專利名稱：檢測成批的電氣部件的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種檢測成批的類似集成電路的電氣部件方法、一種制造電氣部件的方法、以及一種檢測設備。
檢測成批的電氣部件以及制造電氣部件在實際應用中是已知的，該電氣部件例如為集成電路，但不限于此。在已知方法中，觸點和短路檢測(C&S-test)應用于成批的電氣部件中的每一個。在觸點和短路檢測(C&S-test)中，檢測電氣部件的電觸點。通過觸點和短路檢測的電氣部件隨后在功能檢測中被檢測，其中檢測該電氣部件的操作特性。在這種功能檢測中，電氣部件的一個或多個參數被測量并且與預定的參數范圍相比較。在本文中，對術語“參數”的理解是廣泛的功能檢測可包括參數檢測、合格與不合格檢測、數字檢測、或它們的組合。在后一種情況下，功能檢測包括多個子檢測。已知方法的方式基于盡可能快地排除不合格品的策略。
這種方法的缺點在于，該方法耗費大量的時間。這是由以下事實造成的，即，所有電氣部件至少在兩個檢測過程中進行檢測。第一檢測是觸點和短路檢測，第二檢測是功能檢測。
本發(fā)明的目的是解決所述缺點。本發(fā)明由獨立權利要求限定；從屬權利要求限定有利的實施例。
本發(fā)明的主要方面在于提供一種用于檢測成批的類似集成電路的電氣部件的方法，該方法包括對來自該批的每一個電氣部件應用第一檢測；和對沒通過該第一檢測的電氣部件應用第二檢測。有利的是，第二檢測直接在第一檢測之后實施。優(yōu)選的是，該第一檢測包括功能檢測，該第二檢測包括觸點和短路檢測。
本發(fā)明的一個方面基于以下認識如果一電氣部件通過功能檢測，則該部件通?？赏ㄟ^觸點和短路檢測。因此，對于通過檢測的部件，觸點和短路檢測不能向功能檢測提供額外的信息。所以已知的檢測方法特別適于產生量高的成批部件，其中質量良好的部件不必要地檢測兩次，耗費了較長的檢測時間。這最終將導致較低的制造量，并且電氣部件的價格因此較高。
依據本發(fā)明的第一方面，對來自成批的電氣部件中的每一部件，實施功能檢測，并且僅對沒能通過功能檢測的電氣部件，實施觸點和短路檢測。這確保了觸點和短路檢測僅對沒能通過功能檢測的部件進行檢測，因此總的檢測時間減小了。
在功能檢測中，檢測了該電氣部件的工作特征。通常功能檢測設計成，如果僅一個硬件連接有缺陷則不能通過功能檢測。因此功能檢測隱含地包括觸點和短路檢測。然而，如果一部件沒能通過功能檢測，則沒通過的原因將由隨后的一個或多個專用的觸點和短路檢測來發(fā)現。以這種方式，可定位該電氣部件的缺陷連接。
在本發(fā)明的一個實施例中，該方法還包括以下步驟使用觸點和短路檢測的檢測結果，以便大致作出在觸點和短路檢測中被檢測該電氣部件的估定損壞的更詳細的判定；并基于該判定更新統計文件。在該實施例中，觸點和短路檢測的檢測結果用于計算在該批中的電氣部件的統計數據。該統計數據通常是可靠的，這是因為該數據基于實施了兩個連續(xù)檢測的電氣部件。該數據例如包括與該電氣部件的質量相關的信息。
在本發(fā)明的具體實施例中，該功能檢測包括檢測電氣部件的工作狀況，這通過測量電氣部件的至少一個參數并將該至少一個參數與對于該至少一個參數的至少一個預定參數范圍進行比較來實現的，其中如果該至少一個參數不處于其相應的參數范圍內則該電氣部件不能通過該功能檢測。在依據本發(fā)明的更具體的實施例中，觸點和短路檢測不應用于預定種類的至少一個測量參數處于其相應的參數范圍外的電氣部件。以這種方式，對于每一批作出參數的假定選擇，其中對于每一參數確定處于其該參數范圍之外的該參數的測量值是否屈服于觸點和短路檢測。