專利名稱：面板粘合方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地涉及面板粘合方法，更詳細(xì)地說(shuō)，本發(fā)明涉及一邊進(jìn)行高精度的定位，一邊粘合面板的面板粘合方法及裝置。
背景技術(shù)：
用作顯示裝置的液晶面板裝置，其結(jié)構(gòu)一般是，將用于驅(qū)動(dòng)液晶的薄膜晶體管基板(TFT面板)和彩色濾色基板(CF面板)粘合，密封它們之間的液晶。在這種液晶面板裝置的制造工序中，使用面板粘合裝置通過(guò)密封粘合材料粘合TFT面板和CF面板。
在這種用于液晶顯示裝置的TFT面板和CF面板的粘合中，要求大約幾μm的高定位精度。所以，在一邊進(jìn)行加壓一邊粘合兩張面板的工序中，需要高精度地進(jìn)行面板之間的定位。因此，使用具有定位功能的面板粘合進(jìn)行面板的粘合處理。
在利用現(xiàn)有的面板粘合裝置進(jìn)行面板粘合處理的工序中，將TFT面板和CF面板這兩張面板分別安裝在相對(duì)的上下工作臺(tái)上，所述上下工作臺(tái)支撐兩張面板處于相對(duì)狀態(tài)。然后，當(dāng)相對(duì)于下側(cè)工作臺(tái)垂直移動(dòng)上側(cè)工作臺(tái)，并對(duì)兩張面板進(jìn)行加壓從而使它們粘合時(shí)，相對(duì)于上側(cè)工作臺(tái)平行移動(dòng)下側(cè)工作臺(tái)，進(jìn)行面板之間的定位。
圖1是現(xiàn)有的面板粘合工序的一個(gè)例子的流程圖。圖2是在圖1的面板粘合工序中兩張面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖。
首先，在上下工作臺(tái)上以相對(duì)狀態(tài)安裝兩張面板(步驟S1)，并通過(guò)識(shí)別照相機(jī)讀入對(duì)準(zhǔn)記號(hào)(步驟S2)。此處，在一般的現(xiàn)有粘合裝置中，上工作臺(tái)可在垂直方向(Z軸方向)移動(dòng)，下工作臺(tái)可在水平方向(XY方向及θ(旋轉(zhuǎn))方向)移動(dòng)。而且，對(duì)準(zhǔn)記號(hào)被設(shè)在各面板的一個(gè)部位(端部)。
接著，判斷上下面板的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)是否進(jìn)入規(guī)定的范圍內(nèi)(步驟S3)。即，判斷上下面板是否以規(guī)定的精度定位。當(dāng)沒(méi)有以規(guī)定的精度定位時(shí)，在X、Y、θ方向移動(dòng)下工作臺(tái)(步驟S4)，再次進(jìn)行定位。以上工序是粗定位(粗對(duì)準(zhǔn))的工序。在粗定位工序中，通過(guò)定位使上下面板的位置偏移量處于5μm以下。
粗定位結(jié)束后，接著進(jìn)行微定位(微對(duì)準(zhǔn))。微定位具有與上述步驟S2～S4同樣的處理(步驟S5～S7)，通過(guò)定位使上下面板的位置偏移量處于0.5μm以下。
在圖2中，雙點(diǎn)劃線表示步驟S1中下面板的位置。若將此時(shí)的上面板在Z方向的位置設(shè)為P1，則在P1位置移動(dòng)下面板進(jìn)行粗定位，使上下面板處于定位狀態(tài)。即，在P1通過(guò)進(jìn)行步驟S2～S4的處理來(lái)進(jìn)行粗定位，并且通過(guò)進(jìn)行步驟S5～S7的處理來(lái)進(jìn)行微定位。通過(guò)進(jìn)行粗定位和微定位，下面板在P1中向?qū)嵕€箭頭方向移動(dòng)，從而使下面板和上面板成定位狀態(tài)(已微定位的狀態(tài))。
微定位結(jié)束后，垂直于下工作臺(tái)移動(dòng)上工作臺(tái)，并在兩張面板處于重疊狀態(tài)時(shí)進(jìn)行加壓。此時(shí)，若將最終的加壓壓力定為100kg的時(shí)候，則，首先加壓至30kg(步驟S8)。加壓后讀入上下面板的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)(步驟S9)，確認(rèn)定位精度(步驟S10)。若上下面板的定位有偏移時(shí)，移動(dòng)下工作臺(tái)(下面板)，再次進(jìn)行上面板和下面板的微定位。
然后，處理返回到步驟S8，進(jìn)行步驟S9和步驟S10的處理，在步驟S10若判斷是以規(guī)定的精度進(jìn)行定位，則判斷此前進(jìn)行的加壓是否為最終加壓(步驟S12)。若不是最終加壓，則返回到步驟S8再次進(jìn)行步驟S8～S12的處理。
在圖1的示例中，將最終的加壓壓力定為100kg，并在加壓過(guò)程中在加壓到30kg和60kg時(shí)進(jìn)行微定位。即，在最初的步驟S8的處理中加壓到30kg，在下一個(gè)步驟S8的處理中加壓到60kg，而且在再下一個(gè)處理中加壓到100kg。
在圖2中，加壓到30kg時(shí)，上面板在Z軸方向上的位置是P2位置。上面板從P1向P2移動(dòng)時(shí)，如虛線箭頭所示，在XY方向產(chǎn)生位置偏移。這主要是由用于移動(dòng)上工作臺(tái)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)引起的位置偏移。
因此，在P2位置移動(dòng)下面板進(jìn)行上下面板的微定位(最初的步驟S11的處理)。接著，向上下面板施加60kg的壓力。此時(shí)上面板的位置是P3。上面板從P2移動(dòng)到P3位置時(shí)同樣產(chǎn)生位置偏移。因此在P3位置也進(jìn)行微定位(第二次的步驟S11的處理)。
接著，向上下面板施加100kg的最終壓力。此時(shí)上面板的位置是PF。上面板從P3移動(dòng)到PF位置時(shí)同樣產(chǎn)生位置偏移。因此在PF位置也進(jìn)行微定位(第三次的步驟S11的處理)。
如上述反復(fù)進(jìn)行加壓和定位后，在步驟S12若判斷下面進(jìn)行的加壓為最終加壓，則測(cè)定上下面板的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的位置偏移量(步驟S13)，結(jié)束面板的粘合處理。通過(guò)上述粘合工序，能夠以0.5μm～1.5μm的定位精度粘合兩張面板。
如上所述，在圖1所示現(xiàn)有的面板粘合工序中，交替并分別進(jìn)行加壓工序和定位工序，使得粘合工序所需要的處理時(shí)間變長(zhǎng)。
因此，已提出有先預(yù)測(cè)粘合工序中的偏移量，再按預(yù)測(cè)的偏移量預(yù)先偏移下面板的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
