例子。在圖7所示的數(shù)據(jù)庫中，鏈接著與各機器10有關(guān)的、收貨方(制造者)、收貨方負(fù)責(zé)部門(人)的郵件地址，以及銷售商負(fù)責(zé)部門(人)的郵件地址。
銷售方計算機26在檢測出運行狀態(tài)異常的時候，參照如圖7所示的聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34，向工廠方及銷售方報告發(fā)生了故障的信息及故障內(nèi)容。工廠方的責(zé)任操作員，基于報告的信息，確認(rèn)機器10的狀態(tài)，并進行必要的處理。同時，銷售商的責(zé)任操作員基于報告的信息，根據(jù)需要，攜帶替換部件到發(fā)生故障的機器10所在的工廠101，進行修復(fù)作業(yè)。
替換周期數(shù)據(jù)庫35存儲構(gòu)成機器10的各部件的最佳替換周期。圖8是替換周期數(shù)據(jù)庫35的一個例子。存儲在替換周期數(shù)據(jù)庫35中的部件替換周期，作為初始數(shù)據(jù)，存儲著銷售商向用戶交付所述機器10的時候作為使用條件向用戶側(cè)提供的周期。
中央處理部分27，參照上述初始信息和存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的維護數(shù)據(jù)，通過規(guī)定的程序算出各部件的最佳替換周期。中央處理部分27在每次取得新的維護數(shù)據(jù)時都進行上述處理，并將算出的新的最佳替換周期更新存儲到替換周期信息數(shù)據(jù)庫35中。存儲在替換周期信息數(shù)據(jù)庫35中的最佳替換周期，作為能夠反饋到機器10的使用中的信息，定期被發(fā)送到工廠方。
這里，作為初始數(shù)據(jù)最初存儲在替換周期信息數(shù)據(jù)庫35中的部件替換周期，是銷售商從設(shè)計或制造時進行的耐久試驗得出的值，而不是實際使用條件下的值。此外，為了避免故障的發(fā)生，該值一般設(shè)定的要比實際預(yù)想的小一些，因此，可能會與實際使用條件下的值有很大的差距。此時，若按照上述替換周期進行部件替換等預(yù)防維護，則會無法有效使用機器，實際上會降低利用率。而且，還會對實際中尚能完全繼續(xù)使用的部件進行了替換，造成成本的浪費。
但是，如上所述，通過積累來自機器10的、實際使用條件下的維護數(shù)據(jù)，并實施最適合于所積累的維護數(shù)據(jù)的處理，使更新存儲在替換周期數(shù)據(jù)庫35中的各部件的替換周期，隨著接收的數(shù)據(jù)量的增加逐漸接近實際值。此外，銷售商所積累的數(shù)據(jù)，并不局限于同一個用戶(制造者)、而是能夠從多個不同用戶收集。由此，增加了所得的數(shù)據(jù)量，而所導(dǎo)出的值也比只從單獨用戶收集的值更可靠。
于是，發(fā)送到用戶側(cè)的最佳替換周期，作為更有效的機器的使用條件，將此信息反饋到用戶方。用戶方將接收到的替換周期信息和各自的工廠的操作計劃組合起來，使預(yù)防維護更有率，從而能夠以更高的效率使用機器。
下面，參照


上述系統(tǒng)的動作。圖9、圖10表示銷售方計算機26的動作流程。當(dāng)然，在圖9、圖10中所示的流程僅是銷售方計算機26的動作的一個例子，只要能夠產(chǎn)生同樣的效果，可以采用任何一種結(jié)構(gòu)。
監(jiān)視動作中，銷售方計算機26接收設(shè)在機器10上的監(jiān)視設(shè)備18所獲得的機器10的實時運行狀態(tài)數(shù)據(jù)(步驟S11)。銷售方計算機26將接收到的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)存儲到歷史信息數(shù)據(jù)庫32中(步驟S12)。
銷售方計算機26從歷史信息數(shù)據(jù)庫32的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)中，讀出規(guī)定參數(shù)，例如，基于溫度的數(shù)據(jù)(變化概況)(步驟S13)。
其次，銷售方計算機26參照存儲在概況信息數(shù)據(jù)庫33中的與溫度有關(guān)的基準(zhǔn)概況，和讀出的(實測)數(shù)據(jù)的概況進行比較(步驟S14)。
接下來，銷售方計算機26判斷實測的概況與基準(zhǔn)概況之間的差是否在規(guī)定誤差范圍內(nèi)(例如，5％)(步驟S15)。
在步驟S15中，當(dāng)判斷為實測的概況與基準(zhǔn)概況之間的差在規(guī)定誤差范圍內(nèi)時(步驟S15Yes)，返回到步驟S11，銷售方計算機26接收運行狀態(tài)數(shù)據(jù)繼續(xù)監(jiān)視機器10。
相反，當(dāng)判斷為兩者的差不在規(guī)定誤差范圍內(nèi)時(步驟S15No)，銷售方計算機26判斷為機器10發(fā)生了故障。于是，銷售方計算機26通過工廠方計算機11的輸入輸出設(shè)備25向工廠101側(cè)通知發(fā)生了故障及其狀況，同時，從聯(lián)絡(luò)方式數(shù)據(jù)庫34讀取制造方(收貨方)的負(fù)責(zé)維護的部門(人)的郵件地址等聯(lián)絡(luò)方式信息，向負(fù)責(zé)維護的部門告知發(fā)生了故障(步驟S16)。
