專利名稱:移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種對(duì)扁平對(duì)象物的表面形狀、特別是研磨平板的加工表面形狀加以測(cè)定的移動(dòng)式測(cè)定裝置。
現(xiàn)有技術(shù)使用于脆性材料的精密加工、GMR頭的高精度曲面加工等中的研磨平板具有形成細(xì)微的螺旋槽的平坦或撓曲的加工表面。為了維持高的加工精度,需要將加工表面的整體形狀、細(xì)微形狀維持于適宜狀態(tài)。為了將加工表面的整體形狀、細(xì)微形狀維持于適宜狀態(tài),需要正確測(cè)定加工表面的整體形狀、細(xì)微形狀。
以往,研磨平板的加工表面形狀的測(cè)定通過(guò)以下的裝置實(shí)現(xiàn)。
A、平面度、圓球度等加工表面的整體形狀的測(cè)定a、間距規(guī)b、三維測(cè)定器c、比較儀、刻盤規(guī)B、槽形狀等的加工表面的細(xì)微形狀的測(cè)定a、表面粗糙度計(jì)b、掃描型電子顯微鏡以往的測(cè)定裝置具有以下的問(wèn)題。
間距規(guī)由于為點(diǎn)的測(cè)定,漏過(guò)局部性變形的可能性較大。
三維測(cè)定器、比較儀、刻盤規(guī)能夠測(cè)定從研磨機(jī)上取下的研磨平板的加工表面形狀,但不能測(cè)定安裝于研磨機(jī)上的研磨平板的加工表面形狀。
表面粗糙度計(jì)不適用于Z方向(扁平對(duì)象物的厚度方向)的可測(cè)定范圍未滿1mm的球面的測(cè)定。
掃描型電子顯微鏡由于測(cè)定的時(shí)間較長(zhǎng),不適于寬大表面的測(cè)定。
間距規(guī)、三維測(cè)定器、表面粗糙度計(jì)、比較儀等的接觸測(cè)定裝置在研磨平板為錫等軟質(zhì)金屬制的情況下,不能得到加工表面的正確測(cè)定、傷及加工表面的可能性較高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的為提供一種能夠容易并正確地測(cè)定安裝在研磨機(jī)上的研磨平板的加工表面的整體形狀和細(xì)微形狀的移動(dòng)式測(cè)定裝置。
本發(fā)明的另一目的為提供一種能夠容易并正確地測(cè)定搭載于裝置上的扁平對(duì)象物的表面的整體形狀和細(xì)微形狀的移動(dòng)式測(cè)定裝置。
本發(fā)明提供的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置的特征為,具有直線狀導(dǎo)軌,可沿導(dǎo)軌移動(dòng)地與導(dǎo)軌結(jié)合的工作臺(tái),可在導(dǎo)軌的垂直于長(zhǎng)軸的橫軸方向上移動(dòng)地與工作臺(tái)結(jié)合的載物臺(tái),固定在載物臺(tái)上的非接觸變位傳感器,驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的第1驅(qū)動(dòng)裝置,檢測(cè)非接觸變位傳感器的長(zhǎng)軸坐標(biāo)的第1坐標(biāo)檢測(cè)裝置,驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)的第2驅(qū)動(dòng)裝置,檢測(cè)非接觸變位置傳感器的橫軸坐標(biāo)的第2坐標(biāo)檢測(cè)裝置,使用導(dǎo)軌的橫軸方向撓曲來(lái)修正非接觸變位傳感器的橫軸坐標(biāo)的坐標(biāo)修正裝置,支持導(dǎo)軌的支持部件,和相對(duì)被測(cè)定表面定位支持部件的支持部件定位裝置。
通過(guò)將支持部件相對(duì)于被測(cè)定表面定位,將直線狀導(dǎo)軌連接在支持部件上,將可沿直線狀導(dǎo)軌移動(dòng)的非接觸式變位傳感器向?qū)к壍拈L(zhǎng)軸方向的第1位置移動(dòng),測(cè)定非接觸變位傳感器與被測(cè)定表面之間的橫軸方向距離,檢測(cè)非接觸變位傳感器的第1位置的長(zhǎng)軸坐標(biāo),檢測(cè)非接觸變位傳感器的第2位置的橫軸坐標(biāo),使用非接觸變位傳感器與被測(cè)定表面之間的橫軸方向的距離、非接觸變位傳感器的第2位置的橫軸坐標(biāo)、根據(jù)導(dǎo)軌的橫軸方向的撓曲修正非接觸變位傳感器的第2位置的橫軸坐標(biāo)的修正值來(lái)算出被測(cè)定表面的測(cè)定點(diǎn)的橫軸坐標(biāo),并算出在非接觸變位傳感器的各種不同的第1位置上的被測(cè)定表面的測(cè)定點(diǎn)橫軸坐標(biāo),可以容易并正確地測(cè)定被測(cè)定表面的整體形狀與細(xì)微形狀。
通過(guò)使用支持部件定位裝置,能夠容易地使支持部件相對(duì)于被測(cè)定表面定位。
通過(guò)將支持部件相對(duì)于被測(cè)定表面定位,將直線狀導(dǎo)軌連接于支持部件上,能夠在較小的重量負(fù)擔(dān)下容易地使移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置相對(duì)于被測(cè)定表面定位。
附圖簡(jiǎn)述
圖1為本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置的俯視圖。
圖2為本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置的側(cè)視圖。
圖3為本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置具有的定位夾具的立體圖。
圖4為本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置具有的支持腿部的側(cè)視圖。
圖5為本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置的數(shù)據(jù)處理部的框圖。
圖6為本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置的側(cè)視圖。
圖7為Z軸坐標(biāo)Zn的計(jì)算程序的說(shuō)明圖。
圖8為本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置的數(shù)據(jù)處理的流程圖。
圖9為特異點(diǎn)除去處理的說(shuō)明圖。
圖10為篩選處理的說(shuō)明圖。