圖3是使用了按預(yù)測(cè)的偏移量預(yù)先偏移下面板的方法的面板粘合工序的一個(gè)例子的流程圖。此外，圖4是在圖3的面板粘合工序中兩張面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖。
在圖3所示的粘合工序中，在上下工作臺(tái)上以相對(duì)狀態(tài)安裝兩張面板(步驟S21)，并通過(guò)識(shí)別照相機(jī)讀入對(duì)準(zhǔn)記號(hào)(步驟S22)。在步驟S21中，盡量接近地設(shè)置上下面板，例如使上下面板之間的距離大約為2μm。
接著，判斷上下面板的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)是否進(jìn)入規(guī)定的范圍內(nèi)(步驟S23)。即，判斷上下面板是否以規(guī)定的精度定位。當(dāng)沒(méi)有以規(guī)定的精度定位時(shí)，在X、Y、θ方向移動(dòng)下工作臺(tái)(步驟S24)，再次進(jìn)行定位。
在步驟S24的處理中，不只是對(duì)下面板與上面板進(jìn)行定位，還移動(dòng)下面板，使其位于考慮了加壓時(shí)的偏移量的位置。然后，根據(jù)預(yù)測(cè)位置完成定位后，向上下面板施加例如300kg的壓力(步驟S25)。此時(shí)的加壓是從0kg至300kg連續(xù)進(jìn)行的。
即，在步驟S24的處理中，如圖4所示，在P1位置中向?qū)嵕€箭頭方向?qū)⑾旅姘逡苿?dòng)到虛線所示的面板位置。所述虛線所示的面板位置是預(yù)先考慮了加壓時(shí)產(chǎn)生的偏移量的位置。因此，向上下面板施加連續(xù)的壓力，并達(dá)到300kg的最終壓力時(shí)，即，上面板達(dá)到圖4虛線箭頭所示的最終位置PF時(shí)，上下面板的定位結(jié)束。
除以上例子之外，還提出了在向兩張面板進(jìn)行加壓時(shí)，垂直方向的加壓動(dòng)作和水平方向的定位動(dòng)作同時(shí)進(jìn)行的方法。即，一邊進(jìn)行加壓一邊檢測(cè)出面板之間的位置偏移，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果在加壓過(guò)程中校正位置偏移的方法。(例如參照專利文獻(xiàn)2和3。)專利文獻(xiàn)1日本專利特開(kāi)平10-10508專利文獻(xiàn)2日本專利特開(kāi)2000-258746專利文獻(xiàn)3日本專利特開(kāi)2002-40398在上述圖1所示的面板粘合工序中，一邊使兩張面板相對(duì)移動(dòng)，一邊階段性地進(jìn)行加壓從而進(jìn)行粘合。因此，即使在第一階段(圖2中的P1位置)使兩張面板的中心準(zhǔn)確地定位(對(duì)準(zhǔn))，但是當(dāng)在下面的階段(圖2的P2、P3、PF位置)中心位置偏移時(shí)，在每個(gè)階段都要進(jìn)行定位處理。
因此，使得加壓工序和定位工序交替進(jìn)行，從而在面板粘合工序中，進(jìn)行定位的時(shí)間變長(zhǎng)，其結(jié)果導(dǎo)致面板粘合工序所需要的時(shí)間增多。
而且，在各階段的定位中，對(duì)兩張面板進(jìn)行加壓時(shí)(例如30kg、60kg、100kg)，會(huì)使兩張面板相對(duì)移動(dòng)。此時(shí)，在介于兩張面板之間的密封粘合材料中產(chǎn)生剪切應(yīng)力，從而會(huì)使密封粘合材料發(fā)生變形或損傷。若密封粘合材料受損，則會(huì)出現(xiàn)應(yīng)密封在兩張面板之間的液晶泄漏，使得液晶顯示裝置無(wú)法使用的問(wèn)題。
此外，即使在上述圖3所示的面板粘合工序中，由于在加壓工序中兩張面板相對(duì)移動(dòng)，密封粘合材料同樣會(huì)發(fā)生變形或損傷。但是，此時(shí)面板的相對(duì)移動(dòng)并不是定位動(dòng)作，而是由加壓機(jī)構(gòu)的誤差引起的。
還有，在加壓過(guò)程中檢測(cè)位置偏移并進(jìn)行校正的方法中，在檢測(cè)出某種程度的位置偏移時(shí)進(jìn)行位置偏移校正。若在較短的加壓時(shí)間內(nèi)進(jìn)行位置偏移校正，則必須一定程度上增大位置偏移的允許范圍，從而減少在加壓開(kāi)始到加壓結(jié)束為止進(jìn)行的位置偏移校正的次數(shù)。但是，若增大位置偏移量的允許范圍，則在加壓過(guò)程中面板的相對(duì)移動(dòng)量(位置偏移校正量)變大，從而會(huì)使密封粘合材料發(fā)生損傷。而且，若想抑制密封粘合材料的損傷，就必須增多位置偏移校正的次數(shù)，進(jìn)而會(huì)使加壓工序的時(shí)間變長(zhǎng)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述各種問(wèn)題而進(jìn)行的，其目的是提供一種面板粘合方法及裝置，該方法和裝置可以減少在面板粘合工序中進(jìn)行定位的時(shí)間，同時(shí)可以減少密封粘合材料的損傷。
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種面板粘合方法，該方法通過(guò)粘合材料將兩張面板重疊，并在重疊狀態(tài)下加壓將它們粘合，其特征在于，在面板平面處于相對(duì)狀態(tài)時(shí)對(duì)兩張面板進(jìn)行定位，并開(kāi)始向該兩張面板加壓，使該兩張面板通過(guò)粘合材料在垂直于面板平面的方向受規(guī)定的加壓壓力，并在達(dá)到所述規(guī)定的加壓壓力之前，使所述兩張面板中的至少一張?jiān)谄叫杏诿姘迤矫娴姆较蛏弦苿?dòng)與事先預(yù)測(cè)并設(shè)定的預(yù)測(cè)位置偏移量相當(dāng)?shù)囊苿?dòng)距離，在達(dá)到所述規(guī)定的加壓壓力的時(shí)刻，在所述兩張面板處于已定位的狀態(tài)下，結(jié)束加壓。
根據(jù)上述的本發(fā)明的面板粘合方法，在進(jìn)行面板的粘合時(shí)，一邊向上面板加壓一邊使下面板移動(dòng)，從而消除兩張面板之間隨著加壓而產(chǎn)生的位置偏移，進(jìn)而可將兩張面板的相對(duì)移動(dòng)量控制在最小限度。由此可實(shí)現(xiàn)一種面板粘合裝置，該裝置能夠防止設(shè)在面板之間的密封粘合材料等的變形或損傷，具有高精度定位功能，可進(jìn)行高可靠性粘合。
