一種表面檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種表面檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]表面檢測(cè)，特別是表面微小缺陷檢測(cè)，一直以來都被物體表面的環(huán)境灰塵、毛絲等可去除異物所干擾。由于環(huán)境灰塵、毛絲等可去除異物在檢測(cè)圖像中的特征與表面微小缺陷(如凸凹坑點(diǎn)、劃傷、涂層脫落等)十分接近，幾乎無(wú)法正確區(qū)分。所以會(huì)造成檢測(cè)設(shè)備的準(zhǔn)確度不高，誤判較大，嚴(yán)重影響檢測(cè)設(shè)備的功效。
[0003]如果僅用吹氣清潔的多張相同照明條件下的圖像差異來排除可去除的異物，會(huì)由于環(huán)境影響、光源的波動(dòng)、相機(jī)的信號(hào)噪聲等，造成實(shí)際缺陷位置的圖像信號(hào)波動(dòng)，所以容易造成實(shí)際缺陷的漏判(因?yàn)椴▌?dòng)的差異而被排除掉)。
[0004]有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種表面檢測(cè)裝置，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種表面檢測(cè)裝置。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]—種表面檢測(cè)裝置，其特征在于，包括以下裝置:
[0008]一載臺(tái)，用于放置待測(cè)物；
[0009]一光源系統(tǒng)，用于給所述待測(cè)物提供光源；
[0010]—檢測(cè)相機(jī)，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像；
[0011 ] 一吹氣單元，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物；
[0012]—控制單元，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。
[0013]進(jìn)一步的，所述光源系統(tǒng)包含一個(gè)或多個(gè)不同類型的光源。
[0014]進(jìn)一步的，所述載臺(tái)為平移載臺(tái)。
[0015]進(jìn)一步的，所述載臺(tái)為平移載臺(tái)、固定在臺(tái)、旋轉(zhuǎn)載臺(tái)中的任意一種。
[0016]進(jìn)一步的，所述檢測(cè)相機(jī)為線掃描相機(jī)或面陣相機(jī)。借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0017]本實(shí)用新型減少了檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)參數(shù)的調(diào)整，降低了照明方式的難度和缺陷檢測(cè)算法的復(fù)雜度，同時(shí)大大提高了檢測(cè)的準(zhǔn)確度。
[0018]上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。
【附圖說明】
[0019]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本實(shí)用新型的流程圖；
[0021]圖3是在相同照明條件下，拍攝的第一張圖像；
[0022]圖4是在相同照明條件下，拍攝的第二張圖像；
[0023]圖5是第一張與第二張的差異圖像。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。
[0025]參見圖1，為本實(shí)用新型檢測(cè)裝置，包括，一載臺(tái)I，用于放置待測(cè)物2;—光源系統(tǒng)3，用于給所述待測(cè)物提供光源;一檢測(cè)相機(jī)6，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像;一吹氣單元4，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物;一控制單元5，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。待測(cè)物2中，一般含有灰塵7、劃傷8、毛絲9、凸點(diǎn)10。
[0026]本實(shí)用新型中的光源系統(tǒng)3包含一個(gè)或多個(gè)不同類型的光源。
[0027]本實(shí)用新型中，載臺(tái)I可以為平移載臺(tái)，檢測(cè)相機(jī)6為線掃描相機(jī)，拍照過程為平移載臺(tái)載著待測(cè)物2平移往復(fù)運(yùn)動(dòng)，線掃描相機(jī)在光源照明下拍攝多張待測(cè)物的圖像，同時(shí)吹氣單元4持續(xù)對(duì)待測(cè)物表面吹氣。
[0028]本實(shí)用新型中，載臺(tái)I可以為為固定載臺(tái)，相機(jī)為線掃描相機(jī)，拍照過程為相機(jī)相對(duì)固定載臺(tái)固定高度做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，線掃描相機(jī)在光源照明下拍攝多張待測(cè)物的圖像，同時(shí)吹氣單元4持續(xù)對(duì)待測(cè)物表面吹氣。
