專利名稱：圓片測試參數(shù)分析方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種工藝參數(shù)分析方法，特別涉及一種圓片測試參數(shù)的分析方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造技術(shù)中，要完成一半導(dǎo)體產(chǎn)品通常要經(jīng)過許多個工藝，例如微影工藝、蝕刻工藝、離子注入工藝等；亦即在半導(dǎo)體制造過程中必須應(yīng)用到龐大數(shù)量的機(jī)臺，以及許多繁瑣的程序。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員均致力于確保機(jī)臺運(yùn)作正常、維持或提高產(chǎn)品成品率、檢測確認(rèn)問題點(diǎn)以及機(jī)臺維修等作業(yè)，以期使半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)速度及品質(zhì)能夠合乎客戶需求。
一般而言，要探討半導(dǎo)體工藝的問題可以從下列數(shù)項數(shù)據(jù)著手進(jìn)行分析，包括工藝參數(shù)數(shù)據(jù)、線上品質(zhì)測試(In-line QC)數(shù)據(jù)、缺陷檢測(defect inspection)數(shù)據(jù)、樣品測試(sample test)數(shù)據(jù)、圓片測試(wafer test)數(shù)據(jù)以及封裝后測試(final test)數(shù)據(jù)。其中，圓片測試數(shù)據(jù)是對圓片進(jìn)行特性測試(pause refresh test)、功能測試(functiontest)及電源供應(yīng)電流測試(IDDQ test)所得到的測試值。
在原有技術(shù)中，請參照圖1所示，首先進(jìn)行步驟101，此時技術(shù)人員會針對每一圓片進(jìn)行各項圓片測試項目的測試，如特性測試、功能測試及電源供應(yīng)電流測試。
接著，在步驟102中，技術(shù)人員會觀察每一圓片的各項圓片測試項目的結(jié)果，以便找出圓片測試結(jié)果有偏差的產(chǎn)品；如圖2所示，在一片圓片2中會切割成多個小片(die)，其中包括有多個次品小片21(以黑色顯示)以及多個合格的小片22(以白色顯示)，而圖2即表示圓片測試參數(shù)值的分布圖。
在步驟103，由技術(shù)人員根據(jù)經(jīng)驗，以及自步驟102中所選出的異常產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值分布圖，來判斷可能有問題的工藝流程站別，如微影工藝流程、蝕刻工藝流程、離子注入工藝流程等。
最后，在步驟104中，技術(shù)人員檢查步驟103所判斷的工藝流程站別中的各機(jī)臺，以便找出異常的機(jī)臺。舉例而言，依據(jù)圖2所示的分布圖，技術(shù)人員可以判斷出有問題的工藝流程站別為某一金屬層的形成過程有問題，所以可以搜索形成此金屬層的工藝流程站別，并檢查出異常的機(jī)臺，如沉積機(jī)臺、蝕刻機(jī)臺等。
然而，由于在原有技術(shù)中乃是利用個人經(jīng)驗判斷來決定分析結(jié)果(步驟103)，所以最后分析出來的結(jié)果的精確度及可信度將有待商榷；再加上半導(dǎo)體制造業(yè)的人員更迭頻繁，導(dǎo)致前后期工程師之間的經(jīng)驗積累、傳授不易，且每一位工程師能力有限、無法兼顧廠區(qū)所有機(jī)臺的操作狀態(tài)，故當(dāng)半導(dǎo)體產(chǎn)品的測試結(jié)果發(fā)生異常時，工程師不見得有足夠的經(jīng)驗快速且正確地判斷出是哪一個環(huán)節(jié)出問題，因而可能必須耗費(fèi)許多時間來進(jìn)行相關(guān)研究，甚至有可能做出錯誤的判斷，如此一來，不但降低工藝流程的效率、增加生產(chǎn)成本，還無法及時改善線上生產(chǎn)情形以提高成品率。
因此，如何提供一種能夠在半導(dǎo)體產(chǎn)品的圓片測試數(shù)據(jù)發(fā)生異常時，快速且正確地判斷出是哪一個環(huán)節(jié)出問題的分析方法，正是當(dāng)前半導(dǎo)體制造技術(shù)的重要課題之一。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于上述課題，本發(fā)明的目的為提供一種能夠在半導(dǎo)體產(chǎn)品的圓片測試數(shù)據(jù)發(fā)生異常時，快速且正確地判斷出是哪一個環(huán)節(jié)出問題的圓片測試參數(shù)分析方法。
本發(fā)明的特征系以成品率高的產(chǎn)品為對照組，并將與各項圓片測試項目相關(guān)的其它工藝流程項目記錄于數(shù)據(jù)庫中。
因此，為達(dá)上述目的，依本發(fā)明的圓片測試參數(shù)分析方法系用以分析多批分別具有一批號的產(chǎn)品，其系經(jīng)過多個機(jī)臺所制得，而每批產(chǎn)品中的每一個圓片至少經(jīng)過一圓片測試項目的檢測以產(chǎn)生一圓片測試參數(shù)值，圓片測試項目及其參數(shù)值、以及與圓片測試項目相關(guān)的一樣品測試項目、一線上品質(zhì)檢測項目以及一工藝流程站別儲存于一數(shù)據(jù)庫中，本方法包括如下的多個步驟
依據(jù)成品率而將多批產(chǎn)品區(qū)分為至少二產(chǎn)品組，包括一高成品率產(chǎn)品組及一低成品率產(chǎn)品組；依據(jù)高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第一標(biāo)準(zhǔn)值；對比低成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值與第一標(biāo)準(zhǔn)值，以自低成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的批號中刪除等于或優(yōu)于第一標(biāo)準(zhǔn)值的產(chǎn)品的批號；于刪除操作之后，判斷低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，自數(shù)據(jù)庫中搜索與圓片測試項目相關(guān)的樣品測試項目、線上品質(zhì)檢測項目或工藝流程站別；以及當(dāng)判斷低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止搜索操作。
