亚洲狠狠干,亚洲国产福利精品一区二区,国产八区,激情文学亚洲色图

電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的制作方法

文檔序號(hào):11706488閱讀:240來(lái)源:國(guó)知局
電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的制作方法

本發(fā)明涉及電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置。



背景技術(shù):

以往,已知有對(duì)半導(dǎo)體元件等電子部件的電特性進(jìn)行檢查(試驗(yàn))的電子部件檢查裝置。由該電子部件檢查裝置檢查的電子部件,其俯視下的外形形狀為矩形(例如參照專利文獻(xiàn)1)。另外,在載置電子部件的托盤、更換工具等載置部件設(shè)置有各收納一個(gè)電子部件的凹部。并且,各凹部也形成為俯視呈矩形,以與電子部件的俯視下的外形形狀對(duì)應(yīng)。

專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-45996號(hào)公報(bào)

然而,在想要使用專利文獻(xiàn)1所記載的電子部件檢查裝置來(lái)檢測(cè)例如俯視下的外形形狀為圓形的電子部件的情況下,即使將該電子部件收納于載置部件的凹部,電子部件也因裝置的振動(dòng)等在凹部?jī)?nèi)旋轉(zhuǎn),姿勢(shì)不穩(wěn)定,結(jié)果導(dǎo)致不能檢查。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的,能夠作為以下方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置具有:把持部,其能夠在把持電子部件的把持狀態(tài)下至少調(diào)整上述電子部件的姿勢(shì);檢測(cè)部,其能夠檢測(cè)上述把持狀態(tài)的上述電子部件的姿勢(shì);以及載置部,其能夠載置由上述檢測(cè)部檢測(cè)出上述姿勢(shì)的上述電子部件并進(jìn)行移動(dòng)。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考?zhǔn)確地調(diào)整為適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例2在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述把持部是使上述把持狀態(tài)的上述電子部件旋轉(zhuǎn)的部件,利用上述把持部旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角度至少是180°。

由此,能夠恰當(dāng)且迅速地進(jìn)行電子部件的姿勢(shì)調(diào)整。

應(yīng)用例3在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述把持部具有能夠調(diào)整上述姿勢(shì)的多個(gè)姿勢(shì)調(diào)整部。

由此,能夠針對(duì)多個(gè)電子部件進(jìn)行姿勢(shì)調(diào)整。

應(yīng)用例4在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述多個(gè)姿勢(shì)調(diào)整部能夠分別調(diào)整上述姿勢(shì)。

由此,能夠分別獨(dú)立地設(shè)定各電子部件的姿勢(shì)的調(diào)整量。

應(yīng)用例5在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述各姿勢(shì)調(diào)整部能夠分別獨(dú)立地對(duì)上述電子部件的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行控制。

由此,即使處于把持狀態(tài)的各電子部件的姿勢(shì)不同,也能夠?qū)⒃摳麟娮硬考淖藙?shì)矯正為所希望的姿勢(shì)。

應(yīng)用例6在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有使上述多個(gè)姿勢(shì)調(diào)整部轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)的一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部。

由此,和轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部與各姿勢(shì)調(diào)整部對(duì)應(yīng)地分別各設(shè)置一個(gè)的情況相比,能夠使作為電子部件搬運(yùn)裝置整體的構(gòu)成簡(jiǎn)單化。

應(yīng)用例7在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件在外形的一部分具有曲線形狀。

由此,電子部件能夠通過(guò)本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例8在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述曲線形狀是圓弧形狀。

由此,電子部件能夠通過(guò)本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例9在本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件的外形是圓形。

由此,電子部件能夠通過(guò)本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例10本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置具有:把持部,其能夠在把持電子部件的把持狀態(tài)下至少調(diào)整姿勢(shì);檢測(cè)部,其能夠檢測(cè)上述把持狀態(tài)的上述電子部件的姿勢(shì);載置部,其能夠載置由上述檢測(cè)部檢測(cè)出上述姿勢(shì)的上述電子部件載置并進(jìn)行移動(dòng);以及電子部件檢查部,其檢查上述電子部件。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考?zhǔn)確地調(diào)整為適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例11本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置具備能夠在載置電子部件的狀態(tài)下轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)、以及能夠檢測(cè)載置于上述轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)的上述電子部件的姿勢(shì)的姿勢(shì)檢測(cè)部。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考?zhǔn)確地調(diào)整為適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例12在上述應(yīng)用例11所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有能夠把持上述電子部件的把持部。

由此,能夠?qū)㈦娮硬考囊?guī)定位置穩(wěn)定地搬運(yùn)至其它的規(guī)定位置。

應(yīng)用例13在上述應(yīng)用例11或12所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選在上述轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)的載置上述電子部件的部分具有光能夠透過(guò)的透光部。

由此,例如能夠使姿勢(shì)檢測(cè)部通過(guò)拍攝電子部件來(lái)檢測(cè)該電子部件的姿勢(shì),并且姿勢(shì)檢測(cè)部的配置位置的自由度也得到提高。

應(yīng)用例14在上述應(yīng)用例13所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述姿勢(shì)檢測(cè)部經(jīng)由上述透光部檢測(cè)上述電子部件的姿勢(shì)。

由此,例如能夠使姿勢(shì)檢測(cè)部通過(guò)拍攝電子部件來(lái)檢測(cè)該電子部件的姿勢(shì),并且姿勢(shì)檢測(cè)部的配置位置的自由度也得到提高。

應(yīng)用例15在上述應(yīng)用例13或14所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述透光部由開口的開口部構(gòu)成。

由此,在將電子部件載置于轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)的狀態(tài)下,電子部件的一部分從開口部露出,因而,能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)電子部件的姿勢(shì)。

應(yīng)用例16在上述應(yīng)用例13或14所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述透光部由能夠透光的材料構(gòu)成。

由此,能夠與電子部件的大小無(wú)關(guān)地在透光部上載置電子部件。

應(yīng)用例17在上述應(yīng)用例11~16中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)以使上述姿勢(shì)成為預(yù)先決定的姿勢(shì)的方式進(jìn)行調(diào)整。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,能夠?qū)⑸鲜鲱A(yù)先決定的姿勢(shì)設(shè)定為電子部件適于檢查的姿勢(shì)。

應(yīng)用例18在上述應(yīng)用例11~17中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有在檢測(cè)上述姿勢(shì)后把持上述電子部件的把持部,上述姿勢(shì)檢測(cè)部檢測(cè)通過(guò)上述把持部被把持的把持狀態(tài)的上述電子部件的姿勢(shì)。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,能夠確認(rèn)在檢測(cè)姿勢(shì)后被把持的電子部件是否在維持適于檢查的姿勢(shì)。

應(yīng)用例19在上述應(yīng)用例18所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述姿勢(shì)檢測(cè)部在檢測(cè)上述把持狀態(tài)的上述電子部件的姿勢(shì)的情況下,能夠根據(jù)與上述電子部件的分離距離來(lái)調(diào)整焦點(diǎn)位置。

由此,能夠防止針對(duì)電子部件的焦點(diǎn)不對(duì)準(zhǔn),該電子部件的圖像不清晰。

應(yīng)用例20在上述應(yīng)用例19所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述焦點(diǎn)位置的調(diào)整通過(guò)以使上述姿勢(shì)檢測(cè)部的位置移動(dòng)的方式調(diào)整來(lái)進(jìn)行。

由此,例如與姿勢(shì)檢測(cè)部具有自動(dòng)對(duì)焦像機(jī)(具有自動(dòng)焦點(diǎn)調(diào)整功能)的情況相比,能夠?qū)崿F(xiàn)姿勢(shì)檢測(cè)部的小型化。

應(yīng)用例21在上述應(yīng)用例18~20中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選在上述把持狀態(tài)下的姿勢(shì)從預(yù)先決定的規(guī)定偏離的情況下,再次將上述電子部件載置于上述轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)而調(diào)整上述姿勢(shì)。

由此,在檢測(cè)姿勢(shì)后被把持的電子部件成為適于檢查的姿勢(shì)。

應(yīng)用例22在上述應(yīng)用例11~21中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述姿勢(shì)的檢測(cè)通過(guò)檢測(cè)配置于上述電子部件的端子部來(lái)進(jìn)行。

由此,能夠與電子部件的俯視下的形狀無(wú)關(guān),準(zhǔn)確地檢測(cè)該電子部件的姿勢(shì)。

應(yīng)用例23在上述應(yīng)用例11~22中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述姿勢(shì)檢測(cè)部具有能夠拍攝上述電子部件的拍攝部。

由此,能夠準(zhǔn)確且迅速地檢測(cè)電子部件的姿勢(shì)。

應(yīng)用例24在上述應(yīng)用例11~23中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述姿勢(shì)檢測(cè)部經(jīng)由反射光的反射部件朝向水平方向配置。

由此,與將姿勢(shì)檢測(cè)部沿著鉛錘方向配置的情況相比,能夠盡量抑制姿勢(shì)檢測(cè)部不必要地突出,因而,例如能夠防止姿勢(shì)檢測(cè)部與正在搬運(yùn)的電子部件發(fā)生干擾。

應(yīng)用例25在上述應(yīng)用例11~24中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件的外形是圓形。

由此,電子部件能夠通過(guò)本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例26本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置具備能夠在載置電子部件的狀態(tài)下轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)、能夠檢測(cè)載置于上述轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)的上述電子部件的姿勢(shì)的姿勢(shì)檢測(cè)部、以及檢查上述電子部件的電子部件檢查部。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考?zhǔn)確地調(diào)整為適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例27本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置具有能夠把持電子部件且能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的多個(gè)把持部,上述把持部至少為2個(gè),各上述把持部能夠以不同的轉(zhuǎn)動(dòng)量轉(zhuǎn)動(dòng)。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考?zhǔn)確地調(diào)整為適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例28在上述應(yīng)用例27所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有在以上述各把持部的轉(zhuǎn)動(dòng)量轉(zhuǎn)動(dòng)上述電子部件后,載置上述電子部件的載置部。

由此,例如在載置部能夠移動(dòng)至電子部件檢查部的情況下,能夠?qū)㈦娮硬考3诌m于檢查的姿勢(shì)地搬運(yùn)至電子部件檢查部。

應(yīng)用例29在上述應(yīng)用例28所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部能夠移動(dòng)。

由此,能夠?qū)㈦娮硬考3诌m于檢查的姿勢(shì)地搬運(yùn)至電子部件檢查部。

應(yīng)用例30在上述應(yīng)用例27~29中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件在外形的一部分具有曲線形狀。

由此,電子部件能夠通過(guò)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例31在上述應(yīng)用例30所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述曲線形狀是圓弧形狀。

由此,電子部件能夠通過(guò)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例32在上述應(yīng)用例27~31中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件的外形是圓形。

由此,電子部件能夠通過(guò)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例33在上述應(yīng)用例27~32中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述把持部的轉(zhuǎn)動(dòng)角度至少是180°。

由此,能夠恰當(dāng)且迅速地進(jìn)行電子部件的姿勢(shì)調(diào)整。

應(yīng)用例34在上述應(yīng)用例27~33中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有使上述各把持部一并地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部。

由此,與轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部與各把持部對(duì)應(yīng)地分別各設(shè)置一個(gè)的情況相比,能夠使作為電子部件搬運(yùn)裝置整體的構(gòu)成簡(jiǎn)單化。

應(yīng)用例35在上述應(yīng)用例27~33中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有使上述各把持部獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部。

由此,能夠使被各把持部把持的電子部件一并地旋轉(zhuǎn),并且也能夠使針對(duì)該一并旋轉(zhuǎn)時(shí)的各電子部件的旋轉(zhuǎn)量不同。

應(yīng)用例36在上述應(yīng)用例34或35所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部具有同步帶、以及掛繞上述同步帶的帶輪。

由此,能夠使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部中的旋轉(zhuǎn)力順利地傳遞至各把持部,因而,該各把持部旋轉(zhuǎn),能夠進(jìn)行電子部件的迅速的姿勢(shì)調(diào)整。

應(yīng)用例37在上述應(yīng)用例36所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部具有能夠調(diào)整上述同步帶的張力的張緊輪。

由此,能夠使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部中的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由同步帶恰當(dāng)?shù)貍鬟f至帶輪。

應(yīng)用例38本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置具備能夠把持電子部件且能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的多個(gè)把持部、以及檢查電子部件的電子部件檢查部,上述把持部至少有2個(gè),各上述把持部能夠以不同的轉(zhuǎn)動(dòng)量轉(zhuǎn)動(dòng)。

由此,例如在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考?zhǔn)確地調(diào)整為適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例39本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置具備能夠載置具有成為定位基準(zhǔn)的第一端子以及第二端子的電子部件的載置部,上述載置部具有能夠與上述第一端子抵接的第一抵接部、以及能夠與上述第二端子抵接的第二抵接部。

由此,在載置部載置電子部件的狀態(tài)下,第一抵接部與第一端子抵接,第二抵接部與第二端子抵接。因而,能夠在載置部中進(jìn)行電子部件的定位。尤其在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考S持適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例40在上述應(yīng)用例39所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部具有第一凹部、以及設(shè)置于與上述第一凹部不同的位置的第二凹部,上述第一抵接部是上述第一凹部的內(nèi)周部,上述第二抵接部是上述第二凹部的內(nèi)周部。

由此,能夠通過(guò)在第一凹部插入第一端子、在第二凹部插入第二端子這樣的簡(jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)進(jìn)行定位。

應(yīng)用例41在上述應(yīng)用例40所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述第一凹部以及上述第二凹部呈隨著向深度方向行進(jìn)內(nèi)徑變小的錐狀。

由此,能夠向第一凹部引導(dǎo)第一端子,向第二凹部引導(dǎo)第二端子。

應(yīng)用例42在上述應(yīng)用例39所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部具有第一凸部、以及設(shè)置于與上述第一凸部不同的位置的第二凸部,上述第一抵接部是上述第一凸部的外周部,上述第二抵接部是上述第二凸部的外周部。

由此,能夠通過(guò)第一凸部的外周部與第一端子抵接,第二凸部的外周部與第二端子抵接,進(jìn)行電子部件的定位。

應(yīng)用例43在上述應(yīng)用例39~42中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述第一抵接部從上述電子部件的內(nèi)周側(cè)朝向外周側(cè)與上述第一端子抵接,上述第二抵接部從上述電子部件的內(nèi)周側(cè)朝向外周側(cè)與上述第二端子抵接。

由此,能夠維持電子部件的定位狀態(tài)。

應(yīng)用例44在上述應(yīng)用例39~42中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述第一抵接部從上述電子部件的外周側(cè)朝向內(nèi)周側(cè)與上述第一端子抵接,上述第二抵接部從上述電子部件的外周側(cè)朝向內(nèi)周側(cè)與上述第二端子抵接。