本發(fā)明的面板粘合方法，也可以這樣進(jìn)行即，在加壓開(kāi)始到結(jié)束期間暫停加壓，并檢測(cè)出到停止時(shí)刻所述面板之間的位置偏移量，當(dāng)所述位置偏移量超過(guò)規(guī)定的位置偏移量時(shí)，在平行于面板平面的方向上移動(dòng)所述兩張面板中的至少一張，以便校正該位置偏移量，并在所述位置偏移校正結(jié)束后再開(kāi)始加壓。
或者，也可以在加壓開(kāi)始到結(jié)束期間，檢測(cè)出所述面板之間的位置偏移量，并在該位置偏移量超過(guò)規(guī)定的位置偏移量的時(shí)刻，一邊連續(xù)加壓，一邊在平行于面板平面的方向上移動(dòng)所述兩張面板中的至少一張來(lái)校正該位置偏移量。
此外，在所述面板粘合方法中，最好是將檢測(cè)出的位置偏移量與所述兩張面板距離聯(lián)系起來(lái)作為信息存儲(chǔ)，用于在之后的面板粘合工序中設(shè)定預(yù)測(cè)位置偏移量?；蛘?，也可以將檢測(cè)出的位置偏移量與加壓量聯(lián)系起來(lái)作為信息存儲(chǔ)，用于在之后的面板粘合工序中設(shè)定預(yù)測(cè)位置偏移量。
而且，在本發(fā)明的面板粘合方法中，還可以在檢測(cè)出的位置偏移量比根據(jù)存儲(chǔ)的位置偏移信息求出的位置偏移量大規(guī)定值以上時(shí)，發(fā)出警報(bào)，通知發(fā)生了異常。
此外，本發(fā)明提供一種面板粘合裝置，該裝置通過(guò)粘合材料將兩張面板重疊，并在重疊狀態(tài)下加壓將它們粘合，其特征在于，具有上下工作臺(tái)，分別安裝該上下兩張面板；上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在垂直方向移動(dòng)所述上工作臺(tái)；平臺(tái)，在水平方向移動(dòng)所述下工作臺(tái)；照相機(jī)，對(duì)分別設(shè)置在所述兩張面板上的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行圖像識(shí)別；控制裝置，控制所述上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作，并且根據(jù)所述照相機(jī)的圖像識(shí)別結(jié)果控制所述平臺(tái)的移動(dòng)，進(jìn)行所述面板之間的定位，其中，所述控制裝置一邊使所述上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作向所述面板加壓，一邊控制所述平臺(tái)的移動(dòng)，使所述下工作臺(tái)移動(dòng)與事先預(yù)測(cè)并設(shè)定的預(yù)測(cè)位置偏移量相當(dāng)?shù)囊苿?dòng)距離。
根據(jù)上述本發(fā)明的面板粘合裝置，在進(jìn)行面板的粘合時(shí)，由于一邊對(duì)上面板加壓一邊移動(dòng)下面板，從而消除了隨著加壓在兩張面板之間產(chǎn)生的位置偏移，所以可將兩張面板的相對(duì)移動(dòng)量控制在最小限度。因此，可以防止設(shè)在面板之間的密封粘合材料的變形或損傷，同時(shí)提高面板粘合裝置的可靠性。而且，還可以使定位動(dòng)作中面板的移動(dòng)距離非常小，從而可縮短粘合處理所需要的時(shí)間。進(jìn)而可提高面板粘合裝置的性能。
在本發(fā)明的面板粘合裝置中，所述控制裝置最好具有存儲(chǔ)裝置，將對(duì)應(yīng)所述上工作臺(tái)垂直方向上的位置檢測(cè)出的所述下工作臺(tái)水平方向上的位置作為信息存儲(chǔ)；預(yù)測(cè)裝置，將存儲(chǔ)的信息反映到位置偏移量的預(yù)測(cè)中。此外，所述控制裝置還可以具有報(bào)警裝置，當(dāng)檢測(cè)出的位置偏移量比根據(jù)存儲(chǔ)的位置偏移信息求出的位置偏移量大規(guī)定值以上時(shí)，該裝置發(fā)出警報(bào)，通知發(fā)生了異常。
圖1是現(xiàn)有的面板粘合工序的一個(gè)例子的流程圖；圖2是在圖1的面板粘合工序中兩張面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖；圖3是使用了按預(yù)測(cè)的偏移量預(yù)先使面板偏移的方法的面板粘合工序的一個(gè)例子的流程圖；圖4是在圖3的面板粘合工序中兩張面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖；圖5是適用本發(fā)明的面板粘合方法的面板粘合裝置的剖面圖；圖6是使用了本發(fā)明第一實(shí)施例中的面板粘合方法的面板粘合工序的流程圖；圖7是在圖6的面板粘合工序中兩張面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖；圖8是在圖6的面板粘合工序中兩張面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖；圖9是本發(fā)明第二實(shí)施例的面板粘合工序的部分流程圖；圖10是X方向上的位置偏移量與Z軸方向上的位置關(guān)系的圖表；圖11是Y方向上的位置偏移量與Z軸方向上的位置關(guān)系的圖表；圖12是θ方向上的位置偏移量與Z軸方向上的位置關(guān)系的圖表；圖13是圖9所示的面板粘合工序中上面板與下面板的移動(dòng)示意圖；圖14是圖9所示的面板粘合工序中上面板與下面板的移動(dòng)示意圖；圖15是表示在進(jìn)行圖9所示的面板粘合工序時(shí)，控制裝置內(nèi)各種信息的流動(dòng)圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照
本發(fā)明的實(shí)施方式。
首先，參照?qǐng)D5說(shuō)明本發(fā)明面板粘合方法所適用的面板粘合裝置。圖5是本發(fā)明面板粘合方法所適用的面板粘合裝置的剖面圖。
圖5所示的面板粘合裝置10是用于對(duì)構(gòu)成液晶顯示裝置的TFT基板(TFT面板)和彩色濾色基板(CF面板)加壓，并使它們粘合的裝置。TFT面板上形成有液晶驅(qū)動(dòng)回路，通過(guò)驅(qū)動(dòng)TFT面板和CF面板之間密封的液晶，在CF面板上顯示信息。
面板粘合裝置10具有安裝了CF面板12并可在垂直方向(Z軸方向)移動(dòng)的上工作臺(tái)14和安裝了TFT面板16并可在水平方向移動(dòng)的下工作臺(tái)18。上、下工作臺(tái)14、18配置在由上腔20和下腔22構(gòu)成的腔內(nèi)。在閉合了上腔20和下腔22的狀態(tài)下，可對(duì)腔進(jìn)行真空抽氣，從而可以將腔內(nèi)設(shè)定在規(guī)定的真空度下。
