本發(fā)明涉及用于檢查印刷基板等的表面背面兩面的基板檢查裝置。

背景技術(shù)：

通常，在表面背面兩面裝配電子部件的印刷基板在由玻璃環(huán)氧樹脂構(gòu)成的基底基板的表面背面兩面上具有電極圖案，這些由抗蝕膜保護(hù)。

在向上述印刷基板上裝配電子部件的生產(chǎn)線上，首先，對印刷基板的表面背面兩面的預(yù)定位置印刷焊膏(焊錫印刷工序)。接著，對印刷基板的表面背面兩面的預(yù)定位置涂敷粘合劑(粘合劑涂敷工序)。然后，將電子部件裝配到印刷基板的表面背面兩面(裝配工序)。這里，電子部件變成由焊膏的粘性或者粘合劑來臨時(shí)固定的狀態(tài)。之后，將印刷基板導(dǎo)入到回焊爐，并進(jìn)行焊接(回焊工序)。

在這樣的生產(chǎn)線上，例如設(shè)置有在部件裝配之前檢查焊膏的印刷狀態(tài)的基板檢查裝置(焊錫印刷檢查裝置)、以及進(jìn)行與部件裝配之后的印刷基板相關(guān)的檢查的基板檢查裝置(裝配檢查裝置)等。

作為上述基板檢查裝置，以往已知有能夠同時(shí)檢查印刷基板的表面背面兩面的檢查裝置。

但是，在同時(shí)檢查表面背面兩面的基板檢查裝置中，向印刷基板的一個(gè)側(cè)面照射的光的一部分可能透過被貫通形成在印刷基板的孔部、以及構(gòu)成基底基板的玻璃環(huán)氧樹脂等，泄露到印刷基板的另一側(cè)。其結(jié)果為，在檢查印刷基板的另一側(cè)的面時(shí)，可能受到從一側(cè)泄露的光的影響，從而降低檢查精度。

為了減緩這樣的問題，最近還提出如下的檢查裝置等：偏置印刷基板的表面背面兩側(cè)的照明單元的位置，或者在印刷基板的表面背面兩側(cè)同時(shí)由相同顏色的照明進(jìn)行檢查(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-184022號公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的問題

但是，即便是上述專利文獻(xiàn)1的構(gòu)成，由于從印刷基板的表面背面兩側(cè)同時(shí)照射光，因此可能發(fā)生雖然微量但光被泄露到相反的一側(cè)的情況，因此依然擔(dān)憂對于檢查精度的影響。

例如，如相移法，在基于不同相位的圖案光之下拍攝的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)的亮度值的不同而進(jìn)行三維測量(檢查)的構(gòu)成中，即便是相同顏色的光，在檢查印刷基板的一個(gè)側(cè)面時(shí)，若有微量的從另一側(cè)泄露的光，可能給檢查精度帶來很大的影響。

對此，假設(shè)為在結(jié)束印刷基板的表面?zhèn)鹊臋z查之后，執(zhí)行背面?zhèn)鹊臋z查的構(gòu)成的情況下，擔(dān)憂檢查時(shí)間的增加。

例如，分別在印刷基板的表面背面兩面設(shè)定多個(gè)檢查范圍的情況下，檢查時(shí)間可能顯著增加(參照圖9)。

本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查精度的提高，并實(shí)現(xiàn)檢查的高速化的基板檢查裝置。

用于解決問題的單元

下面，針對用于解決上述問題的各方式分項(xiàng)進(jìn)行說明。此外，根據(jù)需要向?qū)?yīng)的方式附記特有的作用效果。

方式1.

一種基板檢查裝置，所述基板檢查裝置檢查基板的表面背面兩面，其特征在于，包括：

至少一個(gè)表面?zhèn)日丈鋯卧?，所述至少一個(gè)表面?zhèn)日丈鋯卧軌蛳蛩龌宓谋砻鎮(zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍照射預(yù)定的光；

表面?zhèn)扰臄z單元，所述表面?zhèn)扰臄z單元能夠拍攝被照射了預(yù)定的光的所述基板的表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍；

表面?zhèn)纫苿?dòng)單元，所述表面?zhèn)纫苿?dòng)單元能夠?qū)⑺霰砻鎮(zhèn)日丈鋯卧约八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元移動(dòng)到與所述基板的表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍對應(yīng)的位置；

至少一個(gè)背面?zhèn)日丈鋯卧?，所述至少一個(gè)背面?zhèn)日丈鋯卧軌蛳蛩龌宓谋趁鎮(zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍照射預(yù)定的光；

背面?zhèn)扰臄z單元，所述背面?zhèn)扰臄z單元能夠拍攝被照射了預(yù)定的光的所述基板的背面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍；

背面?zhèn)纫苿?dòng)單元，所述背面?zhèn)纫苿?dòng)單元能夠?qū)⑺霰趁鎮(zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元移動(dòng)到與所述基板的背面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍對應(yīng)的位置；以及

檢查單元，所述檢查單元能夠基于通過由所述表面?zhèn)日丈鋯卧八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元進(jìn)行的所述基板的表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理來獲取的至少一個(gè)圖像數(shù)據(jù)，執(zhí)行該檢查范圍涉及的檢查，并且能夠基于通過由所述背面?zhèn)日丈鋯卧八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元進(jìn)行的所述基板的背面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理來獲取的至少一個(gè)圖像數(shù)據(jù)，執(zhí)行該檢查范圍涉及的檢查，

在停止了來自所述背面?zhèn)日丈鋯卧墓獾恼丈涞臓顟B(tài)下，在通過所述表面?zhèn)日丈鋯卧约八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元來執(zhí)行所述基板的表面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍中的一個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理之后，

在將該表面?zhèn)日丈鋯卧约氨砻鎮(zhèn)扰臄z單元移動(dòng)到與下一個(gè)檢查范圍對應(yīng)的位置的同時(shí)，停止了來自所述表面?zhèn)日丈鋯卧墓獾恼丈涞臓顟B(tài)下，通過所述背面?zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元來執(zhí)行所述基板的背面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍中的一個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理，

并且，

在停止了來自所述表面?zhèn)日丈鋯卧墓獾恼丈涞臓顟B(tài)下，在通過所述背面?zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元來執(zhí)行所述基板的背面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍中的一個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理之后，

在將該背面?zhèn)日丈鋯卧约氨趁鎮(zhèn)扰臄z單元移動(dòng)到與下一個(gè)檢查范圍對應(yīng)的位置的同時(shí)，停止了來自所述背面?zhèn)日丈鋯卧墓獾恼丈涞臓顟B(tài)下，通過所述表面?zhèn)日丈鋯卧约八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元來執(zhí)行所述基板的表面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍中的一個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理，

由此，能夠交替性執(zhí)行所述基板的表面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍中的一個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理、以及所述基板的背面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍中的一個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

如上述方式1，在能夠獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)控制基板的表面?zhèn)壬婕暗恼丈鋯卧芭臄z單元、以及基板的背面?zhèn)壬婕暗恼丈鋯卧芭臄z單元的構(gòu)成之下，能夠?qū)崿F(xiàn)檢查效率的提高，但可能發(fā)生基板的表面背面兩面的檢查期間重疊的情況。在上述情況下，可能發(fā)生上述“發(fā)明所要解決的問題”中所述的問題。

關(guān)于這點(diǎn)，在上述方式1中，在基板的表面?zhèn)?或者背面?zhèn)?執(zhí)行圖像獲取處理之后，將該表面?zhèn)?或者背面?zhèn)?的照射單元以及拍攝單元移動(dòng)到與下一個(gè)檢查范圍對應(yīng)的位置，并執(zhí)行基板的背面?zhèn)?或者表面?zhèn)?的圖像獲取處理。

即，交替性反復(fù)進(jìn)行基板的表面?zhèn)壬婕暗膱D像獲取處理以及基板的背面?zhèn)壬婕暗膱D像獲取處理，由此同步進(jìn)行基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理以及基板的背面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

因此，與例如在結(jié)束基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理之后，執(zhí)行基板的背面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查的高速化。

另外，根據(jù)本方式，在基板的表面?zhèn)?或者背面?zhèn)?的圖像獲取期間，停止背面?zhèn)?或者表面?zhèn)?的光的照射，因此光不會泄漏至表面?zhèn)?或者背面?zhèn)?，能夠獲取良好精度的圖像數(shù)據(jù)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查精度的提高。

作為結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查精度的提高，并能夠?qū)崿F(xiàn)檢查的高速化。

方式2.

根據(jù)方式1所述的基板檢查裝置，其特征在于，

在所述表面?zhèn)日丈鋯卧约八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元的移動(dòng)期間，執(zhí)行由所述背面?zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元進(jìn)行的圖像獲取處理，

并且，

在所述背面?zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元的移動(dòng)期間，執(zhí)行由所述表面?zhèn)日丈鋯卧约八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元進(jìn)行的圖像獲取處理。

根據(jù)上述方式2，利用一者的照射單元以及拍攝單元(例如，表面?zhèn)日丈鋯卧约氨砻鎮(zhèn)扰臄z單元)移動(dòng)到與下一個(gè)檢查范圍對應(yīng)的位置的期間，能夠執(zhí)行由另一者的照射單元以及拍攝單元(例如，背面?zhèn)日丈鋯卧约氨趁鎮(zhèn)扰臄z單元)進(jìn)行的圖像獲取處理。

由此，能夠在不延長在完成基板的表面?zhèn)?或者背面?zhèn)?全區(qū)域的多個(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理時(shí)所需的最低限度的時(shí)間(包含圖像獲取處理期間的移動(dòng)時(shí)間)的情況下，執(zhí)行基板的背面?zhèn)?或者表面?zhèn)?全區(qū)域的多個(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理。作為結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查的高速化。

方式3.

根據(jù)方式1或2所述的基板檢查裝置，其特征在于，

基于預(yù)先決定的檢查順序，向與所述基板的表面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍對應(yīng)的位置依次移動(dòng)所述表面?zhèn)日丈鋯卧约八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元，并依次執(zhí)行該多個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理，

并且，基于預(yù)先決定的檢查順序，向與所述基板的背面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍對應(yīng)的位置依次移動(dòng)所述背面?zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元，并依次執(zhí)行該多個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理，

關(guān)于所述基板的表面?zhèn)?，設(shè)定所述檢查順序，使得所述表面?zhèn)日丈鋯卧约八霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元移動(dòng)的路徑成為離預(yù)定的起點(diǎn)最短的路徑，和/或

關(guān)于所述基板的背面?zhèn)?，設(shè)定所述檢查順序，使得所述背面?zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元的路徑成為離預(yù)定的起點(diǎn)最短的路徑。

根據(jù)上述方式3，在基板的表面?zhèn)纫约氨趁鎮(zhèn)戎械闹辽僖徽咧校O(shè)定檢查順序，使得照射單元以及拍攝單元的移動(dòng)路徑成為離預(yù)定的起點(diǎn)(例如，預(yù)先決定的預(yù)定的檢查范圍、以及最后拍攝的識別標(biāo)記等)最短的路徑，因此能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步的檢查的高速化。

方式4.