圖11為頂點(diǎn)數(shù)據(jù)生成處理的說(shuō)明圖。
圖12為槽形狀數(shù)據(jù)生成處理的說(shuō)明圖。
圖13為R數(shù)據(jù)生成處理的說(shuō)明圖。
圖14為ΔR數(shù)據(jù)生成處理的說(shuō)明圖。
圖15為傾斜修正處理的說(shuō)明圖。
圖16為示出測(cè)定數(shù)據(jù)的圖表表示一例的視圖。
圖17為示出測(cè)定數(shù)據(jù)的圖表表示一例的視圖。
圖18為示出測(cè)定數(shù)據(jù)的圖表表示一例的視圖。
圖19為示出測(cè)定數(shù)據(jù)的數(shù)值表示一例的視圖。
圖20為研磨平板的剖面圖。
圖21為檢查支持腿的材料與導(dǎo)軌的直線度的關(guān)系用的測(cè)定裝置的側(cè)視圖。
圖22為圖21的局部放大圖。
圖23為示出由測(cè)定得到的支持腿的材料與導(dǎo)軌的直線度的關(guān)系的視圖。
圖24為比較各種支持腿用材料的物理特性的視圖。
實(shí)施發(fā)明的較佳實(shí)施例如圖1~圖4所示,本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20由氧化鋁陶瓷、碳化硅等每單位質(zhì)量的縱彈性系數(shù)大的材料構(gòu)成的、具有中空斷面的直線狀導(dǎo)軌1。導(dǎo)軌1的兩端由一對(duì)支柱10支持。導(dǎo)軌1與一對(duì)支柱10裝配成一體。
X軸工作臺(tái)4可沿導(dǎo)軌1在導(dǎo)軌1的長(zhǎng)軸X方向上移動(dòng)地與導(dǎo)軌1結(jié)合。X軸工作臺(tái)4通過(guò)空氣軸承41由導(dǎo)軌1支持。X軸工作臺(tái)4由X軸電機(jī)42驅(qū)動(dòng)。在移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20非工作時(shí),X軸工作臺(tái)4在導(dǎo)軌1的一端附近的原點(diǎn)位置。
Z軸載物臺(tái)3可在垂直于X軸的Z軸方向移動(dòng)地與X軸工作臺(tái)4結(jié)合。Z軸載物臺(tái)3由Z軸電機(jī)5驅(qū)動(dòng)。在移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20非工作時(shí),Z軸載物臺(tái)3在X軸附近的原點(diǎn)位置。
靜電容量傳感器、渦電流傳感器、纖維(金屬絲)傳感器、激光傳感器等非接觸式變位傳感器9固定于Z軸載物臺(tái)3上。最好為測(cè)定點(diǎn)直徑小、測(cè)定精度高的激光傳感器。
檢測(cè)非接觸式變位傳感器9的X軸坐標(biāo)的X軸線性標(biāo)尺2安裝在導(dǎo)軌1上。檢測(cè)非接觸式變位傳感器9的Z軸坐標(biāo)的Z軸線性標(biāo)尺32安裝在X軸工作臺(tái)4上。
一對(duì)支柱10由一對(duì)裝卸用夾具15可裝卸地固定在一對(duì)支持臺(tái)11上。多個(gè)支持腿12與支持臺(tái)11螺紋連接。手柄17固定在支持腿12上。螺母18與支持腿12螺紋連接。
在一對(duì)支持臺(tái)11之間設(shè)置有與導(dǎo)軌1平行延伸的標(biāo)尺14。一對(duì)支持臺(tái)11與標(biāo)尺14組裝成一體。一對(duì)定位夾具13可在標(biāo)尺14的長(zhǎng)軸方向移動(dòng)地與標(biāo)尺14固定結(jié)合。定位夾具13具有與標(biāo)尺14的結(jié)合部13a、可與被測(cè)定物的圓周側(cè)面接觸的位置配合部13b、可與被測(cè)定物的測(cè)定表面周緣部接觸的位置配合面13c。位置配合面13c與位于原點(diǎn)位置的非接觸式變位傳感器9之間的Z軸方向距離被設(shè)定在非接觸式變位傳感器9的測(cè)定有效距離的范圍內(nèi)。
如圖5所示,本發(fā)明實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20具有帶計(jì)算回路51、變位數(shù)據(jù)輸入回路52、數(shù)據(jù)計(jì)算處理部53、撓曲修正數(shù)據(jù)記憶部54、表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55、伺服控制器56、顯示裝置57的數(shù)據(jù)處理部。
以下對(duì)使用移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20、沿研磨平板的直徑線測(cè)定安裝在研磨機(jī)上的研磨平板的加工表面形狀時(shí)、移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的設(shè)置程序進(jìn)行說(shuō)明。
如圖2所示,在研磨機(jī)100的水平并平坦的上面100a上,固定載置有圓環(huán)板狀的研磨平板7。研磨平板7具有球面狀的加工表面7a。
操作裝卸用夾具15,將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20分離成包含導(dǎo)軌1的第1部分與包含支持臺(tái)11的第2部分。
根據(jù)研磨平板7的外直徑、以及非接觸式變位傳感器9與定位夾具13的位置配合部13b之間的與導(dǎo)軌1垂直方向的水平距離,一面觀察標(biāo)尺14的刻度,一面調(diào)整一對(duì)定位夾具13之間的距離,以使非接觸式變位傳感器9在研磨平板7的直徑線上移動(dòng)。
回轉(zhuǎn)手柄17,調(diào)整支持腿12的有效長(zhǎng)度L,使定位夾具13的位置配合面13c的高度與研磨平板7的周緣部7b的高度相同。擰緊螺母18,固定支持腿12的有效長(zhǎng)度L為調(diào)整值。
使一對(duì)位置配合部13b與研磨平板7的圓周側(cè)面接觸、一對(duì)位置配合面13c與研磨平板7的周緣部7b接觸,以將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第2部分載置于研磨機(jī)100的上面100a上。
將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第1部分載置在移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第2部分上,操作裝卸用夾具15,將第1部分固定在第2部分上。