另外，本發(fā)明還提供了另一種圓片測試參數(shù)分析方法，其用以分析多批分別具有一批號的產(chǎn)品，其系經(jīng)過多個機(jī)臺所制得，而每批產(chǎn)品中的每一個圓片至少經(jīng)過一圓片測試項目的檢測以產(chǎn)生一圓片測試參數(shù)值，此圓片測試項目包括對各圓片的每一小片進(jìn)行多種電子測試，而圓片測試參數(shù)值為各種電子測試的統(tǒng)計結(jié)果，本方法包括如下的多個步驟依據(jù)成品率而將多批產(chǎn)品區(qū)分為至少二產(chǎn)品組，其包括一高成品率產(chǎn)品組及一低成品率產(chǎn)品組；依據(jù)高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第一標(biāo)準(zhǔn)值；對比低成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值與第一標(biāo)準(zhǔn)值，以自低成品率產(chǎn)品組的批號中刪除等于或優(yōu)于第一標(biāo)準(zhǔn)值的產(chǎn)品批號；于刪除操作之后，判斷低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止分析操作；而當(dāng)判斷低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，進(jìn)行下列步驟搜索低成品率產(chǎn)品組的各圓片的每一小片的各種電子測試值；定義各圓片上不合乎各種電子測試規(guī)格的小片為目標(biāo)小片，并取得各圓片的一目標(biāo)小片分布圖；將各圓片的目標(biāo)小片分布圖與圓片測試參數(shù)值分布圖進(jìn)行疊圖操作；將重疊比率大于一第二標(biāo)準(zhǔn)值的圓片挑出并定義為一目標(biāo)圓片；將低成品率產(chǎn)品組中包含目標(biāo)圓片的數(shù)目大于一第三標(biāo)準(zhǔn)值的產(chǎn)品的批號挑出；及自數(shù)據(jù)庫中搜索與圓片測試項目相關(guān)的樣品測試項目或工藝流程站別。
如上所述，因依本發(fā)明的圓片測試參數(shù)分析方法系以成品率高的產(chǎn)品為對照組，并將與各項圓片測試項目相關(guān)的其它工藝流程項目記錄于數(shù)據(jù)庫中，從而能夠正確地判斷出有問題的工藝流程站別，進(jìn)而找出異常的機(jī)臺，所以能夠有效地減少人為判斷的錯誤而提高工藝流程的效率、減少生產(chǎn)成本、并及時改善線上生產(chǎn)情形以提高成品率。


圖1為一流程圖，顯示原有技術(shù)的圓片測試參數(shù)分析方法的流程；圖2為一示意圖，顯示圓片的圓片測試參數(shù)值分布圖；圖3為一流程圖，顯示依本發(fā)明第一較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法的流程；圖4為一流程圖，顯示接續(xù)圖3所示流程圖的流程；圖5為一流程圖，顯示接續(xù)圖4所示流程圖的流程；圖6為一流程圖，顯示依本發(fā)明第二較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法的流程；圖7為一流程圖，顯示接續(xù)圖6所示流程圖的流程；圖8為一示意圖，顯示圓片的目標(biāo)小片分布圖；圖9為一流程圖，顯示接續(xù)圖7所示流程圖的流程；圖10為一流程圖，顯示接續(xù)圖9所示流程圖的流程；圖11為一流程圖，顯示依本發(fā)明第三較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法的流程；以及圖12為一流程圖，顯示接續(xù)圖11所示流程圖的流程。
具體實施例方式
以下將參照相關(guān)附圖，說明根據(jù)本發(fā)明較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法，其中相同的組件將以相同的參照符號加以說明。
請參照圖3至圖5，圖中顯示本發(fā)明第一較佳實施例的流程圖。此實施例利用圓片測試項目A的結(jié)果進(jìn)行分析，并預(yù)計找出問題機(jī)臺。
如圖3所示，首先，在步驟301中，根據(jù)本發(fā)明較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法，先搜索數(shù)批產(chǎn)品的成品率，然后在步驟302中，將成品率大于等于一默認(rèn)值(如70％)的數(shù)批產(chǎn)品設(shè)定為A組(高成品率產(chǎn)品組)產(chǎn)品，例如包括批號1、2、3、4、及5(如步驟303所示)；以及將成品率低于默認(rèn)值(如70％)的數(shù)批產(chǎn)品設(shè)定為B組(低成品率產(chǎn)品組)產(chǎn)品，例如包括批號6、7、8、9、及10(如步驟304所示)。
其中，每一批(lot)產(chǎn)品具有一批號(lot number)，且每批產(chǎn)品包括有25片圓片，而每批產(chǎn)品都經(jīng)過多道工藝流程的多個機(jī)臺。就一圓片測試項目而言，例如項目A，對每片圓片的每一個小片(die)進(jìn)行多道電子測試，并獲得每一個小片的電子測試參數(shù)值。對于每種電子測試項目，皆設(shè)有一控制標(biāo)準(zhǔn)(control spec)。當(dāng)一小片的電子測試參數(shù)值合乎控制標(biāo)準(zhǔn)，則認(rèn)為通過此電子測試項目；而當(dāng)一小片不合乎控制標(biāo)準(zhǔn)，則認(rèn)為無法通過此電子測試項目，并且，在此一階段，此小片的圓片測試項目A就算是不合格(fail)。是故，當(dāng)一片圓片的所有小片皆經(jīng)過圓片測試項目A所包含的電子測試過程后，技術(shù)人員即可以獲得此圓片的圓片測試參數(shù)分布圖，如圖2所示。此外，技術(shù)人員可將此圓片的圓片測試項目A的合格小片數(shù)目，除以總小片數(shù)目，而獲得一數(shù)值，此數(shù)值稱為此圓片的圓片測試參數(shù)值。而一批產(chǎn)品(onelot)的圓片測試參數(shù)值則是其包含的總圓片數(shù)的圓片測試參數(shù)值的平均值。
至于一批產(chǎn)品的成品率，則是通過種種測試項目，包括圓片測試項目、線上品質(zhì)檢測項目、樣品測試項目等等測試后所獲得的產(chǎn)品優(yōu)劣的代表值。
請參見圖3的步驟305，會先就A組產(chǎn)品的圓片測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析，找出A組產(chǎn)品中具有代表性的圓片測試參數(shù)值KA。接著，參見步驟306，在B組產(chǎn)品中，以KA作為標(biāo)準(zhǔn)，刪除B組產(chǎn)品中圓片測試參數(shù)值等于或優(yōu)于KA值的產(chǎn)品，亦即，在此低成品率產(chǎn)品組中，過濾掉通過圓片測試項目A(即其圓片測試參數(shù)值優(yōu)于KA)的產(chǎn)品批號。之后，步驟307判斷在B組產(chǎn)品中剩下的批數(shù)是否為零，若為零，則停止分析操作。若批數(shù)不為零，則轉(zhuǎn)至圖4，此處需說明的是，當(dāng)批數(shù)不為零時，代表這幾批在B組產(chǎn)品中剩余的產(chǎn)品，其成品率低的原因可能與其圓片測試項目A不合格(fail)有關(guān)。