由此,能夠維持電子部件的定位狀態(tài)。

應(yīng)用例45優(yōu)選在上述應(yīng)用例39~44中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,上述載置部具有與上述電子部件的外周部抵接的外周抵接部。

由此,能夠維持電子部件的定位狀態(tài)。

應(yīng)用例46在上述應(yīng)用例39~45中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部具有支承上述電子部件的支承部。

由此,能夠與支承部和電子部件的接觸相應(yīng)地,減輕施加給端子的負(fù)荷。

應(yīng)用例47在上述應(yīng)用例46所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述支承部由臺(tái)階部構(gòu)成。

由此,能夠減少電子部件與載置部的接觸面積。

應(yīng)用例48在上述應(yīng)用例39~47中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部設(shè)置于向進(jìn)行上述電子部件的檢查的檢查區(qū)域搬運(yùn)上述電子部件的搬運(yùn)部。

由此,能夠在即將檢查之前維持定位狀態(tài),即適于檢查的姿勢(shì)。因而,能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。

應(yīng)用例49在上述應(yīng)用例39~48中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件具有多個(gè)端子,具有避免與作為上述定位基準(zhǔn)的上述端子不同的端子和上述載置部接觸的逃避孔。

由此,能夠使定位基準(zhǔn)以外的端子與載置部為非接觸。

應(yīng)用例50在上述應(yīng)用例39~49中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部至少與上述電子部件接觸的部分具有導(dǎo)電性。

由此,能夠防止電子部件帶電。

應(yīng)用例51在上述應(yīng)用例39~50中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有檢測(cè)在上述載置部載置了上述電子部件的檢測(cè)部。

由此,能夠檢測(cè)電子部件是否載置于載置部。

應(yīng)用例52在上述應(yīng)用例51所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述檢測(cè)部具有光學(xué)傳感器。

由此,能夠檢測(cè)電子部件是否載置于載置部。

應(yīng)用例53在上述應(yīng)用例51或52所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部具有吸引上述電子部件的吸引部,上述檢測(cè)部具有檢測(cè)上述吸引部的吸引力的吸引力檢測(cè)部。

由此,能夠檢測(cè)電子部件是否載置于載置部。

應(yīng)用例54在上述應(yīng)用例39~53中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件至少在外形的一部分具有曲線形狀。

由此,電子部件能夠通過(guò)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例55在上述應(yīng)用例39~54中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述電子部件的外形是圓形。

由此,電子部件能夠通過(guò)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置例如邊維持適于電檢查的姿勢(shì)邊進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例56本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置具備能夠載置具有成為定位基準(zhǔn)的端子的電子部件的載置部,載置部具有能夠與上述端子抵接的端子抵接部、以及能夠與上述電子部件的外周部抵接的外周抵接部。

由此,在載置部載置電子部件的狀態(tài)下,端子抵接部與端子抵接,外周抵接部與電子部件的外周部抵接。因而,能夠在載置部中進(jìn)行電子部件的定位。尤其在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考S持適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例57本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置具備能夠載置具有成為定位基準(zhǔn)的第一端子以及第二端子的電子部件的載置部、以及檢查上述電子部件的檢查部,上述載置部具有能夠與上述第一端子抵接的第一抵接部、以及能夠與上述第二端子抵接的第二抵接部。

由此,在載置部載置電子部件的狀態(tài)下,第一抵接部與第一端子抵接,第二抵接部與第二端子抵接。因而,能夠在載置部中進(jìn)行電子部件的定位。尤其在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考S持適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例58本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置具有能夠載置電子部件的載置部、能夠把持上述電子部件且能夠在把持上述電子部件后解除把持的把持部、以及能夠吸引載置于上述載置部的上述電子部件的吸引部,在將上述電子部件載置于上述載置部的情況下,在上述吸引部吸引上述電子部件的狀態(tài)下上述把持部解除上述電子部件的把持。

由此,能夠防止在把持部將電子部件載置于載置部時(shí),電子部件旋轉(zhuǎn)。尤其在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考S持適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

應(yīng)用例59在上述應(yīng)用例58所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述把持部設(shè)置于能夠搬運(yùn)上述電子部件的搬運(yùn)部。

由此,能夠在把持電子部件后進(jìn)行搬運(yùn)。

應(yīng)用例60在上述應(yīng)用例58或59所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述吸引部在上述電子部件與上述載置部分離的狀態(tài)下開始吸引。

由此,能夠更加可靠地在吸引部吸引電子部件的狀態(tài)下,把持部解除電子部件的把持。

應(yīng)用例61在上述應(yīng)用例58~60中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述把持部通過(guò)吸引把持上述電子部件。

由此,能夠簡(jiǎn)化把持部的構(gòu)成。

應(yīng)用例62在上述應(yīng)用例58~61中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述把持部在上述電子部件載置于上述載置部的狀態(tài)下停止吸引。

由此,能夠防止在把持部停止吸引時(shí)在電子部件產(chǎn)生位置偏移。

應(yīng)用例63在上述應(yīng)用例58~62中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部構(gòu)成為能夠在從上述把持部載置上述電子部件的第一位置和與上述第一位置不同的第二位置移動(dòng),在上述第二位置解除上述載置部的吸引。

由此,能夠向與載置于載置部的位置不同的位置搬運(yùn)電子部件。

應(yīng)用例64在上述應(yīng)用例58~63中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有設(shè)置在進(jìn)行上述電子部件的檢查的檢查區(qū)域內(nèi)的檢查用把持部,上述檢查用把持部在上述第二位置,在上述載置部吸引上述電子部件的狀態(tài)下把持上述電子部件。

由此,能夠防止在即將進(jìn)行電子部件的檢查之前,在電子部件產(chǎn)生位置偏移。

應(yīng)用例65在上述應(yīng)用例58~64中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述把持部在上述吸引部吸引上述電子部件規(guī)定時(shí)間后,解除上述電子部件的把持。

由此,能夠更加可靠地在吸引部吸引電子部件的狀態(tài)下,把持部解除電子部件的把持。

應(yīng)用例66在上述應(yīng)用例58~65中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述載置部具有分別載置上述電子部件的多個(gè)凹部,在上述各凹部分別設(shè)置有上述吸引部。

由此,例如,與通過(guò)一個(gè)吸引部一并地吸引各凹部的情況相比,能夠增強(qiáng)吸引力。

應(yīng)用例67在上述應(yīng)用例66所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選上述各吸引部相互獨(dú)立地工作。

由此,能夠僅吸引載置了電子部件的載置部。

應(yīng)用例68在上述應(yīng)用例58~67中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬運(yùn)裝置中,優(yōu)選具有調(diào)節(jié)上述吸引部的吸引力的調(diào)節(jié)部。

由此,能夠防止吸引力過(guò)強(qiáng)而對(duì)電子部件過(guò)度地施加負(fù)荷。

應(yīng)用例69本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置具有能夠載置電子部件的載置部、能夠把持上述電子部件且能夠在把持上述電子部件后解除把持的把持部、能夠吸引載置于上述載置部的上述電子部件的吸引部、以及檢查上述電子部件的檢查部,在將上述電子部件載置于上述載置部的情況下,在上述吸引部吸引上述電子部件的狀態(tài)下上述把持部解除上述電子部件的把持。

由此,能夠防止在把持部將電子部件載置于載置部時(shí),電子部件旋轉(zhuǎn)。尤其在利用電子部件檢查部進(jìn)行針對(duì)電子部件的電特性的檢查的情況下,該電子部件即使為圓形部件,也能夠?qū)㈦娮硬考S持適于檢查的姿勢(shì),即電子部件的各端子部與電子部件檢查部的各端子部電接觸的姿勢(shì)。

附圖說(shuō)明

圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的概要立體圖。

圖2是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作狀態(tài)的概要俯視圖。

圖3是表示利用圖1所示的電子部件檢查裝置檢查的作為電子部件的ic器件的一個(gè)例子的俯視圖。

圖4是表示利用圖1所示的電子部件檢查裝置檢查的作為電子部件的ic器件的一個(gè)例子的俯視圖。

圖5是表示利用圖1所示的電子部件檢查裝置檢查的作為電子部件的ic器件的一個(gè)例子的俯視圖。

圖6是在圖1所示的電子部件檢查裝置的器件供給區(qū)域內(nèi)工作的器件搬運(yùn)頭的俯視圖。

圖7是從圖6中的箭頭a方向觀察的圖。

圖8是表示拍攝由圖6所示的器件搬運(yùn)頭搬運(yùn)的ic器件的狀態(tài)的圖。

圖9是表示將正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的俯視圖。

圖10是按順序表示基于圖9調(diào)整ic器件的姿勢(shì),直至將該被調(diào)整的ic器件載置于供給用穿梭板的過(guò)程的俯視圖。

圖11是按順序表示基于圖9調(diào)整ic器件的姿勢(shì),直至將該被調(diào)整的ic器件載置于供給用穿梭板的過(guò)程的俯視圖。

圖12是按順序表示基于圖9調(diào)整ic器件的姿勢(shì),直至將該被調(diào)整的ic器件載置于供給用穿梭板的過(guò)程的俯視圖。

圖13是按順序表示基于圖9調(diào)整ic器件的姿勢(shì),直至將該被調(diào)整的ic器件載置于供給用穿梭板的過(guò)程的俯視圖。

圖14是按順序表示基于圖9調(diào)整ic器件的姿勢(shì),直至將該被調(diào)整的ic器件載置于供給用穿梭板的過(guò)程的俯視圖。

圖15是表示存儲(chǔ)于圖1所示的電子部件檢查裝置的控制程序的流程圖。

圖16是在第二實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給區(qū)域內(nèi)工作的器件搬運(yùn)頭的俯視圖。

圖17是從圖16中的箭頭a方向觀察的圖。

圖18是表示將由第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

圖19是表示將由第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

圖20是表示將由第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

圖21是表示將由第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

圖22是表示將由第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

圖23是表示將由第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

圖24是表示存儲(chǔ)于第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的控制程序的流程圖。

圖25是將由第四實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

圖26是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第五實(shí)施方式的概要立體圖。

圖27是表示圖26所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作狀態(tài)的概要俯視圖。

圖28是表示圖26所示的電子部件檢查裝置的器件供給部的立體圖。

圖29是圖28所示的器件供給部的放大立體圖。

圖30是圖29中的b-b線剖視圖。

圖31是圖30中的以虛線包圍的區(qū)域的放大圖。

圖32是表示將ic器件收納于器件供給部的收納部的動(dòng)作的剖視圖。

圖33是表示將ic器件收納于器件供給部的收納部的動(dòng)作的剖視圖。

圖34是表示將ic器件收納于器件供給部的收納部的動(dòng)作的剖視圖。

圖35是表示將ic器件收納于器件供給部的收納部的動(dòng)作的剖視圖。

圖36是用于說(shuō)明將ic器件收納于器件供給部的收納部的動(dòng)作的時(shí)間圖。

圖37是表示檢查用把持部把持載置于器件供給部的ic器件的動(dòng)作的剖視圖。

圖38是表示檢查用把持部把持載置于器件供給部的ic器件的動(dòng)作的剖視圖。

圖39是表示圖26所示的電子部件檢查裝置的控制動(dòng)作的流程圖。

圖40是表示圖26所示的電子部件檢查裝置的控制動(dòng)作的流程圖。

圖41是表示第六實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

圖42是表示第七實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

圖43是表示第八實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

圖44是表示第九實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

圖45是表示第十實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

圖46是表示第十一實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的剖視圖。

具體實(shí)施方式

以下,基于參照附圖的優(yōu)選的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。

應(yīng)予說(shuō)明,以下,為便于說(shuō)明,將圖中所示的相互正交的3個(gè)軸設(shè)為x軸、y軸和z軸,將箭頭的前端側(cè)設(shè)為“正側(cè)(+側(cè))”,將基端側(cè)設(shè)為“負(fù)側(cè)(-側(cè))”。另外,包括x軸和y軸的xy平面呈水平,z軸呈鉛錘。另外,將與x軸平行的方向也稱作“x方向”,將與y軸平行的方向也稱作“y方向”,將與z軸平行的方向也稱作“z方向”。另外,也存在將圖中的+z軸側(cè)稱作“上(或者上方)”,將-z軸側(cè)稱作“下(或者下方)”的情況。另外,本申請(qǐng)說(shuō)明書所指的“水平”不限于完全的水平,只要不阻礙電子部件的搬運(yùn),也包括相對(duì)于水平略微(例如小于5°程度)傾斜的狀態(tài)。

另外,以下的實(shí)施方式所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)例如是搬運(yùn)作為bga(ballgridarray:球柵陣列)封裝的ic器件等電子部件,并在該搬運(yùn)過(guò)程中對(duì)電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)(以下僅稱作“檢查”)的裝置。應(yīng)予說(shuō)明,以下,為便于說(shuō)明,代表性地說(shuō)明使用ic器件作為上述電子部件的情況,將其作為“ic器件90”。

(第一實(shí)施方式)

圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的概要立體圖。圖2是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作狀態(tài)的概要俯視圖。圖3~圖5分別是表示利用圖1所示的電子部件檢查裝置檢查的作為電子部件的ic器件的一個(gè)例子的俯視圖。圖6是在圖1所示的電子部件檢查裝置的器件供給區(qū)域內(nèi)工作的器件搬運(yùn)頭的俯視圖。圖7是從圖6中的箭頭a方向觀察的圖。圖8是表示拍攝由圖6所示的器件搬運(yùn)頭搬運(yùn)的ic器件的狀態(tài)的圖。圖9是表示將正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的俯視圖。圖10~圖14分別是按順序表示基于圖9調(diào)整ic器件的姿勢(shì),直至將該該被調(diào)整的ic器件載置于供給用穿梭板的過(guò)程的俯視圖。圖15是表示存儲(chǔ)于圖1所示的電子部件檢查裝置的控制程序的流程圖。

如圖1以及圖2所示,檢查裝置1被劃分為托盤供給區(qū)域a1、器件供給區(qū)域(以下僅稱作“供給區(qū)域”)a2、檢查區(qū)域a3、器件回收區(qū)域(以下僅稱作“回收區(qū)域”)a4、以及托盤去除區(qū)域a5。并且,ic器件90從托盤供給區(qū)域a1至托盤去除區(qū)域a5按順序經(jīng)由各區(qū)域,在中途的檢查區(qū)域a3中進(jìn)行檢查。

這樣,檢查裝置1具備在各區(qū)域搬運(yùn)ic器件90的電子部件搬運(yùn)裝置(處理器)、在檢查區(qū)域a3內(nèi)進(jìn)行檢查的電子部件檢查部16、以及控制部800。另外,除此以外,檢查裝置1具備監(jiān)視器300、信號(hào)燈400、以及操作面板700。