在移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的設(shè)置結(jié)束后,導(dǎo)軌1平行于研磨機(jī)100的上面100a地延伸,非接觸式變位傳感器9位于研磨平板7的直徑線上,非接觸式變位傳感器9與研磨平板7的加工表面7a之間的Z方向的距離在非接觸式變位傳感器9的測(cè)定有效距離的范圍內(nèi)。
關(guān)于移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的設(shè)置,移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20具有以下優(yōu)點(diǎn)。
(1)通過(guò)使用定位夾具13,能夠容易地將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20相對(duì)于研磨平板7定位,以使非接觸式變位傳感器9在研磨平板7的直徑線上移動(dòng)。定位夾具13可廣泛地使用于各種形狀、尺寸的測(cè)定對(duì)象物上。
(2)通過(guò)調(diào)整支持腿12的有效長(zhǎng)度L,能夠?qū)⒎墙佑|式變位傳感器9與研磨平板7的加工表面7a之間的Z方向距離容易設(shè)定在非接觸式變位傳感器9的測(cè)定有效距離內(nèi)。
(3)通過(guò)調(diào)整支持腿12的有效長(zhǎng)度L,能夠在將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第1部分載置于第2部分上時(shí),防止位于原點(diǎn)位置的非接觸式變位傳感器9與研磨平板7的加工表面7a的干涉,防止因干涉引起的加工表面7a的損傷。
(4)通過(guò)獨(dú)立調(diào)整多個(gè)支持腿12的有效長(zhǎng)度L,即使在圖6所示的在研磨機(jī)100的上面100a上存在臺(tái)階的情況下,或者在研磨機(jī)100的上面100a傾斜的情況下,也可將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20穩(wěn)定地載置于研磨機(jī)100的上面100a上。
(5)通過(guò)將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第2部分相對(duì)于研磨平板7定位并載置于研磨機(jī)100上,然后將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第1部分載置固定于第2部分上,能夠在較小的重量負(fù)擔(dān)下將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20容易地載置于研磨機(jī)100上。如果準(zhǔn)備多個(gè)第2部分,可以在多個(gè)研磨平板7的每個(gè)上預(yù)先定位第2部分,將單一的第1部分依次載置于各第2部分上,能夠依次測(cè)定多個(gè)研磨平板7的加工表面形狀。通過(guò)多個(gè)低價(jià)的第2部分共享高價(jià)的第1部分,以降低表面形狀的測(cè)定費(fèi)用。
以下參照?qǐng)D5對(duì)由移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20對(duì)研磨平板7的加工表面形狀的測(cè)定程序進(jìn)行說(shuō)明。
使用者起動(dòng)控制軟件,輸入測(cè)定開始位置、測(cè)定結(jié)束位置、測(cè)定間距等測(cè)定條件。
X軸電機(jī)42動(dòng)作,X軸工作臺(tái)4從原點(diǎn)位置向測(cè)定開始位置移動(dòng)。非接觸式變位傳感器9的X軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Xn從X軸線性標(biāo)尺2輸入到計(jì)算回路51中。X軸工作臺(tái)4到達(dá)測(cè)定開始位置時(shí),測(cè)定觸發(fā)脈沖被從計(jì)算回路51向變位數(shù)據(jù)輸入回路52輸入,以開始測(cè)定。
非接觸式變位傳感器9測(cè)定與研磨平板7的加工表面7a之間Z軸方向的距離,根據(jù)測(cè)定值,伺服控制器56反饋控制Z軸電機(jī)5,Z軸載物臺(tái)3向使非接觸式變位傳感器9與研磨平板7的加工表面7a之間的Z軸方向距離成為非接觸式變位傳感器9的最適測(cè)定距離(在測(cè)定有效距離為5±0.3mm的激光傳感器的情況下約為5mm)的位置移動(dòng)。非接觸式變位傳感器9測(cè)定與研磨平板7的加工表面7a之間Z軸方向的距離Zi。測(cè)定的數(shù)據(jù)Zi從非接觸式變位傳感器9向變位數(shù)據(jù)輸入回路52輸入。非接觸式變位傳感器9的Z軸坐標(biāo)Zs從Z軸線性標(biāo)尺32輸入到數(shù)據(jù)輸入回路52中。
非接觸式變位傳感器9的測(cè)定數(shù)據(jù)Zi和非接觸式變位傳感器9的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zs從變位數(shù)據(jù)輸入回路52輸入到計(jì)算處理部53中。非接觸式變位傳感器9的X軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Xn從計(jì)算回路51輸入到數(shù)據(jù)計(jì)算處理部53中。
根據(jù)因?qū)к?的自重與X軸工作臺(tái)4的重量引起的導(dǎo)軌1在Z軸方向的撓曲,來(lái)修正非接觸式變位傳感器9的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zs的撓曲修正數(shù)據(jù)Δz被預(yù)先記憶在撓曲修正數(shù)據(jù)記憶部54中,撓曲修正數(shù)據(jù)Δz從撓曲修正數(shù)據(jù)記憶部54輸入到數(shù)據(jù)計(jì)算處理部53中。
在數(shù)據(jù)計(jì)算部53中,如圖7所示,使用測(cè)定數(shù)據(jù)Zi、非接觸式變位傳感器9的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zs、撓曲修正數(shù)據(jù)Δz,算出加工表面7a的測(cè)定點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)Zn。