此外，銷售方計算機26還通過銷售方計算機26的輸入輸出設(shè)備31向銷售方操作員通知發(fā)送了故障及其狀況，同時，從聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34讀取銷售方的負(fù)責(zé)維護的部門(人)的郵件地址等聯(lián)絡(luò)方式信息，向負(fù)責(zé)維護的部門(現(xiàn)場工程師)告知發(fā)生了故障(步驟S16)。
工廠101一側(cè)及銷售方的操作員根據(jù)來自銷售方計算機26的通知，進行對應(yīng)的處理。當(dāng)然，用于通知工廠101一側(cè)及銷售方的負(fù)責(zé)維護的部門的通知裝置并不局限于郵件，也可以是移動電話、無線電尋呼機等。
而且，銷售方計算機26可以從運行狀態(tài)數(shù)據(jù)確定導(dǎo)致發(fā)生異常的部件，并判斷為需要替換部件時，參照存儲在聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34中的供應(yīng)替換部件的生產(chǎn)商的聯(lián)絡(luò)方式信息，向所述生產(chǎn)商發(fā)送訂購信息。
例如，銷售方計算機26判斷出是與氣體流量有關(guān)的數(shù)據(jù)概況出現(xiàn)了異常，并從積累的數(shù)據(jù)等判斷出需要替換閥時，向現(xiàn)場工程師指示進行替換閥的同時，參照聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34，讀取閥供應(yīng)生產(chǎn)商的聯(lián)絡(luò)方式信息，向生產(chǎn)商發(fā)送訂購信息。
檢測出發(fā)生了故障的銷售方計算機26向工廠101一側(cè)發(fā)送進行處理所必要的維護信息(步驟S17)。這里，若是輕微故障、或是軟件上的故障時，工廠方計算機11例如能夠通過從銷售方計算機26下載規(guī)定軟件等來自動進行修復(fù)處理。若不是這種情況，就由接收到銷售方計算機26的報告的銷售方及工廠101一側(cè)的操作員直接進行修復(fù)處理。
以上，根據(jù)圖9所示的流程，銷售方計算機26對配置在工廠101內(nèi)的機器10進行遠(yuǎn)程監(jiān)視。銷售方計算機26從設(shè)在機器10上的監(jiān)視設(shè)備18所取得的溫度等運行狀態(tài)數(shù)據(jù)判斷機器10的運行狀態(tài)。當(dāng)判斷出機器10處于異常狀態(tài)時，銷售方計算機26向工廠101一側(cè)及銷售方的操作員報告發(fā)生異常的情況。此時，銷售方計算機26如果判斷出需要替換部件時，則同時進行替換部件的訂購。這樣，因為銷售方計算機26對機器10進行遠(yuǎn)程監(jiān)視，所以能夠?qū)收线M行快速反應(yīng)，從而能夠縮短因故障而導(dǎo)致機器10停止的停止時間。因此，能夠延長機器10的運行時間，進而能夠提高機器10的利用率。
此外，銷售方計算機26并不僅如上述那樣對機器10進行遠(yuǎn)程監(jiān)視，而且還收集與機器10有關(guān)的維護數(shù)據(jù)，并對應(yīng)所得維護數(shù)據(jù)實施規(guī)定的處理動作。
從機器10向銷售方計算機26，一般逐次發(fā)送運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，而在進行部件替換等維護作業(yè)時，發(fā)送由操作員輸入的與維護有關(guān)的數(shù)據(jù)。
這里，機器10的部件替換在機器10的定期檢查(定期分解檢修)中的替換期到來時，或者因為部件的原因發(fā)生了故障，必須要進行替換修理時進行。替換部件的時候，操作員先停止機器10后替換應(yīng)替換的部件。替換作業(yè)結(jié)束后，操作員從機器10上的輸入輸出設(shè)備19輸入所替換部件的種類、日期、使用期限等維護數(shù)據(jù)。維護數(shù)據(jù)存儲在存儲部分17中。中央處理部分13將存儲在存儲部分17中的維護數(shù)據(jù)，通過廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12發(fā)送到工廠方計算機11中。工廠方計算機11將接收的維護數(shù)據(jù)存儲到存儲部分21中，同時，通過通信線路100發(fā)送到銷售方計算機26中。
下面，參照圖10所示的流程，對銷售方計算機26的進行維護數(shù)據(jù)處理時的動作進行說明。
首先，銷售方計算機26從工廠101一側(cè)接收維護數(shù)據(jù)(步驟S21)。銷售方計算機26(中央處理部分27)將接收的維護數(shù)據(jù)存儲到歷史信息數(shù)據(jù)庫32中(步驟S22)。
然后，銷售方計算機26從存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的維護數(shù)據(jù)中讀出替換部件的種類，并參照圖6所示的聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34讀出該部件供應(yīng)生產(chǎn)商的聯(lián)絡(luò)方式，向所述供應(yīng)生產(chǎn)商發(fā)送訂購信息(步驟S23)。
回到圖10，接下來，銷售方計算機26進一步對存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的維護數(shù)據(jù)進行規(guī)定的分析處理。即，對于定期替換或修理替換的部件，算出每種部件的平均使用時間，并對所得值取規(guī)定的幅度(margin)，導(dǎo)出最佳替換周期(步驟S24)。
