實施例中所公開的本發(fā)明特征可以不僅單獨地而且以任何一種組合形式都對于以其不同的實施方式實現(xiàn)本發(fā)明是重要的。
[0139]附圖標記說明
[0140]I電絕緣基底
[0141]2，3加熱螺旋絲
[0142]4到加熱螺旋絲的引線
[0143]5共同引線
[0144]6到溫度傳感器的引線
[0145]7溫度傳感器
[0146]8共同部分
[0147]10 螺紋
[0148]12 銷 / 線
[0149]14擴寬的導電層
[0150]16連接端
[0151]20絕緣層
[0152]21絕緣層
[0153]22第二基底
[0154]24絕緣件/應力消除件
[0155]26陶瓷塊
[0156]28鋼套管
[0157]30管接頭件
[0158]32玻璃制品
[0159]42加熱螺旋絲
[0160]43電極
[0161]52電極
[0162]53電極
[0163]60基底
[0164]62加熱器
[0165]64接線墊
[0166]66鈍化層
[0167]68鉑厚層
[0168]70激光結(jié)構(gòu)化的鉑厚層
【主權(quán)項】
1.一種制造碳煙傳感器的方法，其包括以下方法步驟: 在電絕緣基底(1，20，60)上施加一個連貫的金屬層(68); 利用激光束通過蒸發(fā)所述金屬層(68)的一些區(qū)域?qū)⑺鼋饘賹?68)結(jié)構(gòu)化，其中，產(chǎn)生至少兩個相互嵌套的、連貫的電傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)，并且所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)利用激光束如此在空間上彼此間隔且相互電隔離，即，所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)沿總長度上基本上并列地、并且在該區(qū)域內(nèi)緊密排列地延伸。2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征是，以預結(jié)構(gòu)化的方式將所述金屬層￠8)施加在所述電絕緣基底(1，20)上，其中，最好至少將用于所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)的電接觸的、擴寬的導電層(14)預結(jié)構(gòu)化，；尤其最好是將至所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)的整個引線(4，5，14)預結(jié)構(gòu)化。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的方法，其特征是，所述激光束以線、最好是蜿蜒線的形式沿著要產(chǎn)生的傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)的間隔移動經(jīng)過所述金屬層(68)，在此所述金屬層(68)沿著所述線蒸發(fā)，其中，優(yōu)選使在完成結(jié)構(gòu)化的所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)之間的距離對應于所述激光束焦斑的有效橫截面的直徑。4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法，其特征是，所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)沿著其總長度的至少90%并列延伸，優(yōu)選沿著其總長度的至少98%并列延伸。5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法，其特征是，作為電絕緣基底(1，20，60)，采用金屬氧化物基底(1，20，60)或玻璃基底(20)，優(yōu)選陶瓷Al2O3基底(60)或者玻璃層、玻璃陶瓷層或Al2O3層。6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法，其特征是，在所述電絕緣基底(I)的與金屬涂層(68)或碳煙傳感器對置的一側(cè)，或者在所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)旁邊，在所述電絕緣基底(I)上設置溫度傳感器(7)。7.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法，其特征是，在所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)結(jié)構(gòu)化之后，使所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)的引線(4，5，14)完全地且優(yōu)選地使所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)局部地涂覆有由金屬氧化物、玻璃或玻璃陶瓷構(gòu)成的絕緣層(21)，并且所述溫度傳感器(7)優(yōu)選固定在所述絕緣層(21)上，特別優(yōu)選借助玻璃焊料來固定。8.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法，其特征是，首先優(yōu)選按照薄層技術(shù)在陶瓷基底(I)上制成溫度傳感器(7);接著所述電絕緣基底(20)作為層而施加到所述溫度傳感器(7)上；接著將所述連貫的金屬層￠8)施加在所述電絕緣基底(20)上以產(chǎn)生所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)，其中，優(yōu)選在所述溫度傳感器(7)上施加由Al2O3或玻璃或玻璃陶瓷構(gòu)成的層，作為電絕緣基底(20)。