加工表面7a的測(cè)定點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn和X軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Xn被從數(shù)據(jù)計(jì)算處理部53輸入、記憶到表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。
X軸工作臺(tái)4向研磨機(jī)7的直徑線上的下一個(gè)測(cè)定位置移動(dòng),進(jìn)行加工表面7a的測(cè)定,數(shù)據(jù)計(jì)算處理部53算出測(cè)定點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn,表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55記憶Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn和X軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Xn。
重復(fù)進(jìn)行X軸工作臺(tái)4的移動(dòng)和加工表面7a的測(cè)定、由數(shù)據(jù)計(jì)算處理部53進(jìn)行的測(cè)定點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)Zn的計(jì)算、由表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55進(jìn)行的測(cè)定點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn和X軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Xn的記憶,將研磨平板7的一條直徑線上的加工表面7a的形狀數(shù)據(jù)儲(chǔ)存在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。
回轉(zhuǎn)研磨平板7,在研磨平板7的多個(gè)直徑線上進(jìn)行加工表面7a的測(cè)定,研磨平板7的多個(gè)直徑線上的加工表面7a的形狀數(shù)據(jù)儲(chǔ)存在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。例如,研磨平板7每次轉(zhuǎn)45度,在4個(gè)直徑線上進(jìn)行加工表面7a的測(cè)定,將研磨平板7的4個(gè)直徑線上的加工表面7a的形狀數(shù)據(jù)儲(chǔ)存在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。
有關(guān)加工表面7a的形狀測(cè)定,移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20具有以下優(yōu)點(diǎn)。
(1)由于由氧化鋁陶瓷、碳化硅等每單位重量的縱彈性系數(shù)大的材料形成的中空斷面的導(dǎo)軌1在Z軸方向的撓曲微小,移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的測(cè)定精度高。
(2)由于氧化鋁陶瓷、碳化硅等線膨脹系數(shù)小,即使環(huán)境溫度變化,也能較高地維持移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的測(cè)定精度。
(3)由于X軸工作臺(tái)4通過(guò)空氣軸承41由導(dǎo)軌1支持著,在X軸工作臺(tái)4移動(dòng)時(shí),不會(huì)發(fā)生滾動(dòng)軸承產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動(dòng)、粘著滑動(dòng)所引起的振動(dòng)。從而,移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的測(cè)定精度高。
(4)由于X軸工作臺(tái)4通過(guò)空氣軸承41由導(dǎo)軌1支持著,X軸工作臺(tái)4與導(dǎo)軌1的滑動(dòng)阻抗小,X軸電機(jī)42的發(fā)熱量少,導(dǎo)軌1的熱變形量小。從而,移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的測(cè)定精度高。
(5)由于X軸工作臺(tái)4通過(guò)空氣軸承41由導(dǎo)軌1支持著,X軸工作臺(tái)4與導(dǎo)軌1的滑動(dòng)面很難劣化。從而,移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的測(cè)定精度可以在長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)較高地維持。
(6)由于非接觸式變位傳感器9與研磨平板7的加工表面7a之間的在Z軸方向的距離維持于非接觸式變位傳感器9的最適測(cè)定距離,能夠正確地測(cè)定非接觸式變位傳感器9與研磨平板7的加工表面7a之間在Z軸方向的距離,由于修正導(dǎo)軌1在Z軸方向的撓曲,能夠正確地測(cè)定研磨平板7的加工表面7a的細(xì)微形狀。
(7)由于能夠在研磨平板7的多個(gè)直徑線上的多個(gè)位置上正確地測(cè)定加工表面7a的形狀,能夠正確地測(cè)定研磨平板7的加工表面7a的全體形狀。
(8)由于研磨平板7的一個(gè)直徑線上的加工表面7a的形狀測(cè)定為根據(jù)控制軟件自動(dòng)地進(jìn)行的,能夠容易并正確地測(cè)定研磨機(jī)7的加工表面7a的整體形狀和細(xì)微形狀。
以下對(duì)記憶在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中的加工表面7a的形狀數(shù)據(jù)的處理程序進(jìn)行說(shuō)明。
數(shù)據(jù)計(jì)算處理部53從表面形狀記憶部55取得加工表面7a的表面形狀數(shù)據(jù),并處理這些數(shù)據(jù)。表面形狀數(shù)據(jù)的處理以圖8所示的程序進(jìn)行。以下詳述形狀數(shù)據(jù)的處理程序。