根據(jù)方式1至3中任一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于，

在所述基板的表面具備至少一個(gè)定位用的特定對象，并在所述基板的背面具備至少一個(gè)定位用的特定對象的構(gòu)成之下，

在所述基板的表面?zhèn)龋伤霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元個(gè)別拍攝所述至少一個(gè)特定對象之后，依次執(zhí)行所述基板的表面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理，

并且，

在所述基板的背面?zhèn)?，由所述背面?zhèn)扰臄z單元個(gè)別拍攝所述至少一個(gè)特定對象之后，依次執(zhí)行所述基板的背面?zhèn)壬显O(shè)定的多個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

根據(jù)上述方式4，拍攝并定位特定對象，由此能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查精度的進(jìn)一步的提高。

例如，可以是“具備：表面?zhèn)刃拚龁卧?，所述表面?zhèn)刃拚龁卧谠谒龌宓谋砻鎮(zhèn)扔伤霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元拍攝的多個(gè)所述特定對象的位置信息，修正所述表面?zhèn)扰臄z單元和所述基板的表面的相對位置關(guān)系；以及背面?zhèn)刃拚龁卧霰趁鎮(zhèn)刃拚龁卧谠谒龌宓谋趁鎮(zhèn)扔伤霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元拍攝的多個(gè)所述特定對象的位置信息，修正所述基板的背面和所述基板的背面的相對位置關(guān)系”的構(gòu)成。

方式5.

根據(jù)方式4所述的基板檢查裝置，其特征在于，

在所述基板的表面?zhèn)纫约氨趁鎮(zhèn)戎械闹辽僖徽咧校?/p>

將離所述至少一個(gè)特定對象中的最后拍攝的特定對象最短距離的檢查范圍作為最先執(zhí)行所述圖像獲取處理的檢查范圍。

根據(jù)上述單元5，成為從位于離至少一個(gè)特定對象中最后拍攝的特定對象最近的位置的檢查范圍開始進(jìn)行檢查的構(gòu)成。由此，能夠縮短在最先的檢查范圍開始進(jìn)行檢查之前的時(shí)間，并能夠?qū)崿F(xiàn)檢查的高速化。

方式6.

根據(jù)方式4或5所述的基板檢查裝置，其特征在于，包括：

存儲單元，所述存儲單元存儲預(yù)先掌握的所述表面?zhèn)扰臄z單元和所述背面?zhèn)扰臄z單元的相對位置關(guān)系；以及

修正單元，所述修正單元基于在所述基板的表面?zhèn)扔伤霰砻鎮(zhèn)扰臄z單元拍攝的一個(gè)所述特定對象的位置信息以及在所述基板的背面?zhèn)扔伤霰趁鎮(zhèn)扰臄z單元拍攝的一個(gè)所述特定對象的位置信息，以及被存儲在所述存儲單元的所述表面?zhèn)扰臄z單元和所述背面?zhèn)扰臄z單元的相對位置關(guān)系，修正所述表面?zhèn)扰臄z單元和所述基板的表面的相對位置關(guān)系、以及所述背面?zhèn)扰臄z單元和所述基板的背面的相對位置關(guān)系。

根據(jù)上述方式6，將基板的表面背面兩面中的一個(gè)面的特定對象的位置信息作為另一個(gè)面的位置信息而使用，由此，能夠僅僅對基板的表面背面兩面?zhèn)€別拍攝一個(gè)特定對象(無需拍攝多個(gè)特定對象)，就進(jìn)行位置修正。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查精度的進(jìn)一步的提高。

進(jìn)一步地，無需分別對基板的表面背面兩面拍攝多個(gè)特定對象，就能夠開始進(jìn)行檢查，因此能夠?qū)崿F(xiàn)檢查的高速化。

例如，在基板的表面背面沒有位置偏離(層積偏離以及圖案的偏離等)的情況下，能夠基于由校準(zhǔn)等預(yù)先求出的表面?zhèn)扰臄z單元和背面?zhèn)扰臄z單元的相對位置關(guān)系(兩者的偏移量等)而進(jìn)行上述修正。

另外，即使在基板的表面背面有位置偏離的情況下，例如能夠預(yù)先掌握前工序(圖案檢查工序等)中檢測出的基板的表面背面的位置偏離信息(基板的表面和背面的相對位置關(guān)系)，由此進(jìn)行上述修正。

另外，在將貫通基板的表面背面的通孔等作為定位用的特定對象的情況下，能夠在不考慮基板的表面背面的位置偏離的情況下，進(jìn)行上述修正。

方式7.

根據(jù)方式1至6中任一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于，

所述表面?zhèn)日丈鋯卧约八霰趁鎮(zhèn)日丈鋯卧械闹辽僖徽邩?gòu)成為能夠照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光作為所述預(yù)定的光，

所述檢查單元構(gòu)成為能夠基于在不同相位的所述圖案光之下拍攝的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)，執(zhí)行根據(jù)相移法的三維測量。

在進(jìn)行利用了相移法的三維測量的情況下，如上述“發(fā)明所要解決的問題”所述，在檢查基板的一側(cè)面時(shí)，若從另一側(cè)泄露的光即便為微量，也能夠?qū)z查精度帶來很大的影響。

另外，在進(jìn)行利用相移法的三維測量的情況下，需要針對一個(gè)檢查范圍進(jìn)行多次拍攝，因此假設(shè)設(shè)置為在結(jié)束基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理之后，執(zhí)行基板的背面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理的構(gòu)成的情況下，可能顯著增加檢查時(shí)間。

即，在上述方式7的構(gòu)成之下，進(jìn)一步發(fā)揮上述方式1的作用效果，能夠?qū)崿F(xiàn)基板的兩面檢查涉及的檢查精度的提高，并且能夠?qū)崿F(xiàn)檢查的高速化。

方式8.

根據(jù)方式1至7中任一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于，

所述基板是印刷焊膏的印刷基板、或者形成了焊錫凸點(diǎn)的晶圓基板。

根據(jù)上述方式8，能夠進(jìn)行被印刷在印刷基板上的焊膏、或者、被形成在晶圓基板上的焊錫凸點(diǎn)的檢查。即，在焊膏或者焊錫凸點(diǎn)的檢查中，發(fā)揮上述各方式的作用效果，能夠更精確地進(jìn)行好壞判定。作為結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)在焊錫印刷檢查或者焊錫凸點(diǎn)檢查中的檢查精度的提高以及檢查的高速化。

附圖說明

圖1是示意性示出基板檢查裝置的簡要構(gòu)成圖；

圖2是印刷基板的部分放大剖視圖；

圖3是示出基板檢查裝置的電氣構(gòu)成的框圖；

圖4是用于說明一個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理的時(shí)序圖；

圖5的(a)～(c)是用于說明印刷基板的上下兩面檢查中的上表面檢查單元以及下表面檢查單元的處理動(dòng)作的時(shí)序圖；

圖6是用于說明印刷基板的上表面?zhèn)纫约跋卤砻鎮(zhèn)鹊臋z查順序的說明圖；

圖7是用于說明其他實(shí)施方式涉及的印刷基板的上表面?zhèn)纫约跋卤砻鎮(zhèn)鹊臋z查順序的說明圖；

圖8是用于說明其他實(shí)施方式涉及的印刷基板的上表面?zhèn)纫约跋卤砻鎮(zhèn)鹊臋z查順序的說明圖；

圖9是示出印刷基板的上下兩面檢查中的現(xiàn)有的上表面檢查單元以及下表面檢查單元的處理動(dòng)作的時(shí)序圖；

圖10是示出其他實(shí)施方式涉及的基板檢查裝置的簡要構(gòu)成圖；

圖11是示出其他實(shí)施方式涉及的二維檢查用的照明裝置的部分放大剖視圖；

圖12是示意性示出下表面檢查相機(jī)的保護(hù)罩及其檢查機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子的簡要構(gòu)成圖；

圖13是示意性示出下表面檢查相機(jī)的保護(hù)罩及其檢查機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子的簡要構(gòu)成圖；

圖14是示意性示出下表面檢查相機(jī)的保護(hù)罩及其檢查機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子的簡要構(gòu)成圖；

圖15是示意性示出下表面檢查相機(jī)的保護(hù)罩及其檢查機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子的簡要構(gòu)成圖。

具體實(shí)施方式

〔第一實(shí)施方式〕

下面，參照附圖，對一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。首先，對作為檢查對象的印刷基板的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)的說明。在本實(shí)施方式中，將在表面背面兩面上裝配電子部件的兩層基板(兩面基板)作為檢查對象。

如圖2所示，印刷基板p1呈平板狀，在由玻璃環(huán)氧樹脂等構(gòu)成的基底基板p2的表面背面兩面上設(shè)置有由銅箔構(gòu)成的電極圖案p3。進(jìn)一步地，在電極圖案p3的預(yù)定部位(焊盤或者焊墊等)印刷形成有作為測量對象的焊膏p4。將印刷了該焊膏p4的區(qū)域稱為“焊錫印刷區(qū)域”。將焊錫印刷區(qū)域以外的部分統(tǒng)稱為“背景區(qū)域”，該背景區(qū)域包括露出了電極圖案p3的區(qū)域(記號pa)、露出了基底基板p2的區(qū)域(記號pb)、在基底基板p2上涂布抗蝕膜p5的區(qū)域(記號pc)、以及在電極圖案p3上涂層抗蝕膜p5的區(qū)域(記號pd)。此外，抗蝕膜p5被涂布在印刷基板p1的表面背面兩面，使得除了預(yù)定布線部分以外不會焊接焊膏p4。

另外，在印刷基板p1的表面背面兩面上，作為定位用的特定對象而分別附以識別標(biāo)記(參照圖6)。更詳細(xì)地講，在印刷基板p1的表面?zhèn)?，對其四角中的預(yù)定對角線上排列的兩個(gè)角落部分別附以第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕。同樣，在印刷基板p1的背面?zhèn)?，在其四角中的預(yù)定對角線上排列的兩個(gè)角落部分別附以第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕。

接著，對檢查印刷基板p1的基板檢查裝置1的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)的說明。本實(shí)施方式涉及的基板檢查裝置1被用作在裝配電子部件的前階段檢查焊膏p4的印刷狀態(tài)的焊錫印刷檢查裝置。圖1是示意性示出基板檢查裝置1的簡要構(gòu)成圖。