參見圖4中步驟401，當(dāng)圖3的結(jié)果顯示出前述在B組產(chǎn)品中剩余的成品率低的產(chǎn)品與圓片測試項目A不合格相關(guān)時，將自一經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫中搜索相關(guān)可用的信息。根據(jù)以往的經(jīng)驗，有經(jīng)驗的工程師追蹤問題時，會根據(jù)其經(jīng)驗判斷“當(dāng)圓片測試項目A不合格時，可能與何種原因相關(guān)？”，其答案可能是“應(yīng)該追蹤樣品測試項目(sampletest)的某一個項目、或者應(yīng)該追蹤線上品質(zhì)檢測項目的某一個項目、或者可以直接判斷與哪一個工藝流程站別相關(guān)?！笔枪?，此一經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫由有經(jīng)驗的工程師將其經(jīng)驗輸入所述系統(tǒng)，用以提供一種計算機(jī)自動判斷追蹤路徑的方向。當(dāng)然，此經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫，也可由計算機(jī)自行更新，從而將后續(xù)問題追蹤過程中所獲得的經(jīng)驗自行儲存至此經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫中。
步驟402中，當(dāng)此經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫顯示圓片測試項目A與一樣品測試項目相關(guān)時，則進(jìn)行步驟403，以搜索A組產(chǎn)品的此樣品測試項目數(shù)據(jù)，同樣地，進(jìn)行統(tǒng)計分析操作，以求出其具代表性的樣品測試參數(shù)值(可為一平均值)vA。接著，步驟404以vA值為標(biāo)準(zhǔn)，將B組產(chǎn)品經(jīng)過步驟306后所剩余的產(chǎn)品的樣品測試結(jié)果等于或優(yōu)于vA值的產(chǎn)品批號刪除。然后，步驟405判斷剩余的產(chǎn)品批號是否為零，若為零，則停止分析操作；若不為零則進(jìn)行步驟406，其自經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫中搜索當(dāng)樣品測試項目不合格時所應(yīng)追蹤的項目。若經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫顯示應(yīng)追蹤一工藝流程站別(步驟408)，則轉(zhuǎn)至圖5的流程。若經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫顯示應(yīng)追蹤一線上品質(zhì)檢測項目(步驟407)，則轉(zhuǎn)至步驟410。
參見步驟409所示，此步驟經(jīng)過步驟401搜索經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫后，顯示圓片測試項目A與一線上品質(zhì)檢測項目相關(guān)。于步驟410中，搜索A組產(chǎn)品的線上品質(zhì)測試數(shù)據(jù)，并進(jìn)行統(tǒng)計分析，求出其具有代表性的線上品質(zhì)測試參數(shù)值(可為一平均值)μA。接著，于步驟411中，以μA值為標(biāo)準(zhǔn)，將B組產(chǎn)品經(jīng)過步驟306后所剩余的產(chǎn)品的線上品質(zhì)測試數(shù)據(jù)等于或優(yōu)于μA的產(chǎn)品批號刪除。再于步驟412中，判斷剩余的產(chǎn)品批號是否為零。若為零，則停止分析操作；若不為零，則進(jìn)行步驟413，以便自經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫中搜索當(dāng)線上品質(zhì)測試結(jié)果不合乎規(guī)格時，應(yīng)追蹤哪一個工藝流程站別(步驟414)，然后轉(zhuǎn)至圖5的流程。
參見步驟415，此步驟經(jīng)過步驟401搜索經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫后，顯示圓片測試項目A不合格時，應(yīng)追蹤的項目為一工藝流程站別，此時轉(zhuǎn)至圖5的流程以進(jìn)行后續(xù)步驟。
請參照圖5，于步驟501中，其先搜索被追蹤的工藝流程站別都包括哪些機(jī)臺，例如E1，E2，E3...。接著，步驟502計算B組產(chǎn)品中，經(jīng)過步驟306、步驟404或步驟411的刪除操作后，剩余產(chǎn)品批號的產(chǎn)品經(jīng)過此工藝流程站別的該機(jī)臺的機(jī)率。另外，而步驟503則計算A組產(chǎn)品經(jīng)過此工藝流程站別的該機(jī)臺的機(jī)率。然后，于步驟504中，利用共通性分析方法，找出經(jīng)過步驟306、步驟404或步驟411的刪除操作后，B組產(chǎn)品的剩余產(chǎn)品批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率最高的機(jī)臺。由步驟504所求得的這些B組產(chǎn)品剩余產(chǎn)品批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率最高的機(jī)臺，就是依本發(fā)明較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法所分析出的可能有問題的機(jī)臺。
另外，請參見圖6至圖10，圖中顯示依本發(fā)明第二較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法的流程圖。由圖6可看出，自步驟601至步驟607與圖3的流程相同，故不再贅述，其中，若步驟607判斷在B組產(chǎn)品中剩下的批數(shù)不為零時，則轉(zhuǎn)至圖7。此第二較佳實施例系用以分析另一圓片測試項目，例如圓片測試項目B的方法。