應(yīng)予說(shuō)明,對(duì)于檢查裝置1,配置托盤供給區(qū)域a1、托盤去除區(qū)域a5的那一側(cè)(圖2中的-y軸側(cè))成為正面?zhèn)?,其相反?cè)即配置檢查區(qū)域a3的那一側(cè)(圖2中的+y軸側(cè))作為背面?zhèn)仁褂谩?/p>

托盤供給區(qū)域a1是供給排列了未檢查狀態(tài)的多個(gè)ic器件90的托盤(載置部件)200的供給部。在托盤供給區(qū)域a1中,能夠?qū)盈B許多托盤200。

供給區(qū)域a2是將來(lái)自托盤供給區(qū)域a1的配置在托盤200上的多個(gè)ic器件90分別供給至檢查區(qū)域a3的區(qū)域。應(yīng)予說(shuō)明,以跨越托盤供給區(qū)域a1和供給區(qū)域a2的方式設(shè)置有沿水平方向逐個(gè)搬運(yùn)托盤200的托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11a、11b。

托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11a是能夠使托盤200連同載置于該托盤200的ic器件90向y方向的正側(cè)移動(dòng)的移動(dòng)部。由此,能夠?qū)c器件90穩(wěn)定地送入至供給區(qū)域a2。另外,托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11b是能夠使空的托盤200移動(dòng)至y方向的負(fù)側(cè),即,從供給區(qū)域a2移動(dòng)至托盤供給區(qū)域a1的移動(dòng)部。

在供給區(qū)域a2設(shè)置有溫度調(diào)整部12、器件搬運(yùn)頭13、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15、以及姿勢(shì)檢測(cè)部(檢測(cè)部)25。

溫度調(diào)整部12是能夠一并冷卻或加熱多個(gè)ic器件90的部件,有時(shí)被稱作“吸收板”(soakplate)。能夠通過(guò)該吸收板對(duì)由電子部件檢查部16檢查前的ic器件90預(yù)先進(jìn)行冷卻或加熱,調(diào)整為適于該檢查的溫度。在圖2所示的構(gòu)成中,溫度調(diào)整部12在y方向配置固定有2個(gè)。并且,通過(guò)托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11a從托盤供給區(qū)域a1搬入(搬運(yùn))的托盤200上的ic器件90被搬運(yùn)至任意一個(gè)溫度調(diào)整部12。

器件搬運(yùn)頭13被以能夠在供給區(qū)域a2內(nèi)沿x方向以及y方向移動(dòng)、并且也能夠沿z方向移動(dòng)的方式支承。由此,器件搬運(yùn)頭13能夠擔(dān)任從托盤供給區(qū)域a1搬入的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的ic器件90的搬運(yùn)、以及溫度調(diào)整部12與下述的器件供給部14之間的ic器件90的搬運(yùn)。應(yīng)予說(shuō)明,在溫度調(diào)整部12與器件供給部14之間的ic器件90的搬運(yùn)中,ic器件90經(jīng)過(guò)姿勢(shì)檢測(cè)部25上。

姿勢(shì)檢測(cè)部25檢測(cè)被器件搬運(yùn)頭13把持的把持狀態(tài)的ic器件90的姿勢(shì)(參照?qǐng)D8)。該姿勢(shì)檢測(cè)部25能夠通過(guò)拍攝把持狀態(tài)的ic器件90來(lái)檢測(cè)該ic器件90的姿勢(shì)。

托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15是使去除全部的ic器件90的狀態(tài)的空的托盤200在供給區(qū)域a2內(nèi)向x方向的正側(cè)搬運(yùn)的機(jī)構(gòu)。并且,在該搬運(yùn)后,空的托盤200通過(guò)托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11b從供給區(qū)域a2返回至托盤供給區(qū)域a1。

檢查區(qū)域a3是檢查ic器件90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域a3設(shè)置有電子部件檢查部16和器件搬運(yùn)頭17。另外,也設(shè)置有以跨越供給區(qū)域a2和檢查區(qū)域a3的方式移動(dòng)的器件供給部14、以及以跨越檢查區(qū)域a3和回收區(qū)域a4的方式移動(dòng)的器件回收部18。

器件供給部14是能夠載置利用溫度調(diào)整部12進(jìn)行了溫度調(diào)整的ic器件90,并將該ic器件90搬運(yùn)(移動(dòng))至電子部件檢查部16附近的載置部,有時(shí)被稱作“供給用穿梭板”。該器件供給部14被以能夠在供給區(qū)域a2與檢查區(qū)域a3之間沿著x方向在水平方向上移動(dòng)的方式支承。在圖2所示的構(gòu)成中,器件供給部14沿y方向配置有2個(gè),溫度調(diào)整部12上的ic器件90被搬運(yùn)至任意一個(gè)器件供給部14。另外,器件供給部14構(gòu)成為能夠針對(duì)上述進(jìn)行了溫度調(diào)整的ic器件90維持該溫度調(diào)整狀態(tài)。由此,能夠冷卻或加熱ic器件90,因而,能夠維持該ic器件90的溫度調(diào)整狀態(tài)。

應(yīng)予說(shuō)明,在本實(shí)施方式中,如圖2所示,姿勢(shì)檢測(cè)部25在2個(gè)器件供給部14位于供給區(qū)域a2的狀態(tài)下配置在這兩個(gè)器件供給部14之間。

電子部件檢查部16是對(duì)ic器件90的電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)的單元。在電子部件檢查部16設(shè)置有在保持ic器件90的狀態(tài)下與該ic器件90的端子部902(參照?qǐng)D3)電連接的多個(gè)探針。并且,ic器件90的端子部902和探針電連接(接觸),經(jīng)由探針進(jìn)行ic器件90的檢查。ic器件90的檢查基于與電子部件檢查部16連接的測(cè)試器具備的檢查控制部所存儲(chǔ)的程序來(lái)進(jìn)行。應(yīng)予說(shuō)明,在電子部件檢查部16中,與溫度調(diào)整部12相同,能夠冷卻或加熱ic器件90而將該ic器件90調(diào)整為適于檢查的溫度。

器件搬運(yùn)頭17被以能夠在檢查區(qū)域a3內(nèi)向y方向以及z方向移動(dòng)的方式支承。由此,器件搬運(yùn)頭17能夠?qū)墓┙o區(qū)域a2搬入的器件供給部14上的ic器件90搬運(yùn)至電子部件檢查部16上而載置。應(yīng)予說(shuō)明,器件搬運(yùn)頭17也能夠冷卻或加熱ic器件90而將該ic器件90調(diào)整為適于檢查的溫度。

器件回收部18是能夠載置在電子部件檢查部16中的檢查結(jié)束的ic器件90并將該ic器件90搬運(yùn)(移動(dòng))至回收區(qū)域a4的載置部,有時(shí)被稱作“回收用穿梭板”。該器件回收部18被以能夠在檢查區(qū)域a3與回收區(qū)域a4之間沿著x方向在水平方向上移動(dòng)的方式支承。另外,在圖2所示的構(gòu)成中,器件回收部18與器件供給部14相同,在y方向配置有2個(gè),電子部件檢查部16上的ic器件90被搬運(yùn)至任意一個(gè)器件回收部18而載置。該搬運(yùn)通過(guò)器件搬運(yùn)頭17來(lái)進(jìn)行。

回收區(qū)域a4是回收檢查結(jié)束的多個(gè)ic器件90的區(qū)域。在該回收區(qū)域a4設(shè)置有回收用托盤19、器件搬運(yùn)頭20、以及托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)21。另外,在回收區(qū)域a4也準(zhǔn)備了空的托盤200。

回收用托盤19是載置由電子部件檢查部16進(jìn)行了檢查的ic器件90的載置部,并且被固定以不在回收區(qū)域a4內(nèi)移動(dòng)。由此,即使在較多地配置了器件搬運(yùn)頭20等各種可動(dòng)部的回收區(qū)域a4,在回收用托盤19上,也穩(wěn)定地載置檢查完畢的ic器件90。應(yīng)予說(shuō)明,在圖2所示的構(gòu)成中,回收用托盤19沿著x方向配置有3個(gè)。

另外,空的托盤200也沿著x方向配置有3個(gè)。該空的托盤200也為載置由電子部件檢查部16進(jìn)行了檢查的ic器件90的載置部。并且,向回收區(qū)域a4移動(dòng)過(guò)來(lái)的器件回收部18上的ic器件90被搬運(yùn)至回收用托盤19以及空的托盤200中的任意一個(gè)而被載置。由此,ic器件90能夠按照各檢查結(jié)果分類并被回收。

器件搬運(yùn)頭20被以能夠在回收區(qū)域a4內(nèi)沿x方向以及y方向移動(dòng)、并且也能夠沿z方向移動(dòng)的方式支承。由此,器件搬運(yùn)頭20能夠?qū)c器件90從器件回收部18搬運(yùn)至回收用托盤19、空的托盤200。

托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)21是將從托盤去除區(qū)域a5搬入的空的托盤200在回收區(qū)域a4內(nèi)沿x方向搬運(yùn)的機(jī)構(gòu)。并且,在該搬運(yùn)后,空的托盤200被配置于回收ic器件90的位置,即,能夠成為上述3個(gè)空的托盤200中的任意一個(gè)。

托盤去除區(qū)域a5是回收排列了檢查完畢狀態(tài)的多個(gè)ic器件90的托盤200并去除的去除部。在托盤去除區(qū)域a5中,能夠?qū)盈B許多托盤200。

另外,設(shè)置有以跨越回收區(qū)域a4和托盤去除區(qū)域a5的方式在y方向逐個(gè)搬運(yùn)托盤200的托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22a、22b。托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22a是能夠使托盤200沿y方向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此,能夠?qū)z查完畢的ic器件90從回收區(qū)域a4搬運(yùn)至托盤去除區(qū)域a5。另外,托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22b是能夠使得用于回收ic器件90的空的托盤200從托盤去除區(qū)域a5移動(dòng)至回收區(qū)域a4的移動(dòng)部。

控制部800例如具有驅(qū)動(dòng)控制部。驅(qū)動(dòng)控制部例如控制托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11a、11b、溫度調(diào)整部12、器件搬運(yùn)頭13、器件供給部14、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15、電子部件檢查部16、器件搬運(yùn)頭17、器件回收部18、器件搬運(yùn)頭20、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)21、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22a、22b、以及姿勢(shì)檢測(cè)部25這些各部的驅(qū)動(dòng)。

應(yīng)予說(shuō)明,上述測(cè)試器的檢查控制部例如基于存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)的程序來(lái)進(jìn)行配置于電子部件檢查部16的ic器件90的電特性的檢查等。

操作人員能夠經(jīng)由監(jiān)視器300設(shè)定或者確認(rèn)檢查裝置1的動(dòng)作條件等。該監(jiān)視器300具有例如由液晶畫面構(gòu)成的顯示畫面(顯示部)301,并配置在檢查裝置1的正面?zhèn)壬喜俊H鐖D1所示,在托盤去除區(qū)域a5的圖中的+x側(cè)設(shè)置有載置在操作顯示于監(jiān)視器300的畫面時(shí)使用的鼠標(biāo)的鼠標(biāo)臺(tái)600。

另外,相對(duì)于監(jiān)視器300在圖1中的+x側(cè)下方配置有操作面板700。操作面板700與監(jiān)視器300獨(dú)立地向檢查裝置1命令所希望的動(dòng)作。

另外,信號(hào)燈400能夠通過(guò)發(fā)光的顏色的組合來(lái)通知檢查裝置1的工作狀態(tài)等。信號(hào)燈400配置在檢查裝置1的上部。應(yīng)予說(shuō)明,在檢查裝置1內(nèi)置有揚(yáng)聲器500,也能夠通過(guò)該揚(yáng)聲器500通知檢查裝置1的工作狀態(tài)等。

如圖2所示,對(duì)于檢查裝置1,托盤供給區(qū)域a1與供給區(qū)域a2之間被第一隔壁61劃分(分隔),供給區(qū)域a2與檢查區(qū)域a3之間被第二隔壁62劃分,檢查區(qū)域a3與回收區(qū)域a4之間被第三隔壁63劃分,回收區(qū)域a4與托盤去除區(qū)域a5之間被第四隔壁64劃分。另外,供給區(qū)域a2與回收區(qū)域a4之間也被第五隔壁65劃分。這些隔壁具有保持各區(qū)域的氣密性的功能。并且,檢查裝置1的最外層被蓋覆蓋,該蓋例如有前蓋70、側(cè)蓋71、側(cè)蓋72、后蓋73、頂蓋74。

檢查裝置1為作為ic器件90能夠檢查俯視下的外形形狀呈矩形的器件,但尤其適于檢查俯視下在外形的至少一部分具有曲線形狀即帶圓弧的器件的裝置。作為這樣的帶圓弧的ic器件90,不進(jìn)行特別限定,例如,能夠列舉圖3~圖5所示的器件,例如能夠內(nèi)置于手表來(lái)使用。

圖3所示的ic器件90具有呈小片狀的主體部901、以及在主體部901的一側(cè)的面(背側(cè)的面901a)突出設(shè)置的多個(gè)端子部902。并且,在該ic器件90中,主體部901俯視呈圓形狀。另外,主體部901的另一側(cè)的面(表側(cè)的面901b)為平坦面。多個(gè)端子部902沿著主體部901的邊緣部901c拉開間隔配設(shè),其配設(shè)密度有疏密。

圖4所示的ic器件90除主體部901的俯視下的外形形狀不同以外,與圖3所示的ic器件90相同。該ic器件90的主體部901為俯視下在邊緣部901c(外形)的至少一部分具有橢圓弧的部件,在本實(shí)施方式中整體為呈橢圓形狀的部件。

圖5所示的ic器件90除主體部901的俯視下的外形形狀不同以外,也與圖3所示的ic器件90相同。該ic器件90的主體部901為俯視下在邊緣部901c的至少一部分具有圓弧的部件,在本實(shí)施方式中為在邊緣部901c具有對(duì)置的平行的2條邊901d的具有對(duì)邊寬度的部件。

在將ic器件90搬運(yùn)至電子部件檢查部16時(shí),在俯視呈矩形的ic器件90中,能夠以其直線狀的邊緣部為基準(zhǔn)進(jìn)行定位,但在俯視下帶圓弧的ic器件90中,由于邊緣部901c彎曲成圓弧狀或橢圓弧狀,所以難以以邊緣部901c為基準(zhǔn)進(jìn)行定位。