如圖1所示，基板檢查裝置1具有進(jìn)行印刷基板p1的運(yùn)送以及定位等的運(yùn)送機(jī)構(gòu)2，進(jìn)行印刷基板p1的上表面(表面)側(cè)的檢查的上表面檢查單元3，用于進(jìn)行印刷基板p1的下表面(背面)側(cè)的檢查的下表面檢查單元4，以及用于實(shí)施運(yùn)送機(jī)構(gòu)2及兩個(gè)檢查單元3、4的驅(qū)動(dòng)控制等基板檢查裝置1內(nèi)的各套控制或者圖像處理、運(yùn)算處理的控制裝置6(參照圖3)。控制裝置6構(gòu)成本實(shí)施方式中的檢查單元。

運(yùn)送機(jī)構(gòu)2具備沿著印刷基板p1的運(yùn)送方向配置的一對運(yùn)送軌道2a、被配置為相對于各運(yùn)送軌道2a能夠旋轉(zhuǎn)的無接頭的運(yùn)送帶2b、驅(qū)動(dòng)該運(yùn)送帶2b的馬達(dá)等的驅(qū)動(dòng)單元(省略圖示)、以及用于將印刷基板p1定位在預(yù)定位置的卡盤機(jī)構(gòu)(省略圖示)，并通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。

在上述構(gòu)成之下，被運(yùn)入到基板檢查裝置1的印刷基板p1為，與運(yùn)送方向正交的寬度方向的兩側(cè)邊緣部分別插入到運(yùn)送軌道2a，并被載置在運(yùn)送帶2b上。接著，運(yùn)送帶2b開始進(jìn)行動(dòng)作，印刷基板p1被運(yùn)送到預(yù)定的檢查位置。當(dāng)印刷基板p1到達(dá)檢查位置時(shí)，運(yùn)送帶2b停止的同時(shí)，卡盤機(jī)構(gòu)工作。通過該卡盤機(jī)構(gòu)的動(dòng)作，運(yùn)送帶2b被往上推，并變成通過運(yùn)送帶2b和運(yùn)送軌道2a的上邊部來夾住印刷基板p1的兩側(cè)邊緣部的狀態(tài)。由此，印刷基板p1被定位固定到檢查位置。當(dāng)結(jié)束檢查時(shí)，由卡盤機(jī)構(gòu)進(jìn)行的固定被解除的同時(shí)，運(yùn)送帶2b開始進(jìn)行動(dòng)作。由此，印刷基板p1從基板檢查裝置1運(yùn)出。當(dāng)然，運(yùn)送機(jī)構(gòu)2的構(gòu)成并不限于上述方式，可以采用其他構(gòu)成。

上表面檢查單元3被配置在運(yùn)送軌道2a(印刷基板p1的運(yùn)送路)的上方，下表面檢查單元4被配置在運(yùn)送軌道2a(印刷基板p1的運(yùn)送路)的下方。

上表面檢查單元3具備：第一上表面檢查照明3a及第二上表面檢查照明3b，其作為向印刷基板p1的上表面的預(yù)定的檢查范圍從斜上方照射三維測量用的預(yù)定的條紋圖案(具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光)的表面?zhèn)日丈鋯卧?；上表面檢查相機(jī)3c，其作為從正上方拍攝印刷基板p1的上表面的預(yù)定的檢查范圍的表面?zhèn)扰臄z單元；x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)3d(參照圖3)，其使得能夠向x軸方向的移動(dòng)；以及y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)3e(參照圖3)，使得能夠向y軸方向的移動(dòng)，并通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。此外，“檢查范圍”是將上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角(拍攝范圍)的大小作為1個(gè)單位而預(yù)先設(shè)定在印刷基板p1的上表面(表面)的多個(gè)區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域。

此外，印刷基板p1上表面的“檢查范圍”是將上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角(拍攝范圍)ku的大小作為1個(gè)單位而預(yù)先設(shè)定在印刷基板p1的上表面(表面)的多個(gè)區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域(參照圖6的上半部分)。

控制裝置6通過驅(qū)動(dòng)控制x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)3d以及y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)3e，能夠?qū)⑸媳砻鏅z查單元3(拍攝視角ku)移動(dòng)到被定位固定在檢查位置的印刷基板p1的上表面的任意檢查范圍的上方位置。并且，向印刷基板p1的上表面上設(shè)定的多個(gè)檢查范圍依次移動(dòng)上表面檢查單元3，并執(zhí)行該檢查范圍涉及的檢查，由此變成執(zhí)行印刷基板p1的上表面全區(qū)域的檢查的構(gòu)成(參照圖6的上半部分)。因此，由x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)3d以及y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)3e構(gòu)成本實(shí)施方式中的表面?zhèn)纫苿?dòng)單元。

第一上表面檢查照明3a具備發(fā)出預(yù)定的光的光源3aa、以及將來自該光源3aa的光轉(zhuǎn)換為條紋圖案的光柵板3ab，并通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。這里，從光源3aa發(fā)出的光被引導(dǎo)到聚光鏡(省略圖示)，由此變成平行光之后，經(jīng)由光柵板3ab而引導(dǎo)到投影鏡頭(省略圖示)，并作為條紋圖案而投影到印刷基板p1。

光柵板3ab設(shè)定為如下配置構(gòu)成：在與光源3aa的光軸正交的預(yù)定方向上交替性排列透過光的直線狀的透光部以及遮擋光的直線狀的遮光部的。由此，能夠向印刷基板p1投影具有矩形波狀或者梯形波狀的光強(qiáng)度分布的條紋圖案。在本實(shí)施方式中，投影如下條紋圖案，所述條紋圖案的條紋的方向與x軸方向平行、且與y軸方向正交。

通常，通過光柵板3ab的光不是完全的平行光，由于透光部以及遮光部的邊界部中的衍射作用等，在條紋圖案的“明部”以及“暗部”的邊界部可能產(chǎn)生中間灰度區(qū)域，因此不會變成完全的矩形波。

這里，雖然根據(jù)光柵板3ab的透光部以及遮光部的配置間隔等構(gòu)成而不同，但在“明部”和“暗部”的邊界部中的中間灰度區(qū)域的亮度梯度陡峭的情況下，變成具有矩形波狀的光強(qiáng)度分布的條紋圖案，在中間灰度區(qū)域的亮度梯度平緩的情況下，變成具有梯形波狀的光強(qiáng)度分布的條紋圖案。

進(jìn)一步地，第一上表面檢查照明3a具有移動(dòng)光柵板3ab的馬達(dá)等的驅(qū)動(dòng)單元(省略圖示)。控制裝置6通過驅(qū)動(dòng)控制該驅(qū)動(dòng)單元，能夠進(jìn)行以一定速度向與光源3aa的光軸正交的所述預(yù)定方向連續(xù)移動(dòng)光柵板3ab的處理。由此，能夠向印刷基板p1投影，使得條紋圖案沿著y軸方向移動(dòng)。

第二上表面檢查照明3b具備發(fā)出預(yù)定的光的光源3ba、以及將來自該光源3ba的光轉(zhuǎn)換為條紋圖案的光柵板3bb，并通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。此外，第二上表面檢查照明3b(光源3ba以及光柵板3bb等)涉及的構(gòu)成與上述第一上表面檢查照明3a相同，因此省略詳細(xì)的說明。

上表面檢查相機(jī)3c具有鏡片以及拍攝元件等。在本實(shí)施方式中，作為拍攝元件而采用ccd傳感器。

上表面檢查相機(jī)3c通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。更詳細(xì)地講，控制裝置6基于來自被設(shè)置在光柵板3ab、3bb的驅(qū)動(dòng)單元的編碼器(省略圖示)的信號，與光柵板3ab、3bb的移動(dòng)處理同步，并執(zhí)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。

由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)在該上表面檢查相機(jī)3c內(nèi)部轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號之后，以數(shù)字信號的形式傳送到控制裝置6，并存儲到后面敘述的圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。并且，控制裝置6基于該圖像數(shù)據(jù)，實(shí)施如后面敘述的圖像處理以及運(yùn)算處理等。

與上述上表面檢查單元3同樣，下表面檢查單元4具備：第一下表面檢查照明4a及第二下表面檢查照明4b，其作為向印刷基板p1的下表面的預(yù)定的檢查范圍從斜下方照射三維測量用的預(yù)定的條紋圖案(具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光)的表面?zhèn)日丈鋯卧幌卤砻鏅z查相機(jī)4c，其作為從正下方拍攝印刷基板p1的下表面的預(yù)定的檢查范圍的表面?zhèn)扰臄z單元；x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)4d，其使得能夠向x軸方向移動(dòng)(參照圖3)、以及y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)4e，其使得能夠向y軸方向移動(dòng)(參照圖3)，并通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。

此外，印刷基板p1下表面的“檢查范圍”是將下表面檢查相4c的拍攝視角(拍攝范圍)kl的大小作為1個(gè)單位而預(yù)先設(shè)定在印刷基板p1的下表面(背面)的多個(gè)區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域(參照圖6的下端)。

控制裝置6通過驅(qū)動(dòng)控制x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)4d以及y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)4e，能夠?qū)⑾卤砻鏅z查單元4(拍攝視角kl)移動(dòng)到被定位固定在檢查位置的印刷基板p1的下表面的任意檢查范圍的下方位置。并且，向印刷基板p1的下表面上設(shè)定的多個(gè)檢查范圍依次移動(dòng)下表面檢查單元4，并執(zhí)行該檢查范圍涉及的檢查，由此變成執(zhí)行印刷基板p1的下表面全區(qū)域的檢查的構(gòu)成(參照圖6的下端)。因此，由x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)4d以及y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)4e構(gòu)成本實(shí)施方式中的背面?zhèn)纫苿?dòng)單元。

第一下表面檢查照明4a具備發(fā)出預(yù)定的光的光源4aa、以及將來自該光源4aa的光轉(zhuǎn)換為條紋圖案的光柵板4ab，并通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。此外，第一下表面檢查照明4a(光源4aa以及光柵板4ab等)涉及的構(gòu)成與上述第一上表面檢查照明3a相同，因此省略詳細(xì)的說明。

第二下表面檢查照明4b具備發(fā)出預(yù)定的光的光源4ba、以及將來自該光源4ba的光轉(zhuǎn)換為條紋圖案的光柵板4bb，并通過控制裝置6來驅(qū)動(dòng)控制。此外，第二下表面檢查照明4b(光源4ba以及光柵板4bb等)涉及的構(gòu)成與上述第一上表面檢查照明3a相同，因此省略詳細(xì)的說明。