參見圖7，步驟701搜索經(jīng)過步驟606的刪除操作后B組產(chǎn)品中剩余批號的產(chǎn)品，以取得所搜索的每批產(chǎn)品中每一個圓片上每個小片的多種電子測試結(jié)果。在本實施例中，有些電子測試項目系依層別來進(jìn)行測試，因此可獲得各層的電子測試參數(shù)值。接著，于步驟702中，將不合測試規(guī)格的小片定義為目標(biāo)小片“a”，同時可獲得每片圓片的目標(biāo)小片分布圖，如圖8所示，其中，目標(biāo)小片81以“a”表示，而其它小片82以白色表示(即空白)；應(yīng)注意，因有多種電子測試項目和多個層別，故每片圓片將會有多張目標(biāo)小片分布圖，換言之，各圓片的每一層都會具有一對應(yīng)的目標(biāo)小片分布圖。接著，步驟703將每片圓片的目標(biāo)小片分布圖(如圖8所示)與其圓片測試參數(shù)值分布圖(如圖2所示)進(jìn)行疊圖操作。
參見步驟704，其判斷每片圓片的目標(biāo)小片分布圖與圓片測試參數(shù)值分布圖的重疊比率是否大于一默認(rèn)值，例如30％。若否，則此片圓片不作標(biāo)記(步驟705)；若是，則將此片圓片標(biāo)記為目標(biāo)圓片“z”(步驟706)。接著，步驟707判斷每批產(chǎn)品中所包含的目標(biāo)圓片的數(shù)量是否大于等于其總片數(shù)的一定比例，例如大于等于50％，以上。若否，則進(jìn)行步驟708以刪除此產(chǎn)品批號；若是，則保留此產(chǎn)品批號(步驟709)，并接著進(jìn)行轉(zhuǎn)至圖9的流程。
參見圖9所示步驟901，依本發(fā)明第二較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法系自經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫中搜索與圓片測試項目B相關(guān)的樣品測試項目或工藝流程站別。在步驟902中，當(dāng)此經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫顯示圓片測試項目B與一樣品測試項目相關(guān)時，則進(jìn)行步驟903。而步驟903會搜索A組產(chǎn)品的樣品測試數(shù)據(jù)，并進(jìn)行統(tǒng)計分析以求出一代表值，例如平均值vA。接著，于步驟904中，以平均值vA為標(biāo)準(zhǔn)，將B組產(chǎn)品經(jīng)過步驟707后所保留的產(chǎn)品批號的樣品測試結(jié)果等于或優(yōu)于vA值的產(chǎn)品批號刪除。然后在步驟905中，判斷經(jīng)過步驟904的刪除操作后剩余批號的數(shù)量是否為零。若為零，則停止分析操作；若不為零，則進(jìn)行步驟906，以便自經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫中搜索與此樣品測試項目相關(guān)的工藝流程站別。當(dāng)經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫顯示此樣品測試項目與一工藝流程站別相關(guān)時(步驟907)，則轉(zhuǎn)至如圖10所示流程。
另外，如步驟909所示，當(dāng)經(jīng)過步驟901而搜索經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫，顯示出圓片測試項目B與一工藝流程站別相關(guān)時，則轉(zhuǎn)至如圖10所示流程。
請參照圖10，其分析流程(步驟S01～S04)與圖5的步驟501～504相同，故此處不再贅述。因此，依圖6、圖7、圖9及圖10的分析流程，依本發(fā)明第二較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法能夠搜索出可能有問題的機(jī)臺。
最后，請參照圖11與圖12所示，其顯示依本發(fā)明第三較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法。
如圖11所示，其中步驟S11～S17與圖3所示步驟301～307相同，故此處不再贅述。接著，在步驟S18中，搜索經(jīng)過步驟S16后所剩余的每批產(chǎn)品是否具有缺陷(defect)；在本實施例中，此搜索步驟系針對每批產(chǎn)品的每片圓片進(jìn)行搜索，若一批產(chǎn)品中包含一片以上的具有缺陷的圓片，則判定此批產(chǎn)品為具有缺陷的產(chǎn)品。若否，則停止分析；若是，則進(jìn)行步驟S19，挑出具有缺陷的產(chǎn)品批號。接著，于步驟S20中找出具有缺陷的圓片的缺陷分布圖；應(yīng)注意，一片圓片可能在不同的層上均具有缺陷，此時該圓片會具有一張以上的缺陷分布圖。
接著，于步驟S21中，其利用疊圖的方式對比由步驟S20所找出的缺陷分布圖與該片圓片的圓片測試參數(shù)值分布圖，并計算出二分布圖的重疊比率。然后，于步驟S22中判斷重疊比率是否大于等于一默認(rèn)值，例如為50％，若否，則略過此層，當(dāng)所有層皆略過時停止分析；若是，則進(jìn)行步驟S26。
同時，參見步驟S23，其計算每片圓片各層別的缺陷數(shù)目。再于步驟S24中，將步驟S23所算出的缺陷數(shù)目除以該圓片不合圓片測試規(guī)格的小片數(shù)(dies)，以求得一比值。接著，于步驟S25中，判斷步驟S24所求得的比值是否大于等于一默認(rèn)值，如大于等于50％；若否，則略過圓片的該層；若是，則進(jìn)行步驟S26。
于步驟S26中，其將經(jīng)過上述步驟分析后的產(chǎn)品批號、層別數(shù)據(jù)及缺陷數(shù)目等數(shù)據(jù)挑出，以便之后進(jìn)行轉(zhuǎn)至圖12所示流程。
請參見圖12，在步驟S31，根據(jù)圖12的步驟S26所挑出的層別，自經(jīng)驗累積數(shù)據(jù)庫中搜索與此層別相關(guān)的工藝流程站別，而步驟S32顯示經(jīng)過步驟S31的搜索后，應(yīng)追蹤的項目為一工藝流程站別。由圖12可知，步驟S33～S36與圖5的步驟501～504流程相同，故此處不再重復(fù)敘述。因此，由步驟S31至步驟S36的分析流程，依本發(fā)明第二較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法能夠搜索出可能有問題的機(jī)臺。
同時，根據(jù)圖11的步驟S26所獲得的缺陷數(shù)目，如圖12所示步驟S37會進(jìn)行統(tǒng)計分析操作，其求出一代表值來作為該層的缺陷數(shù)目控制標(biāo)準(zhǔn)。同時，于步驟S38中，根據(jù)此一缺陷數(shù)目控制標(biāo)準(zhǔn)，依本發(fā)明較佳實施例的圓片測試參數(shù)分析方法能夠在后續(xù)制作此層別的產(chǎn)品中，預(yù)測此產(chǎn)品的成品率。