例如如圖10所示,利用器件搬運(yùn)頭13正在搬運(yùn)的4個(gè)ic器件90的端子部902的朝向分別不同。作為其原因,能夠想到例如在操作人員將收納了未檢查的ic器件90的托盤200載置至托盤供給區(qū)域a1時(shí),載置時(shí)的振動(dòng)傳遞至ic器件90,該ic器件90繞中心點(diǎn)o90旋轉(zhuǎn),保持原樣地由器件搬運(yùn)頭13搬運(yùn)等。

以下,對(duì)適于搬運(yùn)帶這樣的圓弧的ic器件90的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。應(yīng)予說(shuō)明,在本實(shí)施方式中,作為帶圓弧的ic器件90,代表性地處理圖3所示的ic器件90。

如圖6、圖7所示,器件搬運(yùn)頭13具有4個(gè)吸引部131、支承4個(gè)吸引部131的基體132、以及使各吸引部131旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3。

4個(gè)吸引部131沿x方向、y方向各分散2個(gè)且等間隔配置。應(yīng)予說(shuō)明,吸引部131的設(shè)置數(shù)量在本實(shí)施方式中為4個(gè),但并不局限于此,例如,也可以是1個(gè)、2個(gè)、3個(gè)、或5個(gè)以上。

各吸引部131具有經(jīng)由具有撓性的管與噴射器(ejector)等真空產(chǎn)生裝置連接的硬質(zhì)的管體133、以及設(shè)置于管體133的下端部的圓環(huán)狀的吸附盤134。通過(guò)在吸附盤134與ic器件90的表側(cè)的面901b抵接的狀態(tài)下真空產(chǎn)生裝置工作,能夠利用吸附盤134吸引ic器件90。并且,能夠保持該吸引狀態(tài)搬運(yùn)ic器件90。這樣,吸引部131通過(guò)吸引來(lái)把持ic器件90,為能夠維持該把持狀態(tài)的把持部。另外,解除ic器件90的把持狀態(tài)能夠通過(guò)真空產(chǎn)生裝置中的真空破壞來(lái)進(jìn)行。

另外,各吸引部131被以能夠相對(duì)于基體132旋轉(zhuǎn)的方式支承。由此,能夠使把持狀態(tài)的ic器件90繞其中心點(diǎn)o90旋轉(zhuǎn),調(diào)整ic器件90的姿勢(shì)(參照?qǐng)D10~圖14)。在此,“調(diào)整姿勢(shì)”是指在檢查ic器件90時(shí),各端子部902以能夠與電子部件檢查部16的上述各探針電接觸的朝向設(shè)置。

在檢查裝置1中,能夠利用各吸引部131分別調(diào)整ic器件90的姿勢(shì),因此,該各吸引部131也作為調(diào)整ic器件90的姿勢(shì)的姿勢(shì)調(diào)整部發(fā)揮功能。由此,在進(jìn)行ic器件90的檢查的情況下,該ic器件90即使為圓形的部件,也能夠?qū)⒏鱥c器件90準(zhǔn)確地調(diào)整為適于檢查的姿勢(shì),即各ic器件90的各端子部902與電子部件檢查部16的上述各探針電接觸的姿勢(shì)。以下,將適于該檢查的姿勢(shì)稱作“檢查適當(dāng)姿勢(shì)”。

另外,優(yōu)選各吸引部131能夠旋轉(zhuǎn)的最大旋轉(zhuǎn)角度(最大轉(zhuǎn)動(dòng)角度)至少為180°,更加優(yōu)選為180°以上且360°以下。由此,能夠恰當(dāng)且迅速地進(jìn)行ic器件90的姿勢(shì)調(diào)整。

如圖6所示,轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3以順時(shí)針或逆時(shí)針一并地轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)各吸引部131。這樣,針對(duì)4個(gè)吸引部131設(shè)置一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3與和各吸引部131對(duì)應(yīng)地分別各設(shè)置一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3的情況相比,能夠使作為器件搬運(yùn)頭13整體的構(gòu)成簡(jiǎn)單化。由此,能夠抑制器件搬運(yùn)頭13的大小的增大、器件搬運(yùn)頭13的重量的增加。

如圖7所示,轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3具有相對(duì)于基體132固定的馬達(dá)31、相對(duì)于馬達(dá)31的軸(輸出軸)311以及各吸引部131固定的帶輪32、被以能夠相對(duì)于基體132轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承的張緊輪33、以及按順序繞掛于各帶輪32以及張緊輪33的同步帶34。在這樣的構(gòu)成的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3中,通過(guò)被施加電壓的馬達(dá)31工作,其旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由同步帶34傳遞至各帶輪32。由此,能夠使各吸引部131向相同方向旋轉(zhuǎn)。另外,在使對(duì)馬達(dá)31的施加電壓的正負(fù)與上述相反的情況下,能夠使各吸引部131的旋轉(zhuǎn)方向反轉(zhuǎn)。

應(yīng)予說(shuō)明,固定于馬達(dá)31的帶輪32的公稱直徑與固定于各吸引部131的帶輪32的公稱直徑在圖6所示的構(gòu)成中相同,但并不局限于此,例如,前者的帶輪32的公稱直徑也可以比后者的帶輪32大。

另外,能夠通過(guò)張緊輪33調(diào)整同步帶34的張力。由此,能夠使馬達(dá)31的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由同步帶34恰當(dāng)?shù)貍鬟f至各帶輪32。

如圖8所示,姿勢(shì)檢測(cè)部25檢測(cè)被器件搬運(yùn)頭13的各吸引部131把持的把持狀態(tài)的ic器件90的姿勢(shì)。姿勢(shì)檢測(cè)部25具有能夠拍攝把持狀態(tài)的ic器件90的拍攝部251、反射光的反射部件252、以及呈環(huán)狀的環(huán)狀照明253。

拍攝部251例如是ccd(chargecoupleddevice,電荷耦合器件)像機(jī),以其透鏡朝向水平方向(在圖8所示的構(gòu)成中為x方向的負(fù)側(cè))的方式配置。這樣的配置與沿著鉛錘方向(z方向)配置拍攝部251的情況相比,能夠盡量抑制拍攝部251在供給區(qū)域a2內(nèi)突出,因而,能夠防止拍攝部251與器件搬運(yùn)頭13等發(fā)生干擾。

在拍攝部251的前方,即上述透鏡側(cè)配置有反射部件252。反射部件252是反射鏡,相對(duì)于水平方向即xy平面傾斜45°配置。由此,在把持狀態(tài)的ic器件90位于反射部件252的鉛錘上方時(shí)(以下將該位置稱作“拍攝用位置”),能夠利用拍攝部251拍攝該ic器件90。應(yīng)予說(shuō)明,作為反射部件252,在圖8所示的構(gòu)成中為反射鏡,但并不局限于此,例如也可以是棱鏡。

環(huán)狀照明253配置于反射部件252的上方。該環(huán)狀照明253在由拍攝部251進(jìn)行拍攝時(shí)能夠照亮作為拍攝對(duì)象的ic器件90。由此,能夠清晰地拍攝ic器件90。

接下來(lái),參照?qǐng)D9對(duì)檢測(cè)出ic器件90的姿勢(shì)的結(jié)果,求出該檢測(cè)出的姿勢(shì)相對(duì)于檢查適當(dāng)姿勢(shì)偏移何種程度,即使ic器件90以何種程度的旋轉(zhuǎn)角度(旋轉(zhuǎn)量)θ則旋轉(zhuǎn)為檢查適當(dāng)姿勢(shì)進(jìn)行說(shuō)明。圖9中的左上的ic器件90是由拍攝部251拍攝的ic器件90的圖像(實(shí)際圖像)im,右上的ic器件90是預(yù)先存儲(chǔ)于控制部800的檢查適當(dāng)姿勢(shì)的ic器件90的圖像im0。應(yīng)予說(shuō)明,在檢查裝置1中,對(duì)于圖像im內(nèi)的哪個(gè)端子部902與圖像im0內(nèi)的哪個(gè)端子部902對(duì)應(yīng),例如能夠通過(guò)模板匹配來(lái)進(jìn)行。

首先,提取(檢測(cè))圖像im內(nèi)的多個(gè)端子部902中的、成為基準(zhǔn)的端子部902a和端子部902b。該提取能夠通過(guò)將圖像im二值化而使其為灰度圖像來(lái)進(jìn)行。另外,作為端子部902a和端子部902b,優(yōu)選經(jīng)由中心點(diǎn)o90位于相互相反側(cè),為盡量分離的端子部902。

接下來(lái),比較通過(guò)圖像im內(nèi)的端子部902a的中心和端子部902b的中心的直線903與通過(guò)圖像im0內(nèi)的端子部902a的中心和端子部902b的中心的直線903,運(yùn)算前者的直線903相對(duì)于后者的直線903向哪個(gè)方向以何種程度傾斜即旋轉(zhuǎn)角度θ。由此,能夠求出作為修正值的旋轉(zhuǎn)角度θ。

并且,若像圖9中的中央下側(cè)的ic器件90那樣,向箭頭的方向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)角度θ,則ic器件90成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

例如如圖10所示,在器件搬運(yùn)頭13處于把持狀態(tài)的4個(gè)ic器件90的姿勢(shì)通常分別不同,全部為相同的姿勢(shì)的情況很少。因此,4個(gè)ic器件90與各自的姿勢(shì)相應(yīng)地,求出的旋轉(zhuǎn)角度θ不同。以下,為了容易說(shuō)明,將圖10~圖14中的4個(gè)吸引部131中的、左下側(cè)的吸引部131稱作“吸引部131a”,將右下側(cè)的吸引部131稱作“吸引部131b”,將左上側(cè)的吸引部131稱作“吸引部131c”,將右上側(cè)的吸引部131稱作“吸引部131d”。

由吸引部131a把持的ic器件90的旋轉(zhuǎn)角度θ被求出為旋轉(zhuǎn)角度θa。由吸引部131b把持的ic器件90的旋轉(zhuǎn)角度θ被求出為旋轉(zhuǎn)角度θb。由吸引部131c把持的ic器件90的旋轉(zhuǎn)角度θ被求出為旋轉(zhuǎn)角度θc。由吸引部131d把持的ic器件90的旋轉(zhuǎn)角度θ被求出為旋轉(zhuǎn)角度θd。

將處于這樣的把持狀態(tài)的4個(gè)ic器件90載置在器件供給部14的收納部23內(nèi)。應(yīng)予說(shuō)明,收納部23由各收納一個(gè)ic器件90的凹部構(gòu)成,在器件供給部14中以格子狀(矩陣狀)配置有多個(gè)。

首先,如圖11所示,在應(yīng)載置由吸引部131a把持的ic器件90的收納部23上,使由吸引部131a把持的ic器件90向箭頭的方向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)角度θa。由此,該ic器件90成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。另外,該旋轉(zhuǎn)如上述那樣通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3的工作進(jìn)行。然后,通過(guò)使吸引部131a下降,能夠?qū)⒃搃c器件90保持檢查適當(dāng)姿勢(shì)地收納并載置于收納部23。

接下來(lái),如圖12所示,在應(yīng)載置由吸引部131b把持的ic器件90的收納部23上,使由吸引部131b把持的ic器件90向箭頭的方向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)角度θb。由此,該ic器件90成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。該旋轉(zhuǎn)也通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3的工作來(lái)進(jìn)行。然后,通過(guò)使吸引部131b下降,能夠?qū)⒃搃c器件90保持檢查適當(dāng)姿勢(shì)地收納并載置于收納部23。

接下來(lái),如圖13所示,在應(yīng)載置由吸引部131c把持的ic器件90的收納部23上,使由吸引部131c把持的ic器件90向箭頭的方向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)角度θc。由此,該ic器件90成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。然后,通過(guò)使吸引部131c下降,能夠?qū)⒃搃c器件90保持檢查適當(dāng)姿勢(shì)地收納并載置于收納部23。

接下來(lái),如圖14所示,在應(yīng)載置由吸引部131d把持的ic器件90的收納部23上,使由吸引部131d把持的ic器件90向箭頭的方向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)角度θd。由此,該ic器件90成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。然后,通過(guò)使吸引部131d下降,能夠?qū)⒃搃c器件90保持檢查適當(dāng)姿勢(shì)地收納并載置于收納部23。

然后,載置了4個(gè)ic器件90的器件供給部14朝向檢查區(qū)域a3移動(dòng)。

應(yīng)予說(shuō)明,在各收納部23中,構(gòu)成為能夠維持ic器件90的檢查適當(dāng)姿勢(shì)。由此,ic器件90在從器件供給部14的移動(dòng)開始至停止的期間維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)。維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)能夠通過(guò)吸引收納于收納部23的ic器件90來(lái)進(jìn)行。另外,該吸引從ic器件90載置于收納部23的ic器件90按順序開始。

這樣,在檢查裝置1中,在將4個(gè)ic器件90載置于器件供給部14時(shí),能夠分別獨(dú)立地對(duì)ic器件90進(jìn)行旋轉(zhuǎn)控制,能夠使其旋轉(zhuǎn)時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度θ不同。由此,與把持狀態(tài)的ic器件90的姿勢(shì)無(wú)關(guān),能夠?qū)⒃搃c器件90矯正為檢查適當(dāng)姿勢(shì),能夠保持原樣載置于器件供給部14。

應(yīng)予說(shuō)明,在4個(gè)ic器件90中的、至少2個(gè)ic器件90的旋轉(zhuǎn)角度θ相同(處于規(guī)定的允許范圍內(nèi))的情況下,也能夠?qū)⒃撝辽?個(gè)ic器件90同時(shí)載置于器件供給部14。由此,能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的ic器件90的搬運(yùn)個(gè)數(shù))的提高。

接下來(lái),基于圖15所示的流程圖對(duì)從在檢查裝置1將ic器件90配置于拍攝用位置開始至載置于器件供給部14的程序進(jìn)行說(shuō)明。

利用器件搬運(yùn)頭13將處于把持狀態(tài)的ic器件90搬運(yùn)至拍攝用位置,并在該位置停止(步驟s101)。

接下來(lái),利用姿勢(shì)檢測(cè)部25的拍攝部251拍攝處于拍攝用位置的ic器件90(步驟s102)。

接下來(lái),像上述那樣檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角度θ(步驟s103),并判斷該檢測(cè)出的旋轉(zhuǎn)角度θ是否處于預(yù)先設(shè)定的規(guī)定的允許范圍(規(guī)定值(閾值)θ0)內(nèi)(步驟s104)。在此,“規(guī)定的允許范圍”是指即使省略旋轉(zhuǎn)角度θ的旋轉(zhuǎn),也能夠?qū)?dāng)前處于把持狀態(tài)的ic器件90的姿勢(shì)視為檢查適當(dāng)姿勢(shì)的范圍。

