基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖耦合球微尺度傳感器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖耦合球微尺度傳感器屬于精密儀器制造及測(cè)量技術(shù)；傳感器包括偏振光發(fā)生裝置、半透半反棱鏡、波片、測(cè)量探針、偏振態(tài)檢測(cè)裝置、溫度補(bǔ)償裝置、計(jì)算機(jī)，其中偏振光發(fā)生裝置、半透半反棱鏡、波片、測(cè)量探針依次排列，偏振光發(fā)生裝置的出射光光軸與測(cè)量探針的入射光光軸重合，偏振態(tài)檢測(cè)裝置A位于測(cè)量探針的出射光經(jīng)半透半反棱鏡后的反射光路光軸A上，偏振態(tài)檢測(cè)裝置B位于參考探針的出射光經(jīng)反射鏡B反射后的反射光路光軸B上，當(dāng)偏振態(tài)檢測(cè)裝置A檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)相對(duì)于偏振態(tài)檢測(cè)裝置B檢測(cè)到的偏振態(tài)的差值發(fā)生變化時(shí)，測(cè)量探針與待測(cè)微孔發(fā)生觸測(cè)；本傳感器具有溫度補(bǔ)償功能、精度高、速度快。
【專(zhuān)利說(shuō)明】基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖耦合球微尺度傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于密儀器制造及測(cè)量技術(shù)，主要涉及一種基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖稱(chēng)合球微尺度傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著航空航天工業(yè)、汽車(chē)工業(yè)、電子工業(yè)以及尖端工業(yè)等的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微小構(gòu)件的需求急劇增長(zhǎng)。由于受到空間尺度和待測(cè)微小構(gòu)件遮蔽效應(yīng)的限制以及測(cè)量接觸力的影響，微小構(gòu)件尺寸的精密測(cè)量變得難以實(shí)現(xiàn)，尤其是微小內(nèi)腔構(gòu)件的測(cè)量深度難以提高，這些已然成為制約行業(yè)發(fā)展的“瓶頸”。為了實(shí)現(xiàn)更小的內(nèi)尺寸測(cè)量、增加測(cè)量深度，最廣泛使用的辦法就是使用細(xì)長(zhǎng)的探針深入微小構(gòu)件的內(nèi)腔進(jìn)行探測(cè)，通過(guò)瞄準(zhǔn)發(fā)訊的方式測(cè)量不同深度上的微小內(nèi)尺寸。因此，目前微小構(gòu)件尺寸的精密測(cè)量以坐標(biāo)測(cè)量機(jī)結(jié)合具有纖細(xì)探針的瞄準(zhǔn)發(fā)訊式探測(cè)系統(tǒng)為主，由于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)比較成熟，可以提供精密的三維空間運(yùn)動(dòng)，因此瞄準(zhǔn)觸發(fā)式探針的探測(cè)方式成為微小構(gòu)件尺寸探測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。
[0003]目前，微小構(gòu)件尺寸測(cè)量的主要手段包括以下幾種方法:
[0004]1.德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院的H.Schwenke教授等人提出了一種微光珠散射成像法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)探針測(cè)頭位置信息的二維檢測(cè)。該方法利用單光纖作為探針測(cè)桿，把微光珠粘接或者焊接到測(cè)桿末端，使光線耦合進(jìn)入光纖內(nèi)部傳播到微光珠上形成散射，用一個(gè)面陣CCD接收散射光形成敏感信號(hào)，實(shí)現(xiàn)了微力接觸式測(cè)量。