上腔20與支撐部件24連接，支撐部件24通過(guò)由氣缸等構(gòu)成的往復(fù)移動(dòng)機(jī)構(gòu)可在垂直方向(Z軸方向)移動(dòng)。腔的開(kāi)合通過(guò)上下移動(dòng)上腔20來(lái)進(jìn)行。
穿過(guò)上腔20的壁，并延伸到腔內(nèi)的支撐部件26與上工作臺(tái)14連接。通過(guò)支撐部件26利用上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28在垂直方向(Z軸方向)移動(dòng)，可在垂直方向(Z軸方向)上移動(dòng)腔內(nèi)的上工作臺(tái)14。
而且，上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28可以由如圖所示的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)或線性電動(dòng)機(jī)等眾所周知的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成。在圖5所示的例子中，將驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠的伺服電動(dòng)機(jī)30作為驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28，從而在垂直方向(Z軸方向)上移動(dòng)上工作臺(tái)14。
穿過(guò)下腔20的底部并延伸的支撐部件32與配置在下腔20內(nèi)的下工作臺(tái)18連接。支撐部件32固定在XYθ平臺(tái)34上，下工作臺(tái)18可在腔內(nèi)的水平方向移動(dòng)。即，通過(guò)在水平面內(nèi)的X方向、Y方向、及θ方向(回轉(zhuǎn)方向)移動(dòng)XYθ平臺(tái)34，可在腔內(nèi)的X方向、Y方向、及θ方向(回轉(zhuǎn)方向)移動(dòng)下工作臺(tái)。由于可通過(guò)眾所周知的移動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)構(gòu)成含有驅(qū)動(dòng)源的XYθ平臺(tái)34，故省略其詳細(xì)說(shuō)明。
在所述的面板粘合裝置中，上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28被安裝在牢固的框架36上，引導(dǎo)上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28在垂直方向移動(dòng)的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)38也被安裝在框架36上。導(dǎo)向機(jī)構(gòu)38雖然高精度地引導(dǎo)通過(guò)上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28實(shí)現(xiàn)的上工作臺(tái)14的垂直移動(dòng)，但是由于機(jī)械尺寸誤差或安裝誤差等的影響，不能成為完全垂直的方向。
即，上工作臺(tái)14相對(duì)于下工作臺(tái)18的垂直移動(dòng)不是完全垂直的，上工作臺(tái)14在垂直方向移動(dòng)時(shí)，相對(duì)于下工作臺(tái)18產(chǎn)生水平方向(XYθ方向)的微小偏移。為了校正這種偏移，下工作臺(tái)18被固定在XYθ平臺(tái)34上，從而可在水平方向移動(dòng)。即，通過(guò)驅(qū)動(dòng)XYθ平臺(tái)34，對(duì)在上下工作臺(tái)14、18上安裝上下面板時(shí)的定位及加壓時(shí)產(chǎn)生的位置偏移進(jìn)行校正。
在上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28上設(shè)置作為位置傳感器用于定位的圖像識(shí)別照相機(jī)40。圖像識(shí)別照相機(jī)40通過(guò)設(shè)在上腔20的透明窗和設(shè)在上工作臺(tái)14的貫通開(kāi)口，對(duì)分別設(shè)置在CF面板12和TFT面板16上的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行圖像識(shí)別。即，一邊通過(guò)圖像識(shí)別照相機(jī)40對(duì)兩張面板12、16上的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行圖像識(shí)別，一邊對(duì)CF面板12和TFT面板進(jìn)行定位。而且，為了識(shí)別對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的X、Y及θ方向的偏移，最好在不同的位置設(shè)置兩個(gè)以上的圖像識(shí)別照相機(jī)40。
此外，在上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28上設(shè)置作為負(fù)載傳感器的測(cè)壓元件42。測(cè)壓元件42檢測(cè)將安裝在上工作臺(tái)14上的CF面板12壓向安裝在下工作臺(tái)18上的TFT面板16時(shí)的負(fù)載(即加壓壓力)。
這里，伺服電動(dòng)機(jī)30是用于垂直移動(dòng)上工作臺(tái)14的驅(qū)動(dòng)源，其動(dòng)作由控制裝置44控制。而且，用于水平移動(dòng)下工作臺(tái)18的XYθ平臺(tái)34也由控制裝置44控制?？刂蒲b置44接受來(lái)自所述圖像識(shí)別照相機(jī)40的表示圖像識(shí)別結(jié)果的定位信息，以及來(lái)自測(cè)壓元件42的表示加壓壓力檢測(cè)結(jié)果的加壓壓力信息。因此，控制裝置44根據(jù)來(lái)自圖像識(shí)別照相機(jī)的定位信息和來(lái)自測(cè)壓元件42的加壓壓力信息，控制上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28和XYθ平臺(tái)34的動(dòng)作。
此外，控制裝置44為了學(xué)習(xí)如后面所述的定位和位置偏移校正，最好具有用于存儲(chǔ)各種信息的存儲(chǔ)器(存儲(chǔ)裝置)和處理器(預(yù)測(cè)裝置)，所述處理器根據(jù)所述信息預(yù)測(cè)位置偏移量并計(jì)算位置偏移校正量。
而且，控制裝置44最好具有警報(bào)器(警報(bào)裝置)，當(dāng)預(yù)測(cè)位置偏移量與實(shí)際位置偏移量的差超過(guò)規(guī)定值時(shí)，該警報(bào)器判斷裝置內(nèi)發(fā)生異常，并發(fā)出警報(bào)。