在步驟s104中判斷為旋轉(zhuǎn)角度θ不在上述規(guī)定的允許范圍內(nèi)的情況下,使轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3工作,使已經(jīng)檢測(cè)出旋轉(zhuǎn)角度θ的ic器件90旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)角度θ(步驟s105)。

接下來(lái),將以旋轉(zhuǎn)角度θ旋轉(zhuǎn)的ic器件90搬運(yùn)至器件供給部14的規(guī)定的收納部23上,并使把持著該ic器件90的吸引部131保持原樣下降(步驟s106)。

接下來(lái),像上述那樣解除吸引部131的吸引(步驟s107)。由此,ic器件90被以檢查適當(dāng)姿勢(shì)載置于器件供給部14的規(guī)定的收納部23。

另外,在步驟s104中判斷為旋轉(zhuǎn)角度θ處于上述規(guī)定的允許范圍內(nèi)的情況下,依次執(zhí)行步驟s106以下的步驟。

應(yīng)予說(shuō)明,在本實(shí)施方式中,利用一個(gè)拍攝部251逐個(gè)拍攝ic器件90并檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角度θ,但并不局限于此,也能夠利用一個(gè)拍攝部251一并拍攝4個(gè)ic器件90,并檢測(cè)各ic器件90的旋轉(zhuǎn)角度θ。

(第二實(shí)施方式)

圖16是在第二實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給區(qū)域內(nèi)工作的器件搬運(yùn)頭的俯視圖。圖17是從圖16中的箭頭a方向觀察的圖。

以下,參照這些圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1a除轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的構(gòu)成不同以外,與上述第一實(shí)施方式的檢查裝置1相同。

如圖16、圖17所示,在本實(shí)施方式的檢查裝置1a中,器件搬運(yùn)頭13a的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部3a分別與各吸引部131對(duì)應(yīng)地配置有馬達(dá)35。由此,能夠使各吸引部131獨(dú)立地轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng),結(jié)果,各ic器件90也能夠獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。通過(guò)這樣的構(gòu)成,能夠在使在器件搬運(yùn)頭13處于把持狀態(tài)的4個(gè)ic器件90旋轉(zhuǎn)時(shí),使其以相互不同的旋轉(zhuǎn)角度θ一并地旋轉(zhuǎn)。

另外,如圖17所示,器件搬運(yùn)頭13a構(gòu)成為能夠變更在x方向上相鄰的吸引部131彼此的間隔。由此,也能夠?qū)⑿D(zhuǎn)后的4個(gè)ic器件90一并載置于器件供給部14,因而,生產(chǎn)率提高。

應(yīng)予說(shuō)明,器件搬運(yùn)頭13a也可以構(gòu)成也能夠變更在y方向上相鄰的吸引部131彼此的間隔。

(第三實(shí)施方式)

圖18~圖23是表示將由第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。圖24是表示存儲(chǔ)于第三實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的控制程序的流程圖。

以下,參照這些圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

在本實(shí)施方式的檢查裝置1b中,在供給區(qū)域內(nèi)搬運(yùn)ic器件的器件搬運(yùn)頭13b與上述第一實(shí)施方式不同,為省略轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的裝置。并且,本實(shí)施方式的檢查裝置1b除代替轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部使ic器件旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)的構(gòu)成不同,并且姿勢(shì)檢測(cè)部的構(gòu)成不同以外,與上述第一實(shí)施方式的檢查裝置1相同。

如圖18~圖23所示,在本實(shí)施方式的檢查裝置1b中,相對(duì)于姿勢(shì)檢測(cè)部25b在z方向正側(cè)設(shè)置有作為使ic器件90旋轉(zhuǎn)將姿勢(shì)矯正為檢查適當(dāng)姿勢(shì)的機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)(轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái))4。旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4是所謂的“中空回轉(zhuǎn)臺(tái)”,能夠在載置ic器件90的狀態(tài)下轉(zhuǎn)動(dòng)。該旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4具有載置ic器件90的工作臺(tái)部41、設(shè)置于工作臺(tái)部41的下方的大齒輪部42、與大齒輪部42嚙合的作為小齒輪部的小齒輪43、以及與小齒輪43連結(jié)的馬達(dá)44。

工作臺(tái)部41呈圓板狀,在其中心部形成有通過(guò)貫通開口的開口部411。開口部411作為在將ic器件90載置于工作臺(tái)部41時(shí)防止該ic器件90的各端子部902與工作臺(tái)部41接觸的的逃避部發(fā)揮功能(參照?qǐng)D19~圖22)。另外,開口部411也作為光能夠透過(guò)的透光部發(fā)揮功能。通過(guò)具有這樣的2個(gè)功能的開口部411,在ic器件90載置于工作臺(tái)部41的狀態(tài)下各端子部902在開口部411內(nèi)露出,因而,能夠利用姿勢(shì)檢測(cè)部25b的拍攝部251清晰地拍攝這些各端子部902。由此,能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)ic器件90的姿勢(shì)。應(yīng)予說(shuō)明,不管工作臺(tái)部41本身的透光性。

大齒輪部42呈筒狀,在其外周部形成有齒輪421。另外,大齒輪部42與工作臺(tái)部41同心配置。

小齒輪43配置于大齒輪部42的外周側(cè)。該小齒輪43形成有與大齒輪部42的齒輪421嚙合的齒輪431。

馬達(dá)44能夠使小齒輪43旋轉(zhuǎn)。通過(guò)該旋轉(zhuǎn),能夠使大齒輪部42連同工作臺(tái)部41上的ic器件90旋轉(zhuǎn)(參照?qǐng)D21)。并且,ic器件90旋轉(zhuǎn)由姿勢(shì)檢測(cè)部25b檢測(cè)出的旋轉(zhuǎn)角度θ,因而,調(diào)整成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

姿勢(shì)檢測(cè)部25b的拍攝部251被配置為其透鏡朝向鉛錘上方,即面對(duì)工作臺(tái)部41的開口部411。

另外,姿勢(shì)檢測(cè)部25b除拍攝部251外,還具有支承拍攝部251和環(huán)狀照明253的支承部254。

環(huán)狀照明253與該拍攝部251同心地配置于拍攝部251的外周側(cè)。并且,環(huán)狀照明253能夠在由拍攝部251進(jìn)行拍攝時(shí)照亮作為拍攝對(duì)象的ic器件90。由此,能夠清晰地拍攝ic器件90。

支承部254與未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。通過(guò)該移動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作,能夠使拍攝部251和環(huán)狀照明253一并地向z方向的正側(cè)(參照?qǐng)D23)、或者z方向的負(fù)側(cè)移動(dòng)。由此,能所夠如下述調(diào)整拍攝部251的焦點(diǎn)位置,因而,能夠防止針對(duì)ic器件90的焦點(diǎn)不對(duì)準(zhǔn),圖像im不清晰。

接下來(lái),參照?qǐng)D18~圖23對(duì)ic器件90以旋轉(zhuǎn)角度θ旋轉(zhuǎn)直至由器件搬運(yùn)頭13b把持的檢查裝置1的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。另外,在本實(shí)施方式中,當(dāng)然能夠拍攝作臺(tái)部41上的ic器件90,也能夠拍攝以旋轉(zhuǎn)角度θ轉(zhuǎn)動(dòng)后,即在調(diào)整姿勢(shì)后由器件搬運(yùn)頭13b把持的狀態(tài)的ic器件90。

如圖18所示,將在利用器件搬運(yùn)頭13b處于把持狀態(tài)的ic器件90搬運(yùn)至旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上的規(guī)定位置,并在該位置停止。

接下來(lái),如圖19所示,使吸引ic器件90的吸引部131下降,使該ic器件90與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4的工作臺(tái)部41抵接。此時(shí),ic器件90的各端子部902配置在工作臺(tái)部41的開口部411內(nèi)。

接下來(lái),如圖20所示,解除針對(duì)ic器件90的吸引狀態(tài),使吸引部131上升。由此,ic器件90載置在工作臺(tái)部41上。另外,此時(shí),使拍攝部251工作,拍攝工作臺(tái)部41上的ic器件90的各端子部902。并且,如上述那樣求出旋轉(zhuǎn)角度θ。

接下來(lái),如圖21所示,使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4工作,使ic器件90旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)角度θ。由此,工作臺(tái)部41上的ic器件90成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

接下來(lái),如圖22所示,使吸引ic器件90的吸引部131再次下降,使吸附盤134與ic器件90接觸。并且,再次開始針對(duì)保持該狀態(tài)的ic器件90的吸引狀態(tài)。

接下來(lái),如圖23所示,使吸引部131上升。由此,ic器件90成為由吸引部131把持的狀態(tài),并且與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4分離。然后,使拍攝部251再次工作,拍攝ic器件90的各端子部902,求出此時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度θ。然后,能夠根據(jù)該旋轉(zhuǎn)角度θ的程度來(lái)確認(rèn)再吸附后的ic器件90是否在維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)。在維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)、即旋轉(zhuǎn)角度θ在規(guī)定值θ0的范圍內(nèi)的情況下,能夠?qū)c器件90搬運(yùn)至器件供給部14。另一方面,在未維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)、即旋轉(zhuǎn)角度θ在規(guī)定值θ0的范圍外的情況下,再次將ic器件90載置于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4來(lái)調(diào)整姿勢(shì)。重復(fù)該調(diào)整直至再吸附后的ic器件90的旋轉(zhuǎn)角度θ在規(guī)定值θ0的范圍內(nèi)。

另外,在拍攝再吸附后的ic器件90時(shí),該ic器件90處于上升而與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4分離的位置。因此,如圖23所示,姿勢(shì)檢測(cè)部25b追隨ic器件90的上升向上方移動(dòng)。由此,能夠調(diào)整為與ic器件90和拍攝部251的分離距離相應(yīng)的焦點(diǎn)位置,能夠進(jìn)行清晰的拍攝。

應(yīng)予說(shuō)明,拍攝部251在上下方向的移動(dòng)被限制的情況下,也能夠更換為具有自動(dòng)焦點(diǎn)調(diào)整功能的自動(dòng)對(duì)焦像機(jī)。

接下來(lái),基于圖24所示的流程圖對(duì)將ic器件90從在檢查裝置1中載置于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4直至載置于器件供給部14的程序進(jìn)行說(shuō)明。

像上述那樣使器件搬運(yùn)頭13b工作,將ic器件90載置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上(步驟s201)。

接下來(lái),在解除了針對(duì)ic器件90的利用吸引部131的吸引后(步驟s202),使該吸引部131上升(步驟s203)。

接下來(lái),利用姿勢(shì)檢測(cè)部25b的拍攝部251拍攝旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上的ic器件90(步驟s204)。

接下來(lái),像上述那樣檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角度θ(步驟s205),并判斷該檢測(cè)出的旋轉(zhuǎn)角度θ是否在規(guī)定值θ0內(nèi)(步驟s206)。

在步驟s206中判斷為旋轉(zhuǎn)角度θ不在規(guī)定值θ0內(nèi)的情況下,使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4工作,使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上的ic器件90旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)角度θ(步驟s207)。

接下來(lái),使吸引部131下降至與ic器件90抵接(步驟s208),開始吸引(步驟s209)。應(yīng)予說(shuō)明,在步驟s206中判斷為旋轉(zhuǎn)角度θ在規(guī)定值θ0內(nèi)的情況下,依次執(zhí)行步驟s208以下的步驟。

接下來(lái),使吸引了ic器件90的吸引部131上升,從旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4暫時(shí)去除ic器件90(步驟s210)。

接下來(lái),利用姿勢(shì)檢測(cè)部25b的拍攝部251拍攝與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4分離的狀態(tài)的ic器件90(步驟s211)。此時(shí),像上述那樣使姿勢(shì)檢測(cè)部25b向上方移動(dòng),調(diào)整拍攝部251的焦點(diǎn)位置。

接下來(lái),像上述那樣檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角度θ(步驟s212),并判斷該檢測(cè)出的旋轉(zhuǎn)角度θ是否在規(guī)定值θ0內(nèi)(步驟s213)。

接下來(lái),使吸引著ic器件90的吸引部131下降,將ic器件90再次載置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上(步驟s214)。

接下來(lái),在解除針對(duì)ic器件90的利用吸引部131的吸引后(步驟s215),使該吸引部131上升(步驟s216)。

接下來(lái),使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4工作,使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4上的ic器件90旋轉(zhuǎn)在步驟s212中檢測(cè)出的旋轉(zhuǎn)角度θ(步驟s217)。

接下來(lái),使吸引部131下降至與ic器件90抵接(步驟s218),開始吸引(步驟s219)。

接下來(lái),使吸引部131上升,從旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4去除ic器件90(步驟s220),通過(guò)器件搬運(yùn)頭13b的工作將該ic器件90載置于器件供給部14。

另外,在步驟s213中判斷為旋轉(zhuǎn)角度θ在上述規(guī)定的允許范圍內(nèi)的情況下,保持原樣使器件搬運(yùn)頭13b工作,將ic器件90載置于器件供給部14。

另外,在本實(shí)施方式中,也能夠在步驟s207與步驟s208之間追加“利用姿勢(shì)檢測(cè)部25b的拍攝部251拍攝ic器件90”的步驟。

(第四實(shí)施方式)

圖25是表示將由第四實(shí)施方式的電子部件檢查裝置正在搬運(yùn)的ic器件的姿勢(shì)調(diào)整為適當(dāng)?shù)淖藙?shì)的狀態(tài)的局部垂直剖視圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第四實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1c除旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的工作臺(tái)部的構(gòu)成不同以外,與上述第三實(shí)施方式的檢查裝置1b相同。

如圖25所示,在本實(shí)施方式的檢查裝置1c中,旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)4c的工作臺(tái)部41c省略開口部411,為整體能夠透光的例如由玻璃材料構(gòu)成的透光部。由此,能夠與ic器件90的大小無(wú)關(guān),將ic器件90穩(wěn)定地載置于工作臺(tái)部41。

(第五實(shí)施方式)

圖26是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第五實(shí)施方式的概要立體圖。圖27是表示圖26所示的電子部件檢查裝置的動(dòng)作狀態(tài)的概要俯視圖。圖28是表示圖26所示的電子部件檢查裝置的器件供給部的立體圖。圖29是圖28所示的器件供給部的放大立體圖。圖30是圖29中的b-b線剖視圖。圖31是圖30中的以虛線包圍的區(qū)域的放大圖。圖32~圖35是表示將ic器件收納于器件供給部的收納部的動(dòng)作的剖視圖。圖36是用于說(shuō)明將ic器件收納于器件供給部的收納部的動(dòng)作的時(shí)間圖。圖37以及圖38是表示檢查用把持部把持載置于器件供給部的ic器件的動(dòng)作的剖視圖。圖39以及圖40是表示圖26所示的電子部件檢查裝置的控制動(dòng)作的流程圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第五實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