后來(lái)H.Schwenke教授等人拓展了這種方法，在測(cè)桿上粘接了一個(gè)微光珠，同時(shí)增加了一路對(duì)該微光珠的成像光路，這使得該探測(cè)系統(tǒng)具有了三維探測(cè)能力，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)球時(shí)得到的標(biāo)準(zhǔn)偏差為0.2 μ m。據(jù)相關(guān)報(bào)道，此方法可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量Φ151μπι的孔徑，測(cè)量深度為1mm。這種方法在測(cè)量深孔過(guò)程中，由于微光珠散射角度較大，隨著測(cè)量深度的增加，微光珠散射成像光斑的質(zhì)量由于散射光線受到孔壁遮擋而逐漸降低，導(dǎo)致成像模糊，降低了測(cè)量精度，因此無(wú)法實(shí)現(xiàn)大深徑比的高精度測(cè)量。
[0005]2.中國(guó)哈爾濱工業(yè)大學(xué)譚久彬教授和崔繼文教授等人提出一種基于雙光纖耦合的探針結(jié)構(gòu)，把兩根光纖通過(guò)末端熔接球連通，熔接球作為測(cè)頭，一根較長(zhǎng)光纖引入光線，另外一根較短導(dǎo)出光線，克服了微光珠散射法測(cè)量深度的局限，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直徑不小于
0.01mm、深徑比不大于15: I的微深孔測(cè)量時(shí)的精確瞄準(zhǔn)。這種方法雖然在一定程度上克服了遮蔽效應(yīng)，但耦合球?qū)崿F(xiàn)的反向傳輸?shù)墓饽芰渴钟邢蓿瑴y(cè)量深度難以進(jìn)一步提升；且這種方法目前僅能實(shí)現(xiàn)二維位置信息的檢測(cè)，不具備三維探測(cè)能力。
[0006]3.美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院使用了單光纖測(cè)桿結(jié)合微光珠測(cè)頭的探針，通過(guò)光學(xué)設(shè)計(jì)在二維方向上將光纖測(cè)桿成像放大35倍左右，用2個(gè)面陣CCD分辨接收二維方向上光纖測(cè)桿所成的像，然后對(duì)接收到的圖像進(jìn)行輪廓檢測(cè)，從而監(jiān)測(cè)光纖測(cè)桿的在測(cè)量過(guò)程中的微小移動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)觸發(fā)式測(cè)量，該探測(cè)系統(tǒng)的理論分辨力可以達(dá)到4nm，探測(cè)系統(tǒng)的探針測(cè)頭直徑為Φ75μπι，實(shí)驗(yàn)中測(cè)量了 Φ129μπι的孔徑，其擴(kuò)展不確定度概算值達(dá)到了70nm(k = 2)，測(cè)量力為μΝ量級(jí)。該方法的局限是必須通過(guò)圖像算法進(jìn)一步提高分辨力，探測(cè)光纖測(cè)桿的二維微位移必須使用兩套成像系統(tǒng)，導(dǎo)致系統(tǒng)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算量比較大，探測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)性較差，系統(tǒng)構(gòu)成比較復(fù)雜。
[0007]4.瑞士聯(lián)合計(jì)量辦公室研發(fā)了一個(gè)新型的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)致力于小結(jié)構(gòu)件納米精度的可追跡的測(cè)量。該測(cè)量機(jī)采用了基于并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)原理的彎曲鉸鏈結(jié)構(gòu)的新型接觸式探針，該設(shè)計(jì)可以減小移動(dòng)質(zhì)量并且確保全方向的低硬度，是一個(gè)具有三維空間結(jié)構(gòu)探測(cè)能力的探針。這一傳感結(jié)構(gòu)的測(cè)量力低于0.5mN,同時(shí)支持可更換的探針，探針測(cè)頭的直徑最小到ΦΙΟΟμπι。探測(cè)系統(tǒng)結(jié)合了一個(gè)由Philips CFT開(kāi)發(fā)的高位置精度的平臺(tái)，平臺(tái)的位置精度為20nm。該測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量重復(fù)性的標(biāo)準(zhǔn)偏差達(dá)到5nm，測(cè)量結(jié)果的不確定度為50nm。該種方法結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)復(fù)雜，同時(shí)要求測(cè)桿具有較高的剛度和硬度，否則難以實(shí)現(xiàn)有效的位移傳感，這使得測(cè)桿結(jié)構(gòu)難以進(jìn)一步小型化，測(cè)量深徑比同時(shí)受到制約，探測(cè)系統(tǒng)的分辨力難以進(jìn)一步提聞。