(1)除去特異點(diǎn)如圖9所示,在與周邊點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn的平均值相比較存在突出的Z軸坐標(biāo)Zn的情況下,將該突出的Z軸坐標(biāo)Zn視為特異點(diǎn)而平滑化。結(jié)果,能夠除去因非接觸式變位傳感器9的激光光線的漫反射、附著于加工表面7a上的灰塵或臟物等引起的測(cè)定誤差。周邊測(cè)定點(diǎn)的數(shù)量、突出量的閾值能夠由使用者設(shè)定。
(2)過(guò)濾處理如圖10所示,使特異點(diǎn)平滑化后的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn通過(guò)FIR型低通濾波器,將高頻雜波除去,截止頻率能夠由使用者設(shè)定。
(3)頂點(diǎn)數(shù)據(jù)生成如圖11所示,檢測(cè)出除去高頻雜波后的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn的周期性波的波頂與波底,作為波頂數(shù)據(jù)、波底數(shù)據(jù)記憶在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。
通過(guò)算出波頂?shù)陌j(luò)線,能夠把握研磨平板7的與加工對(duì)象物的接觸面的形狀。
通過(guò)算出波底的包絡(luò)線,能夠把握成形加工表面7a的機(jī)床的加工精度。
(4)槽形狀數(shù)據(jù)的生成如圖12所示,算出除去高頻雜波后的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn的各波的峰寬、槽深、槽面積,以作為槽形狀數(shù)據(jù)記憶在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。
由于隨著研磨平板7的使用,形成于加工表面7a上的螺旋槽的峰寬增加,槽深減少,能夠根據(jù)槽形狀數(shù)據(jù),把握研磨平板7的磨損度,在研磨平板7的加工表面7a的再加工期間,能夠把握研磨平板7的更換時(shí)間等。
(5)R數(shù)據(jù)的生成使用波頂數(shù)據(jù),算出加工表面7a的半徑R,作為R數(shù)據(jù)記憶在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。
如圖13所示,將波頂數(shù)據(jù)沿X軸3等分為領(lǐng)域I、領(lǐng)域II、領(lǐng)域III。從各領(lǐng)域取得1個(gè)波頂數(shù)據(jù),檢測(cè)3個(gè)波頂數(shù)據(jù)的關(guān)系(凹、凸、平坦)。從各領(lǐng)域取得1個(gè)新的波頂數(shù)據(jù),檢測(cè)3個(gè)波頂數(shù)據(jù)的關(guān)系。將上述程序反復(fù)N次(N為各領(lǐng)域內(nèi)的波頂數(shù)據(jù)數(shù)),將最多的形狀判斷為波頂數(shù)據(jù)的形狀。
在波頂數(shù)據(jù)的形狀為凹或凸的情況下,從各領(lǐng)域取得1個(gè)波頂數(shù)據(jù),計(jì)算通過(guò)3個(gè)波頂數(shù)據(jù)的圓。從各領(lǐng)域取得1個(gè)新的波頂數(shù)據(jù),計(jì)算通過(guò)3個(gè)波頂數(shù)據(jù)的圓。n次重復(fù)上述程序。在計(jì)算的圓的半徑比預(yù)定值r大的情況下,可視為波頂數(shù)據(jù)的形狀平坦,中止重復(fù)計(jì)算圓。將n個(gè)圓的半徑的平均值、中心坐標(biāo)的平均值判斷為形成加工表面7a的圓弧的半徑R、中心坐標(biāo)。反復(fù)數(shù)n、預(yù)定值r能夠由使用者設(shè)定。
在波頂數(shù)據(jù)的形狀平坦的場(chǎng)合,將根據(jù)全波頂數(shù)據(jù)計(jì)算的最小平方近似直線認(rèn)定為加工表面7a的表面形狀。
由于在加工表面7a的成形加工時(shí),以實(shí)現(xiàn)預(yù)先設(shè)定的半徑R來(lái)成形加工該加工表面7a,通過(guò)加工結(jié)束后測(cè)定加工表面7a的形狀,算出半徑R,能夠把握形成加工該加工表面7a的機(jī)床的加工精度。
在加工表面7a的形狀管理中,R數(shù)據(jù)能夠起到作用。
(6)ΔR數(shù)據(jù)的生成如圖14所示,算出使用波頂數(shù)據(jù)算出的加工表面7a的半徑R的圓弧與頂點(diǎn)數(shù)據(jù)在Z軸方向的偏差ΔR,作為ΔR數(shù)據(jù)記憶在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中。
通過(guò)ΔR能夠把握加工表面7a的凹凸。
如果設(shè)定ΔR的允許范圍,根據(jù)ΔR數(shù)據(jù),能夠進(jìn)行加工表面7a的形狀管理。
根據(jù)ΔR在X軸方向的分布,能夠把握因研磨平板7的徑向位置而導(dǎo)致的加工精度的波動(dòng)。
(7)傾斜修正如圖15所示,除去高頻雜波的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn被整體回轉(zhuǎn),除去數(shù)據(jù)整體的傾斜,容易地得到Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn。通過(guò)傾斜修正,不需要研磨平板7與移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的嚴(yán)密的平行調(diào)整,縮短了平行調(diào)整所需的時(shí)間。
(8)圖表表示如圖16至圖18所示,通過(guò)將上述的各種數(shù)據(jù)圖表顯示在顯示裝置57的畫面上,能夠直觀地把握研磨平板7a的狀態(tài)。
圖16以圖表顯示了一直徑線上的加工表面7a的形狀。上圖示出了除去高頻雜波后的Z軸坐標(biāo)數(shù)據(jù)Zn在X軸方向的分布,下圖示出了ΔR的X軸方向分布。在畫面的右側(cè)示出了測(cè)定條件(測(cè)定開始點(diǎn)、測(cè)定結(jié)束點(diǎn)、測(cè)定間距、測(cè)定點(diǎn)數(shù)、測(cè)定速度)、半徑R、最大ΔR、最小ΔR、最大ΔR與最小ΔR的差ΔH等。通過(guò)圖表示出了半徑R、最大ΔR、最小ΔR、最大ΔR與最小ΔR的差ΔH等,能夠容易地把握研磨平板的加工表面7a被要求的形狀與實(shí)際形狀的差。