導(dǎo)出的最佳替換周期被更新存儲到替換周期信息數(shù)據(jù)庫35中(步驟S25)。于是，每當(dāng)對多個機器10進行部件替換，從而獲得新的維護數(shù)據(jù)時，存儲在替換周期信息數(shù)據(jù)庫35中的部件的替換周期就會得到優(yōu)化。
通過上述處理得到的部件的最佳替換周期，定期的，例如，每隔1～2周，被發(fā)送到所有的工廠101、110、120一側(cè)。而工廠101、110、120，能夠參照所接收的替換周期信息，制定新計劃，使得機器10及工廠101等能夠更有效地運行。同時，為了避免發(fā)生故障，一般要設(shè)定部件的替換周期比實際預(yù)想的短一些，因此，隨著部件的最佳替換周期的可靠性的提高，部件的替換周期會變長。于是，能夠有效使用機器。
以上，按照如圖10所示的流程，銷售方計算機26處理包含部件替換周期的維護數(shù)據(jù)。銷售方計算機26在進行替換部件的訂購的同時，根據(jù)所得的部件的使用時間等進行規(guī)定的分析處理，導(dǎo)出部件的最佳替換周期。通過分析處理得到的信息，被發(fā)送到用戶(工廠101等)方，并被反饋到機器10的使用中。
其次，將設(shè)有CVD設(shè)備等機器10的工廠101為例，對系統(tǒng)進行說明。圖11表示本發(fā)明實施方式的工廠101的結(jié)構(gòu)。如圖11所示，工廠101具有工廠方計算機11和多臺機器10，并且，各機器10和工廠方計算機11之間通過廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12連接。機器10具有n臺CVD(Chemical Vapor Deposition，化學(xué)汽相沉積)設(shè)備36(361～36n)、其他機器(在圖11中是m臺氧化設(shè)備37(371～37m))及j臺測定設(shè)備(411～41j)。n臺CVD設(shè)備36(361～36n)具有同樣的結(jié)構(gòu)，并分別裝載半導(dǎo)體晶片等被處理件，并通過CVD對被處理件進行成膜處理。作為機器10的一個例子，參照圖12，對CVD設(shè)備36的一個結(jié)構(gòu)例進行說明。
如圖12所示，CVD設(shè)備36是批量式設(shè)備，它具有由內(nèi)管302a和外管302b所構(gòu)成的雙重管結(jié)構(gòu)的反應(yīng)管302，在反應(yīng)管302的下面設(shè)有筒形金屬管道(manifold)321。反應(yīng)管302內(nèi)設(shè)有多片晶片W，例如，構(gòu)成被處理件的150片晶片W上下以一定間隔水平地配置在晶片槽323上，成隔板形狀。該晶片槽323由蓋324上的保溫筒325支承著。
反應(yīng)管302的周圍設(shè)有五段結(jié)構(gòu)的加熱器331～335。加熱器331～335通過電力控制器336～340，分別獨立供電，并能夠獨立控制。反應(yīng)管302、管道321及加熱器331～335構(gòu)成加熱爐。反應(yīng)管302被加熱器331～335分成五個區(qū)域。
此外，在管道321中設(shè)有向內(nèi)管302a內(nèi)供應(yīng)氣體的3根氣體供應(yīng)管341、342、343。經(jīng)質(zhì)量流控制器(MFC)344、345、346，用于成膜的原料氣體和載體氣體分別被供應(yīng)到氣體供應(yīng)管341、342、343內(nèi)。而且，管道321連接著排氣管327，以便從內(nèi)管302a和外管302b之間的空隙排氣。同時，在反應(yīng)管302內(nèi)設(shè)有用于測定反應(yīng)管302內(nèi)的壓力的壓力傳感器(圖中沒有示出)。
，作為監(jiān)視設(shè)備18的5個溫度傳感器(熱電偶)S1～S5在內(nèi)管302a的內(nèi)表面上沿垂直方向排成一列。為了防止晶片W受金屬污染，溫度傳感器S1～S5被石英管等完全覆蓋，并分別配置在每個區(qū)域內(nèi)。
CVD設(shè)備36具有控制器400，用于控制反應(yīng)管302內(nèi)的處理氣氛的溫度、氣體流量、壓力等處理條件參數(shù)。圖13表示控制器400的結(jié)構(gòu)。如圖13所示，控制器400和上述系統(tǒng)一樣，具有中央處理部分13、監(jiān)視部分14、通信控制設(shè)備15、輸入輸出控制部分16及存儲部分17。監(jiān)視部分14具有包含溫度傳感器S1～S5、MFC344～346、電力控制器336～340的監(jiān)視設(shè)備18。而且，控制器400的通信控制設(shè)備15通過廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12與工廠方計算機11連接，而工廠方計算機11通過通信線路100與銷售方計算機26(通信控制設(shè)備28)連接。
此外，銷售方計算機26的存儲部分29具有歷史信息數(shù)據(jù)庫32、概況信息數(shù)據(jù)庫33、聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34及替換周期信息數(shù)據(jù)庫35。
