專利名稱：透鏡保持裝置及設(shè)有透鏡保持裝置的透鏡檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及的是使用于檢查光學(xué)玻璃透鏡的形狀或質(zhì)量用的檢查裝置，并將透鏡保持為能夠有效地進行檢查的透鏡保持裝置及設(shè)有透鏡保持裝置的透鏡檢查裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)下，作為非球面透鏡或球面透鏡的玻璃透鏡的制造方法之一，已知的有精密加壓成形。通常，精密加壓成形使用如下那樣的金屬模進行，即，使形成有成形面的上模和下模相互相對配置，并由形成為將上模和下模圍住的圓筒模具構(gòu)成的金屬模。通過將玻璃坯料配置于由上模、下模以及圓筒模具圍住的空間中，并將玻璃坯料加熱、軟化后，利用上下模進行沖壓，而將成形面的形狀轉(zhuǎn)印至玻璃坯料上，從而加壓成形高精度的非球面透鏡。作為對這樣地精密加壓成形的透鏡進行檢查或評價的方法，已知的有使用干涉儀對透鏡的灰分(ash)、皺痕等的面精度或性能進行檢查。在檢查透鏡的精度或質(zhì)量時，使用例如圖3所示那樣的利用斐索干涉儀的檢查裝置。該檢查裝置，通過在利用作為測量對象的透鏡102的透鏡面10 將由光源照射的光束反射，并利用干涉裝置101對反射光進行補充之后，將影像顯示在監(jiān)視器103上并觀察干涉條紋，而對面精度進行檢查。但是，在這樣的檢查裝置中，由于在將一個透鏡102載置于裝載臺104上之后，需要利用裝載臺104和位移測量機105對X-Y-Z方向進行位置調(diào)整，因此，除了需要花費用于將透鏡102載置于裝載臺上或?qū)⑵淙〕龅墓し蛑?，在每次測量時都必須對透鏡102進行位置調(diào)整，從而根據(jù)測量個數(shù)而需要巨多的時間。另外，存在在將透鏡102載置于裝載臺 104上或?qū)⑵淙〕鰰r，由于操作者的不注意或搬運裝置的落下等而損壞透鏡102這樣的問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型是鑒于這樣的課題而形成的，其目的在于，提供一種在對透鏡進行檢查時能夠在短時間內(nèi)有效地進行檢查，同時，將透鏡保持為在檢查時不會損壞被檢透鏡的透鏡保持裝置及設(shè)有該透鏡保持裝置的透鏡檢查裝置。為了解決上述課題，本實用新型的透鏡保持裝置，將多個被檢透鏡以能夠進行位置調(diào)整地加以保持，其特征在于，設(shè)有底座、載物臺、X軸方向移動機構(gòu)、透鏡保持板以及Y 軸方向支撐機構(gòu)，其中，上述載物臺在該底座的X軸方向上呈能夠移動地被支撐，上述X軸方向移動機構(gòu)使上述載物臺在X軸方向上移動，上述透鏡保持板具有多個透鏡保持部，并在上述載物臺上被支撐為能夠在與上述X軸方向垂直相交的Y軸方向上移動，上述Y軸方向支撐機構(gòu)將上述透鏡保持板以能夠在上述Y軸方向上移動地加以支撐；上述Y軸方向支撐機構(gòu)，包括在上述載物臺的上述Y軸方向上延伸設(shè)置的一對導(dǎo)向部、和形成于上述透鏡保持板上并與上述導(dǎo)向部卡合的卡合部；通過上述X軸方向移動機構(gòu)和上述Y軸方向支撐機構(gòu)，將上述透鏡保持板和保持于該透鏡保持板上的多個被檢透鏡以能夠移動至XY軸方向的任意位置地加以保持。另外，上述透鏡保持裝置的特征在于，進而設(shè)有使上述載物臺在上述底座的Z軸方向上升降的Z軸方向升降機構(gòu)。