這種可能性在以下情況中是重要的。假設對于特定的成批的電氣部件，假定已知的是，特定的參數偏離預定的概率分布。這可能是例如對制造設備錯誤調節(jié)而造成的。在這種情況下，許多電氣部件不能通過功能檢測，因此許多電氣部件通常隨后在觸點和短路檢測中被檢測。因為檢測時間的總量顯著增加，所以這是不希望的，盡管絕大多數部件當然不能通過功能檢測是已知的。因此，在這種情況下，具有偏離的概率分布的參數假定分類為該預定種類的參數，以便使得基于該參數沒能通過功能檢測的電氣部件被直接拋棄。
第一檢測和第二檢測可以是觸點和短路檢測、功能檢測、或其組合或其它檢測的組合。自動的重新檢測與手動的重新檢測相比的優(yōu)點在于，自動的重新檢測使用明顯更少的時間。另外，自動重新檢測可使用同一檢測設備來實施。這使得所有檢測更可靠，這是因為在該檢測設備中誤差和/或不穩(wěn)定性(即第一與第二檢測之間的出現頻率差)可快速地被檢查出來。
本發(fā)明的優(yōu)選實施例使用一檢測設備，在第一檢測中，該檢測設備建立與來自該批的部件接觸的第一機械觸點，以便在該部件上實施該第一檢測，并隨后使該第一機械觸點制動，并且在該第二檢測中，該檢測設備建立與該部件接觸的第二機械觸點，以便在該部件上實施第二檢測，并隨后使所述第二機械觸點分離，其中該第一機械觸點與該第二機械觸點大致相同。該機械觸點用于形成該檢測設備與該電氣部件之間的電連接。在一些情況下，金屬氧化物的薄層存在于電氣部件的機械觸點上。這種層(完全或部分地)阻斷電觸點，這導致該相應部件不能通過檢測，但是原則上這些電氣部件是合格的。應用該第一機械觸點可導致該金屬氧化物層被觸點-插針連接刮去，該觸點-插針連接用于建立該檢測設備的機械觸點。因此，該部件可通過第二檢測，其中建立了電觸點。這樣，依據該實施例，電氣部件不必要地不能通過檢測的可能性降至最小。
在本發(fā)明的一實施例中，該方法還包括以下步驟使用該檢測的檢測結果，以便大致作出該被檢測的電氣部件的估定損壞的更詳細的判定；并基于該判定更新統計文件。在該實施例中，觸點和短路檢測的檢測結果用于計算在該批中的電氣部件的統計數據。這些數據例如可表明，特定的成批部件具有較低的質量等級，或特定檢測設備有故障。后者提供一機會以便通過比較來自第一檢測的檢測數據和來自第二檢測的檢測數據來跟蹤檢測設備的缺陷。在更特定的實施例中，該檢測設備使用插針-觸點來建立所述機械觸點，可在早期檢查出檢測設備的硬件插針-觸點連接缺陷。
本發(fā)明的另一實施例是，第一檢測包括功能檢測，其中依據預定特征來檢測電氣部件的工作狀況，第二檢測包括功能檢測以及觸點和短路檢測。優(yōu)選的是，觸點和短路檢測的檢測結果可用于大致作出來自第二類別的電氣部件的估定損壞的判定。另外，來自第一類別的電氣部件可依據第三檢測來隨機地檢測，以便檢查該檢測設備的工作狀況?？蓹z查該第三檢測的檢測結果是否對應于第一和第二檢測。這提供了檢查該檢測設備的適當工作的機會。
本發(fā)明的這些和其它方面借助于以下的實施例來描述。
參照附圖，結合實施本發(fā)明的不同形式來描述本發(fā)明，附圖以示意性目的示出了本發(fā)明，在附圖中

圖1是依據本發(fā)明的用于檢測電氣部件的方法的第一實施例的示意流程圖；和圖2是依據本發(fā)明的用于檢測電氣部件的方法的第二實施例的示意流程圖。
圖1示出了流程框圖2表示的用于檢測成批的類似集成電路的電氣部件的方法。箭頭4表示電氣部件的輸入作業(yè)流，每一部件將進行功能檢測6。該功能檢測6借助在圖1中未示出的檢測設備來進行。在功能檢測過程中，該電氣部件的至少某些操作特性由該檢測設備來確定。優(yōu)選的是，該功能檢測以這樣一種方式設計，即，在該功能檢測中至少使用了最重要的硬件連接，以便使得如果這些連接中的一個連接有缺陷則該部件不能通過該功能檢測。