而且，在所述圖5所示的例子中，CF面板12安裝在上工作臺(tái)14上，TFT面板16安裝在下工作臺(tái)18上，但也可以將TFT面板16安裝在上工作臺(tái)14上，將CF面板12安裝在下工作臺(tái)18上。以下，將安裝在上工作臺(tái)14上的面板稱為上面板，將安裝在下工作臺(tái)18上的面板稱為下面板。
而且，在粘合TFT面板和CF面板時(shí)，在下面板的四圍呈框狀地設(shè)置密封粘合材料，向其內(nèi)部供給液晶。通過(guò)密封粘合材料加壓粘合上下面板，可將液晶密封在上下面板之間。例如可以通過(guò)使用UV硬化型粘合材料作為密封粘合材料，在粘合處理后照射紫外線使其完全硬化。
下面，參照?qǐng)D6至圖8說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施例中的定位方法。
圖6是使用了本發(fā)明第一實(shí)施例中面板粘合方法的面板粘合工序的流程圖。此外，圖7及圖8是在圖6的面板粘合工序中兩張面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖。
圖6所示的面板粘合工序，首先使用圖5所示的面板粘合裝置10，將上下面板以相對(duì)的狀態(tài)安裝在上下工作臺(tái)14、18上(步驟S31)，通過(guò)圖像識(shí)別照相機(jī)40讀入設(shè)置在上下面板12、16上的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)(步驟S32)。
接下來(lái)，判斷上下面板的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)是否進(jìn)入規(guī)定的范圍內(nèi)(步驟S33)。即，判斷上下面板是否以規(guī)定的精度定位。當(dāng)沒(méi)能以規(guī)定的精度定位時(shí)，在X、Y、θ方向移動(dòng)下工作臺(tái)(步驟S34)，再次進(jìn)行定位。以上工序是粗定位(粗對(duì)準(zhǔn))工序。在粗定位工序中，例如通過(guò)定位，使上下面板的位置偏移在5μm以下。
粗定位結(jié)束后，接下來(lái)進(jìn)行微定位。微定位是與上述步驟S32～S34相同的處理(步驟S35～S37)，通過(guò)定位，使上下面板的位置偏移在0.5μm以下。
微定位結(jié)束后，相對(duì)于下工作臺(tái)16垂直移動(dòng)上工作臺(tái)14，并在兩張面板重疊的狀態(tài)下進(jìn)行加壓。此時(shí)，當(dāng)最終的加壓壓力為100kg時(shí)，例如，首先加壓至30kg(步驟S38)。在此步驟中，如后面所述，追隨垂直移動(dòng)上工作臺(tái)14從而相對(duì)下面板對(duì)上面板進(jìn)行加壓時(shí)的位置偏移，移動(dòng)下工作臺(tái)18(下面板)。即，預(yù)測(cè)上面板在水平方向上的移動(dòng)，從而向相同的方向同時(shí)移動(dòng)下面板(預(yù)測(cè)移動(dòng))。
進(jìn)行加壓后讀入上下面板的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)(步驟S39)，并判斷上下面板的位置偏移是否在允許范圍內(nèi)(步驟S40)。當(dāng)上下面板的位置偏移超出允許范圍時(shí)，驅(qū)動(dòng)XYθ平臺(tái)34移動(dòng)下工作臺(tái)18(下面板)，從而再次進(jìn)行上面板和下面板的微定位。
然后，處理返回到步驟S38，進(jìn)行步驟S39和步驟S40的處理。在步驟S40中，若判定上下面板的位置偏移在允許范圍內(nèi)，則判斷上次進(jìn)行的加壓是否為最終加壓(步驟S42)。若不是最終加壓，則返回到步驟S38再次進(jìn)行步驟S38～S42的處理。
在圖6所示的例子中，若將最終加壓壓力設(shè)為100kg，則在加壓的過(guò)程中在加壓到30kg和60kg的時(shí)刻進(jìn)行微定位。即，在最初的步驟S38的處理時(shí)加壓到30kg，在下一個(gè)步驟S38的處理時(shí)加壓到60kg，在再下一個(gè)處理時(shí)加壓到100kg。當(dāng)加壓到100kg時(shí)，判斷該加壓為最終加壓。
圖7及圖8是在所述面板粘合工序中上下面板的相對(duì)移動(dòng)示意圖。圖7表示的是下面板的預(yù)測(cè)移動(dòng)與上面板的位置偏移準(zhǔn)確對(duì)應(yīng)的例子。相反，圖8表示的是由于下面板的預(yù)測(cè)移動(dòng)與上面板的位置偏移產(chǎn)生了誤差從而在加壓過(guò)程中進(jìn)行微小校正的例子。
在圖7(A)中，加壓到30kg時(shí)上面板在Z軸方向的位置是P2位置。在上面板從P1向P2垂直移動(dòng)時(shí)，如虛線箭頭所示在XY方向產(chǎn)生位置偏移。這主要是由用于移動(dòng)上工作臺(tái)14的上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)28的機(jī)械誤差引起的位置偏移。如圖7(B)所示，為了消除這種位置偏移，在上面板從P1向P2垂直移動(dòng)時(shí)，同時(shí)使下面板只移動(dòng)上面板在水平方向上的位置偏移分量(最初的步驟S38的處理)。
在圖7所示的例子中，判斷在P2位置時(shí)面板的位置偏移在允許范圍內(nèi)(步驟S40的“是”)。因此，處理返回到S38，向上下面板施加60kg的壓力。當(dāng)壓力達(dá)到60kg時(shí)，上面板的位置是P3。上面板從P2移動(dòng)到P3位置時(shí)同樣產(chǎn)生位置偏移。因此，在上面板從P2移動(dòng)到P3位置時(shí)，也就是加壓壓力從30kg增加到60kg時(shí)，也對(duì)下面板進(jìn)行預(yù)測(cè)移動(dòng)(第二次的步驟S38的處理)。
接下來(lái)，向上下面板施加100kg的最終壓力。當(dāng)壓力達(dá)到100kg時(shí)，上面板的位置是PF。在上面板從P3移動(dòng)到PF位置時(shí)同樣產(chǎn)生位置偏移。因此，在加壓壓力從60kg增加到100kg時(shí)，也對(duì)下面板進(jìn)行預(yù)測(cè)移動(dòng)(第三次的步驟S38的處理)。
如上述反復(fù)進(jìn)行加壓后，在步驟S42若判斷此前進(jìn)行的加壓為最終加壓，則測(cè)定上下面板對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的位置偏移量(步驟S43)，面板的粘合處理結(jié)束。通過(guò)如上粘合工序，可在0.5μm～1.5μm的定位精度下粘合兩張面板。