進而，上述透鏡保持裝置的特征在于，上述X軸方向移動機構(gòu)具有配設(shè)于X軸方向上的一對導(dǎo)向軸，在該導(dǎo)向軸的至少一方上形成有螺紋部，在上述載物臺上形成有與上述螺紋部螺合的軸承部，通過使上述導(dǎo)向軸旋轉(zhuǎn)而使上述載物臺在χ軸方向上移動。進而另外，本實用新型的透鏡檢查裝置，設(shè)有上述透鏡保持裝置、以及包括照射光束的光源和參考面的光學(xué)系統(tǒng)，對上述被檢透鏡和上述參考面照射上述光束并根據(jù)干涉條紋而對上述被檢透鏡的形狀或質(zhì)量進行檢查，其中，干涉條紋通過從上述被檢透鏡和上述參考面反射或透過的光的干涉而產(chǎn)生，其特征在于，構(gòu)成為上述透鏡保持裝置被能夠裝卸地安裝于該透鏡檢查裝置中，同時，在將上述被檢透鏡配置于上述光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的狀態(tài)下，將該被檢透鏡保持于上述χ軸方向和上述Y軸方向上的任意位置上，從而能夠進行上述被檢透鏡的檢查。本實用新型的透鏡保持裝置，由于若將保持多個被檢透鏡的透鏡保持板載置于載物臺上的話，便不需要將被檢透鏡一個一個地移動至測量位置或?qū)⑵淙〕龅墓ば?，同時，通過χ軸方向移動機構(gòu)和Y軸方向支撐機構(gòu)的操作，能夠容易地將被檢透鏡移動至XY軸方向的任意位置并進行檢查、測量，因此，能夠在極短時間內(nèi)有效地進行被檢透鏡的檢查、測量。 另外，在被檢透鏡的移動或取出時也不會損壞被檢透鏡。

圖1是本實用新型的第一實施方式涉及的透鏡保持裝置的俯視圖。圖2是本實用新型的第二實施方式涉及的透鏡檢查裝置的概念圖。圖3是現(xiàn)有技術(shù)涉及的檢查裝置的剖面圖。
具體實施方式
(第一實施方式)以下，根據(jù)附圖對本實用新型涉及的透鏡保持裝置70的具體實施方式
進行說明。在圖1中，符號1是平板狀的底座，符號2是一對軸支撐部，符號3是被軸支撐部 2平行地加以支撐的兩條導(dǎo)向軸3。在兩條導(dǎo)向軸3中的至少一方上形成有螺紋部，符號4 是與該螺紋部嚙合的軸承部4。符號5是安裝于軸承部4上的載物臺5，符號6是載置于載物臺5上的透鏡保持板6。在此，形成為導(dǎo)向軸3通過省略圖示的轉(zhuǎn)動部件(電動機或手動操作桿等)而轉(zhuǎn)動，軸承部4和安裝于軸承部4上的載物臺5能夠隨著導(dǎo)向軸3的轉(zhuǎn)動而在X軸方向上移動，通過導(dǎo)向軸3、轉(zhuǎn)動部件、軸承部4構(gòu)成X軸方向移動機構(gòu)。另外，在載物臺5的表面上的外緣部附近(圖的左右端側(cè))，沿著Y軸方向形成有導(dǎo)向部8。進而，在透鏡保持板6的相對的兩對邊中的、圖的左右端側(cè)的一對邊上，形成有卡合部9。然后，通過該透鏡保持板6的卡合部9與導(dǎo)向部8卡合，而將透鏡保持板6以能夠沿著導(dǎo)向部8在Y軸方向上移動地加以支撐。通過形成于載物臺5上的導(dǎo)向部8和形成于透鏡保持板6上的卡合部9，構(gòu)成Y軸方向支撐機構(gòu)。另外，在使透鏡保持板6在Y軸方向上移動時，通過省略圖示的移動部件(電動機或手動操作桿等)，而使透鏡保持板6以卡合部9與導(dǎo)向部8卡合的狀態(tài)滑動?？ê喜?和導(dǎo)向部8的形狀，只要是兩者能夠以相互卡合或接觸的狀態(tài)在Y軸方向上相對移動的形狀，便不限于圖1的構(gòu)成，而能夠選擇任意的構(gòu)成。另外，通過使透鏡保持板6從載物臺5向Y軸方向的外側(cè)移動，并將卡合部9與導(dǎo)向部8的卡合釋放，而能夠容易地將透鏡保持板6從載物臺5取出。