9.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法，其特征是，該層結(jié)構(gòu)被固定在連接端(16)上，其中，所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)且優(yōu)選還有所述溫度傳感器(7)與所述連接端(16)的觸點元件(12)電接觸。10.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法，其特征是，形成相互嵌套的加熱螺旋絲(2，3，42)或者電極(43，52，53)，作為所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)。11.一種利用根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法制造的碳煙傳感器，其特征是，所述碳煙傳感器具有電絕緣基底(1，20，60)和至少兩個連貫的電傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)作為結(jié)構(gòu)化金屬層，所述電傳導性結(jié)構(gòu)是相互空間間隔且相互嵌套的，其中，在所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)之間的間隙是利用激光來燒除的，最好使所述間隙至少在局部區(qū)域小于50微米，并且所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)與擴寬的導電層(14)接觸。12.根據(jù)權(quán)利要求11的碳煙傳感器，其特征是，至少使所述擴寬的導電層(14)利用絕緣層(21)覆蓋，優(yōu)選使所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)的與所述擴寬的導電層(14)鄰接的區(qū)域利用絕緣層(21)覆蓋。13.根據(jù)權(quán)利要求11或12的碳煙傳感器，其特征是，所述碳煙傳感器具有連接端(16)和溫度傳感器(7)，其中，所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)作為結(jié)構(gòu)化金屬層布置在所述電絕緣基底(1，20，60)上并且至少在局部區(qū)域用絕緣層(21)覆蓋，其中，所述溫度傳感器(7)作為結(jié)構(gòu)化金屬層布置在所述絕緣層(21)上，或者所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)和所述溫度傳感器(7)布置在相同的電絕緣基底(1，60)上，其中，所述溫度傳感器(7)以及所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)與所述連接端(16)電連接和機械連接。14.根據(jù)權(quán)利要求11至13之一的碳煙傳感器，其特征是，所述電絕緣基底(1，20，60)是陶瓷的金屬氧化物基底(60)，尤其具有Al2O3、鎂氧化物、鋯氧化物、釔氧化物和/或S12,優(yōu)選為陶瓷的Al2O3基底(60)。15.根據(jù)權(quán)利要求11至14之一的碳煙傳感器，其特征是，所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)是用激光結(jié)構(gòu)化的貴金屬厚層(68)，優(yōu)選為鉑厚層(68)，和/或所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)具有最低I歐姆和最高10歐姆的電阻。16.根據(jù)權(quán)利要求11至15之一的碳煙傳感器，其特征是，所述傳導性結(jié)構(gòu)(2，3，42，43，52，53)是相互嵌套的加熱螺旋絲(2，3，42)或電極(43，52，53)。17.一種發(fā)動機尤其是柴油發(fā)動機，其具有根據(jù)權(quán)利要求11至16之一的碳煙傳感器，其中，該碳煙傳感器利用該連接端固定在排氣管道中的開口處，從而使該碳煙傳感器設置在該發(fā)動機的廢氣流中。
【專利摘要】本發(fā)明涉及制造碳煙傳感器的方法，包括以下方法步驟：在電絕緣基底(1)上施加連貫的金屬層；用激光束通過蒸發(fā)金屬層的一些區(qū)域來結(jié)構(gòu)化金屬涂層，在此產(chǎn)生至少兩個相互嵌套的鄰接(接觸)的電傳導性結(jié)構(gòu)(2,3)并且所述電傳導性結(jié)構(gòu)(2,3)利用激光束如此空間相互分隔且相互電絕緣，即該傳導性結(jié)構(gòu)(2,3)關(guān)于其總長度基本并列延伸且在所述區(qū)域內(nèi)緊密并排延伸。本發(fā)明也涉及按照根據(jù)前述權(quán)利要求之一的方法制造的碳煙傳感器，其中，該碳煙傳感器具有電絕緣基底(1)和作為結(jié)構(gòu)化金屬層的至少兩個相互空間分隔的且相互嵌套的連貫的電傳導性結(jié)構(gòu)(2,3)，其中所述傳導性結(jié)構(gòu)(2,3)之間的間隙利用激光被燒空，最好該間隙至少在局部區(qū)域小于50微米，并且使加熱螺旋絲與擴寬的導電層(14)導電接通。
【IPC分類】G01N15/06, G01N27/22, G01N27/04
【公開號】CN105074421
【申請?zhí)枴緾N201480012656
【發(fā)明人】卡爾海因茨·維南德, 馬茨威·青克維奇, 迪特爾·托伊施
【申請人】賀利氏傳感技術(shù)有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2014年2月28日
【公告號】DE102013110291A1, WO2014135450A1