下表面檢查相機(jī)4c具有透鏡以及拍攝元件等。在本實(shí)施方式中，作為拍攝元件而采用ccd傳感器。此外，下表面檢查相機(jī)4c涉及的構(gòu)成與上述上表面檢查相機(jī)3c相同，因此省略詳細(xì)的說明。

接著，參照圖3，對控制裝置6的電氣構(gòu)成進(jìn)行說明。如圖3所示，控制裝置6具有負(fù)責(zé)基板檢查裝置1整體的控制的cpu以及輸入輸出接口21(下表面，稱為“cpu等21”)，作為由鍵盤、鼠標(biāo)以及觸摸屏等構(gòu)成的“輸入單元”的輸入裝置22，作為具有crt以及液晶等的顯示畫面的“顯示單元”的顯示裝置23，用于存儲由上表面檢查相機(jī)3c以及下表面檢查相機(jī)4c拍攝的圖像數(shù)據(jù)等的圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24，用于存儲各種運(yùn)算結(jié)果的運(yùn)算結(jié)果存儲裝置25，用于預(yù)先存儲光繪文件(包含與識別標(biāo)記相關(guān)的信息)等的各種信息的設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26等。此外，這些各裝置22～26與cpu等21電連接。

在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26中存儲有與分別設(shè)定在印刷基板p1的上下兩面的多個(gè)檢查范圍以及其檢查順序相關(guān)的信息。這里，“檢查順序”是指，針對印刷基板p1的上表面(或者下表面)上設(shè)定的多個(gè)檢查范圍進(jìn)行的檢查而決定的順序。即，針對多個(gè)檢查范圍的上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku(或者下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl)的移動(dòng)順序而決定的。

此外，印刷基板p1的上下兩面涉及的多個(gè)檢查范圍及其檢查順序的設(shè)定基于光繪文件(gerberdata)等，預(yù)先由預(yù)定的程序自動(dòng)進(jìn)行或者由作業(yè)者手動(dòng)進(jìn)行。更詳細(xì)的講，在印刷基板p1的上表面?zhèn)?或者下表面?zhèn)?設(shè)定檢查順序，使得上表面檢查單元3(或者下表面檢查單元4)移動(dòng)的路徑變成從預(yù)定的起點(diǎn)最短路徑。

在本實(shí)施方式中，以預(yù)先決定的預(yù)定的檢查范圍為起點(diǎn)，設(shè)定檢查順序。例如，在如圖6所示的印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊睦又?，以右上角落部的檢查范圍為起點(diǎn)，設(shè)定檢查順序，在印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊睦又?，以左上角落部的檢查范圍為起點(diǎn)，設(shè)定檢查順序。

代替這個(gè)，例如可以為如下構(gòu)成：在印刷基板p1的上表面?zhèn)?或者下表面?zhèn)?，以兩個(gè)識別標(biāo)記〔a〕、〔b〕(或者〔a〕、〔b〕)中的最后拍攝的識別標(biāo)記為起點(diǎn)，以上表面檢查單元3(或者下表面檢查單元4)的移動(dòng)路徑變得最短的方式設(shè)定檢查順序。

此外，圖6中由虛線框圍繞的范圍示出檢查范圍或者拍攝視角，這里標(biāo)記的數(shù)字“1”～“15”示出檢查順序。另外，在圖6中，以箭頭表示上表面檢查單元3及下表面檢查單元4的移動(dòng)方向(移動(dòng)路徑)。

接著，對于由基板檢查裝置1進(jìn)行的、對于印刷基板p1的檢查例行程序，進(jìn)行說明。上述檢查例行程序由控制裝置6(cpu等21)中執(zhí)行。

在本實(shí)施方式中，交替性進(jìn)行印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍涉及的檢查處理(由以上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的多次拍攝處理形成的一次圖像獲取處理)、以及印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍涉及的檢查處理(由以下表面檢查相機(jī)4c進(jìn)行的多次拍攝處理形成的一次圖像獲取處理)。

下面，參照圖5的(a)、圖6進(jìn)行詳細(xì)的說明。圖5的(a)是用于說明在進(jìn)行印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊牡凇?”～第“15”檢查范圍涉及的檢查處理(圖像獲取處理)、以及在進(jìn)行下表面?zhèn)鹊牡凇?”～第“15”檢查范圍涉及的檢查處理(圖像獲取處理)時(shí)的上表面檢查單元3及下表面檢查單元4的處理動(dòng)作的時(shí)序圖。

此外，圖5的(a)中的“a”以及“b”分別示出圖6所示的印刷基板p1的上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕作為拍攝對象的情況。同樣，圖5的(a)中的“a”以及“b”分別示出圖6所示的印刷基板p1的下表面的第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕作為拍攝對象的情況。另外，圖5的(a)中的“1”～“15”分別示出圖6所示的印刷基板p1的上下表面的第“1”～第“15”檢查范圍作為拍攝對象的情況。

如上所述，當(dāng)被運(yùn)入到基板檢查裝置1的印刷基板p1被定位在預(yù)定的檢查位置時(shí)，控制裝置6首先移動(dòng)上表面檢查單元3，將上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕匹配，并移動(dòng)下表面檢查單元4，將下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl與印刷基板p1下表面的第一識別標(biāo)記〔a〕匹配。

接著，控制裝置6在停止來自下表面檢查單元4(第一下表面檢查照明4a以及第二下表面檢查照明4b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一上表面檢查照明3a或者第二上表面檢查照明3b照射光，并拍攝印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕。

此外，當(dāng)拍攝第一識別標(biāo)記〔a〕時(shí)，不經(jīng)由光柵板3ab而照射來自光源3aa的光，由此變成照射不是條紋圖案的、均勻的光的構(gòu)成(下面，在拍攝其他識別標(biāo)記時(shí)也相同)。

結(jié)束該第一識別標(biāo)記〔a〕的拍攝處理的同時(shí)，控制裝置6開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第二識別標(biāo)記〔b〕對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

同時(shí)，控制裝置6在停止來自上表面檢查單元3(第一上表面檢查照明3a以及第二上表面檢查照明3b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一下表面檢查照明4a或者第二下表面檢查照明4b照射光，并拍攝印刷基板p1下表面的第一識別標(biāo)記〔a〕。

結(jié)束該第一識別標(biāo)記〔a〕的拍攝處理的同時(shí)，控制裝置6開始進(jìn)行將下表面檢查單元4移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

之后，在上表面檢查單元3的移動(dòng)處理結(jié)束，并且上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第二識別標(biāo)記〔b〕匹配時(shí)，控制裝置6在停止來自下表面檢查單元4(第一下表面檢查照明4a以及第二下表面檢查照明4b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一上表面檢查照明3a或者第二上表面檢查照明3b照射光，并拍攝印刷基板p1上表面的第二識別標(biāo)記〔b〕。

結(jié)束該第二識別標(biāo)記〔b〕的拍攝處理的同時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

同時(shí)，控制裝置6在停止來自上表面檢查單元3(第一上表面檢查照明3a以及第二上表面檢查照明3b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一下表面檢查照明4a或者第二下表面檢查照明4b照射光，并拍攝印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕。

結(jié)束該第二識別標(biāo)記〔b〕的拍攝處理的同時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將下表面檢查單元4移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

此外，關(guān)于印刷基板p1上表面，控制裝置6在結(jié)束第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕的拍攝處理時(shí)，在上述移動(dòng)處理期間，計(jì)算出由上述拍攝處理獲取的圖像數(shù)據(jù)涉及的第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕的位置坐標(biāo)、以及光繪文件涉及的第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕的位置坐標(biāo)之間的偏離，并對兩者的偏離進(jìn)行修正。

即，對上表面檢查單元3(上表面檢查相機(jī)3c)和印刷基板p1上表面之間的相對位置關(guān)系的偏離進(jìn)行修正。通過上述處理功能來構(gòu)成本實(shí)施方式中的表面?zhèn)刃拚龁卧?。?dāng)然，可以是如下構(gòu)成：不是在移動(dòng)處理期間進(jìn)行偏離修正，而是在結(jié)束第二識別標(biāo)記〔b〕的拍攝處理、且對偏離進(jìn)行了修正之后，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

同樣，關(guān)于印刷基板p1下表面，控制裝置6在結(jié)束第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕的拍攝處理時(shí)，在上述移動(dòng)處理期間，計(jì)算出由上述拍攝處理獲取的圖像數(shù)據(jù)涉及的第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕的位置坐標(biāo)、以及光繪文件涉及的第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕的位置坐標(biāo)之間的偏離，并對兩者的偏離進(jìn)行修正。

即，對于下表面檢查單元4(下表面檢查相機(jī)4c)和印刷基板p1下表面之間的相對位置關(guān)系的偏離進(jìn)行修正。通過上述處理功能來構(gòu)成本實(shí)施方式中的背面?zhèn)刃拚龁卧?。?dāng)然，可以是如下構(gòu)成：不是在移動(dòng)處理期間進(jìn)行偏離修正，而是在結(jié)束第二識別標(biāo)記〔b〕的拍攝處理、且對偏離進(jìn)行了修正之后，開始進(jìn)行將下表面檢查單元4移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

之后，在結(jié)束上表面檢查單元3的移動(dòng)處理，并且上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍匹配時(shí)，控制裝置6在停止來自下表面檢查單元4(第一下表面檢查照明4a以及第二下表面檢查照明4b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一上表面檢查照明3a或者第二上表面檢查照明3b照射條紋圖案，并執(zhí)行印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。后面敘述上述圖像獲取處理的細(xì)節(jié)(關(guān)于其他檢查范圍涉及的圖像獲取處理也相同)。

在這期間(印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理的執(zhí)行期間中)，結(jié)束下表面檢查單元4的上述移動(dòng)處理(移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理)，下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍匹配。

之后，當(dāng)結(jié)束印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

同時(shí)，控制裝置6在停止來自上表面檢查單元3(第一上表面檢查照明3a以及第二上表面檢查照明3b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一下表面檢查照明4a或者第二下表面檢查照明4b照射條紋圖案，并執(zhí)行印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

在這期間(印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理的執(zhí)行期間中)，上表面檢查單元3的上述移動(dòng)處理(移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理)結(jié)束，上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍匹配。

之后，當(dāng)結(jié)束印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將下表面檢查單元4移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第“2”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

同時(shí)，控制裝置6在停止來自下表面檢查單元4(第一下表面檢查照明4a以及第二下表面檢查照明4b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一上表面檢查照明3a或者第二上表面檢查照明3b照射條紋圖案，并執(zhí)行印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

在這期間(印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍涉及的圖像獲取處理的執(zhí)行期間中)，結(jié)束下表面檢查單元4的上述移動(dòng)處理(移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第“2”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理)，下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl與印刷基板p1下表面的第“2”檢查范圍匹配。