另外，在將透鏡保持板6 安裝于載物臺5上時，僅通過使卡合部9卡合于導(dǎo)向部8上便能夠容易地進行安裝。因此， 透鏡保持板6被構(gòu)成為相對于載物臺5裝卸自如。進而，在本實施方式中，透鏡保持裝置70設(shè)有使載物臺5相對于底座1而在Z軸方向(與紙面垂直的方向)上升降的Z軸方向升降機構(gòu)(未圖示)。該Z軸方向升降機構(gòu)， 能夠采用內(nèi)裝于載物臺5中并能夠調(diào)整載物臺5的高度的機構(gòu)、或設(shè)置于軸承部4與載物臺5之間并使載物臺5升降的機構(gòu)、或設(shè)置于軸支撐部2與導(dǎo)向軸3之間并使載物臺5與導(dǎo)向軸3 —起升降的機構(gòu)等。另外，Z軸方向的升降操作能夠通過手動或電動而進行。在安裝于載物臺5的透鏡保持板6上，形成有多個保持被檢透鏡的透鏡保持部7， 各透鏡保持部7等間隔地排列于X軸方向和Y軸方向上。透鏡保持部7，具有大于被檢透鏡的外徑的凹部和形成于凹部內(nèi)的小于被檢透鏡的外徑的通孔，并以能夠利用公知的檢查裝置對被檢透鏡進行檢查地加以保持。另外，透鏡保持板6，也可以原封不動地使用在向檢查工序過渡前所實施的清洗工序、退火工序、成膜工序或沖壓工序中所使用的透鏡托盤或透鏡保持用夾具。(第二實施方式)圖2是本實用新型中的透鏡檢查裝置的概念圖。該透鏡檢查裝置100，被構(gòu)成為將上述透鏡保持裝置70配置于斐索干涉儀F的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)，并能夠進行被檢透鏡的檢查或評價。本實用新型中所使用的斐索干涉儀F，設(shè)有光源20、使從光源20發(fā)射的光擴散的透鏡 30、將該漫射光轉(zhuǎn)換為平行光的準直器40、將透過準直器40的光束的一部分反射并使未被反射的剩余光束透過的參考面50、用于裝載被檢透鏡60的透鏡保持裝置70 (第一實施方式)、配置于透鏡30與準直器40之間并使反饋光折射的分光器80、以及顯示部90，其中，顯示部90用于從分光器80接收反饋光后利用攝像元件對干涉條紋進行攝像，并顯示其影像。 利用這樣的透鏡檢查裝置，并根據(jù)由分別從被檢透鏡60和參照面50反射(或透過)的光的光干涉而得到的干涉條紋，能夠?qū)Ρ粰z透鏡60的面形狀或質(zhì)量進行評價。特別是，在該透鏡檢查裝置100中，能夠使用斐索干涉儀F而進行玻璃透鏡等的被檢透鏡60的面精度的檢查。本實施方式中的透鏡保持裝置70，相對于透鏡檢查裝置100能夠裝卸地被安裝， 同時，在將被檢透鏡60配置于斐索干涉儀F的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的狀態(tài)下，將被檢透鏡60保持于 X軸方向和Y軸方向上的任意位置上，從而能夠進行被檢透鏡的檢查。另外，透鏡保持裝置 70，也能夠以使透鏡保持板6能夠在Z軸方向上升降地進行保持。(檢查順序)接著，對使用本實用新型涉及的透鏡檢查裝置100進行的透鏡的檢查順序進行說明。首先，預(yù)先將透鏡保持裝置70固定于透鏡檢查裝置100的規(guī)定位置(圖2所示的70的位置)上。另一方面，通過自動機或手動，將精密加壓成形的被檢透鏡有規(guī)律地排列在設(shè)置于透鏡保持板6的透鏡保持部7上。在所有的透鏡保持部7上均配置有被檢透鏡之后，將透鏡保持板6配置于透鏡保持裝置70的載物臺5上。此時，通過使透鏡保持板6的卡合部 9相對于載物臺5的導(dǎo)向部8在Y軸方向上滑動，而進行配置。接著，在對多個被檢透鏡中的第一個被檢透鏡進行檢查之前，需要對被檢透鏡在 XH軸方向的三個軸向上進行位置調(diào)整。