一種半導(dǎo)體氣敏元件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件，尤其涉及一種半導(dǎo)體氣敏元件。
【背景技術(shù)】
[0002]氣敏傳感器的應(yīng)用主要有:一氧化碳?xì)怏w的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂勠11、R12蘺檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。它將氣體種類及其與濃度有關(guān)的信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)根據(jù)這些電信號(hào)的強(qiáng)弱就可以獲得與待測氣體在環(huán)境中的存在情況有關(guān)的信息從而可以
[0003]進(jìn)行檢測、監(jiān)控、報(bào)警還可以通過接口電路與計(jì)算機(jī)組成自動(dòng)檢測、控制和報(bào)警系統(tǒng)。
[0004]目前實(shí)際使用最多的是半導(dǎo)體氣敏傳感器，但由于現(xiàn)有氣敏傳感器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、響應(yīng)速度慢、靈敏度低，極大的限制了半導(dǎo)體氣敏器件的應(yīng)用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、響應(yīng)速度快、靈敏度高的氣敏元件。
[0006]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種半導(dǎo)體氣敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上設(shè)置有對(duì)稱測量電極、對(duì)稱引出電極，所述對(duì)稱測量電極之間通過金屬導(dǎo)線連接，所述對(duì)稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述31!02燒結(jié)體設(shè)置在金屬導(dǎo)線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網(wǎng)罩構(gòu)成封閉結(jié)構(gòu)。
[0007]所述SnO2燒結(jié)體用于對(duì)氣體的吸附和釋放，當(dāng)SnO 2燒結(jié)體吸附或釋放氣體時(shí)，質(zhì)量和導(dǎo)電率會(huì)發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，SnO2燒結(jié)體導(dǎo)電率發(fā)生相應(yīng)變化，從而作為測定量對(duì)氣體進(jìn)行監(jiān)測。
[0008]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
[0009]進(jìn)一步，所述加熱絲設(shè)置于SnO2燒結(jié)體內(nèi)或設(shè)置于SnO 2燒結(jié)體外，所述加熱絲設(shè)置于31102燒結(jié)體內(nèi)，有利于縮短加熱時(shí)間，從而提升響應(yīng)速度，但封裝工藝較復(fù)雜。
[0010]進(jìn)一步，所述51102燒結(jié)體內(nèi)設(shè)置有對(duì)稱測定電阻，所述對(duì)稱測定電阻根據(jù)SnO 2燒結(jié)體導(dǎo)電率的變化而變化，從而最終實(shí)現(xiàn)氣體濃度轉(zhuǎn)化為電信號(hào)輸出。
[0011]進(jìn)一步，所述對(duì)稱測定電阻一端與對(duì)稱測量電極連接，一端通過電熱絲與對(duì)稱引出電極連接，用于31102燒結(jié)體導(dǎo)通和電信號(hào)的輸出。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、響應(yīng)速度快、靈敏度高。
【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明一種半導(dǎo)體氣敏元件結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明一種半導(dǎo)體氣敏元件SnO2燒結(jié)體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:1、塑料底座，2、對(duì)稱引出電極，3、不銹鋼絲網(wǎng)罩，4、51102燒結(jié)體，5、加熱絲，6、對(duì)稱測量電極，7、金屬導(dǎo)線，8、對(duì)稱測定電阻。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0016]如圖1所示，一種半導(dǎo)體氣敏元件，包括塑料底座1，所述塑料底座I上設(shè)置有對(duì)稱測量電極6、對(duì)稱引出電極2，所述對(duì)稱測量電極6之間通過金屬導(dǎo)線7連接，所述對(duì)稱引出電極2之間通過加熱絲5連接，所述SnO2燒結(jié)體4設(shè)置在金屬導(dǎo)線7與加熱絲5之上，所述塑料底座I與不銹鋼絲網(wǎng)罩3構(gòu)成封閉結(jié)構(gòu)。
[0017]所述SnO2燒結(jié)體4用于對(duì)氣體的吸附和釋放，當(dāng)SnO2燒結(jié)體4吸附或釋放氣體時(shí)，質(zhì)量和導(dǎo)電率會(huì)發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，SnO2燒結(jié)體4導(dǎo)電率發(fā)生相應(yīng)變化，從而作為測定量對(duì)氣體進(jìn)行監(jiān)測。
[0018]所述加熱絲5設(shè)置于SnO2燒結(jié)體4內(nèi)或設(shè)置于SnO 2燒結(jié)體4外，所述加熱絲5設(shè)置于SnO2燒結(jié)體4內(nèi)，有利于縮短加熱時(shí)間，從而提升響應(yīng)速度，但封裝工藝較復(fù)雜；所述SnO2燒結(jié)體4內(nèi)設(shè)置有對(duì)稱測定電阻8，所述對(duì)稱測定電阻8根據(jù)SnO2燒結(jié)體4導(dǎo)電率的變化而變化，從而最終實(shí)現(xiàn)氣體濃度轉(zhuǎn)化為電信號(hào)輸出；所述對(duì)稱測定電阻8 —端與對(duì)稱測量電極2連接，一端通過電熱絲5與對(duì)稱引出電極6連接，用于SnO2燒結(jié)體4導(dǎo)通和電信號(hào)的輸出。
[0019]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體氣敏元件，其特征在于，包括塑料底座，所述塑料底座上設(shè)置有對(duì)稱測量電極、對(duì)稱引出電極，所述對(duì)稱測量電極之間通過金屬導(dǎo)線連接，所述對(duì)稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述31102燒結(jié)體設(shè)置在金屬導(dǎo)線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網(wǎng)罩構(gòu)成封閉結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體氣敏元件，其特征在于，所述加熱絲設(shè)置于SnO2燒結(jié)體內(nèi)或設(shè)置于SnO2燒結(jié)體外。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種半導(dǎo)體氣敏元件，其特征在于，所述SnO2燒結(jié)體內(nèi)設(shè)置有對(duì)稱測定電阻。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種半導(dǎo)體氣敏元件，其特征在于，所述對(duì)稱測定電阻一端與對(duì)稱測量電極連接，一端通過電熱絲與對(duì)稱引出電極連接。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體氣敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上設(shè)置有對(duì)稱測量電極、對(duì)稱引出電極，所述對(duì)稱測量電極之間通過金屬導(dǎo)線連接，所述對(duì)稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述SnO2燒結(jié)體設(shè)置在金屬導(dǎo)線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網(wǎng)罩構(gòu)成封閉結(jié)構(gòu)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、響應(yīng)速度快、靈敏度高。
【IPC分類】G01N27-12
【公開號(hào)】CN104614412
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410521501
【發(fā)明人】李 杰
【申請(qǐng)人】重慶澤嘉機(jī)械有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請(qǐng)日】2014年9月30日