一種半導體氣敏元件的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體器件，尤其涉及一種半導體氣敏元件。
【背景技術】
[0002]氣敏傳感器的應用主要有:一氧化碳氣體的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂勠11、R12蘺檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。它將氣體種類及其與濃度有關的信息轉換成電信號根據這些電信號的強弱就可以獲得與待測氣體在環(huán)境中的存在情況有關的信息從而可以進行檢測、監(jiān)控、報警還可以通過接口電路與計算機組成自動檢測、控制和報警系統(tǒng)。
[0003]目前實際使用最多的是半導體氣敏傳感器，但由于現(xiàn)有氣敏傳感器結構復雜、響應速度慢、靈敏度低，極大的限制了半導體氣敏器件的應用。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高的氣敏元件。
[0005]本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下:一種半導體氣敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上設置有對稱測量電極、對稱引出電極，所述對稱測量電極之間通過金屬導線連接，所述對稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述SnO2燒結體設置在金屬導線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網罩構成封閉結構。
[0006]所述SnO2燒結體用于對氣體的吸附和釋放，當SnO 2燒結體吸附或釋放氣體時，質量和導電率會發(fā)生改變，根據氣體濃度的變化，SnO2燒結體導電率發(fā)生相應變化，從而作為測定量對氣體進行監(jiān)測。
[0007]在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。
[0008]進一步，所述加熱絲設置于SnO2燒結體內或設置于SnO 2燒結體外，所述加熱絲設置于31102燒結體內，有利于縮短加熱時間，從而提升響應速度，但封裝工藝較復雜。
[0009]進一步，所述31102燒結體內設置有對稱測定電阻，所述對稱測定電阻根據SnO 2燒結體導電率的變化而變化，從而最終實現(xiàn)氣體濃度轉化為電信號輸出。
[0010]進一步，所述對稱測定電阻一端與對稱測量電極連接，一端通過電熱絲與對稱引出電極連接，用于31102燒結體導通和電信號的輸出。
[0011]本實用新型的有益效果是:結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型一種半導體氣敏元件結構示意圖；
[0013]圖2為本實用新型一種半導體氣敏元件SnO2燒結體結構示意圖；
[0014]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:1、塑料底座，2、對稱引出電極，3、不銹鋼絲網罩，4、51102燒結體，5、加熱絲，6、對稱測量電極，7、金屬導線，8、對稱測定電阻。
【具體實施方式】
[0015]以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0016]如圖1所示，一種半導體氣敏元件，包括塑料底座1，所述塑料底座I上設置有對稱測量電極6、對稱引出電極2，所述對稱測量電極6之間通過金屬導線7連接，所述對稱引出電極2之間通過加熱絲5連接，所述SnO2燒結體4設置在金屬導線7與加熱絲5之上，所述塑料底座I與不銹鋼絲網罩3構成封閉結構。
[0017]如圖2所示，所述SnO2燒結體4用于對氣體的吸附和釋放，當SnO 2燒結體4吸附或釋放氣體時，質量和導電率會發(fā)生改變，根據氣體濃度的變化，SnO2燒結體4導電率發(fā)生相應變化，從而作為測定量對氣體進行監(jiān)測。
[0018]所述加熱絲5設置于SnO2燒結體4內或設置于SnO 2燒結體4外，所述加熱絲5設置于SnO2燒結體4內，有利于縮短加熱時間，從而提升響應速度，但封裝工藝較復雜；所述SnO2燒結體4內設置有對稱測定電阻8，所述對稱測定電阻8根據SnO2燒結體4導電率的變化而變化，從而最終實現(xiàn)氣體濃度轉化為電信號輸出；所述對稱測定電阻8 —端與對稱測量電極2連接，一端通過電熱絲5與對稱引出電極6連接，用于SnO2燒結體4導通和電信號的輸出。
[0019]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種半導體氣敏元件，其特征在于，包括塑料底座，所述塑料底座上設置有對稱測量電極、對稱引出電極，所述對稱測量電極之間通過金屬導線連接，所述對稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述31102燒結體設置在金屬導線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網罩構成封閉結構。
2.根據權利要求1所述一種半導體氣敏元件，其特征在于，所述加熱絲設置于SnO2燒結體內或設置于SnO2燒結體外。
3.根據權利要求1所述一種半導體氣敏元件，其特征在于，所述SnO2燒結體內設置有對稱測定電阻。
4.根據權利要求3所述一種半導體氣敏元件，其特征在于，所述對稱測定電阻一端與對稱測量電極連接，一端通過電熱絲與對稱引出電極連接。
【專利摘要】本實用新型涉及一種半導體氣敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上設置有對稱測量電極、對稱引出電極，所述對稱測量電極之間通過金屬導線連接，所述對稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述SnO2燒結體設置在金屬導線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網罩構成封閉結構。本實用新型結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高。
【IPC分類】G01N27-12
【公開號】CN204330661
【申請?zhí)枴緾N201420574382
【發(fā)明人】李 杰
【申請人】重慶澤嘉機械有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年9月30日