根據(jù)以上方法，因?yàn)橥瑫r(shí)進(jìn)行下面板在水平方向的移動(dòng)與上面板在水平方向的移動(dòng)，所以，即使在加壓過(guò)程中也不產(chǎn)生上下面板的位置偏移。因此，夾在上下面板之間被加壓的密封粘合材料只受垂直方向的加壓壓力，從而可防止密封粘合材料在水平方向上產(chǎn)生剪切應(yīng)力而損傷。
因此，可防止因?yàn)槊姘逭澈蠒r(shí)的位置偏移，密封粘合劑受損、從而發(fā)生液晶泄漏的情況，進(jìn)而可提高粘合工序的可靠性。而且，因?yàn)樵陔A段性的加壓過(guò)程中不需要微定位，所以，可以削減這部分工序所需的時(shí)間，進(jìn)而可以縮短粘合工序所需的時(shí)間。
另一方面，在圖8所示的例子中，雖然在垂直移動(dòng)上面板的同時(shí)，在水平方向上對(duì)下面板進(jìn)行預(yù)測(cè)移動(dòng)，但在加壓的各階段中還是產(chǎn)生需要校正的位置偏移。這樣的例子，例如是上面板的位置偏移量與事先設(shè)定的下面板的預(yù)測(cè)移動(dòng)量(即上面板的位置偏移的預(yù)測(cè)值)不同的情況，這可能由粘合裝置10的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的精度隨時(shí)間變化的情況引起。
圖8(A)中，在加壓到30kg時(shí)上面板在Z軸方向的位置是P2位置。事先預(yù)測(cè)的上面板在垂直方向上從P1移動(dòng)到P2時(shí)產(chǎn)生的水平方向上的位置偏移如虛線箭頭所示。這里，當(dāng)上面板的移動(dòng)與預(yù)測(cè)值有偏移，實(shí)際上如實(shí)線箭頭所示移動(dòng)時(shí)，將在P2位置產(chǎn)生微小的位置偏移。因此，在P2位置校正這個(gè)位置偏移。該校正相當(dāng)于圖6的步驟S41中的校正。
因此，在施加例如30kg壓力的狀態(tài)下，移動(dòng)下面板進(jìn)行位置校正。其中，因?yàn)槭孪冗M(jìn)行了下面板的預(yù)測(cè)移動(dòng)，所以，如圖8(B)的實(shí)線箭頭所示，下面板的移動(dòng)量只是從預(yù)測(cè)移動(dòng)位置開(kāi)始的位置偏移量，從而可以將加壓狀態(tài)下的上下面板的相對(duì)移動(dòng)量(即P2上的下面板的移動(dòng)量)控制為微小的量。即，可以使P2上的下面板的移動(dòng)量為遠(yuǎn)比圖2所示的利用現(xiàn)有方法時(shí)在P2上的下面板的移動(dòng)量小的值。
在圖8所示的例子中，與在位置P1的位置校正一樣，也在加壓到60kg時(shí)的位置P3以及最終加壓到100kg時(shí)的位置PF上，校正與預(yù)測(cè)位置的偏移。
如上所述，在圖6所示的粘合工序中，在加壓的各階段判定與預(yù)測(cè)位置的偏移。并且，在各階段當(dāng)偏移在允許范圍內(nèi)時(shí)，上下面板的移動(dòng)就如圖7所示進(jìn)行，相反，在各階段當(dāng)偏移超出允許范圍時(shí)，上下面板的移動(dòng)就如圖8所示進(jìn)行。
下面，參照?qǐng)D9至圖14說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施例。圖9是本發(fā)明的第二實(shí)施例中面板粘合工序的部分流程圖。
本發(fā)明第二實(shí)施例中的面板粘合工序是連續(xù)進(jìn)行圖6所示的粘合工序中的步驟S38～S42的處理。粗定位和微定位的處理與圖6所示的步驟S31～S37的處理相同。
也就是說(shuō)，微定位結(jié)束后，如圖9所示，首先開(kāi)始Z軸方向的加壓(步驟S51)。并且，在加壓過(guò)程中，使用圖像識(shí)別照相機(jī)40對(duì)對(duì)準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行圖像識(shí)別(步驟S52)，并取得上面板在Z軸方向上現(xiàn)在的位置(步驟S53)。Z軸方向上的位置只要檢測(cè)出上工作臺(tái)14在Z軸方向上的位置即可。而且，因?yàn)橥ㄟ^(guò)測(cè)壓元件42檢測(cè)出的負(fù)載(加壓壓力)與Z軸方向上的位置大約成正比，所以，也可以將此加壓壓力看作是Z軸方向上的位置。
接下來(lái)，根據(jù)在步驟S52中得到的圖像識(shí)別結(jié)果，計(jì)算在已取得的Z軸位置上的上面板水平方向的位置(X/Y/θ的位置)(步驟S54)。然后，根據(jù)在步驟S54中得到的計(jì)算結(jié)果計(jì)算上下面板間實(shí)際的位置偏移量(步驟S55)。
接下來(lái)，判定在步驟S55求得的位置偏移量是否在允許值內(nèi)(步驟S56)。此時(shí)，位置偏移量的計(jì)算是在X/Y/θ各方向分別進(jìn)行的計(jì)算。當(dāng)判定位置偏移量超出允許值時(shí)，為了校正該位置偏移量，計(jì)算工作臺(tái)應(yīng)該移動(dòng)的移動(dòng)量(步驟S57)。
然后，將在步驟S57求得的工作臺(tái)的移動(dòng)量通知給XYθ平臺(tái)34的驅(qū)動(dòng)部分(步驟S58)，從而只將XYθ平臺(tái)34移動(dòng)在步驟S57求得的工作臺(tái)的移動(dòng)量(步驟S59)。
通過(guò)以上工序，當(dāng)實(shí)際的位置偏移量與預(yù)測(cè)的位置偏移量的差超出了允許值時(shí)，進(jìn)行校正上下面板位置偏移的處理。
進(jìn)行位置偏移校正后，在本實(shí)施例中，取得通過(guò)所述步驟S55計(jì)算出的位置偏移量，并作為信息存儲(chǔ)(步驟S60)。然后，根據(jù)存儲(chǔ)的信息，求出或者修改X/Y/θ方向的位置偏移與Z軸方向上的位置的關(guān)系(參照?qǐng)D10至圖12)，該關(guān)系是計(jì)算位置偏移量預(yù)測(cè)值的基礎(chǔ)。即，學(xué)習(xí)實(shí)際的位置偏移量和預(yù)測(cè)的位置偏移量的差，并在之后的粘合工序中學(xué)習(xí)實(shí)際的位置偏移量的變化，使位置偏移量的預(yù)測(cè)值更準(zhǔn)確。
在上述的步驟S56中，當(dāng)判斷實(shí)際的位置偏移量與預(yù)測(cè)的位置偏移量的差在允許值范圍內(nèi)時(shí)，處理進(jìn)入步驟S60中。即，存儲(chǔ)允許范圍內(nèi)的位置偏移量的相關(guān)信息，并在之后的粘合工序中學(xué)習(xí)實(shí)際的位置偏移量的變化，使位置偏移量的預(yù)測(cè)值更準(zhǔn)確。而且，在本實(shí)施例中，位置偏移量的學(xué)習(xí)是在X/Y/θ各方向分別進(jìn)行的。