如圖27所示,檢查裝置1d被劃分為托盤供給區(qū)域a1、器件供給區(qū)域(以下僅稱作“供給區(qū)域”)a2、檢查區(qū)域a3、器件回收區(qū)域(以下僅稱作“回收區(qū)域”)a4、以及托盤去除區(qū)域a5。并且,ic器件90從托盤供給區(qū)域a1至托盤去除區(qū)域a5按順序經(jīng)由上述各區(qū)域,在中途的檢查區(qū)域a3進(jìn)行檢查。這樣,檢查裝置1d具備在各區(qū)域搬運(yùn)ic器件90的電子部件搬運(yùn)裝置(處理器)、在檢查區(qū)域a3內(nèi)進(jìn)行檢查的電子部件檢查部16、以及控制部800。另外,除此以外,檢查裝置1d具備監(jiān)視器300、信號(hào)燈400、以及操作面板700(參照?qǐng)D26)。

應(yīng)予說(shuō)明,對(duì)于檢查裝置1d,配置托盤供給區(qū)域a1、托盤去除區(qū)域a5的那一側(cè)(圖27中的-y軸側(cè))作為正面?zhèn)?,其相反?cè)即配置檢查區(qū)域a3的那一側(cè)(圖27中的+y軸側(cè))作為背面?zhèn)仁褂谩?/p>

在供給區(qū)域a2設(shè)置有溫度調(diào)整部12、器件搬運(yùn)頭13d、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15、以及姿勢(shì)檢測(cè)部(檢測(cè)部)25。

器件搬運(yùn)頭13d被以在供給區(qū)域a2內(nèi)能夠沿x方向以及y方向移動(dòng)、并且也能夠沿z方向移動(dòng)的方式支承。由此,器件搬運(yùn)頭13d能夠擔(dān)任從托盤供給區(qū)域a1搬入的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的ic器件90的搬運(yùn)、以及溫度調(diào)整部12與下述的器件供給部14d之間的ic器件90的搬運(yùn)。應(yīng)予說(shuō)明,在溫度調(diào)整部12與器件供給部14d之間的ic器件90的搬運(yùn)中,ic器件90經(jīng)過(guò)姿勢(shì)檢測(cè)部25上。

姿勢(shì)檢測(cè)部25檢測(cè)利用器件搬運(yùn)頭13d把持的把持狀態(tài)的ic器件90的姿勢(shì)。該姿勢(shì)檢測(cè)部25能夠通過(guò)拍攝把持狀態(tài)的ic器件90來(lái)檢測(cè)該ic器件90的姿勢(shì)。

檢查區(qū)域a3是檢查ic器件90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域a3設(shè)置有電子部件檢查部16、以及作為搬運(yùn)部的器件搬運(yùn)頭17d。另外,也設(shè)置有以跨越供給區(qū)域a2和檢查區(qū)域a3的方式移動(dòng)的器件供給部14d、以及以跨越檢查區(qū)域a3和回收區(qū)域a4的方式移動(dòng)的器件回收部18。

器件供給部14d是能夠載置利用溫度調(diào)整部12進(jìn)行了溫度調(diào)整的ic器件90,并將該ic器件90搬運(yùn)(移動(dòng))至電子部件檢查部16附近的載置部,有時(shí)被稱作“供給用穿梭板”。該器件供給部14d被以能夠在供給區(qū)域a2與檢查區(qū)域a3之間沿著x方向在水平方向移動(dòng)的方式支承。在圖27所示的構(gòu)成,器件供給部14d在y方向配置有2個(gè),溫度調(diào)整部12上的ic器件90被搬運(yùn)至任意一個(gè)器件供給部14d。另外,器件供給部14d構(gòu)成為能夠針對(duì)上述進(jìn)行了溫度調(diào)整的ic器件90維持該溫度調(diào)整狀態(tài)。由此,能夠冷卻或加熱ic器件90,因而,能夠維持該ic器件90的溫度調(diào)整狀態(tài)。

應(yīng)予說(shuō)明,在本實(shí)施方式中,如圖27所示,姿勢(shì)檢測(cè)部25在2個(gè)器件供給部14d位于供給區(qū)域a2的狀態(tài)下配置在這兩個(gè)器件供給部14d之間。

作為搬運(yùn)部的器件搬運(yùn)頭17d被以能夠在檢查區(qū)域a3內(nèi)沿y方向以及z方向移動(dòng)的方式支承。由此,器件搬運(yùn)頭17d能夠?qū)墓┙o區(qū)域a2搬入的器件供給部14d上的ic器件90搬運(yùn)并載置在電子部件檢查部16上。應(yīng)予說(shuō)明,器件搬運(yùn)頭17d也能夠冷卻或加熱ic器件90而將該ic器件90調(diào)整為適于檢查的溫度。

器件回收部18是能夠載置利用電子部件檢查部16的檢查結(jié)束的ic器件90并將該ic器件90搬運(yùn)(移動(dòng))至回收區(qū)域a4的載置部,有時(shí)被稱作“回收用穿梭板”。該器件回收部18被以能夠在檢查區(qū)域a3與回收區(qū)域a4之間沿著x方向在水平方向移動(dòng)的方式支承。另外,在圖27所示的構(gòu)成中,器件回收部18與器件供給部14d相同,在y方向配置有2個(gè),電子部件檢查部16上的ic器件90被搬運(yùn)至任意一個(gè)器件回收部18而載置。該搬運(yùn)通過(guò)器件搬運(yùn)頭17d來(lái)進(jìn)行。

控制部800例如具有驅(qū)動(dòng)控制部。驅(qū)動(dòng)控制部例如控制托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11a、11b、溫度調(diào)整部12、器件搬運(yùn)頭13d、器件供給部14d、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15、電子部件檢查部16、器件搬運(yùn)頭17d、器件回收部18、器件搬運(yùn)頭20、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)21、托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22a、22b、以及姿勢(shì)檢測(cè)部25的各部的驅(qū)動(dòng)。

應(yīng)予說(shuō)明,上述測(cè)試器的檢查控制部例如基于存儲(chǔ)于未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)的程序來(lái)進(jìn)行配置于電子部件檢查部16的ic器件90的電特性的檢查等。

操作人員能夠經(jīng)由監(jiān)視器300設(shè)定或者確認(rèn)檢查裝置1d的動(dòng)作條件等。該監(jiān)視器300具有例如由液晶畫面構(gòu)成的顯示畫面(顯示部)301,并配置在檢查裝置1d的正面?zhèn)壬喜?。如圖26所示,在托盤去除區(qū)域a5的圖中的右側(cè)設(shè)置有載置在操作顯示于監(jiān)視器300的畫面時(shí)使用的鼠標(biāo)的鼠標(biāo)臺(tái)600。

另外,相對(duì)于監(jiān)視器300在圖26中的右下方配置有操作面板700。操作面板700與監(jiān)視器300獨(dú)立地向檢查裝置1d命令所希望的動(dòng)作。

另外,信號(hào)燈400能夠通過(guò)發(fā)光的顏色的組合來(lái)通知檢查裝置1d的工作狀態(tài)等。信號(hào)燈400配置在檢查裝置1d的上部。應(yīng)予說(shuō)明,在檢查裝置1d內(nèi)置揚(yáng)聲器500,也能夠通過(guò)該揚(yáng)聲器500來(lái)通知檢查裝置1d的工作狀態(tài)等。

如圖27所示,對(duì)于檢查裝置1d,托盤供給區(qū)域a1與供給區(qū)域a2之間被第一隔壁61劃分(分隔),供給區(qū)域a2與檢查區(qū)域a3之間被第二隔壁62劃分,檢查區(qū)域a3與回收區(qū)域a4之間被第三隔壁63劃分,回收區(qū)域a4與托盤去除區(qū)域a5之間被第四隔壁64劃分。另外,供給區(qū)域a2與回收區(qū)域a4之間也被第五隔壁65劃分。這些隔壁具有保持各區(qū)域的氣密性的功能。并且,檢查裝置1d的最外層被蓋覆蓋,該蓋例如有前蓋70、側(cè)蓋71、側(cè)蓋72、后蓋73、以及頂蓋74。

檢查裝置1d為作為ic器件90能夠檢查俯視下的外形形狀呈矩形的器件,但尤其適于檢查俯視下在外形的至少一部分具有曲線形狀即帶圓弧的器件的裝置。作為這樣的帶圓弧的ic器件90,不進(jìn)行特別限定,例如能夠列舉圖3~圖5所示的器件,例如能夠內(nèi)置于手表使用。

在將ic器件90搬運(yùn)至電子部件檢查部16時(shí),在俯視呈矩形的ic器件90中,能夠以其直線狀的邊緣部為基準(zhǔn)進(jìn)行定位,但在俯視帶有圓弧的ic器件90,由于邊緣部901c彎曲成圓弧狀或者橢圓弧狀,所以難以以該邊緣部901c為基準(zhǔn)進(jìn)行定位。

以下,對(duì)適于搬運(yùn)這樣的帶圓弧的ic器件90的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。應(yīng)予說(shuō)明,在本實(shí)施方式中,作為帶圓弧的ic器件90,代表性地處理圖3所示的ic器件90。

首先,對(duì)器件搬運(yùn)頭13d進(jìn)行說(shuō)明。

如圖27以及圖32~圖35所示,器件搬運(yùn)頭13d具有吸引部131、以及支承吸引部131的基體(未圖示)。應(yīng)予說(shuō)明,在本實(shí)施方式中,吸引部131設(shè)置有4個(gè),但在圖32~圖35,代表性圖示1個(gè)。

各吸引部131例如具有與噴射器等真空產(chǎn)生裝置連接的圓環(huán)狀的吸附盤134。通過(guò)在吸附盤134與ic器件90的表側(cè)的面901b抵接的狀態(tài)下真空產(chǎn)生裝置工作,能夠利用吸附盤134吸引ic器件90。并且,能夠保持該吸引狀態(tài)搬運(yùn)ic器件90。這樣,吸引部131為通過(guò)吸引來(lái)把持ic器件90并能夠維持該把持狀態(tài)的把持部。另外,解除ic器件90的把持狀態(tài)能夠通過(guò)真空產(chǎn)生裝置中的真空破壞來(lái)進(jìn)行。

另外,通過(guò)由吸引部131把持ic器件90,例如與通過(guò)手指、爪等把持ic器件90的構(gòu)成相比,能夠簡(jiǎn)化器件搬運(yùn)頭13d的構(gòu)成。

接下來(lái),對(duì)器件供給部14d進(jìn)行說(shuō)明。

如圖28以及圖29所示,器件供給部14d由板狀部件構(gòu)成,具備收納ic器件90的4個(gè)收納部23、設(shè)置在收納部23內(nèi)并支承ic器件90的支承部24、進(jìn)行ic器件90的定位的定位孔5、吸引部8、以及檢測(cè)ic器件90的有無(wú)的ic器件檢測(cè)部9。

如圖28所示,各收納部23以格子狀配置。應(yīng)予說(shuō)明,由于各收納部23分別是同樣的構(gòu)成,所以在下文中,代表性地對(duì)一個(gè)收納部23進(jìn)行說(shuō)明。

如圖29所示,收納部23由在+z側(cè)開放且具有底部231和內(nèi)周部(外周抵接部)232的凹部構(gòu)成。該收納部23在從z軸向觀察時(shí)呈圓形,并能夠在內(nèi)側(cè)收納ic器件90。應(yīng)予說(shuō)明,以下,將在收納部23收納ic器件90的狀態(tài)稱作“收納狀態(tài)”,在該收納狀態(tài)下,為適于檢查的姿勢(shì)(檢查適當(dāng)姿勢(shì))。

在底部231設(shè)置有吸引部8的吸引孔81和支承部24。另外,內(nèi)周部232在收納狀態(tài)下與ic器件90的外周部即邊緣部901c抵接(參照?qǐng)D30)。由此,能夠防止在收納狀態(tài)下ic器件90在xy面內(nèi)移動(dòng)。因而,能夠維持收納狀態(tài)。

支承部24是在收納狀態(tài)下與ic器件90的下表面抵接的部分。支承部24具有第一支承部241、第二支承部242、第三支承部243、以及第四支承部244。第一支承部241~第四支承部244配置在設(shè)置于底部231的中央部的吸引孔81的周邊。

第一支承部241配置在吸引孔81的-x軸側(cè)。第二支承部242配置在吸引孔81的+y軸側(cè)。第三支承部243配置在吸引孔81的+x軸側(cè)。第四支承部244配置在吸引孔81的-y軸側(cè)。

另外,第一支承部241、第二支承部242以及第三支承部243呈板狀,厚度比收納部23的深度小。第四支承部244呈沿著x軸向設(shè)置的棱柱狀。另外,第一支承部241~第四支承部244的厚度(z軸向的厚度)相同,例如可以為0.5mm以上、0.8mm以下。

另外,第一支承部241的上表面241a、第二支承部242的上表面242a、第三支承部243的上表面243a、以及第四支承部244的上表面244a在收納狀態(tài)下與和ic器件90的端子部902不同的部分即主體部901的背側(cè)的面901a抵接而支承ic器件90。

這樣,第一支承部241~第四支承部244形成于底部231,成為z軸向的高度與底部231不同的臺(tái)階部。由此,能夠成為使ic器件90的端子部902與底部231分離的狀態(tài)。因而,能夠防止在收納狀態(tài)下,由于端子部902與底部231接觸引起損傷。

優(yōu)選面對(duì)這樣的第一支承部241~第四支承部244以及器件供給部14d的收納部23的部分,即與ic器件90接觸的部分由具有導(dǎo)電性的材料構(gòu)成。由此,能夠防止ic器件90帶電。因而,能夠防止由ic器件90帶電引起故障。

作為具有導(dǎo)電性的材料,不進(jìn)行特別限定,例如能夠使用不銹鋼、鋁、鋁合金等這樣的各種金屬材料、使丙烯酸類、聚氨酯系、聚酯系、環(huán)氧類、聚氯乙烯系、三聚氰胺系、聚酰亞胺系等樹脂材料中含有具有導(dǎo)電性的填充物的材料等。另外,作為該填充物,不進(jìn)行特別限定,例如能夠列舉氧化鋅系、氧化鈦系、氧化錫系、氧化銦系、氧化銻系等。

如圖29所示,在第一支承部241,在相互不同的位置各形成一個(gè)在上表面241a開放的定位孔5以及逃避孔10。另外,在第二支承部242,在相互不同的位置形成有在上表面242a開放的3個(gè)逃避孔10。另外,在第三支承部243,在相互不同的位置各形成一個(gè)在上表面243a開放的定位孔5以及逃避孔10。在此,在第一支承部241以及第三支承部243分別設(shè)置的2個(gè)定位孔5分別相當(dāng)于第一凹部或第二凹部,例如若第一支承部241的定位孔5相當(dāng)于第一凹部,則第三支承部243的定位孔5相當(dāng)于第二凹部。