圖17的上圖為圖16的局部放大圖。
圖18表示結(jié)合多個(gè)直徑線上的測(cè)定結(jié)果得到的加工表面7a的三維形狀。
圖19以數(shù)值表示各種數(shù)據(jù)。通過(guò)數(shù)值表示各種數(shù)據(jù),能夠容易地把握這些數(shù)據(jù)是否在允許范圍內(nèi)。
特別是R、ΔR、最大ΔR與最小ΔR的差ΔH在管理研磨平板7的加工精度上最為重要。
在顯示出根據(jù)遍布直徑整體的數(shù)據(jù)算出的R的同時(shí),希望也顯示出僅根據(jù)遍布半徑的數(shù)據(jù)算出的R。由于切削加工加工表面7的機(jī)床是在研磨平板回轉(zhuǎn)的同時(shí)在半徑方向驅(qū)動(dòng)切削刃以對(duì)加工表面進(jìn)行切削加工的,通過(guò)將根據(jù)遍布直徑的數(shù)據(jù)算出的R與根據(jù)遍布半徑的數(shù)據(jù)算出的R相比較,能夠把握機(jī)床的加工精度。例如圖20所示,由于機(jī)床的加工精度低,會(huì)有加工表面7a不是單一球面而成為環(huán)狀的情況。此時(shí),根據(jù)遍布直徑整體的數(shù)據(jù)算出的R1與根據(jù)遍布半徑的數(shù)據(jù)算出的R2不一致。如果兩者一致,機(jī)床的加工精度高。
將加工表面7a的開始使用前的形狀數(shù)據(jù)作為形狀數(shù)據(jù)的初期值預(yù)先記憶在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中,將加工表面7a的開始使用后的形狀數(shù)據(jù)與形狀數(shù)據(jù)的初期值相比較,將兩者的差作為加工表面7a的劣化數(shù)據(jù)記憶在表面形狀數(shù)據(jù)記憶部55中,也可在顯示裝置57上顯示。使研磨平板7的加工表面7a的再加工時(shí)間、研磨平板7的更換時(shí)間等正?;?br>
在超過(guò)了加工表面7a的劣化允許程度的情況下,可在顯示裝置57上顯示警報(bào)。使研磨平板7的加工表面7a的再加工時(shí)間、研磨平板7的更換時(shí)間正常化。
在定期地進(jìn)行加工表面7a的形狀測(cè)定,最新劣化數(shù)據(jù)的由前次測(cè)定時(shí)劣化數(shù)據(jù)的增加值超過(guò)允許程度的情況下,可在顯示裝置57上顯示警報(bào),以使研磨平板的更換期限正?;?br>
在將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20設(shè)置在研磨機(jī)100的上面100a上的狀態(tài)下,可將原點(diǎn)位置的非接觸變位傳感器9的Z軸坐標(biāo)Zs標(biāo)記在支持臺(tái)11上。通過(guò)以該標(biāo)記位于比加工表面7a上方的狀態(tài)調(diào)整支持腿12的有效長(zhǎng)度L,在將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第1部分載置于第2部分上時(shí),能夠防止非接觸變位傳感器9干涉加工表面7a。
在將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20設(shè)置在研磨機(jī)100的上面100a上的狀態(tài)下,可將原點(diǎn)位置的非接觸變位傳感器的Z軸坐標(biāo)Zs標(biāo)記在定位夾具13上。通過(guò)以該標(biāo)記位于比加工表面7a上方的狀態(tài)調(diào)整支持腿12的有效長(zhǎng)度L,在將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第1部分載置于第2部分上時(shí),能夠防止非接觸變位傳感器9干涉加工表面7a。
以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明,但本發(fā)明并不限于上述實(shí)施例。
支持腿12也可由非氧化物系陶瓷制成。支持腿12也可由非氧化物系陶瓷覆蓋。也可在研磨機(jī)100的上面100a上敷設(shè)非氧化物系陶瓷制的薄板,并在該薄板上設(shè)置支持腿12。
由于陶瓷耐熱性、強(qiáng)度、耐腐蝕性、耐磨耗性、耐沖擊性好,熱膨脹率小,適合于作為支持腿12的材料。特別是由于非氧化物系陶瓷與氧化物系陶瓷相比磨擦系數(shù)小,通過(guò)支持腿12由非氧化物系陶瓷制成、或支腳12由非氧化物系陶瓷覆蓋、或在研磨機(jī)100的上面100a上敷設(shè)非氧化物系陶瓷制的薄板并在該薄板上設(shè)置支持腿12,在將移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20設(shè)置于研磨機(jī)100的上面100a上時(shí),抑制因作用在支持腿12上的磨擦力引起的支持腿12的變形,抑制因支持腿12的變形而引起的導(dǎo)軌1的直線度的降低,提高移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的精度。即使在非氧化物系陶瓷中,從通用性的觀點(diǎn)上看,也以碳化硅、氮化硅為好,作為覆蓋支持腿12的非氧化物系陶瓷,除上述以外碳化鈦也有效。
通過(guò)實(shí)驗(yàn),對(duì)支持腿12的材料對(duì)導(dǎo)軌1的直線度產(chǎn)生的影響進(jìn)行了檢查,以下說(shuō)明實(shí)驗(yàn)的程序與結(jié)果。
如圖21、22所示,將前述實(shí)施例的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20載置于氧化鋁陶瓷制的研磨平板200上,使用推拉計(jì)21向1點(diǎn)支持側(cè)的支持腿部12的前端部施加24.5N的X軸向的載荷,接著將該載荷卸載。使用電測(cè)千分尺22測(cè)定導(dǎo)軌1的中央部B、兩端部A、C的施加載荷前和卸載載荷后的Z軸坐標(biāo)的變化量。使用淬火處理過(guò)的不銹鋼、作為非氧化物系陶瓷的碳化硅、氮化硅、作為氧化物系陶瓷的氧化鋁陶瓷、氧化鋁作為支持腿12的材料,對(duì)支持腿12的材料和前述Z軸坐標(biāo)的變化量的關(guān)系進(jìn)行研究。