綜上所述，由于依本發(fā)明的圓片測試參數(shù)分析方法以統(tǒng)計分析及共通性分析方法分析圓片測試參數(shù)數(shù)據(jù)，進(jìn)而正確地判斷出有問題的工藝流程站別，從而找出有問題的機(jī)臺，所以能夠有效地減少人為判斷的錯誤，提高工藝流程的效率、減少生產(chǎn)成本、并及時改善線上生產(chǎn)情形以提高成品率。
以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇，而對其進(jìn)行的等效修改或變更，均應(yīng)包含于所附權(quán)利要求書范圍中。
權(quán)利要求
1.一種圓片測試參數(shù)分析方法，其系用以分析多批分別具有一批號的產(chǎn)品，該多批產(chǎn)品經(jīng)過多個機(jī)臺所制得，而每批產(chǎn)品中的每一個圓片至少經(jīng)過一圓片測試項目的檢測而產(chǎn)生一圓片測試參數(shù)值，該圓片測試項目及與該圓片測試項目相關(guān)的一樣品測試項目、一線上品質(zhì)檢測項目以及一工藝流程站別儲存于一數(shù)據(jù)庫中，該數(shù)據(jù)庫亦儲存有該圓片測試參數(shù)值，所述圓片測試參數(shù)分析方法包含依據(jù)成品率將該多批產(chǎn)品區(qū)分為至少二產(chǎn)品組，該產(chǎn)品組包含一高成品率產(chǎn)品組及一低成品率產(chǎn)品組；依據(jù)該高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第一標(biāo)準(zhǔn)值；對比該低成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值與該第一標(biāo)準(zhǔn)值，以自該低成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的批號中刪除等于或優(yōu)于該第一標(biāo)準(zhǔn)值的該批產(chǎn)品的批號；于刪除操作之后，判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，自該數(shù)據(jù)庫中搜索以下內(nèi)容的至少其中一項內(nèi)容與該圓片測試項目相關(guān)的該樣品測試項目、該線上品質(zhì)檢測項目及該工藝流程站別；以及當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止搜索操作。
2.如權(quán)利要求1所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該圓片測試項目與該樣品測試項目相關(guān)時，該圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含依據(jù)該高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的樣品測試項目的結(jié)果，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第二標(biāo)準(zhǔn)值；對比該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品的樣品測試項目的結(jié)果與該第二標(biāo)準(zhǔn)值，以自該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號中刪除等于或優(yōu)于該第二標(biāo)準(zhǔn)值的該批產(chǎn)品的批號；于刪除操作之后，判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，自該數(shù)據(jù)庫中搜索以下內(nèi)容的至少其中一項內(nèi)容與該樣品測試項目相關(guān)的該線上品質(zhì)檢測項目及該工藝流程站別；以及當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止搜索操作。
3.如權(quán)利要求2所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該樣品測試項目與該線上品質(zhì)測試項目相關(guān)時，該圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含依據(jù)該高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的線上品質(zhì)測試項目的結(jié)果，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第三標(biāo)準(zhǔn)值；對比該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品的線上品質(zhì)測試項目的結(jié)果與該第三標(biāo)準(zhǔn)值，以自該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號中刪除等于或優(yōu)于該第三標(biāo)準(zhǔn)值的該批產(chǎn)品的批號；于刪除操作之后，判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，自該數(shù)據(jù)庫中搜索與該線上品質(zhì)測試項目相關(guān)的該工藝流程站別的其中至少一個站別；以及當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止搜索操作。
4.如權(quán)利要求3所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該線上品質(zhì)測試項目與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
5.如權(quán)利要求4所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