位置偏移量的學(xué)習(xí)結(jié)束后，處理進(jìn)入步驟S42中(參照?qǐng)D6)，判斷是否達(dá)到規(guī)定的最終加壓。
由于在Z軸方向移動(dòng)上面板(即增大加壓壓力)的同時(shí)進(jìn)行以上處理，所以，可以與加壓工序同時(shí)進(jìn)行位置偏移的校正，從而使得粘合工序所需要的時(shí)間僅為加壓工序所需要的時(shí)間。即，由于可以在加壓工序中進(jìn)行位置偏移的校正所必需的下面板的移動(dòng)，所以，可以縮短面板粘合工序所需要的時(shí)間。
此外，由于學(xué)習(xí)預(yù)測(cè)位置偏移量與實(shí)際位置偏移量的差，從而使預(yù)測(cè)位置偏移量的值更接近實(shí)際位置偏移量，所以，可以減少上下面板之間的相對(duì)移動(dòng)量。這樣，可以防止夾在面板之間的密封粘合材料的損傷，進(jìn)而能夠完成高可靠性的面板粘合處理。
圖13及圖14是在圖9所示的面板粘合工序中上面板與下面板的移動(dòng)示意圖。圖13是位置偏移量的預(yù)測(cè)值與實(shí)際的位置偏移量一致的例子，圖14是位置偏移量的預(yù)測(cè)值與實(shí)際的位置偏移量之間產(chǎn)生了誤差，從而進(jìn)行位置偏移量的校正的例子。
因此，在圖9所示的粘合工序中，當(dāng)位置偏移量的預(yù)測(cè)值與實(shí)際的位置偏移量一致時(shí)，在上面板如圖13(A)的實(shí)線箭頭所示從最初定位的位置P1向最終位置PF移動(dòng)的時(shí)候，下面板如圖13(B)的實(shí)線箭頭所示那樣只移動(dòng)上面板的移動(dòng)量在水平方向上的分量。所以，上下面板在水平方向上沒(méi)有相對(duì)移動(dòng)，從而從Z軸方向上觀看時(shí)，上下面板保持重疊進(jìn)行相同的水平移動(dòng)。因此，夾在上下面板之間的密封粘合材料只受加壓壓力，不產(chǎn)生剪切應(yīng)力。
相反，在圖9所示的粘合工序中，當(dāng)位置偏移量的預(yù)測(cè)值與實(shí)際的位置偏移量之間產(chǎn)生了誤差，從而進(jìn)行位置偏移量的校正時(shí)，上面板的移動(dòng)與圖14(A)中虛線所示的預(yù)測(cè)路徑不同，而實(shí)際上變成實(shí)線所示的路徑。因此，下面板的移動(dòng)不是圖14(B)所示的虛線箭頭的路徑，而是沿實(shí)線箭頭進(jìn)行了位置偏移校正的路徑。
其中，由于通過(guò)學(xué)習(xí)使來(lái)自預(yù)測(cè)偏移量的誤差為非常小的值，所以作為位置偏移校正判斷基準(zhǔn)的允許值可以是較小值，并且位置偏移量超過(guò)允許值的可能性和次數(shù)也較少。因此，即使如圖14所示進(jìn)行位置偏移校正，上下面板之間的相對(duì)移動(dòng)量很小，不會(huì)產(chǎn)生使上下面板之間的密封粘合材料損傷的移動(dòng)量。
圖15是表示進(jìn)行圖9中的面板粘合工序時(shí)，控制裝置內(nèi)各種信息的流動(dòng)圖。
在控制裝置44中，若圖像識(shí)別部分50從圖像識(shí)別照相機(jī)40獲得對(duì)準(zhǔn)記號(hào)的讀取結(jié)果，則根據(jù)圖像識(shí)別照相機(jī)40的讀取結(jié)果計(jì)算X方向的位置偏移量和Y方向的位置偏移量，送到XYθ偏移計(jì)算部分52中。XYθ偏移計(jì)算部分52根據(jù)X方向的位置偏移量和Y方向的位置偏移量確定XYθ平臺(tái)34的移動(dòng)量。即，計(jì)算XYθ平臺(tái)34在X、Y、θ方向的位置偏移校正量(平臺(tái)的XYθ值)。
XYθ平臺(tái)34的位置偏移校正量被送到學(xué)習(xí)反映部分54中，變?yōu)榧尤肓艘褜W(xué)習(xí)的位置偏移的位置偏移校正量(XYθ值)。接下來(lái)，加入了已學(xué)習(xí)的位置偏移的位置偏移校正量被送到比較、偏移計(jì)算部分56中。比較、偏移計(jì)算部分56對(duì)加進(jìn)了已學(xué)習(xí)的位置偏移的位置偏移校正量和在相同Z軸位置的位置偏移校正量的預(yù)測(cè)值進(jìn)行比較，確定所述Z軸位置的位置偏移校正量(XYθ/Z校正值)。
在比較、偏移計(jì)算部分56確定的位置偏移校正量被送到驅(qū)動(dòng)控制部分58中，同時(shí)也送到XYθ趨勢(shì)學(xué)習(xí)部分60中。驅(qū)動(dòng)控制部分58根據(jù)接受到的位置偏移校正量控制XYθ平臺(tái)34的移動(dòng)，進(jìn)行位置偏移校正。此外，XYθ趨勢(shì)學(xué)習(xí)部分60根據(jù)接受到的位置偏移校正量求出位置偏移量的趨勢(shì)，送到XYθ目標(biāo)位置計(jì)算部分62中。
XYθ目標(biāo)位置計(jì)算部分62計(jì)算反映位置偏移量的趨勢(shì)的位置偏移量的預(yù)測(cè)值(XYθ的目標(biāo)值)，送入比較、偏移計(jì)算部分56中。
此外，驅(qū)動(dòng)控制部分58接受來(lái)自測(cè)壓元件42或其他位置檢測(cè)器的有關(guān)上工作臺(tái)18在Z軸上位置的信息，控制驅(qū)動(dòng)部分58將Z軸位置的值(Z值)送給學(xué)習(xí)反映部分54及XYθ目標(biāo)位置計(jì)算部分62。
此外，通過(guò)將在比較、偏移計(jì)算部分56確定的位置偏移校正量送到警報(bào)發(fā)生部分64中，可以在位置偏移校正量超出規(guī)定的值時(shí)，判斷裝置發(fā)生了異常，并發(fā)出警報(bào)通知裝置操作者。即，當(dāng)在比較、偏移計(jì)算部分56確定的位置偏移校正量，即上下面板的位置偏移量超出規(guī)定值時(shí)，警報(bào)發(fā)生部分64發(fā)出警報(bào)。
預(yù)測(cè)位置偏移量與實(shí)際的位置偏移量的差，由于在第一次的粘合工序和之后的粘合工序中隨時(shí)間的變化極微小，所以是接近于最初的零的微小值。因此，監(jiān)測(cè)在比較、偏移計(jì)算部分56確定的位置偏移校正量，當(dāng)該值大于規(guī)定值時(shí)，可以判斷為裝置發(fā)生了某種異常。這時(shí)，可以通過(guò)發(fā)出警報(bào)將異常通知給操作者，從而提高裝置的安全性。
此外，可以通過(guò)由眾所周知的硬件結(jié)構(gòu)運(yùn)行規(guī)定的程序來(lái)實(shí)現(xiàn)具有上述結(jié)構(gòu)的控制裝置44，其中，所述硬件結(jié)構(gòu)包括處理器和存儲(chǔ)器等。