[0029]本實(shí)用新型中，載臺(tái)I可以為為旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，相機(jī)為線面陣相機(jī)，拍照過程為旋轉(zhuǎn)載臺(tái)在線面陣相機(jī)下方主動(dòng)，線掃描相機(jī)在光源照明下拍攝多張待測(cè)物的圖像，同時(shí)吹氣單元4持續(xù)對(duì)待測(cè)物表面吹氣。
[0030]參見圖2，為本實(shí)用新型檢測(cè)流程圖，
[0031]本實(shí)用新型檢測(cè)方法如下:
[0032]將被測(cè)物置于載臺(tái)并定位，打開光源和相機(jī)，以一種或多種照明方式，拍攝多張圖像，同時(shí)吹氣單元對(duì)被測(cè)物表面吹氣，檢測(cè)相機(jī)采集到多張相同照明條件下的待測(cè)物圖像，如圖3和圖4;通過一控制單元得到圖像的表面缺陷及區(qū)域;控制單元對(duì)相同照明條件下的多張圖像進(jìn)行差異比較(差異是指對(duì)應(yīng)位置的圖像間的灰階或色彩差異)，得到差異區(qū)域，圖像的差異區(qū)域是指圖像差異區(qū)域的中心及其周邊指定寬度范圍以內(nèi)；設(shè)定區(qū)域計(jì)算的閾值A(chǔ)和一致性的閾值B，通過控制單元對(duì)各圖像對(duì)所有差異區(qū)域進(jìn)行計(jì)算和判斷:比較圖像的同一差異區(qū)域計(jì)算數(shù)值的差異值，若有圖像在此區(qū)域的計(jì)算數(shù)值小于閾值A(chǔ)，則此區(qū)域的缺陷不判為缺陷，差異區(qū)域的計(jì)算數(shù)值為原圖在差異區(qū)域內(nèi)各點(diǎn)的灰度平均值或灰度值總和，差異區(qū)域計(jì)算數(shù)值的差異值是區(qū)域計(jì)算數(shù)值的均方差或最大最小差值；比較圖像的同一差異區(qū)域計(jì)算數(shù)值的差異值，若所有圖像在此差異區(qū)域的數(shù)值均大于等于閾值A(chǔ)，則計(jì)算所有圖像在此區(qū)域的計(jì)算數(shù)值的差異值，如果差異值小于等于閾值B判為缺陷，差異值大于閾值B的不判為缺陷。
[0033]如圖5所示，通過對(duì)比圖3和圖4，圖3和圖4的差異在圖5中顯示。
[0034]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，并不用于限制本實(shí)用新型，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種表面檢測(cè)裝置，其特征在于，包括以下裝置: 一載臺(tái)，用于放置待測(cè)物； 一光源系統(tǒng)，用于給所述待測(cè)物提供光源； 一檢測(cè)相機(jī)，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像； 一吹氣單元，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物； 一控制單元，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述光源系統(tǒng)包含一個(gè)或多個(gè)不同類型的光源。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述載臺(tái)為平移載臺(tái)、固定在臺(tái)、旋轉(zhuǎn)載臺(tái)中的任意一種。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面檢測(cè)裝置，其特征在于:所述檢測(cè)相機(jī)為線掃描相機(jī)或面陣相機(jī)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種表面檢測(cè)裝置，包括一載臺(tái)，用于放置待測(cè)物；一光源系統(tǒng)，用于給所述待測(cè)物提供光源；一檢測(cè)相機(jī)，用于采集光源系統(tǒng)照明下待測(cè)物的圖像；一吹氣單元，用于對(duì)待測(cè)物表面吹氣去除異物；一控制單元，用于處理檢測(cè)相機(jī)采集到的圖像，得到對(duì)應(yīng)的表面缺陷及區(qū)域。本實(shí)用新型減少了檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)參數(shù)的調(diào)整，降低了照明方式的難度和缺陷檢測(cè)算法的復(fù)雜度，同時(shí)大大提高了檢測(cè)的準(zhǔn)確度。
【IPC分類】G01N21/88
【公開號(hào)】CN205333529
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520997399
【發(fā)明人】張智海, 易永祥
【申請(qǐng)人】蘇州威盛視信息科技有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請(qǐng)日】2015年12月3日