6.如權(quán)利要求1所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該圓片測試項目與該線上品質(zhì)測試項目相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含依據(jù)該高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的線上品質(zhì)測試項目的結(jié)果，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第三標(biāo)準(zhǔn)值；對比該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品的線上品質(zhì)測試項目的結(jié)果與該第三標(biāo)準(zhǔn)值，以自該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號中刪除等于或優(yōu)于該第三標(biāo)準(zhǔn)值的該批產(chǎn)品的批號；于刪除操作之后，判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，自該數(shù)據(jù)庫中搜索與該線上品質(zhì)測試項目相關(guān)的該工藝流程站別；以及當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止搜索操作。
7.如權(quán)利要求6所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該線上品質(zhì)測試項目與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
8.如權(quán)利要求7所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
9.如權(quán)利要求1所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該圓片測試項目與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
10.如權(quán)利要求9所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
11.如權(quán)利要求1所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品是否有缺陷；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品無缺陷時，停止搜索操作；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品有缺陷時，取得具有缺陷的產(chǎn)品的批號；于具有缺陷的該批產(chǎn)品中，取得缺陷所在的各圓片上的多個層別，其中各層別分別具有一缺陷分布圖；分析具有缺陷的該批產(chǎn)品的各圓片的圓片測試參數(shù)值分布圖；將該多個層別的缺陷分布圖與該圓片測試參數(shù)值分布圖進(jìn)行疊圖操作，以依據(jù)重疊比率而自該多個層別中取得至少一重疊比率較高的目標(biāo)層別；以及自該數(shù)據(jù)庫中搜索與該目標(biāo)層別相關(guān)的工藝流程站別。
12.如權(quán)利要求11所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該目標(biāo)層別與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
13.如權(quán)利要求12所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
14.如權(quán)利要求11所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該目標(biāo)層別的缺陷數(shù)目，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一作為該目標(biāo)層別的缺陷控制標(biāo)準(zhǔn)的第四標(biāo)準(zhǔn)值。
15.如權(quán)利要求14所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該第四標(biāo)準(zhǔn)值而預(yù)測在后續(xù)工藝中，進(jìn)行至該目標(biāo)層別的產(chǎn)品的成品率。
16.如權(quán)利要求1所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品是否有缺陷；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品無缺陷時，停止搜索操作；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品有缺陷時，取得具有缺陷的產(chǎn)品的批號；于具有缺陷的該批產(chǎn)品中取得缺陷所在的各圓片上的多個層別，其中各層別分別具有一缺陷分布圖；計算該多個層別上的缺陷數(shù)目；分析具有缺陷的該批產(chǎn)品的各圓片的圓片測試參數(shù)值分布圖；將該多個層別的缺陷分布圖與該圓片測試參數(shù)值分布圖進(jìn)行疊圖操作，以取得其重疊比率；分別計算各圓片的多個層別上的缺陷數(shù)目與圓片測試參數(shù)值不合乎規(guī)格的小片數(shù)的比值；判斷該重疊比率是否大于或等于一第五標(biāo)準(zhǔn)值；當(dāng)判斷該重疊比率小于該第五標(biāo)準(zhǔn)值時，略過該層別；當(dāng)判斷該重疊比率大于或等于該第五標(biāo)準(zhǔn)值時，將該層別標(biāo)示為一第一缺陷層；判斷該比值是否大于或等于一第六標(biāo)準(zhǔn)值；當(dāng)判斷該比值小于該第六標(biāo)準(zhǔn)值時，略過該層別；當(dāng)判斷該比值大于或等于該第六標(biāo)準(zhǔn)值時，將該層別標(biāo)示為一第二缺陷層；搜索包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的圓片的該批產(chǎn)品及其批號；以及自該數(shù)據(jù)庫中搜索至少與該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一相關(guān)的該工藝流程站別。
17.如權(quán)利要求16所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該第一缺陷層及該第二缺陷層其中之至少一與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的圓片的該批產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的圓片的該批產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
18.如權(quán)利要求17所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的圓片的該批產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