之后，當(dāng)結(jié)束印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍涉及的圖像獲取處理時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“3”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

同時(shí)，控制裝置6在停止來自上表面檢查單元3(第一上表面檢查照明3a以及第二上表面檢查照明3b)的光的照射的狀態(tài)下，從第一下表面檢查照明4a或者第二下表面檢查照明4b照射條紋圖案，并執(zhí)行印刷基板p1下表面的第“2”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

以下同樣，交替性進(jìn)行由上表面檢查單元3進(jìn)行的印刷基板p1上表面的第“3”～第“15”檢查范圍涉及的圖像獲取處理以及此間的移動(dòng)處理、以及由下表面檢查單元4進(jìn)行的印刷基板p1下表面的第“3”～第“15”次的檢查范圍涉及的圖像獲取處理以及此間的移動(dòng)處理，由此結(jié)束印刷基板p1的上下兩面涉及的檢查。

接著，對于通過基板檢查裝置1來針對印刷基板p1的上下表面的各檢查范圍進(jìn)行的圖像獲取處理進(jìn)行說明。上述圖像獲取處理是由控制裝置6(cpu等21)執(zhí)行的。

在本實(shí)施方式中，在印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊母鳈z查范圍涉及的檢查中，改變從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案的相位，并在不同相位的條紋圖案之下進(jìn)行四次拍攝處理之后，改變從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案的相位，并在不同相位的條紋圖案之下進(jìn)行四次拍攝處理，由此執(zhí)行共八次獲取圖像數(shù)據(jù)的圖像獲取處理。

同樣，在印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊母鳈z查范圍涉及的檢查中，改變從第一下表面檢查照明4a照射的條紋圖案的相位，并在不同相位的條紋圖案之下進(jìn)行四次拍攝處理之后，改變從第二下表面檢查照明4b照射的條紋圖案的相位，并在不同相位的條紋圖案之下進(jìn)行四次拍攝處理，由此執(zhí)行共八次獲取圖像數(shù)據(jù)的圖像獲取處理。

下面，將印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊臋z查作為例子，參照圖4對各檢查范圍進(jìn)行的檢查例行程序(圖像獲取處理)進(jìn)行詳細(xì)的說明。

當(dāng)上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的預(yù)定的檢查范圍匹配時(shí)，控制裝置6驅(qū)動(dòng)控制第一上表面檢查照明3a，并將光柵板3ab的位置設(shè)定成初始設(shè)定位置(被投影到預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成“0°”的位置)。同時(shí)，控制裝置6驅(qū)動(dòng)控制第二上表面檢查照明3b，并將光柵板3bb的位置設(shè)定成初始設(shè)定位置(被投影到預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成“0°”的位置)。

在結(jié)束上述設(shè)定之后，控制裝置6驅(qū)動(dòng)控制第一上表面檢查照明3a以及上表面檢查相機(jī)3c，并在從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案之下開始進(jìn)行第一次拍攝處理(曝光處理)。

詳細(xì)地講，控制裝置6使第一上表面檢查照明3a的光源3aa發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行光柵板3ab的移動(dòng)處理。由此，被投影到檢查范圍的條紋圖案以一定速度沿著y軸方向連續(xù)移動(dòng)。

并且，控制裝置6在條紋圖案的照射開始(光柵板3ab的移動(dòng)開始)的同時(shí)，開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第一次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至0°～45°期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第一次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3aa的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取。由此，從上表面檢查相機(jī)3c向控制裝置6傳送圖像數(shù)據(jù)。這里，控制裝置6將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。

另一方面，光柵板3ab的移動(dòng)處理在第一次拍攝處理的結(jié)束之后也不結(jié)束，之后，直到在從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案之下的第四次拍攝處理結(jié)束為止，沒有中斷地持續(xù)進(jìn)行。

此外，連續(xù)移動(dòng)被投影到印刷基板p1的具有矩形波狀或者梯形波狀的光強(qiáng)度分布的條紋圖案，通過對其連續(xù)拍攝(曝光)，能夠獲取具有正弦波狀的光強(qiáng)度分布的圖像數(shù)據(jù)(參照日本專利特愿2015-231661)。

接著，在從第一次拍攝處理結(jié)束起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之后，在能夠投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成90°的時(shí)刻，控制裝置6再次使第一上表面檢查照明3a的光源3aa發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。由此，開始進(jìn)行在從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案之下的第二次拍攝處理。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第二次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至90°～135°的期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第二次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3aa的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取，將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。

在從第二次拍攝處理結(jié)束起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之后，在能夠投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成180°的時(shí)刻，控制裝置6再次使第一上表面檢查照明3a的光源3aa發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。由此，開始進(jìn)行在從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案之下的第三次拍攝處理。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第三次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至180°～225°期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第三次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3aa的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取，將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24中。

在從第三次拍攝處理結(jié)束起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之后，在能夠投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成270°的時(shí)刻，控制裝置6再次使第一上表面檢查照明3a的光源3aa發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。由此，開始進(jìn)行在從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案之下的第四次拍攝處理。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第四次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至270°～315°期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第四次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3aa的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取，將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。同時(shí)，控制裝置6結(jié)束光柵板3ab的移動(dòng)處理。

在從第四次拍攝處理結(jié)束起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之后(例如，數(shù)據(jù)傳送期間的結(jié)束之后)，控制裝置6驅(qū)動(dòng)控制第二上表面檢查照明3b以及上表面檢查相機(jī)3c，并開始進(jìn)行該檢查范圍涉及的第五次拍攝處理(在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下的第一次拍攝處理)。

詳細(xì)地講，控制裝置6使第二上表面檢查照明3b的光源3ba發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行光柵板3bb的移動(dòng)處理。由此，被投影到檢查范圍的條紋圖案以一定速度沿著y軸方向連續(xù)移動(dòng)。

并且，控制裝置6在條紋圖案的照射開始(光柵板3bb的移動(dòng)開始)的同時(shí)，開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第五次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至0°～45°期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第五次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3ba的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取。由此，從上表面檢查相機(jī)3c向控制裝置6傳送圖像數(shù)據(jù)。這里，控制裝置6將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。

另一方面，光柵板3bb的移動(dòng)處理在第五次拍攝處理(在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下的第一次拍攝處理)的結(jié)束之后也不結(jié)束，之后，直到在該檢查范圍涉及的第八次拍攝處理(在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下的第四次拍攝處理)結(jié)束為止，沒有中斷地持續(xù)進(jìn)行。

在從第五次拍攝處理結(jié)束起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之后，在能夠投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成90°的時(shí)刻，控制裝置6再次使第二上表面檢查照明3b的光源3ba發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。由此，開始進(jìn)行該檢查范圍涉及的第六次拍攝處理(在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下的第二次拍攝處理)。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第六次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至90°～135°期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第六次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3ba的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取，將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。

在從第六次拍攝處理結(jié)束起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之后，在能夠投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成180°的時(shí)刻，控制裝置6再次使第二上表面檢查照明3b的光源3ba發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。由此，開始進(jìn)行該檢查范圍涉及的第七次拍攝處理(在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下的第三次拍攝處理)。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第七次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至180°～225°期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第七次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3ba的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取，將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。

在從第七次拍攝處理結(jié)束起經(jīng)過預(yù)定時(shí)間之后，在能夠投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變成270°的時(shí)刻，控制裝置6再次使第二上表面檢查照明3b的光源3ba發(fā)光，開始進(jìn)行條紋圖案的照射，并開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理。由此，開始進(jìn)行該檢查范圍涉及的第八次拍攝處理(在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下的第四次拍攝處理)。

當(dāng)開始進(jìn)行上述第八次拍攝處理時(shí)，在被投影到所述預(yù)定位置的條紋圖案的相位變化至270°～315°期間，連續(xù)進(jìn)行曝光。

并且，當(dāng)結(jié)束第八次拍攝處理時(shí)，控制裝置6停止來自光源3ba的光的照射，并進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c拍攝的圖像數(shù)據(jù)的讀取，將讀取的圖像數(shù)據(jù)存儲在圖像數(shù)據(jù)存儲裝置24。同時(shí)，控制裝置6結(jié)束光柵板3bb的移動(dòng)處理，并結(jié)束該檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

通過進(jìn)行上述圖像獲取處理(八次拍攝處理)，來獲取在從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案之下拍攝的四套圖像數(shù)據(jù)、以及在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下拍攝的四套圖像數(shù)據(jù)的共八套圖像數(shù)據(jù)。

如上述，在本實(shí)施方式中，在各條紋圖案之下拍攝的四套圖像數(shù)據(jù)分別變成與以使具有正弦波狀的光強(qiáng)度分布的條紋圖案的相位各位移90°的方式拍攝的四套圖像數(shù)據(jù)相同的圖像數(shù)據(jù)。

并且，控制裝置6基于在各條紋圖案之下拍攝的四套圖像數(shù)據(jù)(各像素的亮度值)，通過公知的相移法來進(jìn)行三維測量(高度測量)，并將上述測量結(jié)果存儲在運(yùn)算結(jié)果存儲裝置25。此外，在本實(shí)施方式中，從兩個(gè)方向照射條紋圖案并進(jìn)行三維測量，因此能夠防止未被照射條紋圖案的陰影部分的產(chǎn)生。

接著，控制裝置6基于三維測量結(jié)果(各坐標(biāo)中的高度數(shù)據(jù))，進(jìn)行焊膏p4的好壞判定處理。具體而言，控制裝置6基于如上述獲得的檢查范圍的測量結(jié)果，檢測基準(zhǔn)面變高的焊膏p4的印刷范圍，并對該范圍內(nèi)的各部位的高度進(jìn)行積分，由此計(jì)算被印刷的焊膏p4的量。

接著，控制裝置6對由此求出的焊膏p4的位置、面積、高度或者量等的數(shù)據(jù)和被預(yù)先存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(光繪文件等)進(jìn)行比較判定，并基于該比較結(jié)果是否處于允許范圍內(nèi)，判定此檢查范圍的焊膏p4的印刷狀態(tài)的好壞。

在上述第八次拍攝處理的結(jié)束之后，在進(jìn)行上述好壞判定處理期間，控制裝置6將上表面檢查單元3移動(dòng)到下一個(gè)檢查范圍。之后，在印刷基板p1的上表面的所有檢查范圍內(nèi)反復(fù)進(jìn)行上述一系列處理，由此結(jié)束印刷基板p1的上表面整體的檢查。此外，印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊臋z查的流程與上表面?zhèn)鹊臋z查的流程相同，因此省略詳細(xì)的說明。