通過功能檢測的電氣部件的形成第一類別，而沒能通過功能檢測的電氣部件的形成第二類別。在第一類別中電氣部件的作業(yè)流由箭頭8表示，并且在第二類別中電氣部件的作業(yè)流由箭頭10.1和10.2表示。將第二類別中的電氣部件的作業(yè)流分成兩個子作業(yè)流10.1和10.2的原因將在以下詳細描述。
在子作業(yè)流10.1(第二類別的一部分)中的電氣部件進行所謂的觸點和短路檢測(C&S-test)12。在觸點和短路檢測12中，檢測硬件連接和/或硬件連接的故障。因此，觸點和短路檢測12適于確定在功能檢測6中的相應部件的損壞的原因。接著，已進行觸點和短路檢測12的電氣部件分成兩個類別。通過觸點和短路檢測12的電氣部件形成第三類別14，而沒能通過觸點和短路檢測12的電氣部件形成第四類別16。
此時，存在四個電氣部件的主作業(yè)流由箭頭8表示的電氣部件的第一主作業(yè)流包括通過功能檢測6的電氣部件。這些電氣部件是合格的并且可用于另外的應用，其中可選擇的是可隨意使用來自主作業(yè)流8的電氣部件，以用于質量保證(QA)檢測或在工作中的質量保證(QAOTF)檢測。因此，依據功能檢測和/或觸點和短路檢測，再次檢測來自第一主作業(yè)流的一些電氣部件，以便檢測是否獲得相同的檢測結果。
第二主作業(yè)流14包括沒能通過功能檢測6但通過觸點和短路檢測12的電氣部件。可選擇的是，來自第二主作業(yè)流14的電氣部件可依據功能檢測6和/或觸點和短路檢測12再次進行檢測。
第三主作業(yè)流16包括沒能通過功能檢測6也沒能通過觸點和短路檢測12的電氣部件。可選擇的是，來自第三主作業(yè)流16的電氣部件可依據功能檢測6和/或觸點和短路檢測12再次進行檢測。
第四主作業(yè)流10.2(以下將詳細描述)包括成批的具有某些統計上的偏差特性的電氣部件，(該偏差特性即具有假定的已知的統計上的制造缺陷)。
在圖1所示的示例的功能檢測6中，通過測量電氣部件的至少一個參數來檢測該電氣部件的工作。該至少一個參數與對于該至少一個參數的至少一個預定參數范圍進行比較，其中如果該至少一個參數不處于其相應的參數范圍內則該電氣部件不能通過該功能檢測。由此，該至少一個參數可表示該電氣部件的物理特征，例如電阻值或電容。該至少一個參數還可涉及該電氣部件的功能特征，例如單位增益曲線、輸出電壓，該輸出電壓是輸入電壓或數字輸入-輸出關系或者合格不合格檢測的函數。
依據圖1所示的檢測方法，在功能檢測6應用之前，所述至少一個參數分類為第一種類的參數或第二種類的參數。觸點和短路檢測12僅應用于來自第二類別中的該第二種類的參數處于其相應的參數范圍內的電氣部件。來自第二類別的這些電氣部件形成子作業(yè)流10.1。然而，觸點和短路檢測12不應用于來自第二類別中的該第二種類的參數處于其相應的參數范圍外的電氣部件。來自第二類別的這些電氣部件形成子作業(yè)流10.2。在子作業(yè)流10.2中電氣部件直接認為是不合格的或拋棄。在子作業(yè)流10.1和10.2中將部件分類的原因將在以下中進行描述。
假定對于特定的成批的電氣部件，假定已知的是，特定的參數偏離預定的概率分布。這可能是例如對制造設備錯誤調節(jié)而造成的。在這種情況下，許多電氣部件不能通過功能檢測6，因此許多電氣部件通常隨后在觸點和短路檢測12中被檢測。因為檢測時間的總量顯著增加，所以這是不希望的，盡管絕大多數部件當然不能通過功能檢測是已知的。因此，在這種情況下，具有偏離的概率分布的參數假定分類為第二種類的參數，以便使得基于該參數沒能通過功能檢測的電氣部件經子作業(yè)流10.2被直接拋棄。