[0008]5.中國(guó)哈爾濱工業(yè)大學(xué)崔繼文教授和楊福玲等人提出了一種基于FBG Bending的微孔尺寸測(cè)量裝置及方法，該方法利用光纖光柵加工的探針和相應(yīng)的光源、檢測(cè)裝置作為瞄準(zhǔn)觸發(fā)系統(tǒng)，配合雙頻激光干涉儀測(cè)長(zhǎng)裝置，可以獲得不同截面的微孔尺度。該方法的微尺度傳感器在觸測(cè)變形時(shí)，探針的主要應(yīng)力不作用于光纖光柵上，系統(tǒng)的分辨率很低，難以進(jìn)一步提聞。
[0009]綜上所述，目前微小尺寸和二維坐標(biāo)探測(cè)方法中，由于光纖制作的探針具有探針尺寸小、測(cè)量接觸力小、測(cè)量深徑比大、測(cè)量精度高的特點(diǎn)而獲得了廣泛關(guān)注，利用其特有的光學(xué)特性和機(jī)械特性通過(guò)多種方式實(shí)現(xiàn)了一定深度上的微小內(nèi)尺寸的精密測(cè)量?，F(xiàn)存測(cè)量手段主要存在的問(wèn)題有:
[0010]1.探測(cè)系統(tǒng)的測(cè)量深度受限。德國(guó)PTB的微光珠散射成像法受遮蔽效應(yīng)的影響，難以實(shí)現(xiàn)測(cè)量深度的提升，同時(shí)降低了系統(tǒng)探測(cè)精度?；陔p光纖耦合的探針結(jié)構(gòu)雖然在一定程度上克服了遮蔽效應(yīng)，但目前尚未解決反向傳輸?shù)墓饽芰渴钟邢薜膯?wèn)題，測(cè)量深度難以進(jìn)一步提升。
[0011]2.探測(cè)系統(tǒng)的位移分辨力難以進(jìn)一步提高?，F(xiàn)存的探測(cè)系統(tǒng)的初級(jí)放大率較低，導(dǎo)致了其整體放大率較低，難以實(shí)現(xiàn)其位移分辨力的進(jìn)一步提高。美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院采用的探測(cè)方法的光學(xué)測(cè)桿的光學(xué)光路放大倍率僅有35倍，較低的初級(jí)放大倍率導(dǎo)致了其位移分辨力難以進(jìn)一步提高。
[0012]3.探測(cè)系統(tǒng)實(shí)時(shí)性差，難以實(shí)現(xiàn)精密的在線測(cè)量。美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院采用的探測(cè)方法必須使用兩路面陣CCD接收信號(hào)圖像，必須使用較復(fù)雜的圖像算法才能實(shí)現(xiàn)對(duì)光纖測(cè)桿位移的高分辨力監(jiān)測(cè)，這導(dǎo)致測(cè)量系統(tǒng)需要處理的數(shù)據(jù)量大大增加，降低了探測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)性能，難以實(shí)現(xiàn)微小內(nèi)腔尺寸和二維坐標(biāo)測(cè)量過(guò)程中瞄準(zhǔn)發(fā)訊與啟、止測(cè)量的同步性。
[0013]4.存在二維徑向觸測(cè)位移的I禹合、三維位移方向探測(cè)能力不足。基于FBG Bending的微孔尺寸測(cè)量方法的探針具有各向性能一致，在徑向二維觸測(cè)位移傳感時(shí)存在耦合，而且無(wú)法分離，導(dǎo)致二維測(cè)量存在很大誤差，無(wú)法實(shí)現(xiàn)徑向二維觸測(cè)位移的準(zhǔn)確測(cè)量。哈爾濱工業(yè)大學(xué)提出的基于雙光纖耦合的探針結(jié)構(gòu)不具有三維探測(cè)能力，只能實(shí)現(xiàn)微尺度的二維測(cè)量，無(wú)法滿足當(dāng)前微尺度三維測(cè)量的需要。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，滿足微小構(gòu)件尺寸測(cè)量的高精度、大深徑比與快速測(cè)量的需求，本發(fā)明提出了一種將探針與微小構(gòu)件側(cè)壁觸測(cè)位置信息轉(zhuǎn)換為光束偏振態(tài)信息的基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖稱(chēng)合球微尺度傳感器。