如上詳細(xì)敘述的，根據(jù)本實(shí)施方式，變成如下構(gòu)成：在印刷基板p1的上表面?zhèn)?或者下表面?zhèn)?執(zhí)行預(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理之后，將上表面檢查單元3(或者下表面檢查單元4)移動(dòng)到與下一個(gè)檢查范圍對應(yīng)的位置，并在印刷基板p1的下表面?zhèn)?或者上表面?zhèn)?執(zhí)行預(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

即，交替性反復(fù)進(jìn)行印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理、以及印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理，由此能夠同步進(jìn)行印刷基板p1的上表面?zhèn)热珔^(qū)域的多個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理、以及印刷基板p1的下表面?zhèn)热珔^(qū)域的多個(gè)檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

因此，如圖9所示的現(xiàn)有例，與在結(jié)束印刷基板p1的上表面?zhèn)热珔^(qū)域的多個(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理之后，執(zhí)行印刷基板p1的下表面?zhèn)热珔^(qū)域的多個(gè)檢查范圍涉及的全部圖像獲取處理的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)印刷基板p1的兩面檢查涉及的檢查的高速化。

另外，在本實(shí)施方式中，在印刷基板p1的上表面?zhèn)?或者下表面?zhèn)?的預(yù)定的檢查范圍的圖像獲取期間中，停止下表面?zhèn)?或者上表面?zhèn)?的光的照射，因此能夠在光不泄漏到上表面?zhèn)?或者下表面?zhèn)?的情況下，獲取精度良好的圖像數(shù)據(jù)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)印刷基板p1的兩面檢查涉及的檢查精度的提高。

作為結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)印刷基板p1的兩面檢查涉及的檢查精度的提高，并能夠?qū)崿F(xiàn)檢查的高速化。

〔第二實(shí)施方式〕

下面，參照圖5的(b)、圖7，對第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖5的(b)是用于說明本實(shí)施方式中的上表面檢查單元3及下表面檢查單元4的處理動(dòng)作的時(shí)序圖，圖7是用于說明本實(shí)施方式中的印刷基板p1的上表面?zhèn)燃跋卤砻鎮(zhèn)鹊臋z查順序(上表面檢查單元3及下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑)的說明圖。此外，關(guān)于與第一實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分，附以相同符號，并省略其詳細(xì)的說明。

在第二實(shí)施方式中，印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊臋z查順序(上表面檢查單元3的移動(dòng)路徑)與第一實(shí)施方式不同。另一方面，印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊臋z查順序(下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑)與第一實(shí)施方式相同。

控制裝置6首先移動(dòng)上表面檢查單元3，并將上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕匹配，并且，移動(dòng)下表面檢查單元4，并將下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl與印刷基板p1下表面的第一識別標(biāo)記〔a〕匹配。

接著，控制裝置6拍攝印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕。并且，在結(jié)束該拍攝處理的同時(shí)，控制裝置6開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第二識別標(biāo)記〔b〕對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

同時(shí)，控制裝置6拍攝印刷基板p1下表面的第一識別標(biāo)記〔a〕。并且，在結(jié)束該拍攝處理的同時(shí)，控制裝置6開始進(jìn)行將下表面檢查單元4移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

之后，當(dāng)結(jié)束上表面檢查單元3的移動(dòng)處理，并且上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第二識別標(biāo)記〔b〕匹配時(shí)，控制裝置6拍攝印刷基板p1上表面的第二識別標(biāo)記〔b〕。

該拍攝處理的結(jié)束的同時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

此外，在本實(shí)施方式中，此處，將離第一識別標(biāo)記〔a〕及第二識別標(biāo)記〔b〕中最后拍攝的第二識別標(biāo)記〔b〕最短距離的檢查范圍作為最先執(zhí)行圖像獲取處理的第“1”檢查范圍。在圖7所示的印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊睦又?，左上角落部的檢查范圍變成第“1”檢查范圍。并且，設(shè)定檢查順序，使得在該第“1”檢查范圍為起點(diǎn)時(shí)，上表面檢查單元3的移動(dòng)路徑變成最短路徑。

另外，上表面檢查單元3的上述移動(dòng)處理的開始的同時(shí)，控制裝置6拍攝印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕。并且，在該拍攝處理的結(jié)束的同時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將下表面檢查單元4移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

此外，在本實(shí)施方式中，關(guān)于印刷基板p1的下表面?zhèn)龋⒉皇请x第一識別標(biāo)記〔a〕及第二識別標(biāo)記〔b〕中最后拍攝的第二識別標(biāo)記〔b〕最短距離的檢查范圍變成最先執(zhí)行圖像獲取處理的第“1”檢查范圍，印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊臋z查順序(下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑)變得與第一實(shí)施方式相同。即，在圖7所示的印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊睦又?，左上角落部的檢查范圍變成第“1”檢查范圍。并且，設(shè)定檢查順序，使得在該第“1”檢查范圍為起點(diǎn)時(shí)，下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑變成最短路徑。

另外，在下表面檢查單元4的上述移動(dòng)處理的開始的同時(shí)，結(jié)束上表面檢查單元3的移動(dòng)處理，并且上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍匹配時(shí)，控制裝置6執(zhí)行印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

并且，當(dāng)結(jié)束該圖像獲取處理時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

之后，在結(jié)束下表面檢查單元4的移動(dòng)處理，并且下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍匹配時(shí)，控制裝置6執(zhí)行印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

此后，與第一實(shí)施方式同樣，交替性執(zhí)行由上表面檢查單元3進(jìn)行的印刷基板p1上表面的第“2”～第“15”檢查范圍涉及的圖像獲取處理以及此間的移動(dòng)處理、以及由下表面檢查單元4進(jìn)行的印刷基板p1下表面的第“2”～第“15”檢查范圍涉及的圖像獲取處理以及此間的移動(dòng)處理，由此結(jié)束印刷基板p1的上下兩面涉及的檢查。

如上詳細(xì)敘述，根據(jù)本實(shí)施方式，印刷基板p1的上表面?zhèn)瓤梢宰兂扇缦聵?gòu)成：從位于離第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕中最后拍攝的第二識別標(biāo)記〔b〕最近的位置的檢查范圍開始進(jìn)行檢查。由此，能夠縮短在最先的檢查范圍開始進(jìn)行檢查之前的時(shí)間，并能夠?qū)崿F(xiàn)檢查的高速化。

此外，如上所述，在本實(shí)施方式中，關(guān)于印刷基板p1的下表面?zhèn)?，離第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕中最后拍攝的第二識別標(biāo)記〔b〕最短距離的檢查范圍沒有變成最先執(zhí)行圖像獲取處理的第“1”檢查范圍，但除了印刷基板p1的上表面?zhèn)戎?，印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊臋z查順序(下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑)也可以變成如下構(gòu)成：從位于離第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕中最后拍攝的第二識別標(biāo)記〔b〕最近的位置的檢查范圍開始進(jìn)行檢查。例如，在圖7所示的印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊睦又?，可以將左下角落部的檢查范圍作為第“1”檢查范圍。

另外，相反，還可以設(shè)為如下構(gòu)成：將印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊臋z查順序設(shè)定成與第一實(shí)施方式相同的同時(shí)，僅對印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊臋z查順序(下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑)從位于離第一識別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕中最后拍攝的第二識別標(biāo)記〔b〕最近的位置的檢查范圍開始進(jìn)行檢查。

〔第三實(shí)施方式〕

參照參照圖5的(c)、圖8，對第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖5的(c)是用于說明本實(shí)施方式中的上表面檢查單元3以及下表面檢查單元4的處理動(dòng)作的時(shí)序圖，圖8是用于說明本實(shí)施方式中的印刷基板p1的上表面?zhèn)燃跋卤砻鎮(zhèn)鹊臋z查順序(上表面檢查單元3以及下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑)的說明圖。此外，關(guān)于與第一實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分，附以相同的符號，并省略其詳細(xì)的說明。

在第三實(shí)施方式中，印刷基板p1的上下兩面涉及的位置修正以及關(guān)于它們的處理處理(識別標(biāo)記的拍攝順序等)與第一實(shí)施方式不同。

控制裝置6首先移動(dòng)上表面檢查單元3，并將上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕匹配的同時(shí)，移動(dòng)下表面檢查單元4，并將下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl與印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕匹配。

接著，控制裝置6拍攝印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕。并且，在該拍攝處理的結(jié)束的同時(shí)，控制裝置6拍攝印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕。

并且，在該拍攝處理的結(jié)束的同時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理的同時(shí)，開始進(jìn)行將下表面檢查單元4移動(dòng)到與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

此外，在本實(shí)施方式中，關(guān)于印刷基板p1的上表面?zhèn)?，此處，將離第一識別標(biāo)記〔a〕最短距離的檢查范圍設(shè)定成最先執(zhí)行圖像獲取處理的第“1”檢查范圍。在圖8所示的印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊睦又?，右下角落部的檢查范圍變成第“1”檢查范圍。并且，設(shè)定檢查順序，使得以該第“1”檢查范圍為起點(diǎn)時(shí)，上表面檢查單元3的移動(dòng)路徑變成最短路徑。

另一方面，關(guān)于印刷基板p1的下表面?zhèn)?，離第二識別標(biāo)記〔b〕最短距離的檢查范圍沒有變成最先執(zhí)行圖像獲取處理的第“1”檢查范圍。在圖8所示的印刷基板p1的下表面?zhèn)鹊睦又?，左上角落部的檢查范圍變成第“1”檢查范圍。并且，設(shè)定檢查順序，使得以該第“1”檢查范圍為起點(diǎn)時(shí)，下表面檢查單元4的移動(dòng)路徑變成最短路徑。

另外，當(dāng)印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕的拍攝處理、以及印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕的拍攝處理結(jié)束時(shí)，控制裝置6在上述移動(dòng)處理期間，基于由上述拍攝處理獲取的圖像數(shù)據(jù)涉及的印刷基板p1上表面的第一識別標(biāo)記〔a〕的位置坐標(biāo)以及印刷基板p1下表面的第二識別標(biāo)記〔b〕的位置坐標(biāo)、以及被預(yù)先存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的上表面檢查單元3及下表面檢查單元4的偏移量(上表面檢查相機(jī)3c以及下表面檢查相機(jī)4c的偏移量)，參考光繪文件，修正上表面檢查單元3和印刷基板p1上表面之間的相對位置關(guān)系的偏離的同時(shí)，修正下表面檢查單元4和印刷基板p1下表面之間的相對位置關(guān)系的偏離。通過上述處理功能來構(gòu)成本實(shí)施方式中的修正單元。此外，上表面檢查單元3以及下表面檢查單元4的偏移量是在檢查開始之前由校準(zhǔn)等預(yù)先求出的。