以下,對(duì)定位孔5以及逃避孔10進(jìn)行說(shuō)明,各定位孔5除形成位置不同以外,為同樣的構(gòu)成,因此代表性地對(duì)一側(cè)的定位孔5進(jìn)行說(shuō)明。另外,各逃避孔10除形成位置不同以外,為同樣的構(gòu)成,因此代表性對(duì)一個(gè)逃避孔10進(jìn)行說(shuō)明。

定位孔5在從z軸向觀察時(shí)由圓形的孔構(gòu)成。該定位孔5是成為ic器件90相對(duì)于器件供給部14d的定位的基準(zhǔn)的端子部902所插入的孔。

另外,如圖31所示,定位孔5的開口51附近的內(nèi)周部52呈錐狀。即,定位孔5具有開口51附近隨著向深度方向行進(jìn)內(nèi)徑變小的錐部53。由此,在使之為插入狀態(tài)時(shí),端子部902邊被錐部53引導(dǎo)邊被插入至定位孔5內(nèi)。因而,在使之為插入狀態(tài)時(shí),即使端子部902與定位孔5的位置略微偏移,也能夠成為插入狀態(tài)。應(yīng)予說(shuō)明,如圖3所示,對(duì)于定位用的端子部902,以下作為第一端子以及第二端子也稱作端子部902a、902b。

應(yīng)予說(shuō)明,在將端子部902a、902b插入至定位孔5內(nèi)時(shí),通過(guò)減弱器件搬運(yùn)頭13d的勵(lì)磁狀態(tài),成為所謂的“浮置狀態(tài)”,能夠使器件搬運(yùn)頭13d繞z軸略微旋轉(zhuǎn)。通過(guò)作為該浮置狀態(tài)將端子部902插入至定位孔5內(nèi),端子部902容易被錐部53引導(dǎo)。因而,能夠更加順利地進(jìn)行端子部902的插入。

另外,如圖30所示,在插入狀態(tài)下,定位孔5的內(nèi)周部52與定位用的端子部902(端子部902a、902b)抵接。由此,端子部902被定位孔5的內(nèi)周部52限制移動(dòng)。因而,能夠防止在插入狀態(tài)下ic器件90沿周方向旋轉(zhuǎn)。因此,能夠在進(jìn)行了ic器件90的定位的狀態(tài)下,尤其進(jìn)行了周方向的定位的狀態(tài)下將ic器件90搬運(yùn)至電子部件檢查部16。結(jié)果,能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。

如圖29所示,逃避孔10設(shè)置于定位孔5的附近。逃避孔10是在收納狀態(tài)下定位用的端子部902a、902b以外的端子部902所插入的部分。

該逃避孔10的內(nèi)徑φ10比定位孔5的內(nèi)徑φ5大。因此,在收納狀態(tài)下,端子部902與逃避孔10的內(nèi)周部101成為非接觸狀態(tài)。因而,能夠防止定位用的端子部902以外的端子由于與內(nèi)周部101接觸而引起損傷。

在此,定位用的端子部902a、902b像上述那樣與定位孔5的內(nèi)周部52接觸(參照?qǐng)D30)。在檢查裝置1d中,由于ic器件90的主體部901與第一支承部241~第四支承部244接觸,所以能夠在以ic器件整體觀察時(shí),使端子部902a、902b與定位孔5的內(nèi)周部52接觸的面積與主體部901與第一支承部241~第四支承部244接觸的面積相比較小。由此,即使在收納狀態(tài)下施加ic器件90與器件供給部14d位置偏移的方向的外力,也能夠防止或抑制在定位用的端子部902a、902b集中負(fù)荷。結(jié)果,能夠防止或抑制在端子部902a、902b產(chǎn)生損傷。

通過(guò)在位于檢查區(qū)域a3的緊前的器件供給部14d設(shè)置以上說(shuō)明那樣的構(gòu)成,能夠減少ic器件90在搬運(yùn)中引起位置偏移的風(fēng)險(xiǎn)。因而,能夠更加準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。

此外,在上文中,對(duì)將多個(gè)端子部902中的2個(gè)端子部902a、902b作為作為定位基準(zhǔn)的第一端子以及第二端子,將2個(gè)定位孔5的內(nèi)周部52分別作為第一抵接部以及第二抵接部進(jìn)行了說(shuō)明。本發(fā)明并不局限于此,也可以以3個(gè)以上的端子部902作為定位基準(zhǔn),設(shè)置與它們對(duì)應(yīng)的3個(gè)以上的定位孔5。

接下來(lái),對(duì)吸引部8進(jìn)行說(shuō)明。

如圖30以及圖32~圖35所示,吸引部8具有設(shè)置于收納部23的底部231的吸引孔81、以及經(jīng)由吸引孔81進(jìn)行吸引的吸引泵82。

如圖32~圖35所示,吸引孔81與位于器件供給部14d的厚度方向的中途的空洞部141連通。另外,該空洞部141也與上述的定位孔5以及逃避孔10連通。因此,在器件供給部14d中,在逃避孔10也能夠進(jìn)行吸引。

作為吸引泵82,能夠使用噴射器等真空產(chǎn)生裝置。另外,吸引泵82與控制部800電連接,通過(guò)控制部800控制工作。

根據(jù)這樣的吸引部8,通過(guò)在收納狀態(tài)下使吸引泵82工作,能夠?qū)c器件90向-z軸側(cè)吸引。因而,能夠穩(wěn)定地維持上述定位狀態(tài)。

在此,第一支承部241~第四支承部244在xy平面相互分離。即,在第一支承部241~第四支承部244之間分別形成有間隙s。因此,在收納狀態(tài)下,成為吸引孔81經(jīng)由各間隙s與收納部23的外側(cè)連通的狀態(tài)。通過(guò)該連通,吸引部8的吸引力與省略間隙s的情況相比變?nèi)?。因而,與吸引力變?nèi)跸鄳?yīng)地,ic器件90被吸附至第一支承部241~第四支承部244的力變?nèi)?。結(jié)果,能夠減少由吸引對(duì)ic器件90產(chǎn)生的負(fù)荷。

這樣,在檢查裝置1d中,能夠兼顧基于吸引的檢查適當(dāng)姿勢(shì)的維持和對(duì)ic器件90的負(fù)荷的減少這兩個(gè)相反的特性。

另外,吸引部8針對(duì)4個(gè)收納部23分別各設(shè)置一個(gè)。因此,與通過(guò)一個(gè)吸引泵82吸引4個(gè)收納部23內(nèi)的ic器件90的情況相比,能夠增強(qiáng)吸引力。另外,各吸引部8能夠相互獨(dú)立地工作。由此,能夠獨(dú)立地調(diào)節(jié)各吸引部8的吸引力的強(qiáng)弱。

接下來(lái),對(duì)ic器件檢測(cè)部9進(jìn)行說(shuō)明。

如圖29以及圖32~圖35所示,ic器件檢測(cè)部9是檢測(cè)在收納部23收納了ic器件90的部件。該ic器件檢測(cè)部9具有光學(xué)傳感器91和吸引力傳感器(吸引力檢測(cè)部)92。

圖29所示的光學(xué)傳感器91具有發(fā)出激光l的發(fā)光部911、以及接受發(fā)出的激光l的受光部912。

發(fā)光部911配置在與收納部23連通的槽233內(nèi)。該槽233從收納部23向+y軸向延伸,發(fā)光部911向-y軸向發(fā)出激光l。這樣的發(fā)光部911與控制部800電連接,控制工作。

受光部912配置在與收納部23連通的槽234內(nèi)。該槽234從收納部23向-y軸向延伸。因此,受光部912設(shè)置于經(jīng)由收納部23與發(fā)光部911對(duì)置的位置。這樣的受光部912與控制部800電連接,控制工作。

在成為收納狀態(tài)以前,受光部912接受激光l。另一方面,在收納狀態(tài)下,發(fā)光部911發(fā)出的激光l被ic器件90遮擋。能夠根據(jù)該遮擋檢測(cè)成為收納狀態(tài)。

如圖32~圖35所示,吸引力傳感器92配置在吸引泵82的附近。作為該吸引力傳感器92,若是檢測(cè)吸引力傳感器92的吸引力的傳感器,則不進(jìn)行特別限定,能夠使用公知的傳感器。

在成為收納狀態(tài)時(shí),收納部23的開口被ic器件90堵塞,吸引力發(fā)生變化。通過(guò)檢測(cè)該變化,能夠掌握成為收納狀態(tài)。

另外,如圖32~圖35所示,在吸引孔81與吸引泵82之間設(shè)置有閥體(調(diào)節(jié)部)83。該閥體83以任意開閉的方式構(gòu)成,通過(guò)開閉的程度來(lái)調(diào)節(jié)吸引力。由此,例如能夠根據(jù)ic器件90的種類來(lái)調(diào)節(jié)吸引力。因而,例如在吸引端子部902比較易損傷的ic器件90的情況下,能夠使吸引力較弱。

接下來(lái),基于圖32~圖35以及圖36所示的時(shí)間圖對(duì)將ic器件90配置于收納部23的動(dòng)作詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。

在圖36圖示3個(gè)曲線圖,最上方的曲線圖(以下稱作“上曲線圖”)以縱軸由器件搬運(yùn)頭13d的高度表示,以橫軸由時(shí)間表示的曲線圖。正中間的曲線圖(以下稱作“中曲線圖”)是以縱軸由器件搬運(yùn)頭13d的吸引部131的on/off(開/關(guān))表示,以橫軸由時(shí)間表示的曲線圖。最下方的曲線圖(以下稱作“下曲線圖”)是以縱軸由吸引部8的on/off(開/關(guān))表示,橫軸由實(shí)際感覺表示的圖。

應(yīng)予說(shuō)明,圖36中的t0與圖32所示的狀態(tài)對(duì)應(yīng)。圖35中的t1與圖33所示的狀態(tài)對(duì)應(yīng)。圖36中的t2與圖34所示的狀態(tài)對(duì)應(yīng)。并且,圖36中的t3與圖35所示的狀態(tài)對(duì)應(yīng)。

圖32是在成為收納狀態(tài)以前,即器件搬運(yùn)頭13d在保持把持ic器件90的狀態(tài)下位于收納部23的上方的狀態(tài)。如圖36的上曲線圖所示,在圖32所示的狀態(tài)下,器件搬運(yùn)頭13d吸引ic器件90。

接下來(lái),如圖33所示,從圖32所示的位置在保持把持ic器件90的狀態(tài)下使13下降。此時(shí),如圖36的下曲線圖所示,在ic器件90與收納部23分離的狀態(tài)下使器件供給部14d側(cè)的吸引部8工作。即,吸引部8在從ic器件90收納于收納部23以前工作。因此,像下述那樣,能夠在將ic器件90配置于收納部23時(shí),已經(jīng)成為吸引部8吸引ic器件90的狀態(tài)。

接下來(lái),如圖34所示,器件搬運(yùn)頭13d從圖32所示的位置下降至在保持把持ic器件90的狀態(tài)下ic器件90收納于收納部23。此時(shí),如圖36的中曲線圖所示,器件搬運(yùn)頭13d解除ic器件90的吸引,即解除把持。

并且,如圖35所示,器件搬運(yùn)頭13d在保持將ic器件90保留于收納部23的狀態(tài)下上升。由此,能夠成為收納狀態(tài)。

在此,假設(shè)像以往那樣,在吸引部8未進(jìn)行吸引的狀態(tài)下解除器件搬運(yùn)頭13d的吸引的情況下,存在ic器件90雖然是略微的,但會(huì)旋轉(zhuǎn)的情況。與此相對(duì),在檢查裝置1d中,在吸引部8吸引ic器件90,維持ic器件90的收納狀態(tài)的狀態(tài)下解除器件搬運(yùn)頭13d的吸引。由此,能夠有效地防止以往那樣的成為收納狀態(tài)時(shí)的位置偏移。因而,能夠防止從器件搬運(yùn)頭13d向器件供給部14d的ic器件90的交接時(shí)檢查適當(dāng)姿勢(shì)走樣。結(jié)果,能夠?qū)c器件90保持檢查適當(dāng)姿勢(shì)地搬運(yùn)至檢查區(qū)域a3,能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。

另外,如圖36的中曲線圖以及下曲線圖所示,在吸引部8將ic器件90吸引規(guī)定時(shí)間(從時(shí)間t1至?xí)r間t2的期間)后,器件搬運(yùn)頭13d解除吸引。即,從時(shí)間t1至?xí)r間t2的期間為吸引部8和器件搬運(yùn)頭13d的雙方吸引ic器件90。因而,能夠更加可靠地在吸引部8吸引ic器件90的狀態(tài)下解除器件搬運(yùn)頭13d的吸引。

以上,對(duì)在器件搬運(yùn)頭13d與器件供給部14d之間的供給區(qū)域(第一位置)a2的ic器件90的交換進(jìn)行了說(shuō)明。如圖27所示,在檢查裝置1d,器件供給部14d在保持收納ic器件90的狀態(tài)下向檢查區(qū)域(第二位置)a3內(nèi)移動(dòng),器件搬運(yùn)頭17d把持ic器件90而將其載置在電子部件檢查部16上。在器件供給部14d與器件搬運(yùn)頭17d之間的ic器件90的交換中也能夠維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

首先,對(duì)器件搬運(yùn)頭(檢查用把持部)17d進(jìn)行說(shuō)明。

如圖37以及圖38所示,器件搬運(yùn)頭17d是與器件搬運(yùn)頭13d同樣的構(gòu)成,具有吸引部171。應(yīng)予說(shuō)明,雖未圖示,但吸引部171設(shè)置有4個(gè),各吸引部171與各收納部23對(duì)應(yīng)。

吸引部171例如具有與噴射器等真空產(chǎn)生裝置連接的圓環(huán)狀的吸附盤174。通過(guò)在吸附盤174與ic器件90的表側(cè)的面901b抵接的狀態(tài)下真空產(chǎn)生裝置工作,能夠利用吸附盤174吸引ic器件90。然后,在該吸引狀態(tài)下將ic器件90搬運(yùn)至電子部件檢查部16。

接下來(lái),使用圖37以及圖38對(duì)從收納部23把持ic器件90的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

圖37是表示向檢查區(qū)域a3內(nèi)移動(dòng)過(guò)來(lái)的狀態(tài)的圖。此時(shí),器件搬運(yùn)頭17d位于收納部23的上方,是吸引部171尚未工作的狀態(tài),是器件供給部14d側(cè)的吸引部8工作的狀態(tài)。