歷史信息數(shù)據(jù)庫32存儲運行狀態(tài)數(shù)據(jù)、維護數(shù)據(jù)及晶片W的測定數(shù)據(jù)。運行狀態(tài)數(shù)據(jù)和維護數(shù)據(jù)的構(gòu)成與上述系統(tǒng)的數(shù)據(jù)幾乎相同。此外，運行狀態(tài)數(shù)據(jù)還存儲表示在替換或清潔規(guī)定部件后的第幾次運行(或者第幾時間)的RAN次數(shù)(RAN時間)。這是因為在晶片W上所成的膜的物性也會根據(jù)CVD設(shè)備36的RAN次數(shù)的不同而不同。如圖14所示，測定數(shù)據(jù)是利用CVD設(shè)備36在晶片W上形成的膜的膜厚、膜的均勻性等數(shù)據(jù)，與運行狀態(tài)數(shù)據(jù)對應(yīng)存儲。測定數(shù)據(jù)由測定設(shè)備41測定，并定期被發(fā)送到銷售方計算機26中。
替換周期信息數(shù)據(jù)庫35存有構(gòu)成機器的各部件的最佳替換周期等。圖15表示替換周期信息數(shù)據(jù)庫35的一個例子。如圖15所示，替換周期信息數(shù)據(jù)庫35除了存儲替換部件的最佳周期外，還存儲清潔部件的清潔周期。
此外，概況信息數(shù)據(jù)庫33和聯(lián)絡(luò)方式信息數(shù)據(jù)庫34的構(gòu)成與上述系統(tǒng)的數(shù)據(jù)相同。
下面，參照圖9，說明使用如上述構(gòu)成的CVD設(shè)備36的系統(tǒng)的動作。
在監(jiān)視動作中，銷售方計算機26接收由設(shè)在CVD設(shè)備36上的溫度傳感器S1～S5等監(jiān)視設(shè)備18獲得的、CVD設(shè)備36的實時運行狀態(tài)數(shù)據(jù)(步驟S11)。然后，銷售方計算機26將接收的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)存儲到歷史信息數(shù)據(jù)庫32中(步驟S12)。
其次，銷售方計算機26從歷史信息數(shù)據(jù)庫32的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)中讀出規(guī)定參數(shù)，如基于溫度的數(shù)據(jù)(變化概況)(步驟S13)。銷售方計算機26參照存儲在概況信息數(shù)據(jù)庫33內(nèi)的與溫度有關(guān)的基準(zhǔn)概況，和讀出的(實測)數(shù)據(jù)的概況進行比較(步驟S14)。這里，在本實施方式中，預(yù)先備有針對每個區(qū)域已經(jīng)調(diào)整好的基準(zhǔn)概況(溫度配方)，并且在每一區(qū)域，比較實測的概況與基準(zhǔn)概況，使得晶片W的表面之間的、以及面內(nèi)的處理結(jié)果均勻。
接下來，銷售方計算機26判斷實測概況與基準(zhǔn)概況的溫度差是否在規(guī)定范圍內(nèi)(例如，5％)(步驟S15)。
銷售方計算機26，當(dāng)判斷為實測概況與基準(zhǔn)概況的溫度差在規(guī)定范圍5％內(nèi)的時候(步驟S15Yes)，返回到步驟S11，接收運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，繼續(xù)監(jiān)視CVD設(shè)備。
銷售方計算機26，當(dāng)判斷為實測概況與基準(zhǔn)概況的溫度差大于規(guī)定范圍5％的時候(步驟S15No)，判斷在CVD設(shè)備36內(nèi)發(fā)生了故障。
銷售方計算機26向銷售商操作員通知發(fā)生了故障及其狀況，同時，向銷售方的負(fù)責(zé)維護的部門(現(xiàn)場工程師)告知發(fā)生了故障(步驟S16)。同時，銷售方計算機26向配有CVD設(shè)備36的工廠方通知發(fā)生了故障及其狀況，同時，向制造方的負(fù)責(zé)維護的部門報告發(fā)生了故障(步驟S16)。
銷售方計算機26根據(jù)實測概況和運行狀態(tài)數(shù)據(jù)內(nèi)存儲的數(shù)據(jù)確定發(fā)生異常的原因。然后，銷售方計算機26可以從運行狀態(tài)數(shù)據(jù)確定導(dǎo)致發(fā)生異常的部件，并且在判斷為需要替換部件的時候，向供應(yīng)替換部件的生產(chǎn)商發(fā)送訂購信息。例如，銷售方計算機26，判斷出反應(yīng)管302的最上部分區(qū)域的溫度的數(shù)據(jù)概況出現(xiàn)了異常，并且盡管指示控制器400升高加熱器331的溫度，反應(yīng)管302的最上部分區(qū)域的溫度還是很低，而且根據(jù)累計數(shù)據(jù)等來看需要替換最上部分的加熱器331時，銷售方計算機26指示現(xiàn)場工程師對加熱器331進行替換，同時，向加熱器的供應(yīng)生產(chǎn)商發(fā)送訂購加熱器的信息。
銷售方計算機26向工廠方發(fā)送進行處理所必要的維護信息(步驟S17)。然后，工廠方及銷售方的操作員根據(jù)來自銷售方計算機26的通知，進行對應(yīng)的處理。
此外，銷售方計算機26也可以通知工廠方及銷售方的操作員，使他們根據(jù)存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的測定數(shù)據(jù)和存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的積累數(shù)據(jù)，改變加熱器331～335的溫度、反應(yīng)管內(nèi)的壓力等。由此，能夠?qū)y定設(shè)備41的測定結(jié)果反饋到CVD設(shè)備36的成膜條件中。此時，并不局限于測定結(jié)果在規(guī)定的誤差范圍以外的場合，例如，也可以是成膜膜厚雖然符合規(guī)格但還稍微厚的、測定結(jié)果在規(guī)定的誤差范圍內(nèi)的場合。