19.如權(quán)利要求16所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該第一缺陷層及該第二缺陷層的至少其中之一的缺陷數(shù)目，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一作為該第一缺陷層及該第二缺陷層的至少其中之一的缺陷控制標(biāo)準(zhǔn)的第七標(biāo)準(zhǔn)值。
20.如權(quán)利要求19所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該第七標(biāo)準(zhǔn)值而預(yù)測在后續(xù)工藝中，進(jìn)行至該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的該批產(chǎn)品的成品率。
21.一種圓片測試參數(shù)分析方法，其系用以分析多批分別具有一批號的產(chǎn)品，該多批產(chǎn)品經(jīng)過多個機(jī)臺所制得，而每批產(chǎn)品中的每一個圓片至少經(jīng)過一圓片測試項目的檢測以產(chǎn)生一圓片測試參數(shù)值，該圓片測試項目包含對各圓片的每一小片進(jìn)行多種電子測試，而該圓片測試參數(shù)值為該多種電子測試的統(tǒng)計結(jié)果，該圓片測試項目及與該圓片測試項目相關(guān)的一樣品測試項目、一線上品質(zhì)檢測項目以及工藝流程站別儲存于一數(shù)據(jù)庫中，該數(shù)據(jù)庫亦儲存有該圓片測試參數(shù)值，所述圓片測試參數(shù)分析方法包含依據(jù)成品率而將該多批產(chǎn)品區(qū)分為至少二產(chǎn)品組，該產(chǎn)品組包含一高成品率產(chǎn)品組及一低成品率產(chǎn)品組；依據(jù)該高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第一標(biāo)準(zhǔn)值；對比該低成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的圓片測試參數(shù)值與該第一標(biāo)準(zhǔn)值，以自該低成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的批號中刪除等于或優(yōu)于該第一標(biāo)準(zhǔn)值的該批產(chǎn)品的批號；于刪除操作之后，判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止分析操作；以及當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，進(jìn)行下列步驟搜索該低成品率產(chǎn)品組中各圓片上的每一小片的該多種電子測試值，定義各圓片上不合乎該多種電子測試規(guī)格的小片為目標(biāo)小片，并取得各圓片的一目標(biāo)小片分布圖，將各圓片的該目標(biāo)小片分布圖與該圓片測試參數(shù)值分布圖進(jìn)行疊圖操作，將重疊比率大于一第二標(biāo)準(zhǔn)值的圓片挑出并定義為一目標(biāo)圓片，將該低成品率產(chǎn)品組中包含該目標(biāo)圓片的數(shù)目大于一第三標(biāo)準(zhǔn)值的產(chǎn)品的批號挑出，及自該數(shù)據(jù)庫中搜索以下內(nèi)容的至少其中一項內(nèi)容與該圓片測試項目相關(guān)的該樣品測試項目及該工藝流程站別。
22.如權(quán)利要求21所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該圓片測試項目與該樣品測試項目相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含依據(jù)該高成品率產(chǎn)品組的各批產(chǎn)品的樣品測試項目的結(jié)果以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一第二標(biāo)準(zhǔn)值；對比該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品的樣品測試項目的結(jié)果與該第二標(biāo)準(zhǔn)值，以自該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號中刪除等于或優(yōu)于該第二標(biāo)準(zhǔn)值的該批產(chǎn)品的批號；于刪除操作之后，判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，自該數(shù)據(jù)庫中搜索與該樣品測試項目相關(guān)的該工藝流程站別；以及當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量為零時，停止搜索操作。
23.如權(quán)利要求22所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該樣品測試項目與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
24.如權(quán)利要求23所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
25.如權(quán)利要求21所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該圓片測試項目與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
26.如權(quán)利要求25所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
27.如權(quán)利要求21所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品是否有缺陷；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品無缺陷時，停止搜索操作；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品有缺陷時，取得具有缺陷的產(chǎn)品的批號；于具有缺陷的該批產(chǎn)品中取得缺陷所在的各圓片上的多個層別，其中各層別分別具有一缺陷分布圖；分析具有缺陷的該批產(chǎn)品的各圓片的圓片測試參數(shù)值分布圖；將該多個層別的缺陷分布圖與該圓片測試參數(shù)值分布圖進(jìn)行疊圖操作，以依據(jù)重疊比率而自該多個層別中取得至少一重疊比率較高的目標(biāo)層別；以及自該數(shù)據(jù)庫中搜索與該目標(biāo)層別相關(guān)的工藝流程站別。