用于實施圖1所示的檢測部件的方法的檢測設備可設置有判斷單元20(在圖1中示意性地示出)，以便大致作出該電氣部件的估定損壞的更詳細的判定。為了大致作出所述判定，該單元20利用觸點和短路檢測12的檢測結果的其它應用。包括與這些檢測結果的相關信息的數據由實施觸點和短路檢測12的檢測設備經由數據線22傳送到裝置20。經連接裝置22提供的數據可例如包括帶有特定缺陷的電氣部件的流率。優(yōu)選的是，該單元20還經由數據連接裝置24連接到檢測設備。經連接裝置24提供的數據可例如包括電氣部件的總流率?；谶@些數據，該單元20可計算統計數據并更新統計文件。此外，該單元20可基于這些數據作出判斷，例如特定的成批部件具有較低的質量等級，或特定檢測設備有故障。
圖2示出了使用檢測設備來檢測成批的類似集成電路的電氣部件的方法的流程圖26。在圖2中，必須檢測的成批的電氣部件的作業(yè)流由27示意性地表示。用于檢測電氣部件的作業(yè)流27的方法包括第一檢測28，其中由檢測設備來檢測來自該批的每一電氣部件。通過該第一檢測的電氣部件形成第一類別30，而沒能通過該第一檢測的電氣部件形成第二類別32。該電氣部件在第一類別30中被認為是合格的并且用于另外的應用。
在第二類別32中依據第二檢測(重新檢測)34自動地使用檢測設備對電氣部件進行重新檢測，其中該第二檢測直接在第一檢測28之后進行。通過該第二檢測34的電氣部件形成第三類別36，而沒能通過第二檢測的電氣部件形成第二類別38。
在該示例中，該檢測設備在第一檢測28中建立用于實施第一檢測的第一機械觸點，并且隨后使該第一機械觸點制動。接著，該檢測設備在第二檢測34中建立用于實施第二檢測的第二機械觸點，并且隨后使第二機械觸點分離，其中第一機械觸點與第二機械觸點大致相同。以這樣的方式實施重新檢測，存在于電氣部件的一個或多個接觸點上的金屬氧化物的絕緣薄層在第一檢測28中被刮去，以便使該電氣部件在第二檢測中建立與該第二檢測的電接觸，并且由此通過該第二檢測(重新檢測)34。
依據第三檢測來檢測作業(yè)流36和38，以便檢查該檢測28和34的適當工作。
用于實施如圖2所示的檢測電氣部件的方法的檢測設備設置有判斷單元40(如圖2所示)，以便大致作出該電氣部件的估定損壞的更詳細的判定。為了大致作出所述判定，該單元40利用第一檢測28的檢測結果的其它應用。包括與這些檢測結果的相關信息的數據由實施第一檢測28的檢測設備經由數據線42傳送到單元40。經連接裝置42提供的數據可例如包括帶有特定缺陷的電氣部件的流率。優(yōu)選的是，該單元40還經由數據連接裝置44連接到用于實施第二檢測的檢測設備34。經連接裝置44提供的數據可例如包括電氣部件的總流率?；谶@些數據，該單元40可計算統計數據并更新統計文件。此外，該單元40可基于這些數據作出判斷，例如特定的成批部件具有較低的質量等級，或特定檢測設備有故障。通過將來自檢測設備28(經連接裝置42提供)的檢測數據與來檢測設備34(經連接裝置44提供)的檢測數據相比較，該統計數據可用于跟蹤檢測設備的缺陷。通過這種方式，例如可在早期檢測出檢測設備的硬件插針-觸點連接缺陷，(觸點用于建立所述機械觸點)。
在該示例的更具體的實施例中，該第一檢測28包括功能檢測，其中依據預定的參數來檢測該電氣部件的工作，并且該第二檢測34包括功能檢測以及觸點和短路檢測。觸點和短路檢測的檢測結果可用于大致作出估定損壞的判定，并且可用于相對于來自第二類別32的電氣部件的數據來更新統計文件。