接下來，參照圖10，銷售方計算機26處理維護數(shù)據(jù)時的動作進行說明。
首先，銷售方計算機26從中央處理部分15經(jīng)過工廠方計算機11，接收存儲在存儲部分17中的維護數(shù)據(jù)(步驟S21)。銷售方計算機26將接收的維護數(shù)據(jù)存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32內(nèi)(步驟S22)。
其次，銷售方計算機26從存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32內(nèi)的維護數(shù)據(jù)中讀出替換部件的種類，并向該部件的供應(yīng)生產(chǎn)商發(fā)送訂購信息(步驟S23)。
接著，銷售方計算機26進一步對維護數(shù)據(jù)進行規(guī)定的分析處理，導(dǎo)出最佳替換周期(步驟S24)，并更新存儲到替換周期信息數(shù)據(jù)庫35中(步驟S25)。通過上述處理獲得的部件的最佳替換周期，定期地，例如，每隔1～2周被發(fā)送到工廠101一側(cè)。工廠101一側(cè)，則參照接收的替換周期信息，能夠制定新計劃，使得CVD設(shè)備36能夠更有效地運行。
此外，銷售方計算機26還會根據(jù)機器的使用次數(shù)、使用時間，向工廠方及銷售方的操作員報告需要替換部件等信息。例如，銷售方計算機26從存儲在歷史信息數(shù)據(jù)庫32中的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)判斷CVD設(shè)備36進行晶片W的成膜處理的次數(shù)。然后，銷售方計算機26參照如圖15所示的替換周期信息數(shù)據(jù)庫35，在進行了規(guī)定次數(shù)如××次晶片W的成膜處理后(RUN××次)，向工廠方及銷售方的操作員通知需要清潔晶槽323。而且，當(dāng)銷售方計算機26判斷出進行了○○次晶片W的成膜處理的時候(RUN○○次)，向工廠方及銷售方的操作員通知需要更換晶槽323。
如以上說明，根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)，根據(jù)機器10的監(jiān)視設(shè)備18所獲得的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，銷售方計算機26對機器10進行遠(yuǎn)程監(jiān)視。同時，從機器10向銷售方計算機26發(fā)送與部件替換有關(guān)的維護數(shù)據(jù)。銷售方計算機26從維護數(shù)據(jù)算出部件的最佳替換周期，并以數(shù)據(jù)庫形式進行存儲。形成數(shù)據(jù)庫的信息，定期被發(fā)送到工廠101一側(cè)，而工廠方，能夠?qū)⒃撔畔⒆鳛闄C器10的更有效的使用條件以反饋的方式使用。因此，用戶方將接收的替換周期信息和各自的使用計劃結(jié)合起來，從而可提高預(yù)防維護的效率，并能夠以更高的利用率運行機器10。進而，能夠提高使用機器10的產(chǎn)品的生產(chǎn)率。
本發(fā)明并不局限于上述的實施方式，可以進行各種變形和應(yīng)用。下面，對能夠適用于本發(fā)明的上述實施方式的變形例進行說明。
在上述的實施方式中，與部件替換有關(guān)的維護數(shù)據(jù)，是通過設(shè)在機器10上的輸入輸出設(shè)備19輸入的。但是，并不局限于此，維護數(shù)據(jù)也可以從工廠方計算機11輸入，并發(fā)送到銷售方計算機26。此外，從機器10發(fā)送的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)及維護數(shù)據(jù)通過廠內(nèi)配線網(wǎng)絡(luò)12被發(fā)送到銷售方計算機26中，但是，也可以將設(shè)在機器10內(nèi)的通信控制設(shè)備15直接連接在互聯(lián)網(wǎng)等通信線路上，直接將上述數(shù)據(jù)發(fā)送到銷售方計算機26中。
在上述實施方式中，設(shè)在機器10上的監(jiān)視設(shè)備18是溫度傳感器、壓力傳感器、流量傳感器等。同時，從機器10發(fā)送的運行信息數(shù)據(jù)是與溫度、壓力、氣體流量等有關(guān)的物理數(shù)據(jù)。但是，運行狀態(tài)數(shù)據(jù)因為只要是表示機器10的運行狀態(tài)的物理數(shù)據(jù)就可以，所以，例如也可以包含經(jīng)機器10處理過的半導(dǎo)體晶片等被處理件的數(shù)量。此時，例如只要使銷售方計算機26監(jiān)視單位時間內(nèi)的處理量(生產(chǎn)量)就可以。而且，此時，也可以在工廠方進行顯示，使工廠方每次在處理規(guī)定片數(shù)的晶片后更換規(guī)定部件。
此外，運行狀態(tài)數(shù)據(jù)還可以包含成品率數(shù)據(jù)。此時，也可以使工廠101一側(cè)的操作員從機器10的輸入輸出設(shè)備19輸入機器10的成品率數(shù)據(jù)，并將此成品率數(shù)據(jù)發(fā)送到銷售方計算機26中。這樣，通過對表示機器10的運行狀態(tài)的各種物理數(shù)據(jù)進行組合，能夠從各種角度對機器10的運行狀態(tài)進行監(jiān)視。