28.如權(quán)利要求27所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該目標(biāo)層別與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
29.如權(quán)利要求28所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
30.如權(quán)利要求27所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該目標(biāo)層別的缺陷數(shù)目，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一作為該目標(biāo)層別的缺陷控制標(biāo)準(zhǔn)的第四標(biāo)準(zhǔn)值。
31.如權(quán)利要求30所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該第四標(biāo)準(zhǔn)值預(yù)測在后續(xù)工藝中，進(jìn)行至該目標(biāo)層別的產(chǎn)品的成品率。
32.如權(quán)利要求21所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量不為零時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品是否有缺陷；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品無缺陷時，停止搜索操作；當(dāng)判斷該低成品率產(chǎn)品組中剩余批號的產(chǎn)品有缺陷時，取得具有缺陷的產(chǎn)品的批號；于具有缺陷的該批產(chǎn)品中取得缺陷所在的各圓片上的多個層別，其中各層別分別具有一缺陷分布圖；計算該多個層別上的缺陷數(shù)目；分析具有缺陷的該批產(chǎn)品的各圓片的圓片測試參數(shù)值分布圖；將該多個層別的缺陷分布圖與該圓片測試參數(shù)值分布圖進(jìn)行疊圖操作，以取得其重疊比率；分別計算各圓片的多個層別上的缺陷數(shù)目與圓片測試參數(shù)值不合乎規(guī)格的小片數(shù)的比值；判斷該重疊比率是否大于或等于一第五標(biāo)準(zhǔn)值；當(dāng)判斷該重疊比率小于該第五標(biāo)準(zhǔn)值時，略過該層別；當(dāng)判斷該重疊比率大于或等于該第五標(biāo)準(zhǔn)值時，將該層別標(biāo)示為一第一缺陷層；判斷該比值是否大于或等于一第六標(biāo)準(zhǔn)值；當(dāng)判斷該比值小于該第六標(biāo)準(zhǔn)值時，略過該層別；當(dāng)判斷該比值大于或等于該第六標(biāo)準(zhǔn)值時，將該層別標(biāo)示為一第二缺陷層；搜索包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層其中之一的圓片的該批產(chǎn)品及其批號；以及自該數(shù)據(jù)庫中搜索至少與該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一相關(guān)的該工藝流程站別。
33.如權(quán)利要求32所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其中當(dāng)該數(shù)據(jù)庫的搜索操作的結(jié)果顯示該第一缺陷層及該第二缺陷層的至少其中之一與該工藝流程站別相關(guān)時，所述圓片測試參數(shù)分析方法進(jìn)一步包含搜索該高成品率產(chǎn)品組在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；搜索包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的圓片的該批產(chǎn)品在該工藝流程站別所經(jīng)過的機(jī)臺；以及判斷包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的圓片的該批產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
34.如權(quán)利要求33所述的圓片測試參數(shù)分析方法，其系利用共通性分析方法來判斷包含有至少具有該第一缺陷層及該第二缺陷層的其中之一的圓片的該批產(chǎn)品經(jīng)過機(jī)率高于該高成品率產(chǎn)品組經(jīng)過機(jī)率的機(jī)臺。
35.如權(quán)利要求32所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該第一缺陷層及該第二缺陷層的至少其中之一的缺陷數(shù)目，以統(tǒng)計分析方式產(chǎn)生一作為該第一缺陷層及該第二缺陷層的至少其中之一的缺陷控制標(biāo)準(zhǔn)的第七標(biāo)準(zhǔn)值。
36.如權(quán)利要求35所述的圓片測試參數(shù)分析方法，進(jìn)一步包含依據(jù)該第七標(biāo)準(zhǔn)值預(yù)測在后續(xù)工藝中，進(jìn)行至該第一缺陷層及該第二缺陷層其中之一的該批產(chǎn)品的成品率。
全文摘要
一種圓片測試參數(shù)分析方法，其用以分析多批分別具有一批號的產(chǎn)品，本方法包括以下步驟依據(jù)成品率將產(chǎn)品分為一高成品率產(chǎn)品組及一低成品率產(chǎn)品組；依據(jù)高成品率產(chǎn)品組的圓片測試參數(shù)值產(chǎn)生一第一標(biāo)準(zhǔn)值；對比低成品率產(chǎn)品組與第一標(biāo)準(zhǔn)值，以自低成品率產(chǎn)品組中刪除等于或優(yōu)于第一標(biāo)準(zhǔn)值的產(chǎn)品批號；判斷低成品率產(chǎn)品組的剩余批號的數(shù)量是否為零；當(dāng)數(shù)量不為零時，自數(shù)據(jù)庫中搜索與圓片測試項目相關(guān)的樣品測試項目、線上品質(zhì)檢測項目或工藝流程站別；以及當(dāng)數(shù)量為零時，停止搜索操作。
文檔編號H01L21/66GK1510729SQ0215815
公開日2004年7月7日 申請日期2002年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月23日
發(fā)明者戴鴻恩, 樂慶莉 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司