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一種半導(dǎo)體器件特性的測試分析方法與流程

文檔序號:11431252閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件特性的測試分析方法,包括以下方法:X射線無損探傷分析,物理特性外部分析,耐腐蝕特性測試,聲學(xué)掃描顯微鏡測試,先行偏振光檢測方法。本發(fā)明所提供的一種半導(dǎo)體器件特性的測試分析方法,用嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的試驗方法和判定依據(jù),對于半導(dǎo)體器件樣品的品質(zhì)給出了最有效的判定依據(jù),通過一系列的方法逐次排查半導(dǎo)體器件樣品的芯片尺寸、引線鍵合定位、BGA封裝焊球、BGA封裝蓋帽等指標(biāo),測試方法科學(xué),過程中不會產(chǎn)生有害物質(zhì)。

技術(shù)研發(fā)人員:李陽
受保護的技術(shù)使用者:合肥仁德電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.22
技術(shù)公布日:2017.08.29
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