在上述的實施方式中，銷售方計算機26將從機器10接收的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，和對應(yīng)于機器10的使用計劃(工序表)的、與規(guī)定參數(shù)有關(guān)的基準(zhǔn)概況作比較，從而判斷機器10的運行狀態(tài)。此時，當(dāng)與規(guī)定的基準(zhǔn)概況的差在規(guī)定的誤差范圍外時，判斷為機器10出現(xiàn)了異常狀態(tài)。但是，判斷方法并不局限于此，也可以使用其它既知的判斷方法，或者與它組合起來使用。
此外，銷售方計算機26也可以是通過CCD圖像、SEM圖像等來判斷機器10的狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。此時，監(jiān)視設(shè)備18具有CCD、SEM等攝影設(shè)備。例如，用CCD圖像數(shù)據(jù)對機器10的狀態(tài)進行判斷時，定期對容器的構(gòu)成部件進行攝影，并從所攝的圖象判斷各部件的惡化狀態(tài)。此外，使用SEM圖像數(shù)據(jù)時，例如，先獲得處理后的晶片表面的SEM圖像數(shù)據(jù)后，比較所得圖像與基準(zhǔn)圖像(期望的處理后圖像)，判斷有無微粒(particle)、圖形(pattern)缺陷等，從而判斷機器10的運行狀態(tài)。此外，也可以將這種圖像數(shù)據(jù)和上述物理數(shù)據(jù)組合起來，對機器10的運行狀態(tài)進行多方面的監(jiān)視。
在上述實施方式中，銷售方計算機26對從機器10獲得的維護信息進行分析處理，算出部件的最佳替換周期，并反饋給用戶(工廠)側(cè)。但是，并不局限于此，如果能夠反饋到機器10的使用上，則可以通過維護信息的分析處理，導(dǎo)出任何信息。
例如，也可以將反饋到用戶側(cè)的信息作為機器10的定期檢查周期。一般，機器10在進行部件替換以外，還定期進行檢查作業(yè)，以便進行機器的清潔、機構(gòu)部件的潤滑油添加(grease up)等。銷售方將機器10交給用戶側(cè)的時候，還將通過試驗得到的、與定期檢查周期有關(guān)的數(shù)值提供給用戶。因此，和部件替換周期一樣，所得的定期檢查周期也和實際的使用條件不符。于是，如下述，通過對實際的使用數(shù)據(jù)進行收集、處理，能夠優(yōu)化定期檢查周期。
此時，例如，可以選擇各種從機器10向銷售方計算機26發(fā)送的信息(運行信息、維護信息)。具體的說，可以將從機器10發(fā)送的維護信息作為機器10的晶片處理片數(shù)，從和處理片數(shù)間的關(guān)系求出最佳定期檢查周期，或者，作為監(jiān)視設(shè)備18使用微粒計數(shù)器(particle counter)，通過和由微粒計數(shù)器得到的容器內(nèi)微粒量的增減間的關(guān)系求得最佳定期檢查周期等，并反饋到用戶側(cè)。這樣，對定期檢查周期進行優(yōu)化后，反饋到用戶側(cè)，也能夠使將預(yù)防維護包含在內(nèi)的維護管理效率化。
在上述的實施方式中，銷售方計算機26從收集的維護數(shù)據(jù)導(dǎo)出部件的最佳替換周期，并形成數(shù)據(jù)庫，向用戶側(cè)定期發(fā)送。該數(shù)據(jù)庫形式的部件的最佳替換周期，也可以具有通過在銷售方計算機26及工廠方計算機11上配置各自的瀏覽器，從而能夠在互聯(lián)網(wǎng)上公開或檢索的結(jié)構(gòu)。
在上述實施方式中，通過工廠方計算機11與銷售方計算機26連接的機器都是同一類型的機器。但是，也可以在一個工廠內(nèi)配置多種類型的機器，并由銷售方計算機26通過與上述實施方式相同的結(jié)構(gòu)，管理每個機器的維護管理信息。此時，銷售方計算機26按種類分別建立數(shù)據(jù)庫來管理維護管理信息。
在上述實施方式中，工廠101是半導(dǎo)體制造工廠，在工廠101所使用的機器是半導(dǎo)體器件、液晶顯示器件等的制造設(shè)備。但是，并不局限于此，本發(fā)明的系統(tǒng)也能夠適用于CCD、太陽能電池等其他器件的，乃至，其他普通工業(yè)產(chǎn)品的制造工廠。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提高生產(chǎn)率。同時，能夠更有效地進行維護管理。
工業(yè)實用性本發(fā)明可以用于如電子器件產(chǎn)品等工業(yè)產(chǎn)品的制造設(shè)備中。
本發(fā)明是以2001年1月22日申請的日本專利申請?zhí)?001-13571為基礎(chǔ)的，其中，包括它的說明書、權(quán)利要求書、附圖及說明書摘要。在本說明書中以引例的方式包含了在上述申請中所公開的全部內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種系統(tǒng)，該系統(tǒng)是為了提高機器(10)的生產(chǎn)率而對所述機器(10)進行遠(yuǎn)程監(jiān)視的系統(tǒng)(26)，其特征在于，具有接收裝置(28)，通過通信與所述機器(10)連接，從所述機器(10)接收表示所述機器(10)的運行狀態(tài)的運行信息；監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)在所述接收裝置(28)中接收的運行信息，監(jiān)視所述機器(10)。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述運行信息，檢測所述機器(10)的故障，并在確定了該機器(10)的故障部件時，進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述機器(10)的運行信息，導(dǎo)出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
