亚洲狠狠干,亚洲国产福利精品一区二区,国产八区,激情文学亚洲色图

測(cè)試樣品的制備方法以及測(cè)試方法與流程

文檔序號(hào):12590214閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明揭示了一種測(cè)試樣品的制備方法,包括:提供一樣品,所述樣品具有正面以及與所述正面相對(duì)的背面,所述樣品包括襯底、柵極、介質(zhì)層、多個(gè)栓塞,所述襯底面向所述正面的一側(cè)具有阱區(qū),所述阱區(qū)中設(shè)置有源極區(qū)、漏極區(qū)和體區(qū);對(duì)所述樣品的正面進(jìn)行剝離至露出所述栓塞;對(duì)所述樣品進(jìn)行截面研磨工藝,暴露出所述樣品的一縱截面;分別對(duì)所述樣品的正面以及背面進(jìn)行細(xì)拋,對(duì)所述正面細(xì)拋至所述阱區(qū)上方,對(duì)所述背面細(xì)拋至所述阱區(qū)的下方,以得到所述測(cè)試樣品,所述測(cè)試樣品的厚度小于1.5μm。本發(fā)明還提供一種測(cè)試方法。所述測(cè)試樣品既可以進(jìn)行透射電子顯微鏡觀察,也可以用納米探針?lè)治鲭妷?電流特性。

技術(shù)研發(fā)人員:盧勤;湯光敏;張順勇;高慧敏
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號(hào)碼:201610613253
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.29
技術(shù)公布日:2017.01.11

當(dāng)前第3頁(yè)1 2 3 
網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1