如圖23中測(cè)定結(jié)果所示。從圖23可知,作為支持腿12的材料使用碳化硅、氮化硅時(shí),Z軸坐標(biāo)的變化量最小??紤]到由于碳化硅、氮化硅與氧化鋁陶瓷之間的磨擦小,通過(guò)X軸方向載荷的卸載,支持腿12在研磨平板200上滑動(dòng),釋放了支持腿12的變形,從而導(dǎo)軌1的Z軸方向的殘留變位微小。使用不銹鋼制的支持腿12,在研磨平板200的支持腿設(shè)置部上粘貼聚四氟乙烯帶再進(jìn)行上述測(cè)定的場(chǎng)合,與不粘貼該帶的情況相比,Z軸坐標(biāo)的變化量降低。由于設(shè)置于帶上的支持腿12具有隨著時(shí)間而沉降的可能性,最好在研磨平板200上敷設(shè)非氧化物系陶瓷制的薄板,在該薄板上設(shè)置支持腿12。
碳化硅、氮化硅、氧化鋁陶瓷、氧化鋯、聚四氟乙烯(PTFE)、不銹鋼的低磨擦性、硬度、彎曲強(qiáng)度、輕量性、耐熱性、耐腐蝕性、耐磨耗性的評(píng)價(jià)如圖24所示。由圖24可知,在低磨耗性上,為氟系樹脂的聚四氟乙烯優(yōu),而從耐熱性、硬度、耐腐蝕性、耐磨耗性、耐沖擊性、低熱膨脹性等考慮,作為支持腿12的材料以陶瓷為好,再者,從耐磨性、低磨擦性的觀點(diǎn)看,作為支持腿12的材料以作為非氧化物系的碳化硅、氮化硅等為好。碳化鈦也為非氧化物系陶瓷,由于低磨擦性優(yōu),適于作為支持腿12的覆蓋材料。
在為了使移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20輕型化,在將導(dǎo)軌1尺寸減小的情況下,為了維持導(dǎo)軌1的直線度,需要降低支持腿12與研磨機(jī)100的上面100a之間的磨擦。在移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置20的第2部分上載置第1部分時(shí),如果兩者的接觸面不平行,第2部分的接觸面作為第1部分的接觸面的仿形在支持腿12發(fā)生變形,有使導(dǎo)軌1的直線度降低的可能。從抑制這種事態(tài)的發(fā)生的觀點(diǎn)看,也需要降低支持腿12與研磨機(jī)100的上面100a之間的磨擦。
使用氧化鋁陶瓷制的研磨平板200的測(cè)定結(jié)果在圖23中示出,即使使用鐵制研磨平板測(cè)定,盡管Z軸坐標(biāo)的變化量的絕對(duì)值不同,但也能得到與圖23同樣的結(jié)果。
發(fā)明在產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置不僅利用于研磨平板的測(cè)定,也可利用于模具、反光鏡、透鏡、陶瓷板等各種扁平對(duì)象的表面形狀的測(cè)定。
權(quán)利要求
1.一種移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,具有直線狀導(dǎo)軌,可沿導(dǎo)軌移動(dòng)地與導(dǎo)軌結(jié)合的工作臺(tái),可在導(dǎo)軌的垂直于長(zhǎng)軸的橫軸方向上移動(dòng)地與工作臺(tái)結(jié)合的載物臺(tái),固定在載物臺(tái)上的非接觸變位傳感器,驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的第1驅(qū)動(dòng)裝置,檢測(cè)非接觸變位傳感器的長(zhǎng)軸坐標(biāo)的第1坐標(biāo)檢測(cè)裝置,驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)的第2驅(qū)動(dòng)裝置,檢測(cè)非接觸變位傳感器的橫軸坐標(biāo)的第2坐標(biāo)檢測(cè)裝置,使用導(dǎo)軌的橫軸方向撓曲來(lái)修正非接觸變位傳感器的橫軸坐標(biāo)的坐標(biāo)修正裝置,支持導(dǎo)軌的支持部件,和相對(duì)被測(cè)定表面定位支持部件的支持部件定位裝置。
2.按照權(quán)利要求1所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,導(dǎo)軌可裝卸地連接在導(dǎo)軌支持部件上。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,支持部件具有長(zhǎng)度可調(diào)整的多個(gè)支持腿。
4.按照權(quán)利要求3所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,位于原點(diǎn)位置的非接觸變位傳感器的橫軸坐標(biāo)被標(biāo)記于支持部件上。
5.按照權(quán)利要求3所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,位于原點(diǎn)位置的非接觸變位傳感器的橫軸坐標(biāo)被標(biāo)記于支持部件定位裝置上。
6.按照權(quán)利要求3所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,支持腿由非氧化物陶瓷制成。
7.按照權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,具有將非接觸式變位傳感器與被測(cè)定表面之間的距離維持一定的距離維持裝置。
8.按照權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,非接觸變位傳感器為激光變位傳感器。
9.按照權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,具有支持工作臺(tái)的空氣軸承。
10.按照權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,導(dǎo)軌由陶瓷制成。
11.按照權(quán)利要求1至10任一項(xiàng)所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,具有測(cè)定數(shù)據(jù)記憶裝置與測(cè)定數(shù)據(jù)分析裝置。
12.按照權(quán)利要求11所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,具有記憶被測(cè)定表面的初期形狀數(shù)據(jù)的初期形狀數(shù)據(jù)記憶裝置和根據(jù)初期數(shù)據(jù)與測(cè)定數(shù)據(jù)檢測(cè)被測(cè)定表面的劣化的劣化檢測(cè)裝置。