[0015]本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0016]—種基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖稱(chēng)合球微尺度傳感器，所述傳感器包括
偏振光發(fā)生裝置、半透半反棱鏡、波片、測(cè)量探針、偏振態(tài)檢測(cè)裝置A、溫度補(bǔ)償裝置、偏

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振態(tài)檢測(cè)裝置B、計(jì)算機(jī)；所述偏振光發(fā)生裝置由激光器和起偏器組成，激光器發(fā)出的光經(jīng)起偏器后成為線偏振光；所述測(cè)量探針由入射光纖、出射光纖兩根光纖和耦合球組成，入射光纖和出射光纖的一端與耦合球固定連接，耦合球作為測(cè)量探針的觸點(diǎn)；所述溫度補(bǔ)償裝置由參考探針、反射鏡Α、反射鏡B組成，參考探針的結(jié)構(gòu)與測(cè)量探針一致，溫度補(bǔ)償裝置用
于補(bǔ)償因溫度變化引起的偏振態(tài)變化而帶來(lái)的誤差；偏振光發(fā)生裝置、半透半反棱鏡、
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波片、測(cè)量探針依次排列，其中偏振光發(fā)生裝置的出射光光軸與測(cè)量探針的入射光纖的入
射光光軸重合，偏振態(tài)檢測(cè)裝置A位于測(cè)量探針的出射光纖的出射光通過(guò)iA波片、經(jīng)半透




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半反棱鏡反射后的反射光路光軸A上，半透半反棱鏡第一次反射的反射光經(jīng)反射鏡A反射后的反射光光軸與參考探針的入射光光軸重合，偏振態(tài)檢測(cè)裝置B位于參考探針的出射光經(jīng)反射鏡B反射后的反射光路光軸B上，通過(guò)數(shù)據(jù)線分別將偏振態(tài)檢測(cè)裝置A和偏振態(tài)檢測(cè)裝置B與計(jì)算機(jī)相連，測(cè)量探針置于待測(cè)微孔內(nèi)；以所述偏振態(tài)檢測(cè)裝置A檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)作為檢測(cè)信號(hào)，以所述偏振態(tài)檢測(cè)裝置B檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)作為參考信號(hào)，當(dāng)檢測(cè)信號(hào)的偏振態(tài)相對(duì)于參考信號(hào)的偏振態(tài)的差值發(fā)生變化時(shí)，測(cè)量探針與待測(cè)微孔發(fā)生觸測(cè)。
[0017]本發(fā)明具有以下特點(diǎn)及良好效果:
[0018]1.傳感器的探針受到沿軸方向作用力和垂軸方向作用力均會(huì)引起出射光偏振態(tài)的變化，因此可以實(shí)現(xiàn)三維空間位置信號(hào)的探測(cè)，即本傳感器具有三維探測(cè)能力。
[0019]2.光學(xué)探測(cè)信號(hào)在光纖內(nèi)部傳輸，不受微孔內(nèi)壁的影響，測(cè)量最大深徑比可達(dá)
50: 1，滿足大深徑比微孔測(cè)量要求。
[0020]3.通過(guò)檢測(cè)出射光偏振態(tài)的變化判斷觸測(cè)信號(hào)，精度高，處理速度快，滿足工業(yè)需求。
[0021]4.該傳感器中引入?yún)⒖计窆?，可以消除環(huán)境因素對(duì)判斷觸測(cè)信號(hào)的影響，大大提高了傳感器對(duì)環(huán)境的適應(yīng)能力，可適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖耦合球微尺度傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖中:1、計(jì)算機(jī)，2、偏振光發(fā)生裝置，3、激光器，4、起偏器，5、偏振態(tài)檢測(cè)裝置Α，