在進行該位置調(diào)整時，使透鏡保持板6在載物臺5 的Y軸方向上滑動而進行Y軸方向的位置調(diào)整，接著，驅(qū)動X軸方向移動機構(gòu)而進行載物臺 5的X軸方向的位置調(diào)整，最后，通過手動進行載物臺5的Z軸方向的位置調(diào)整。然后，在第一個被檢透鏡被配置于斐索干涉儀F的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的規(guī)定位置上時，在顯示部(監(jiān)視器畫面)90上顯示干涉條紋，根據(jù)該干涉條紋對被檢透鏡進行評價。另外，第一個進行測量的被檢透鏡，考慮到測量的效率而以位于透鏡保持板6的四角上的被檢透鏡的任意一個為佳。另外，由于三個軸向的位置調(diào)整能夠分別獨立地進行， 因此這些調(diào)整順序也可以根據(jù)需要而進行變更。在進行第二個以后的被檢透鏡的檢查時，由于Y軸方向和Z軸方向的兩個軸向上的位置調(diào)整大致已完成，因此，通過操作X軸方向移動機構(gòu)進行剩余的X軸方向的位置調(diào)整，而能夠容易地進行檢查。也就是說，只要使載物臺5在X軸方向上移動，以使被保持于檢查完成的被檢透鏡的X軸方向的相鄰一處上的被檢透鏡到達規(guī)定的檢查位置即可。原因是，由于在透鏡保持板6上被檢透鏡實質(zhì)上處于同一平面上，因而能夠省略Z軸方向的位置調(diào)整，另外，各被檢透鏡在透鏡保持板6上呈直線地排列于X軸方向和Y軸方向上。對于第三個 第六個被檢透鏡的檢查，也能夠以同樣的順序并通過僅進行X軸方向的位置調(diào)整而進行檢查。這樣，能夠?qū)κ杖萦谕哥R保持板6的透鏡保持部7上的被檢透鏡的一行進行檢查。另外，Y軸方向或Z軸方向的位置調(diào)整(微調(diào)整)，可以根據(jù)需要而在每次檢查時進行。接著，在對不同行的第七個被檢透鏡進行檢查時，由于Z軸方向的位置調(diào)整已完成，因此，為了將相鄰一行的收容于透鏡保持部7上的被檢透鏡配置于檢查位置上，通過在使載物臺5上的透鏡保持板6在Y軸方向上滑動并進行調(diào)整之后，進行X軸方向的位置調(diào)整，而將被檢透鏡配置于規(guī)定位置上。在該狀態(tài)下能夠?qū)Ρ粰z透鏡進行檢查。以下，對于收容于第二行上的剩余的被檢透鏡，能夠通過同樣的順序進行檢查。另外，對于第三行以后也能夠通過同樣的順序進行檢查。若通過以上的順序?qū)κ杖萦谕哥R保持板6的透鏡保持部7上的所有被檢透鏡完成了檢查、測量的話，則將透鏡保持板6從載物臺5抽出，并與接下來進行檢查、測量的透鏡保持板6進行交換。(其他實施方式)在上述第一實施方式中，表示了以精密加壓成形后的玻璃透鏡作為對象進行檢查的例子，但是，在玻璃透鏡的制造中，存在在精密加壓成形后進行退火處理或防反射膜的成膜、或者清洗處理的情況。因此，為了檢查經(jīng)由各處理的合格率，也可以使用本實用新型的透鏡檢查裝置100在各處理后對透鏡進行檢查。另外，各工序中的測量，無論是在全數(shù)檢查或是在抽樣檢查的情況下，均能夠適用本實用新型的透鏡檢查裝置100。[0037]另外，作為透鏡保持板6相對于載物臺5的定位方法，表示了螺旋機構(gòu)或使其在導(dǎo)向部8上滑動的機構(gòu)，但是，只要是能夠在CTZ方向的三個軸向上進行位置調(diào)整的機構(gòu)即可，對于機構(gòu)或調(diào)整方法并不限于上述例子。作為透鏡檢查裝置100中所使用的干涉儀F，除了斐索干涉儀之外還可以采用已知的馬赫-曾德爾干涉儀等。另外，檢查對象并不限于一枚透鏡，也可以將收容于鏡筒中的透鏡單元收容于透鏡保持板6上進行檢查。