4.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述機器(10)的運行信息，導(dǎo)出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述接收裝置(28)，還從所述機器(10)接收與所述機器(10)的部件替換有關(guān)的維護數(shù)據(jù)；所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)在所述接收裝置(28)中接收的維護數(shù)據(jù)，監(jiān)視所述機器(10)。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述維護數(shù)據(jù)是在替換構(gòu)成所述機器(10)的部件時獲得的、與該部件的替換日期、種類、使用時間有關(guān)的數(shù)據(jù)；所述監(jiān)視裝置(27)，從所述維護數(shù)據(jù)導(dǎo)出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器(10)。
7.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
8.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運行信息包含所述機器(10)對被處理件進行規(guī)定處理的規(guī)定工序的處理條件參數(shù)。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理條件參數(shù)包含所述機器(10)容器內(nèi)的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
11.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運行信息包含圖像數(shù)據(jù)。
12.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運行信息包含所述機器(10)的成品率數(shù)據(jù)。
13.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運行信息包含通過所述機器處理的被處理件的數(shù)量。
14.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述機器(10)是半導(dǎo)體器件或液晶顯示器件的制造設(shè)備。
15.一種系統(tǒng)，其特征在于，具有機器(10)，該機器(10)具有傳感裝置(18)，獲得表示機器(10)的運行狀態(tài)的運行信息；及發(fā)送裝置(15)，發(fā)送在所述傳感裝置(18)中獲得的運行信息；監(jiān)視設(shè)備(26)，該監(jiān)視設(shè)備(26)具有接收裝置(28)，通過通信(100)與所述機器(10)連接，接收由所述機器(10)的發(fā)送裝置(15)發(fā)送的運行信息；監(jiān)視裝置(26)，根據(jù)在該接收裝置(28)中接收的運行信息，監(jiān)視所述機器(10)。
16.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，檢測所述機器(10)的故障，并在確定了該機器(10)的故障部件時，進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
17.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述機器(10)的運行信息，導(dǎo)出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
18.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述機器(10)的運行信息，導(dǎo)出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
19.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述機器(10)，還具有能夠輸入與該機器(10)的部件替換有關(guān)的維護數(shù)據(jù)的輸入裝置(19)；所述發(fā)送裝置(15)，向所述監(jiān)視裝置(27)發(fā)送從所述輸入裝置(19)輸入的維護數(shù)據(jù)。
20.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述維護數(shù)據(jù)是在替換構(gòu)成所述機器(10)的部件時獲得的、與該部件的替換日期、種類、使用時間有關(guān)的數(shù)據(jù)；所述監(jiān)視裝置(27)，從所述維護數(shù)據(jù)導(dǎo)出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器(10)。