之后，在結(jié)束上表面檢查單元3的移動(dòng)處理，并且上表面檢查相機(jī)3c的拍攝視角ku與印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍匹配時(shí)，控制裝置6執(zhí)行印刷基板p1上表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

并且，當(dāng)結(jié)束該圖像獲取處理時(shí)，控制裝置6按照被存儲在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲裝置26的檢查順序，開始進(jìn)行將上表面檢查單元3移動(dòng)到與印刷基板p1上表面的第“2”檢查范圍對應(yīng)的位置的移動(dòng)處理。

與此同時(shí)，在結(jié)束下表面檢查單元4的移動(dòng)處理，并且下表面檢查相機(jī)4c的拍攝視角kl與印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍匹配時(shí)，控制裝置6執(zhí)行印刷基板p1下表面的第“1”檢查范圍涉及的圖像獲取處理。

此后，與第一實(shí)施方式同樣，交替性執(zhí)行由表面檢查單元3進(jìn)行的印刷基板p1上表面的第“2”～第“15”檢查范圍涉及的圖像獲取處理以及此間的移動(dòng)處理、以及由下表面檢查單元4進(jìn)行的印刷基板p1下表面的第“2”～第“15”檢查范圍涉及的圖像獲取處理以及此間的移動(dòng)處理，由此結(jié)束印刷基板p1的上下兩面涉及的檢查。

如上詳細(xì)敘述，根據(jù)本實(shí)施方式，將印刷基板p1的上下兩面中的一個(gè)面的識別標(biāo)記的位置信息作為另一個(gè)面的位置信息而使用，由此，能夠僅僅對印刷基板p1的上下兩面?zhèn)€別拍攝一個(gè)識別標(biāo)記(無需拍攝多個(gè)識別標(biāo)記)，就進(jìn)行位置修正。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)印刷基板p1的兩面檢查涉及的檢查精度的進(jìn)一步的提高。

進(jìn)一步地，能夠在不分別對印刷基板p1的上下兩面拍攝多個(gè)識別標(biāo)記的情況下，開始進(jìn)行檢查，因此能夠?qū)崿F(xiàn)檢查的高速化。

此外，在本實(shí)施方式中，以印刷基板p1的上下兩面沒有位置偏離(層積偏離以及圖案的偏離等)為前提，基于上表面檢查單元3以及下表面檢查單元4的偏移量而進(jìn)行上述修正，但如果印刷基板p1的上下兩面有位置偏離的情況下，則例如預(yù)先與印刷基板p1的管理信息(序列號等)一同準(zhǔn)備例如在前工序(圖案檢查工序等)中檢測出的印刷基板p1的表面背面的位置偏離信息(印刷基板p1的表面和背面的相對位置關(guān)系)，由此能夠進(jìn)行上述修正。

另外，代替上述識別標(biāo)記，只要將貫通印刷基板p1的表面背面的通孔等作為定位用的特定對象而利用，就能夠在不考慮印刷基板p1的上下兩面的位置偏離的情況下，進(jìn)行上述修正。

此外，并不限于上述實(shí)施方式的記載內(nèi)容，例如可以如下的方式實(shí)施。當(dāng)然，也可以有下面沒有例示的其他應(yīng)用例、變更例。

(a)在上述實(shí)施方式中，將基板檢查裝置具體化為用于檢查被印刷在印刷基板p1上的焊膏p4的印刷狀態(tài)的焊錫印刷檢查裝置，但并不限于此，例如，可以具體化為用于檢查被印刷在基板上的焊錫凸點(diǎn)、被裝配在基板上的電子部件等、以及其他對象的構(gòu)成。當(dāng)然，并不限于回焊之前的檢查，可以設(shè)為用于回焊之后的檢查的構(gòu)成。

(b)在上述實(shí)施方式中，在通過相移法來進(jìn)行三維測量之后，獲取條紋圖案的相位每隔90°不同的四套圖像數(shù)據(jù)，但相移次數(shù)以及相移量并不限于此?？梢圆捎媚軌蛲ㄟ^相移法來進(jìn)行三維測量的其他相移次數(shù)以及相移量。

例如，可以設(shè)為獲取相位每隔120°(或者90°)不同的三套圖像數(shù)據(jù)并進(jìn)行三維測量的構(gòu)成，還可以設(shè)為獲取相位每隔180°(或者90°)不同的兩套圖像數(shù)據(jù)并進(jìn)行三維測量的構(gòu)成。

(c)在上述各實(shí)施方式中，連續(xù)移動(dòng)被投影到印刷基板p1的具有矩形波狀或者梯形波狀的光強(qiáng)度分布的條紋圖案，通過對其連續(xù)拍攝(曝光)，能夠獲取具有正弦波狀的光強(qiáng)度分布的圖像數(shù)據(jù)。

這里，連續(xù)拍攝的期間并不限于上述實(shí)施方式(相當(dāng)于移動(dòng)相位45°的部分)，可以采用不同的構(gòu)成。

另外，并不限于連續(xù)拍攝(曝光)的構(gòu)成，可以設(shè)置為與以往同樣，依次切換光柵的位置，并在使光柵停止的狀態(tài)下照射條紋圖案，由此獲取不同相位的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)的構(gòu)成。

另外，在上述實(shí)施方式中，作為將來自光源的光轉(zhuǎn)換為條紋圖案的單元而采用光柵板，但并不限于此，例如，可以采用按照每個(gè)短柵狀的線而能夠控制透過率或者反射率的液晶面板等其他單元。通過使用液晶面板等，能夠在不連續(xù)移動(dòng)光柵板的情況下，照射具有理想的正弦波狀的光強(qiáng)度分布的條紋圖案。

(d)在上述各實(shí)施方式中，設(shè)置為了通過相移法來進(jìn)行三維測量的構(gòu)成，但并不限于此，例如，可以采用空間編碼法等、其他三維測量法。但是，在測量焊膏p4等小的測量對象的情況下，更優(yōu)選采用相移法等、測量精度高的測量方法。

(e)從各照明照射的光的種類等、照射單元相關(guān)的構(gòu)成并不限于上述實(shí)施方式，可以采用其他構(gòu)成。

例如，在上述各實(shí)施方式中，設(shè)為在進(jìn)行印刷基板p1的檢查時(shí)，照射條紋圖案并進(jìn)行三維測量的構(gòu)成，但可以設(shè)為代替這個(gè)或者除此之外，增加二維測量的構(gòu)成。

例如，如圖10所示，可以設(shè)為如下構(gòu)成：在上表面檢查單元3中，除了第一上表面檢查照明3a及第二上表面檢查照明3b以及上表面檢查相機(jī)3c之外，還具備二維檢查用的照明裝置71，并且在下表面檢查單元4中，除了第一下表面檢查照明4a及第二下表面檢查照明4b以及下表面檢查相機(jī)4c之外，還具備二維檢查用的照明裝置71。

如圖10、11所示，照明裝置71具有被配置在最靠近印刷基板p1的位置的第一環(huán)形燈72、被配置在僅次于該第一環(huán)形燈72靠近印刷基板p1的位置的第二環(huán)形燈73、以及被配置在最遠(yuǎn)離印刷基板p1的位置的第三環(huán)形燈74。

各環(huán)形燈72～74被構(gòu)成為能夠通過分別切換紅色光、綠色光以及藍(lán)色光三種顏色的單色光來照射。另外，第一環(huán)形燈72被構(gòu)成為向印刷基板p1以大入射角(例如，74°)進(jìn)行光照射。第二環(huán)形燈73被構(gòu)成為向印刷基板p1以中入射角(例如，20°)進(jìn)行光照射。第三環(huán)形燈74構(gòu)成為向印刷基板p1以小入射角(例如，0°)進(jìn)行光照射。

并且，例如，在印刷基板p1的上表面?zhèn)鹊念A(yù)定的檢查范圍涉及的檢查(圖像獲取處理)中，可以構(gòu)成為如下：除了在從第一上表面檢查照明3a照射的條紋圖案之下的多次拍攝處理、以及在從第二上表面檢查照明3b照射的條紋圖案之下的多次拍攝處理的至少一者之外，還可以執(zhí)行在從所有環(huán)形燈72～74照射的紅色光之下的一次拍攝處理、從所有環(huán)形燈72～74照射的藍(lán)色光之下的一次拍攝處理、從所有環(huán)形燈72～74照射的綠色光之下的一次拍攝處理、從第一環(huán)形燈72以大入射角照射的單色光(例如，藍(lán)色光)之下的一次拍攝處理、從第二環(huán)形燈73以中入射角照射的單色光(例如，綠色光)之下的一次拍攝處理、以及從第三環(huán)形燈74以小入射角照射的單色光(例如，紅色光)之下的一次拍攝處理中的至少一個(gè)拍攝處理(關(guān)于印刷基板p1的下表面?zhèn)纫餐瑯?。

可以設(shè)為如下構(gòu)成：在上述構(gòu)成之下，除了三維測量之外，還實(shí)施焊錫印刷區(qū)域、電極區(qū)域、絲網(wǎng)印刷區(qū)域等各種區(qū)域的提取、異物的檢測、焊膏p4的面積測量、位移判定、以及橋式檢測等的各種二維測量。

另外，可以設(shè)為如下構(gòu)成：省略第一上表面檢查照明3a及第二上表面檢查照明3b、以及第一下表面檢查照明4a及第二下表面檢查照明4b，不進(jìn)行三維測量，僅僅實(shí)施二維測量。

另外，在上述各實(shí)施方式中，設(shè)定成在預(yù)定的檢查范圍涉及的1次圖像獲取處理中執(zhí)行多個(gè)拍攝處理的構(gòu)成，但并不限于此，可以設(shè)定成在預(yù)定的檢查范圍涉及的1次的圖像獲取處理中只進(jìn)行一次拍攝處理的構(gòu)成。

(f)印刷基板p1的上下兩面檢查中的上表面檢查單元以及下表面檢查單元的處理動(dòng)作并不限于上述各實(shí)施方式(圖5所示的例子)。只要是至少在印刷基板p1的上表面?zhèn)?或者下表面?zhèn)?的預(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理的執(zhí)行期間中，停止下表面?zhèn)?或者上表面?zhèn)?的光的照射，不會向上表面?zhèn)?或者下表面?zhèn)?泄露光的構(gòu)成，就可以采用其他任何構(gòu)成。

例如，在上述實(shí)施方式中，各檢查單元3、4的移動(dòng)期間(除了一部分)被設(shè)定成比由各檢查相機(jī)3c、4c進(jìn)行的預(yù)定的檢查范圍涉及的一次圖像獲取處理的執(zhí)行期間短，但各檢查單元3、4的移動(dòng)期間還可以被設(shè)定成比一次圖像獲取處理的執(zhí)行期間長。