接下來(lái),如圖38所示,使器件搬運(yùn)頭17d下降至吸附盤174與ic器件90的表側(cè)的面901b抵接。從抵接開始使吸引部171工作并進(jìn)行把持。此時(shí),ic器件90在收納部23內(nèi)被吸引部171和吸引部8雙方吸引。

然后,在雙方的吸引進(jìn)行規(guī)定時(shí)間后,解除吸引部8的吸引。由此,器件搬運(yùn)頭17d在保持把持ic器件的狀態(tài)下上升,能夠?qū)c器件90搬運(yùn)至電子部件檢查部16。

這樣,在檢查裝置1d中,在吸引部8吸引ic器件90的狀態(tài)下,器件搬運(yùn)頭17d把持ic器件90,并在該把持的狀態(tài)下解除吸引部8的吸引。由此,能夠在保持維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)的狀態(tài)下,器件搬運(yùn)頭17d從器件供給部14d接受ic器件90并進(jìn)行搬運(yùn)。因而,能夠進(jìn)一步準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。

接下來(lái),基于圖39所示的流程圖對(duì)器件搬運(yùn)頭13d將ic器件90載置于器件供給部14d時(shí)的控制部800的控制動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

在步驟s301中,在保持吸引ic器件90的狀態(tài)下使器件搬運(yùn)頭13d下降(參照?qǐng)D32)。

接下來(lái),在步驟s302中,在器件搬運(yùn)頭13d下降的中途使吸引部8工作而開始吸引(參照?qǐng)D33)。

在步驟s303中,判斷ic器件90是否收納在收納部23內(nèi)。該判斷基于受光部912的激光l的受光的有無(wú)、以及吸引力傳感器92檢測(cè)出的吸引力的變化來(lái)進(jìn)行(參照?qǐng)D29以及圖32~圖35)。

在步驟s303中,若判斷為ic器件90收納在收納部23內(nèi),則使計(jì)時(shí)器工作(步驟s304)。

然后,在步驟s305中,判斷是否時(shí)間已到。若時(shí)間已到,則在步驟s306中解除器件搬運(yùn)頭13d的吸引。

接下來(lái),基于圖40所示的流程圖對(duì)器件搬運(yùn)頭17d把持載置于器件供給部14d的ic器件90時(shí)的控制部800的控制動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

首先,在步驟s401中,使器件搬運(yùn)頭17d下降至吸附盤174與ic器件90抵接(參照?qǐng)D37以及圖38)。在該下降時(shí),吸引部8吸引ic器件90。

在步驟s402中,若判斷為吸附盤174與ic器件90抵接,則在步驟s403中,使吸引部171工作而吸引ic器件90。

然后,在步驟s404中,使計(jì)時(shí)器工作。在步驟s405中判斷是否時(shí)間已到。若時(shí)間已到,則在步驟s406中停止吸引部8的吸引,在步驟s407中,器件搬運(yùn)頭17d在保持檢查適當(dāng)姿勢(shì)的狀態(tài)下將ic器件90搬運(yùn)至電子部件檢查部16。

(第六實(shí)施方式)

圖41是表示第六實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第六實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1e除支承部的構(gòu)成/形狀不同以外,與上述第五實(shí)施方式的檢查裝置1d相同。

如圖41所示,檢查裝置1e的支承部24a具有第一支承部241a、第二支承部242a、第三支承部243a、以及第四支承部244a。第一支承部241a~第四支承部244a分別呈棱柱狀,以從z軸向觀察時(shí)包圍吸引孔81的方式設(shè)置。

第一支承部241a設(shè)置于吸引孔81的+y軸側(cè),沿x軸向延伸。第二支承部242a設(shè)置于吸引孔81的-y軸側(cè),沿x軸向延伸。第三支承部243a設(shè)置于吸引孔81的-x軸側(cè),沿y軸向延伸。第四支承部244a設(shè)置于吸引孔81的+x軸側(cè),沿y軸向延伸。

這樣的支承部24a在收納狀態(tài)下,第一支承部241a~244a的上表面245分別與ic器件90的主體部901抵接,支承ic器件90。

另外,第一支承部241a的+y軸側(cè)的面(外周部)2411a與端子部902中的偏向+y軸側(cè)的2個(gè)端子部902抵接。另外,第二支承部242a的-y軸側(cè)的面(外周部)2421a與端子部902中的偏向-y軸側(cè)的2個(gè)端子部902抵接。另外,第三支承部243a的-x軸側(cè)的面(外周部)2431a與端子部902中的偏向-x軸側(cè)的一個(gè)端子部902抵接。

另外,第四支承部244a的+x軸側(cè)的面(外周部)2441a與端子部902中的偏向+x軸側(cè)的一個(gè)端子部902抵接。

根據(jù)這樣的本實(shí)施方式,第一支承部241a~第四支承部244a能夠從ic器件90的內(nèi)周側(cè)朝向外周側(cè)與端子部902抵接。因而,能夠在收納狀態(tài)下有效地維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

應(yīng)予說(shuō)明,第一支承部241a~第四支承部244a能夠省略它們中的2個(gè),即使僅以2個(gè)的構(gòu)成也能夠發(fā)揮與上述相同的功能。該情況下,2個(gè)支承部作為第一抵接部(第一凸部)以及第二抵接部(第二凸部)發(fā)揮功能。

(第七實(shí)施方式)

圖42是表示第七實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第七實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1f除支承部的配置位置不同以外,與上述第六實(shí)施方式的檢查裝置1e相同。

如圖42所示,檢查裝置1f的支承部24b具有第一支承部241b、第二支承部242b、第三支承部243b、以及第四支承部244b。

第一支承部241b是與上述的第六實(shí)施方式中的第一支承部241a相同的構(gòu)成。另外,第二支承部242b是與上述的第六實(shí)施方式中的第二支承部242a相同的構(gòu)成。

第三支承部243b(外周抵接部)配置在吸引孔81的-x軸側(cè),在收納狀態(tài)下,與ic器件90的邊緣部901c抵接。第四支承部244b(外周抵接部)配置在吸引孔81的+x軸側(cè),在收納狀態(tài)下,與ic器件90的邊緣部901c抵接。

根據(jù)這樣的本實(shí)施方式,在收納狀態(tài)下,能夠防止ic器件90在收納部23內(nèi)引起位置偏移,并且能夠有效地維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

尤其是由于第三支承部243b以及第四支承部244b作為外周抵接部發(fā)揮功能,所以能夠消除收納部23的大小的限制。即,無(wú)需使收納部23與ic器件90的從z軸向觀察時(shí)的大小相同,能夠使收納部23的大小比ic器件90大。因而,也能夠收納比圖示的ic器件90大的ic器件90,通用性優(yōu)良。

(第八實(shí)施方式)

圖43是表示第八實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第八實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1g除指示部的構(gòu)成/形狀不同以外,與上述第六實(shí)施方式的檢查裝置1e相同。

如圖43所示,檢查裝置1g的支承部24c具有第一支承部241c、第二支承部242c、第三支承部243c、以及第四支承部244c。

第一支承部241c在收納狀態(tài)下位于偏向+y軸側(cè)的端子部902的外側(cè)(+y軸側(cè))。第二支承部242c在收納狀態(tài)下位于偏向-y軸側(cè)的端子部902的外側(cè)(-y軸側(cè))。第三支承部243c在收納狀態(tài)下位于偏向-x軸側(cè)的端子部902的外側(cè)(-x軸側(cè))。第四支承部244c在在收納狀態(tài)下位于偏向+x軸側(cè)的端子部902的外側(cè)(+x軸側(cè))。

根據(jù)這樣的本實(shí)施方式,第一支承部241c~第四支承部244c能夠從ic器件90的外周側(cè)朝向內(nèi)周側(cè)與端子部902抵接。因而,能夠在收納狀態(tài)下有效地維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

(第九實(shí)施方式)

圖44是表示第九實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第九實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1h除抵接部的構(gòu)成/形狀不同以外,與上述第五實(shí)施方式的檢查裝置1d相同。

如圖44所示,在本實(shí)施方式的檢查裝置1h中,省略支承部24,在收納部23h的底部231h設(shè)置有定位孔5h。定位孔5h在從z軸向觀察時(shí)相對(duì)于收納部23h偏心地設(shè)置。即,位于從收納部23h的中央部(吸引孔81)偏離的位置。在收納狀態(tài)下,端子部902與定位孔5h的內(nèi)周部52抵接。另外,收納部23h的內(nèi)周部232與ic器件90的邊緣部901c抵接。

這樣,在本實(shí)施方式中,能夠通過(guò)定位孔5h的內(nèi)周部52和收納部23h的內(nèi)周部232在收納狀態(tài)下有效地維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)。并且,能夠省略支承部,能夠簡(jiǎn)化構(gòu)成。

(第十實(shí)施方式)

圖45是表示第十實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的收納部的俯視圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第十實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1j除抵接部的構(gòu)成/形狀不同以外,與上述第六實(shí)施方式的檢查裝置1e相同。

如圖45所示,本實(shí)施方式的檢查裝置1j還具有支承部24d。支承部24d具有第一支承部241d、第二支承部242d、第三支承部243d、以及第四支承部244d。

第一支承部241d與ic器件90的+y軸側(cè)的邊緣部901c抵接。第二支承部242d與ic器件90的-y軸側(cè)的邊緣部901c抵接。第三支承部243d與ic器件90的-x軸側(cè)的邊緣部901c抵接。第四支承部244d與ic器件90的+x軸側(cè)的邊緣部901c抵接。

根據(jù)這樣的本實(shí)施方式,能夠通過(guò)支承部24d以ic器件90的外形為基準(zhǔn)進(jìn)行定位(預(yù)先定位),通過(guò)支承部24a與端子部902抵接,以成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)的方式進(jìn)行定位(正式定位)。即,根據(jù)本實(shí)施方式,能夠以ic器件90的外形基準(zhǔn)進(jìn)行x方向以及y方向的定位,通過(guò)支承部24a進(jìn)行繞z軸的定位。因而,能夠在收納部23中,進(jìn)一步準(zhǔn)確且迅速地成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。

(第十一實(shí)施方式)

圖46是表示第十一實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的器件供給部的剖視圖。

以下,參照該圖對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的第十一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明,但以與上述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明,對(duì)于相同的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1k除器件供給部的構(gòu)成/形狀不同以外,與上述第五實(shí)施方式的檢查裝置1d相同。

如圖46所示,器件供給部14k具有設(shè)置于與收納部23相反側(cè)的照相機(jī)26。照相機(jī)26例如由ccd像機(jī)等構(gòu)成,經(jīng)由吸引孔81從下側(cè)拍攝器件搬運(yùn)頭13d把持的ic器件90。另外,以下對(duì)通過(guò)照相機(jī)26在器件搬運(yùn)頭13d提起ic器件90即ic器件90與收納部23分離的狀態(tài)下拍攝ic器件90的情況進(jìn)行說(shuō)明。應(yīng)予說(shuō)明,照相機(jī)26也可以在收納狀態(tài)下拍攝ic器件90。

由這樣的照相機(jī)26拍攝出的圖像被發(fā)送至控制部800,進(jìn)行以下這樣的控制。

在判斷為ic器件90維持檢查適當(dāng)姿勢(shì)的情況下,向電子部件檢查部16搬運(yùn)ic器件90(參照?qǐng)D27)。另一方面,在判斷為ic器件90不是檢查適當(dāng)姿勢(shì)的情況下,能夠再次在收納部23收納ic器件90并使其成為檢查適當(dāng)姿勢(shì)。應(yīng)予說(shuō)明,在判斷為ic器件90不是檢查適當(dāng)姿勢(shì)的情況下,也可以不進(jìn)行檢查而搬運(yùn)至器件回收部18(參照?qǐng)D27)。

以上,通過(guò)圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行了說(shuō)明,但本發(fā)明并不局限于此,能夠?qū)?gòu)成電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的各部置換為能夠發(fā)揮同樣的功能的任意的構(gòu)成。另外,也可以附加任意的構(gòu)成物。

另外,本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置也可以是上述各實(shí)施方式中的任意2個(gè)以上的構(gòu)成(特征)的組合。

ic器件除矩形、圖3~圖5所示的形狀外,例如也可以是圓形的一部分缺損的形狀、星形。

附圖標(biāo)記說(shuō)明:1…檢查裝置(電子部件檢查裝置);11a…托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu);11b…托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu);12…溫度調(diào)整部;13…器件搬運(yùn)頭;131…吸引部;131a…吸引部;131b…吸引部;131c…吸引部;131d…吸引部;132…基體;133…管體;134…吸附盤;14…器件供給部;15…托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu);16…電子部件檢查部;17…器件搬運(yùn)頭;18…器件回收部;19…回收用托盤;20…器件搬運(yùn)頭;21…托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu);22a…托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu);22b…托盤搬運(yùn)機(jī)構(gòu);23…收納部;25…姿勢(shì)檢測(cè)部;251…拍攝部;252…反射部件;253…環(huán)狀照明;254…支承部;3…轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部;31…馬達(dá);311…軸(輸出軸);32…帶輪;33…張緊輪;34…同步帶;35…馬達(dá);4…旋轉(zhuǎn)工作臺(tái);41…工作臺(tái)部;411…開口部;42…大齒輪部;421…齒輪;43…小齒輪;431…齒輪;44…馬達(dá);61…第一隔壁;62…第二隔壁;63…第三隔壁;64…第四隔壁;65…第五隔壁;70…前蓋;71…側(cè)蓋;72…側(cè)蓋;73…后蓋;74…頂蓋;90…ic器件;901…主體部;901a…背側(cè)的面;901b…表側(cè)的面;901c…邊緣部;901d…邊;902…端子部;902a…端子部;902b…端子部;903…直線;200…托盤(載置部件);300…監(jiān)視器;301…顯示畫面;400…信號(hào)燈;500…揚(yáng)聲器;600…鼠標(biāo)臺(tái);700…操作面板;800…控制部;a1…托盤供給區(qū)域;a2…器件供給區(qū)域(供給區(qū)域);a3…檢查區(qū)域;a4…器件回收區(qū)域(回收區(qū)域);a5…托盤去除區(qū)域;im…圖像(實(shí)際圖像);im0…圖像;o90…中心點(diǎn);s101~s107…步驟;s201~s220…步驟;θ…旋轉(zhuǎn)角度(旋轉(zhuǎn)量);θa…旋轉(zhuǎn)角度;θb…旋轉(zhuǎn)角度;θc…旋轉(zhuǎn)角度;θd…旋轉(zhuǎn)角度;θ0…規(guī)定值(閾值)。

當(dāng)前第1頁(yè)1 2 
網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1