13.按照權(quán)利要求12所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,具有被測(cè)定表面的劣化超過(guò)允許程度時(shí)顯示警報(bào)的第1警報(bào)顯示裝置。
14.按照權(quán)利要求12所述的移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,其特征為,具有被測(cè)定表面的劣化的比前次測(cè)定時(shí)的增加值超過(guò)允許程度時(shí)顯示警報(bào)的第2警報(bào)裝置。
15.一種扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,將支持部件相對(duì)于被測(cè)定表面定位,將直線狀導(dǎo)軌連接在支持部件上,將可沿直線狀導(dǎo)軌移動(dòng)的非接觸式變位傳感器向?qū)к壍拈L(zhǎng)軸方向的第1位置移動(dòng),將非接觸式變位傳感器向?qū)к壍拇怪庇陂L(zhǎng)軸的橫軸方向的第2位置移動(dòng),測(cè)定非接觸變位傳感器與被測(cè)定表面之間的橫軸方向距離,檢測(cè)非接觸變位傳感器的第1位置的長(zhǎng)軸坐標(biāo),檢測(cè)非接觸變位傳感器的第2位置的橫軸坐標(biāo),使用非接觸變位傳感器與被測(cè)定表面之間的橫軸方向的距離、非接觸變位傳感器的第2位置的橫軸坐標(biāo)、根據(jù)導(dǎo)軌的橫軸方向的撓曲來(lái)修正非接觸變位傳感器的第2位置的橫軸坐標(biāo)的修正值來(lái)算出被測(cè)定表面的測(cè)定點(diǎn)的橫軸坐標(biāo),并算出在非接觸變位傳感器的各種不同的第1位置上的被測(cè)定表面的測(cè)定點(diǎn)的橫軸坐標(biāo)。
16.按照權(quán)利要求15所述的扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,將支持部件具有的多個(gè)支持腿設(shè)置于非氧化物系陶瓷制的設(shè)置面上。
17.按照權(quán)利要求15或16所述的扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,將非接觸變位傳感器與被測(cè)定表面之間的距離維持為一定。
18.按照權(quán)利要求15至17任一項(xiàng)所述的扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,根據(jù)多個(gè)測(cè)定點(diǎn)的長(zhǎng)軸坐標(biāo)與橫軸坐標(biāo)的測(cè)定值,計(jì)算形成被測(cè)定表面的圓弧,并顯示該圓弧的半徑R。
19.按照權(quán)利要求15至17任一項(xiàng)所述的扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,根據(jù)多個(gè)測(cè)定點(diǎn)的長(zhǎng)軸坐標(biāo)與橫軸坐標(biāo)的測(cè)定值,計(jì)算形成被測(cè)定表面的圓弧,計(jì)算并顯示該圓弧與各測(cè)定點(diǎn)之間的橫軸方向的偏差ΔR。
20.按照權(quán)利要求15至17任一項(xiàng)所述的扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,根據(jù)多個(gè)測(cè)定點(diǎn)的長(zhǎng)軸坐標(biāo)與橫軸坐標(biāo)的測(cè)定值,計(jì)算形成被測(cè)定表面的圓弧,計(jì)算該圓弧與各測(cè)定點(diǎn)之間的橫軸方向的偏差ΔR,顯示最大ΔR與最小ΔR的差ΔH。
21.按照權(quán)利要求15至17任一項(xiàng)所述的扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,被測(cè)定表面為回轉(zhuǎn)對(duì)稱形狀,根據(jù)遍布被測(cè)定表面的直徑的多個(gè)測(cè)定點(diǎn)的長(zhǎng)軸坐標(biāo)與橫軸坐標(biāo)的測(cè)定值計(jì)算形成被測(cè)定表面的圓弧,根據(jù)遍布被測(cè)定表面的半徑的多個(gè)測(cè)定點(diǎn)的長(zhǎng)軸坐標(biāo)與橫軸坐標(biāo)的測(cè)定值計(jì)算形成被測(cè)定表面的圓弧,顯示根據(jù)遍布直徑的多個(gè)測(cè)定點(diǎn)所計(jì)算的圓弧半徑R和根據(jù)遍布半徑的多個(gè)測(cè)定點(diǎn)所計(jì)算的圓弧半徑R。
22.按照權(quán)利要求21所述的扁平對(duì)象物的表面形狀測(cè)定方法,其特征為,顯示根據(jù)遍布直徑的多個(gè)測(cè)定點(diǎn)所計(jì)算的圓弧半徑R和根據(jù)遍布半徑的多個(gè)測(cè)定點(diǎn)所計(jì)算的圓弧半徑R的差。
全文摘要
一種移動(dòng)式表面形狀測(cè)定裝置,具有直線狀導(dǎo)軌、可沿導(dǎo)軌移動(dòng)地與導(dǎo)軌結(jié)合的工作臺(tái)、可在導(dǎo)軌的垂直于長(zhǎng)軸的橫軸方向上移動(dòng)地與工作臺(tái)結(jié)合的載物臺(tái)、固定在載物臺(tái)上的非接觸變位傳感器、驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的第1驅(qū)動(dòng)裝置、檢測(cè)非接觸變位傳感器的長(zhǎng)軸坐標(biāo)的第1坐標(biāo)檢測(cè)裝置、驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)的第2驅(qū)動(dòng)裝置、檢測(cè)非接觸變位傳感器的橫軸坐標(biāo)的第2坐標(biāo)檢測(cè)裝置、使用導(dǎo)軌的橫軸方向撓曲來(lái)修正非接觸變位傳感器的橫軸坐標(biāo)的坐標(biāo)修正裝置、支持導(dǎo)軌的支持部件、和相對(duì)被測(cè)定表面定位支持部件的支持部件定位裝置。
文檔編號(hào)G01B21/20GK1486415SQ01821835
公開日2004年3月31日 申請(qǐng)日期2001年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月10日
發(fā)明者中川修, 中山康雄, 內(nèi)村健志, 志, 雄 申請(qǐng)人:東陶機(jī)器株式會(huì)社