在上述情況下，例如，可以采用采取如下構(gòu)成：在由上表面檢查單元3(上表面檢查相機(jī)3c)進(jìn)行的預(yù)定的檢查范圍涉及的圖像獲取處理的結(jié)束之后，開始進(jìn)行該上表面檢查單元3的移動(dòng)處理的同時(shí)，開始進(jìn)行由下表面檢查單元4(下表面檢查相機(jī)4c)進(jìn)行的拍攝處理，在該拍攝處理的結(jié)束之后，等待上表面檢查單元3的移動(dòng)處理，并開始進(jìn)行由上表面檢查單元3進(jìn)行的下一個(gè)圖像處理?；蛘?，在由上表面檢查單元3進(jìn)行的拍攝處理的結(jié)束之后，開始進(jìn)行該上表面檢查單元3的移動(dòng)處理，并經(jīng)過預(yù)定時(shí)間(例如，1msec)之后，開始進(jìn)行由下表面檢查單元4進(jìn)行的拍攝處理。

此外，只要能夠?qū)⒏鳈z查單元3、4的移動(dòng)處理時(shí)所需的時(shí)間設(shè)定得較長，就能夠抑制各檢查單元3、4的移動(dòng)時(shí)的振動(dòng)等。作為結(jié)果，能夠降低振動(dòng)等的對于拍攝的影響，并能夠?qū)崿F(xiàn)檢查精度的提高。

(g)各檢查范圍的圖像獲取處理中的上表面檢查單元3及下表面檢查單元4的處理動(dòng)作并不限于上述實(shí)施方式(圖4所示的例子)。

例如，在上述實(shí)施方式中，各檢查相機(jī)3c、4c中的數(shù)據(jù)傳送(讀取)期間被設(shè)定成比各檢查相機(jī)3c、4c的一次拍攝處理的執(zhí)行期間短，但還可以是將數(shù)據(jù)傳送期間設(shè)定成比一次拍攝處理的執(zhí)行期間長。

在上述情況下，例如，可以采用采取如下構(gòu)成：在由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理的結(jié)束之后，開始進(jìn)行該上表面檢查相機(jī)3c的數(shù)據(jù)傳送，并開始進(jìn)行由下表面檢查相機(jī)4c進(jìn)行的拍攝處理，在該拍攝處理的結(jié)束之后，等待上表面檢查相機(jī)3c的數(shù)據(jù)傳送期間(不能執(zhí)行拍攝處理的期間)的結(jié)束，開始進(jìn)行由該上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的下一個(gè)拍攝處理?；蛘?，在由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理的結(jié)束之后，開始進(jìn)行該上表面檢查相機(jī)3c中的數(shù)據(jù)傳送，并經(jīng)過預(yù)定時(shí)間(例如，1msec)之后，開始進(jìn)行由下表面檢查相機(jī)4c進(jìn)行的拍攝處理。

當(dāng)然，光柵板3ab等各光柵板涉及的動(dòng)作控制處理也與各檢查相機(jī)3c、4c的拍攝處理匹配。即，在有時(shí)間滯后的情況下，暫時(shí)停止并待機(jī)。

(h)在上述各實(shí)施方式中，作為各檢查相機(jī)3c、4c的拍攝元件，采用ccd傳感器，但拍攝元件并不限于此，例如可以采用cmos傳感器等、其他拍攝元件。

此外，在使用一般的ccd傳感器等的情況下，在數(shù)據(jù)傳送中不能進(jìn)行下一個(gè)拍攝(曝光)處理，因此在進(jìn)行多次拍攝的情況下，交替性反復(fù)進(jìn)行拍攝處理以及數(shù)據(jù)傳送處理。

對此，在使用cmos傳感器、以及持有在數(shù)據(jù)傳送中能夠曝光的功能的ccd傳感器等的情況下，能夠以一部分重復(fù)的方式進(jìn)行拍攝處理和數(shù)據(jù)傳送處理。

通過利用這個(gè)，在如上所述的數(shù)據(jù)傳送期間被設(shè)定為比一次拍攝處理的執(zhí)行期間長的情況下，例如，在由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的拍攝處理的結(jié)束之后，開始進(jìn)行由該上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的數(shù)據(jù)傳送，并且開始進(jìn)行由下表面檢查相機(jī)4c進(jìn)行的拍攝處理，能夠在不等待上表面檢查相機(jī)3c的數(shù)據(jù)傳送期間的結(jié)束的情況下，由下表面檢查相機(jī)4c進(jìn)行的拍攝處理的結(jié)束的同時(shí)，開始進(jìn)行由上表面檢查相機(jī)3c進(jìn)行的下一個(gè)拍攝處理。

(i)雖然在上述各實(shí)施方式中沒有特別提及，但例如，如圖12所示，可以是在位于印刷基板p1的運(yùn)送路的下方的下表面檢查相機(jī)4c具備保護(hù)罩50的構(gòu)成。

可能發(fā)生在位于印刷基板p1的運(yùn)送路的下方的下表面檢查相機(jī)4c附著從印刷基板p1落下的焊渣等的異物的情況。通過具備保護(hù)罩50，能夠防止異物附著在下表面檢查相機(jī)4c。

保護(hù)罩50由透明部材構(gòu)成，下表面檢查相機(jī)4c經(jīng)由保護(hù)罩50能夠拍攝印刷基板p1的下表面。

但是，當(dāng)在保護(hù)罩50附著污染物或者異物時(shí)，可能給檢查帶來障礙，因此優(yōu)選在基板檢查裝置1具備用于檢查是否在保護(hù)罩50附著異物等的罩檢查機(jī)構(gòu)。下面，以罩檢查機(jī)構(gòu)的具體例進(jìn)行說明。

如圖12所示，通過支架51來一體地組裝下表面檢查相機(jī)4c和保護(hù)罩50。并且，在從基板檢查裝置1運(yùn)出結(jié)束檢查的印刷基板p1之后，在向基板檢查裝置1運(yùn)入新的刷基板p1期間，通過未圖示的驅(qū)動(dòng)單元，將每個(gè)支架51的下表面檢查相機(jī)4c以及保護(hù)罩50移動(dòng)到從印刷基板p1的運(yùn)送路的下方位置偏離的位置(罩檢查位置)。

在罩檢查位置以位于保護(hù)罩50的上方的方式設(shè)置有透過照明53。并且，在將相機(jī)4c的焦點(diǎn)與保護(hù)罩50匹配之后，通過相機(jī)4c來拍攝從透過照明53照射并透過保護(hù)罩50的透過光并進(jìn)行異物檢查。

另外，如圖13所示的例子，可以是如下構(gòu)成：在罩檢查位置具備進(jìn)入到保護(hù)罩50的下方的透過照明55，并且在保護(hù)罩50的上方位置具備罩檢查專用的相機(jī)56。并且，通過相機(jī)56來拍攝從透過照明55照射且透過保護(hù)罩50的透過光，并進(jìn)行異物檢查。

另外，可以是代替透過照明，使用反射照明而進(jìn)行異物檢查的構(gòu)成。例如，如圖14所示，可以是在罩檢查位置具備位于保護(hù)罩50的上方的黑板60，并且具備向保護(hù)罩50從斜下方照射光的反射照明61的構(gòu)成。并且，在將相機(jī)4c的焦點(diǎn)與保護(hù)罩50匹配之后，通過相機(jī)4c來拍攝從反射照明61照射且被保護(hù)罩50反射的反射光，并進(jìn)行異物檢查。

另外，如圖15所示的例子，可以是如下構(gòu)成：在罩檢查位置具備進(jìn)入到保護(hù)罩50的下方的黑板62、位于保護(hù)罩50的上方的罩檢查專用的相機(jī)63、以及向保護(hù)罩50從斜上方照射光的反射照明64。并且，通過相機(jī)63來拍攝從反射照明64照射且被保護(hù)罩50反射的反射光，并進(jìn)行異物檢查。

進(jìn)一步地，可以是除了上述各種罩檢查機(jī)構(gòu)之外，還具備從保護(hù)罩50去除異物的機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。并且，可以是如下構(gòu)成：在通過上述各種罩檢查機(jī)構(gòu)來檢測保護(hù)罩50上的異物等的情況下，使預(yù)定的異物去除機(jī)構(gòu)工作，并去除異物。

作為異物去除機(jī)構(gòu)，例如，作為一個(gè)例子，可以舉出向保護(hù)罩50吹出空氣并吹飛異物的機(jī)構(gòu)，通過刷子等來掃出異物的機(jī)構(gòu)，在保護(hù)罩50設(shè)置薄膜、并在污染時(shí)依次被剝離的機(jī)構(gòu)(撕扯功能)，以及在保護(hù)罩50設(shè)置滾狀的膜、并在污染時(shí)依次被卷取的機(jī)構(gòu)(外轉(zhuǎn)功能)等。

此外，可以是替代僅僅保護(hù)下表面檢查相機(jī)4c的保護(hù)罩50，設(shè)置保護(hù)下表面檢查單元4整體的保護(hù)罩的構(gòu)成。但是，保護(hù)下表面檢查單元4整體的保護(hù)罩的、在異物檢查中的檢查范圍廣，檢查時(shí)間還可能變長。另外，保護(hù)罩的大小增加，因此存在裝置大型化且重量變重的可能性。關(guān)于這點(diǎn)，更優(yōu)選僅僅保護(hù)下表面檢查相機(jī)4c的保護(hù)罩50。

(j)在上述各實(shí)施方式中，設(shè)定成了如下構(gòu)成：作為定位用的特定對象，在印刷基板p1的表面?zhèn)雀揭缘谝蛔R別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕，在印刷基板p1的背面?zhèn)雀揭缘谝蛔R別標(biāo)記〔a〕以及第二識別標(biāo)記〔b〕。

特定對象的數(shù)量、形狀、大小、位置、種類等、特定對象的構(gòu)成并不限于上述實(shí)施方式。例如，可以設(shè)定成在印刷基板p1的表面背面兩面設(shè)置1個(gè)位置或者3個(gè)位置所以上的識別標(biāo)記的構(gòu)成。另外，可以將貫通印刷基板p1的表面背面的通孔等作為定位用的特定對象。根據(jù)情況，可以兼用電路用的通孔。另外，還可以將電極圖案p3的一部作為定位用的特定對象而利用。

符號說明

1...基板檢查裝置、2...運(yùn)送機(jī)構(gòu)、3...上表面檢查單元、3a...第一上表面檢查照明、3b...第二上表面檢查照明、3c...上表面檢查相機(jī)、4...下表面檢查單元、4a...第一下表面檢查照明、4b...第二下表面檢查照明、4c...下表面檢查相機(jī)、6...控制裝置、p1...印刷基板、p4...焊膏。