6、反射光路光軸Α，7、半透半反棱鏡，8、i；L波片，9、測(cè)量探針，10、入射光纖，11、耦合球，


412、出射光纖，13、被測(cè)工件，14、溫度補(bǔ)償裝置，15、參考探針，16、反射鏡A，17、反射鏡B，18、反射光路光軸B，19、偏振態(tài)檢測(cè)裝置B。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0025]—種基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖稱(chēng)合球微尺度傳感器，所述傳感器包括
偏振光發(fā)生裝置2、半透半反棱鏡7、i；l波片8、測(cè)量探針9、偏振態(tài)檢測(cè)裝置A5、溫度補(bǔ)償裝
置14、偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19、計(jì)算機(jī)I ;所述偏振光發(fā)生裝置2由激光器3和起偏器4組成，激光器3發(fā)出的光經(jīng)起偏器4后成為線偏振光；所述測(cè)量探針9由入射光纖10、出射光纖12兩根光纖和稱(chēng)合球11組成，入射光纖10和出射光纖12的一端與稱(chēng)合球11固定連接，耦合球11作為測(cè)量探針9的觸點(diǎn)；所述溫度補(bǔ)償裝置14由參考探針15、反射鏡A16、反射鏡B17組成，參考探針15的結(jié)構(gòu)與測(cè)量探針9 一致，溫度補(bǔ)償裝置用于補(bǔ)償因溫度變化引
起的偏振態(tài)變化而帶來(lái)的誤差；偏振光發(fā)生裝置2、半透半反棱鏡7今波片8、測(cè)量探針9
依次排列，其中偏振光發(fā)生裝置2的出射光光軸與測(cè)量探針9的入射光纖10的入射光光軸
重合，偏振態(tài)檢測(cè)裝置A5位于測(cè)量探針9的出射光纖12的出射光通過(guò)波片8、經(jīng)半透半




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反棱鏡7反射后的反射光路光軸A6上，半透半反棱鏡7第一次反射的反射光經(jīng)反射鏡A16反射后的反射光光軸與參考探針14的入射光光軸重合,偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19位于參考探針15的出射光經(jīng)反射鏡B17反射后的反射光路光軸B18上，通過(guò)數(shù)據(jù)線分別將偏振態(tài)檢測(cè)裝置A5和偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19與計(jì)算機(jī)I相連，測(cè)量探針9置于待測(cè)微孔13內(nèi)；以所述偏振態(tài)檢測(cè)裝置A5檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)作為檢測(cè)信號(hào)，以所述偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)作為參考信號(hào)，當(dāng)檢測(cè)信號(hào)的偏振態(tài)相對(duì)于參考信號(hào)的偏振態(tài)的差值發(fā)生變化時(shí)，測(cè)量探針9與待測(cè)微孔13發(fā)生觸測(cè)。
[0026]測(cè)量使用時(shí):
[0027]由偏振光發(fā)生裝置2發(fā)出的偏振光S光垂直入射到半透半反棱鏡7上，其透射光
經(jīng)波片8后變?yōu)閳A偏振光，圓偏振光進(jìn)入入射光纖10后經(jīng)耦合球11反射由出射光纖 4
12出射后，再次經(jīng)過(guò)波片8轉(zhuǎn)變?yōu)镻光，經(jīng)半透半反棱鏡7反射后入射到偏振態(tài)檢測(cè)裝