可選的是，來自第一類別30的電氣部件可依據第三檢測來隨機地檢測，以便建立質量保證(QA或QAOTF)檢測。
本發(fā)明借助多個實施例進行了描述。然而，應當理解的是，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下可按照所示或所述方式之外的形式來實施。本發(fā)明不限于檢測集成電路，其可應用于檢測例如調諧電路組件或功率組件的部件。在權利要求中，在括號中的附圖標記不應理解為限定該權利要求。詞語“包括”不排除除了該權利要求所列舉的元件或步驟之外的其它元件或步驟。在元件之前的詞語“一”或“一個”不排除存在多個該元件。本發(fā)明可借助于包括多個獨立元件的硬件來實施，并且可借助于適當編程的計算機來實施。在該裝置中列舉了多個裝置，這些裝置中的幾個裝置由硬件中的一個和同一部分來體現。
權利要求
1.一種檢測成批的電氣部件的方法，該方法包括對來自該批的每一個電氣部件應用第一檢測(6、28)；和對沒通過該第一檢測(6、28)的電氣部件應用第二檢測(12、34)。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，該第一檢測包括功能檢測，該第二檢測包括觸點和短路檢測。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，該第一檢測包括測量該電氣部件的至少一個參數并且將該至少一個測量參數與對于該至少一個參數的至少一個預定參數范圍進行比較，其中如果至少一個參數不在其相應的參數范圍內則該電氣部件不能通過該第一檢測。
4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，對于至少一個參數在其相應的參數范圍外的電氣部件，不應用該第二檢測。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，該方法借助于檢測設備來執(zhí)行，該檢測設備建立與來自該批的部件接觸的第一機械觸點，以便在該部件上實施該第一檢測，并隨后使該第一機械觸點制動，并且在該第二檢測中，該檢測設備建立與該部件接觸的第二機械觸點，以便在該部件上實施第二檢測，并隨后使所述第二機械觸點分離，其中該第一機械觸點與該第二機械觸點大致相同。
6.一種制造電氣部件的方法，該方法包括供應該電氣部件；對該電氣部件應用第一檢測(6、28)；和對沒通過該第一檢測(6、28)的電氣部件應用第二檢測(12、34)。
7.一種用于檢測成批的電氣部件的檢測設備，該檢測設備包括用于對來自該批的每一個電氣部件應用第一檢測(6、28)的裝置；和用于對沒通過該第一檢測(6、28)的電氣部件應用第二檢測(12、34)的裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于檢測成批的類似集成電路的電氣部件的方法，該方法包括對來自該批的每一個電氣部件應用第一檢測(6)；和對沒通過該第一檢測(6)的電氣部件應用第二檢測(12)。有利的是，第二檢測(12)直接在第一檢測(6)之后實施。優(yōu)選的是，該第一檢測(6)包括功能檢測，該第二檢測(12)包括觸點和短路檢測。
文檔編號G01R31/26GK1524183SQ02813529
公開日2004年8月25日 申請日期2002年6月21日 優(yōu)先權日2001年7月3日
發(fā)明者C·O·茨爾克爾, J·西蒂薩克薩瓦特, C O 茨爾克爾, 偃 巳 嚀 申請人:皇家菲利浦電子有限公司