21.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
22.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)視裝置(27)，根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
23.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述機器(10)進行規(guī)定工序，從而對被處理件進行規(guī)定處理；所述運行信息包含所述工序的處理條件參數(shù)。
24.如權(quán)利要求23所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理條件參數(shù)包含所述容器內(nèi)的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
25.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運行信息包含圖像數(shù)據(jù)。
26.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運行信息包含所述機器(10)的成品率數(shù)據(jù)。
27.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述運行信息包含通過所述機器(10)處理的被處理件的數(shù)量。
28.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述機器(10)是半導(dǎo)體器件或液晶顯示器件的制造設(shè)備。
29.一種方法，為了提高機器生產(chǎn)率而對所述機器進行遠(yuǎn)程監(jiān)視，其特征在于，具有接收工序，通過通信從所述機器接收表示所述機器的運行狀態(tài)的運行信息；監(jiān)視工序，根據(jù)在所述接收工序中接收的運行信息，對所述機器進行監(jiān)視。
30.如權(quán)利要求29所述的方法，其特征在于，所述監(jiān)視工序，根據(jù)所述運行信息，檢測所述機器的故障，并在確定了該機器的故障部件時，進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
31.如權(quán)利要求29所述的方法，其特征在于，所述監(jiān)視工序，根據(jù)所述機器的運行信息，導(dǎo)出該機器的最佳定期檢查周期，并將導(dǎo)出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
32.如權(quán)利要求29所述的方法，其特征在于，所述接收工序，還從所述機器接收與所述機器的部件替換有關(guān)的維護數(shù)據(jù)；所述監(jiān)視工序，根據(jù)在所述接收工序中接收的維護數(shù)據(jù)，監(jiān)視所述機器。
33.如權(quán)利要求32所述的方法，其特征在于，所述維護數(shù)據(jù)是在替換構(gòu)成所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換日期、種類、使用時間有關(guān)的數(shù)據(jù)；所述監(jiān)視工序，從所述維護數(shù)據(jù)導(dǎo)出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。
34.如權(quán)利要求32所述的方法，其特征在于，所述監(jiān)視工序，根據(jù)所述維護數(shù)據(jù)，進行替換部件的訂購處理或訂購準(zhǔn)備處理。
35.如權(quán)利要求29所述的方法，其特征在于，所述運行信息，包含所述機器對被處理件進行規(guī)定處理的規(guī)定工序的處理條件參數(shù)；所述處理條件參數(shù)，包含所述機器容器內(nèi)的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
36.如權(quán)利要求29所述的方法，其特征在于，所述機器是半導(dǎo)體器件或液晶顯示器件的制造設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種提高機器生產(chǎn)率的系統(tǒng)及方法。銷售方計算機(26)經(jīng)過通信線路(100)獲得由設(shè)在機器(10)上的監(jiān)視設(shè)備(18)獲得的運行狀態(tài)數(shù)據(jù)，并對機器(10)的運行狀態(tài)進行遠(yuǎn)程監(jiān)視。機器(10)還發(fā)送進行部件替換時的維護數(shù)據(jù)，而接收到維護數(shù)據(jù)的銷售方計算機(26)則根據(jù)這些數(shù)據(jù)算出部件的最佳替換周期。算出的各部件的最佳替換周期被發(fā)送到工廠(101)中。在工廠(101)一側(cè)，將最佳替換周期反饋到機器(10)的使用中，從而，能夠提高生產(chǎn)率。
文檔編號G05B23/02GK1531671SQ0280363
公開日2004年9月22日 申請日期2002年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2001年1月22日
發(fā)明者唐澤涉 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社