權(quán)利要求1.一種透鏡保持裝置，將多個被檢透鏡以能夠進行位置調(diào)整地加以保持，其特征在于，設(shè)有底座、載物臺、X軸方向移動機構(gòu)、透鏡保持板以及Y軸方向支撐機構(gòu)；所述載物臺在該底座的X軸方向上呈能夠移動地被支撐，所述X軸方向移動機構(gòu)使所述載物臺在X軸方向上移動，所述透鏡保持板具有多個透鏡保持部，并在所述載物臺上被支撐為能夠在與所述X軸方向垂直相交的Y軸方向上移動，所述Y軸方向支撐機構(gòu)將所述透鏡保持板以能夠在Y軸方向上移動地加以支撐；所述Y軸方向支撐機構(gòu)，包括在所述載物臺的所述Y軸方向上延伸設(shè)置的一對導(dǎo)向部， 和形成于所述透鏡保持板上并與所述導(dǎo)向部卡合的卡合部；通過所述X軸方向移動機構(gòu)和所述Y軸方向支撐機構(gòu)，將所述透鏡保持板和保持于該透鏡保持板上的多個被檢透鏡以能夠移動至XY軸方向的任意位置地加以保持。
2.如權(quán)利要求1所述的透鏡保持裝置，其特征在于，進而設(shè)有使所述載物臺在所述底座的Z軸方向上升降的Z軸方向升降機構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的透鏡保持裝置，其特征在于，所述X軸方向移動機構(gòu)具有在X軸方向上延伸設(shè)置的一對導(dǎo)向軸，在該導(dǎo)向軸的至少一方上形成有螺紋部，在所述載物臺上形成有與所述螺紋部螺合的軸承部，通過使所述導(dǎo)向軸旋轉(zhuǎn)而使所述載物臺在X軸方向上移動。
4.一種透鏡檢查裝置，設(shè)有如權(quán)利要求1 3的任意一項所記載的透鏡保持裝置，以及包括照射光束的光源和參考面的光學(xué)系統(tǒng)，對被檢透鏡和所述參考面照射所述光束并根據(jù)干涉條紋而對所述被檢透鏡的形狀或質(zhì)量進行檢查，其中，所述干涉條紋通過從所述被檢透鏡和所述參考面反射或透過的光的干涉而產(chǎn)生，其特征在于，構(gòu)成為所述透鏡保持裝置被能夠裝卸地安裝于該透鏡檢查裝置中，同時，在將所述被檢透鏡配置于所述光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的狀態(tài)下，將該被檢透鏡保持于所述X軸方向和所述Y軸方向的任意位置上，從而能夠進行所述被檢透鏡的檢查。
專利摘要一種透鏡保持裝置及設(shè)有透鏡保持裝置的透鏡檢查裝置，該透鏡保持裝置將多個被檢透鏡以能夠進行位置調(diào)整地加以保持，其設(shè)有底座、載物臺、X軸方向移動機構(gòu)、透鏡保持板以及Y軸方向支撐機構(gòu)，載物臺在該底座的X軸方向上呈能夠移動地被支撐，X軸方向移動機構(gòu)使上述載物臺在X軸方向上移動，透鏡保持板在上述載物臺上被支撐為能夠在與上述X軸方向垂直相交的Y軸方向上移動，并具有多個透鏡保持部，Y軸方向支撐機構(gòu)將上述透鏡保持板以能夠在上述Y軸方向上移動地加以支撐，通過上述X軸方向移動機構(gòu)和上述Y軸方向支撐機構(gòu)，將上述透鏡保持板或多個被檢透鏡以能夠移動至XY軸方向的任意位置地加以保持。
文檔編號G01B11/24GK202041183SQ201120119369
公開日2011年11月16日 申請日期2011年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月21日
發(fā)明者周志軍, 山中賢治, 趙新安 申請人:豪雅光電科技(蘇州)有限公司