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置A5上，偏振態(tài)檢測(cè)裝置A5檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)用作檢測(cè)信號(hào)；由半透半反棱鏡7第一次反射的反射光經(jīng)反射鏡A16反射進(jìn)入?yún)⒖继结?5的入射光纖，并由其出射光纖出射后經(jīng)反射鏡B17反射進(jìn)入到偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19上，偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)用作參考信號(hào)；通過(guò)分析偏振態(tài)檢測(cè)裝置A5與偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19所得的光束的偏振態(tài)的差值的變化，即可以判斷是否發(fā)生觸測(cè)；當(dāng)探針發(fā)生彎曲，即耦合球11與待測(cè)微孔13發(fā)生觸碰時(shí)，偏振態(tài)檢測(cè)裝置A5所接收到的光束的偏振態(tài)發(fā)生變化，該光束的偏振態(tài)相對(duì)于偏振態(tài)檢測(cè)裝置B19檢測(cè)到的參考偏振態(tài)的變化即為觸測(cè)信號(hào)，將其作為測(cè)量信號(hào)，用于移動(dòng)裝置或?qū)崿F(xiàn)測(cè)量裝置測(cè)長(zhǎng)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于偏振態(tài)檢測(cè)的溫度自補(bǔ)償雙光纖稱(chēng)合球微尺度傳感器，其特征在于:所述傳感器包括偏振光發(fā)生裝置(2)、半透半反棱鏡波片(8)、測(cè)量探針(9)、偏振態(tài)檢
測(cè)裝置A(5)、溫度補(bǔ)償裝置(14)、偏振態(tài)檢測(cè)裝置B(19)、計(jì)算機(jī)⑴；所述偏振光發(fā)生裝置(2)由激光器(3)和起偏器(4)組成，激光器(3)發(fā)出的光經(jīng)起偏器(4)后成為線偏振光；所述測(cè)量探針(9)由入射光纖(10)、出射光纖(12)兩根光纖和耦合球(11)組成，入射光纖(10)和出射光纖(12)的一端與耦合球(11)固定連接，耦合球(11)作為測(cè)量探針(9)的觸點(diǎn)；所述溫度補(bǔ)償裝置(14)由參考探針(15)、反射鏡A(16)、反射鏡B(17)組成，參考探針(15)的結(jié)構(gòu)與測(cè)量探針(9) 一致，溫度補(bǔ)償裝置用于補(bǔ)償因溫度變化引起的偏振態(tài)變化而帶來(lái)的誤差；偏振光發(fā)生裝置(2)、半透半反棱鏡(7) 波片(8)、測(cè)量探針(9)依次排

列，其中偏振光發(fā)生裝置(2)的出射光光軸與測(cè)量探針(9)的入射光纖(10)的入射光光軸重合，偏振態(tài)檢測(cè)裝置A(5)位于測(cè)量探針(9)的出射光纖(12)的出射光通過(guò)IA波片(8)、

經(jīng)半透半反棱鏡(7)反射后的反射光路光軸A(6)上，半透半反棱鏡(7)第一次反射的反射光經(jīng)反射鏡A(16)反射后的反射光光軸與參考探針(14)的入射光光軸重合,偏振態(tài)檢測(cè)裝置B (19)位于參考探針(15)的出射光經(jīng)反射鏡B (17)反射后的反射光路光軸B(IS)上，通過(guò)數(shù)據(jù)線分別將偏振態(tài)檢測(cè)裝置A (5)和偏振態(tài)檢測(cè)裝置B (19)與計(jì)算機(jī)(I)相連，測(cè)量探針(9)置于待測(cè)微孔(13)內(nèi)；以所述偏振態(tài)檢測(cè)裝置A(5)檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)作為檢測(cè)信號(hào)，以所述偏振態(tài)檢測(cè)裝置B(19)檢測(cè)到的光束的偏振態(tài)作為參考信號(hào)，當(dāng)檢測(cè)信號(hào)的偏振態(tài)相對(duì)于參考信號(hào)的偏振態(tài)的差值發(fā)生變化時(shí)，測(cè)量探針(9)與待測(cè)微孔(13)發(fā)生觸測(cè)。
【文檔編號(hào)】G01B11/00GK103900466SQ201410118360
【公開(kāi)日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2014年3月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月20日
【發(fā)明者】崔繼文, 李俊英, 譚久彬 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)