發(fā)明效果如上所述，在根據(jù)本發(fā)明進(jìn)行面板的粘合時(shí)，由于一邊對(duì)上面板進(jìn)行加壓一邊使下面板移動(dòng)，從而消除了隨著加壓產(chǎn)生的兩張面板之間的位置偏移，所以可將兩張面板的相對(duì)移動(dòng)量控制在最小限度。因此，可防止設(shè)在面板之間的密封粘合材料的變形或損傷。從而可以防止密封在面板之間的液晶等內(nèi)部物質(zhì)的泄漏，提高了面板粘合裝置的可靠性。
此外，能夠使定位動(dòng)作中面板的移動(dòng)距離非常小，可縮短粘合處理所需要的時(shí)間。從而可提高面板粘合裝置的性能。
而且，當(dāng)兩張面板的中心偏移了規(guī)定距離以上時(shí)，判斷為異常，并停止裝置，發(fā)出警報(bào)，所以提高了面板粘合裝置的安全性。
權(quán)利要求
1.一種面板粘合方法，該方法通過(guò)粘合材料將兩張面板重疊，并在重疊狀態(tài)下加壓將它們粘合，其特征在于，在面板平面處于相對(duì)狀態(tài)時(shí)對(duì)兩張面板進(jìn)行定位，并開(kāi)始向該兩張面板加壓，使該兩張面板通過(guò)粘合材料在垂直于面板平面的方向受規(guī)定的加壓壓力，并在達(dá)到所述規(guī)定的加壓壓力之前，使所述兩張面板中的至少一張?jiān)谄叫杏诿姘迤矫娴姆较蛏弦苿?dòng)與事先預(yù)測(cè)并設(shè)定的預(yù)測(cè)位置偏移量相當(dāng)?shù)囊苿?dòng)距離，在達(dá)到所述規(guī)定的加壓壓力的時(shí)刻，在所述兩張面板處于已定位的狀態(tài)下，結(jié)束加壓。
2.如權(quán)利要求1所述的面板粘合方法，其特征在于，在加壓開(kāi)始到結(jié)束期間暫停加壓，并檢測(cè)出到停止時(shí)刻所述面板之間的位置偏移量，當(dāng)所述位置偏移量超過(guò)規(guī)定的位置偏移量時(shí)，在平行于面板平面的方向上移動(dòng)所述兩張面板中的至少一張，以便校正該位置偏移量，并在所述位置偏移校正結(jié)束后再開(kāi)始加壓。
3.如權(quán)利要求1所述的面板粘合方法，其特征在于，在加壓開(kāi)始到結(jié)束期間，檢測(cè)出所述面板之間的位置偏移量，并在該位置偏移量超過(guò)規(guī)定的位置偏移量的時(shí)刻，一邊連續(xù)加壓，一邊在平行于面板平面的方向上移動(dòng)所述兩張面板中的至少一張來(lái)校正該位置偏移量。
4.如權(quán)利要求2或3所述的面板粘合方法，其特征在于，將檢測(cè)出的位置偏移量與所述兩張面板距離聯(lián)系起來(lái)作為信息存儲(chǔ)，用于在之后的面板粘合工序中設(shè)定預(yù)測(cè)位置偏移量。
5.如權(quán)利要求2或3所述的面板粘合方法，其特征在于，將檢測(cè)出的位置偏移量與加壓量聯(lián)系起來(lái)作為信息存儲(chǔ)，用于在之后的面板粘合工序中設(shè)定預(yù)測(cè)位置偏移量。
6.如權(quán)利要求4或5所述的面板粘合方法，其特征在于，在檢測(cè)出的位置偏移量比根據(jù)存儲(chǔ)的位置偏移信息求出的位置偏移量大規(guī)定值以上時(shí)，發(fā)出警報(bào)，通知發(fā)生了異常。
7.一種面板粘合裝置，該裝置通過(guò)粘合材料將兩張面板重疊，并在重疊狀態(tài)下加壓將它們粘合，其特征在于，該裝置具有上下工作臺(tái)，分別安裝該上下兩張面板；上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在垂直方向移動(dòng)所述上工作臺(tái)；平臺(tái)，在水平方向移動(dòng)所述下工作臺(tái)；照相機(jī)，對(duì)分別設(shè)置在所述兩張面板上的對(duì)準(zhǔn)記號(hào)進(jìn)行圖像識(shí)別；控制裝置，控制所述上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作，并且根據(jù)所述照相機(jī)的圖像識(shí)別結(jié)果控制所述平臺(tái)的移動(dòng)，進(jìn)行所述面板之間的定位，其中，所述控制裝置一邊使所述上工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作向所述面板加壓，一邊控制所述平臺(tái)的移動(dòng)，使所述下工作臺(tái)移動(dòng)與事先預(yù)測(cè)并設(shè)定的預(yù)測(cè)位置偏移量相當(dāng)?shù)囊苿?dòng)距離。
8.如權(quán)利要求7所述的面板粘合裝置中，其特征在于，所述控制裝置具有存儲(chǔ)裝置，將對(duì)應(yīng)所述上工作臺(tái)垂直方向上的位置檢測(cè)出的所述下工作臺(tái)水平方向上的位置作為信息存儲(chǔ)；預(yù)測(cè)裝置，將存儲(chǔ)的信息反映到位置偏移量的預(yù)測(cè)中。
9.如權(quán)利要求7或8所述的面板粘合裝置，其特征在于，所述控制裝置具有報(bào)警裝置，當(dāng)檢測(cè)出的位置偏移量比根據(jù)存儲(chǔ)的位置偏移信息求出的位置偏移量大規(guī)定值以上時(shí)，該報(bào)警裝置發(fā)出警報(bào)，通知發(fā)生了異常。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種面板粘合方法及裝置。在面板平面處于相對(duì)狀態(tài)時(shí)對(duì)兩張面板(12)、(16)進(jìn)行定位。開(kāi)始向該兩張面板加壓，使該兩張面板通過(guò)粘合材料在垂直于面板平面的方向受規(guī)定的加壓壓力，并在達(dá)到所述規(guī)定的加壓壓力之前，使所述兩張面板中的至少一張?jiān)谄叫杏诿姘迤矫娴姆较蛏弦苿?dòng)與事先預(yù)測(cè)并設(shè)定的預(yù)測(cè)位置偏移量相當(dāng)?shù)囊苿?dòng)距離，在達(dá)到所述規(guī)定的加壓壓力的時(shí)刻，在所述兩張面板處于已定位的狀態(tài)下，結(jié)束加壓。由此可減少面板粘合工序中進(jìn)行定位的時(shí)間，同時(shí)減少密封粘合材料的損傷。
文檔編號(hào)G01B11/04GK1508608SQ20031010310
公開(kāi)日2004年6月30日 申請(qǐng)日期2003年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月19日
發(fā)明者竹中伸郎, 羽田野憲彥, 梅村博文, 田中伸佳, 佳, 憲彥, 文 申請(qǐng)人:富士通株式會(huì)社