真空鍍膜設(shè)備用安全閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及真空鍍膜設(shè)備用安全閥。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜技術(shù)中，往往將材料高溫加熱，然后冷卻到基片形成薄膜，在鍍膜過程中，由于材料會(huì)形成氣體，氣體具有不穩(wěn)定性，并且由于真空鍍膜的腔體的腔體較大，這樣會(huì)使薄膜形成的不均勻；另外，由于真空腔體內(nèi)存在多個(gè)蒸發(fā)源，當(dāng)使用其中一個(gè)蒸發(fā)源時(shí)，會(huì)對其他的蒸發(fā)源造成污染，影響鍍膜的質(zhì)量，真空設(shè)備由于在鍍膜過程中工件處于密閉的真空環(huán)境中，真空室內(nèi)有壓力、并通過加熱器加熱到200 - 500°C不等，同時(shí)按工藝要求充入不同含量的氣體，其中含有氧氣等易燃?xì)怏w。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供真空鍍膜設(shè)備用安全閥，從而解決上述問題。
[0004]與此相應(yīng)，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:真空鍍膜設(shè)備用安全閥，包括閥體、閥蓋、閥板、螺母壓套和閥芯且關(guān)于閥芯左右對稱，所述閥體頂部與閥蓋通過螺釘固定連接并構(gòu)成腔室，所述閥蓋與螺母壓套固定連接，所述閥體底部與閥板之間設(shè)有O形密封圈，所述閥板頂部與螺母壓套底之間固定有圓柱螺旋彈簧，所述閥芯一端固定在閥體頂部，另一端置于螺母壓套之間。
[0005]進(jìn)一步的，所述螺母壓套通過螺釘對閥芯施加壓力。
[0006]進(jìn)一步的，所述閥體下方設(shè)有八個(gè)圓形放氣孔。
[0007]進(jìn)一步的，所述螺釘為開槽平端緊定螺釘。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:該真空鍍膜設(shè)備用安全閥由閥體、閥蓋、閥板和螺母壓套組成且，體積小，整體結(jié)構(gòu)簡單左右對稱、外觀簡潔；當(dāng)真空室內(nèi)的壓強(qiáng)大于圓柱螺旋彈簧最大的安全工作壓力時(shí)，壓力將圓柱螺旋彈簧壓縮閥板升起，即打開閥板，壓力減小?’反之，圓柱螺旋彈簧依靠本身的彈性復(fù)位，關(guān)閉閥板，便于自動(dòng)控制，通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖中:1、閥體；2、閥蓋；3、閥板；4、螺母壓套；5、螺釘；6、圓柱螺旋彈簧；7、O形密封圈和8、閥芯。
【具體實(shí)施方式】
[0011 ] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0012]請參閱圖1，本實(shí)用新型提供了一種技術(shù)方案:真空鍍膜設(shè)備用安全閥，包括閥體
1、閥蓋2、閥板3、螺母壓套4和閥芯8且關(guān)于閥芯8左右對稱，閥體I頂部與閥蓋2通過螺釘5固定連接構(gòu)成腔室，閥蓋2與螺母壓套4固定連接，閥體I底部與閥板3之間設(shè)有O形密封圈7，閥板3頂部與螺母壓套4底部固定有圓柱螺旋彈簧6，閥芯8 一端固定在閥體I頂部，另一端置于螺母壓套4之間。
[0013]該方案的優(yōu)選的真空鍍膜設(shè)備用安全閥體積小，整體結(jié)構(gòu)簡單對稱、外觀簡潔、便于自動(dòng)控制，通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
[0014]進(jìn)一步的，閥體I下方有八個(gè)圓形放氣孔，鍍膜機(jī)內(nèi)部壓強(qiáng)過大時(shí)，氣壓從放氣孔對閥板3施加壓力，放氣孔能夠有效穩(wěn)定的控制氣壓流量，螺釘5為開槽平端緊定螺釘，開槽平端緊定螺釘是固定相對位置的一種螺釘5，壓緊力小且固定相對位置較好，螺母壓套4通過螺釘5對閥芯8施加壓力，從而控制鍍膜機(jī)內(nèi)膜的氣壓大小。
[0015]具體工作原理及其過程:鍍膜機(jī)在鍍膜的過程中產(chǎn)生較大的氣壓，此時(shí)氣壓通過閥體I下部的放氣孔對閥板3施加壓力，當(dāng)壓力大于圓柱螺旋彈簧6的最大安全工作壓力時(shí)圓柱螺旋彈簧6收縮，閥板3與閥體I底部脫離，鍍膜機(jī)內(nèi)部的壓力釋放，此時(shí)鍍膜機(jī)內(nèi)部氣壓逐漸變小，當(dāng)通過放氣孔的氣壓對閥板3的壓力小于圓柱螺旋彈簧6的彈力時(shí)，圓柱螺旋彈簧6推動(dòng)閥板3復(fù)位。
[0016]螺母壓套4通過螺釘5對閥芯8施加壓力調(diào)整鍍膜機(jī)內(nèi)部氣壓:旋緊螺釘5，螺母壓套4對閥芯8的壓力增大，之間的摩擦力也增大，放氣孔需要更大的氣壓對閥板3施加壓力，這樣圓柱螺旋彈簧6收縮，閥板3與閥芯8才能向上移動(dòng)，將氣壓釋放到外部，即打開閥板；旋松螺釘5，螺母壓套4對閥芯8的壓力減小，之間的摩擦力也減小，放氣孔需要較小的氣壓對閥板3施加壓力，這樣圓柱螺旋彈簧6復(fù)位，閥板3與閥芯8向下移動(dòng)并復(fù)位，即關(guān)閉閥板。通過這種方式，安全閥可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制鍍膜機(jī)內(nèi)部的壓力。
[0017]最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.真空鍍膜設(shè)備用安全閥，包括閥體(I)、閥蓋(2)、閥板(3)、螺母壓套(4)和閥芯(8)，且關(guān)于閥芯(8)左右對稱，其特征在于:所述閥體(I)頂部與閥蓋(2)通過螺釘(5)固定連接并構(gòu)成腔室，所述閥蓋(2)與螺母壓套(4)固定連接，所述閥體(I)底部與閥板(3)之間設(shè)有O形密封圈(7)，所述閥板(3)頂部與螺母壓套(4)底之間固定有圓柱螺旋彈簧(6)，所述閥芯(8 ) —端固定在閥體(I)頂部，另一端置于螺母壓套(4 )之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備用安全閥，其特征在于:所述螺母壓套(4)通過螺釘(5 )對閥芯(8 )施加壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備用安全閥，其特征在于:所述閥體(I)下方設(shè)有八個(gè)圓形放氣孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備用安全閥，其特征在于:所述螺釘(5)為開槽平端緊定螺釘。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了真空鍍膜設(shè)備用安全閥，包括閥體、閥蓋、閥板、螺母壓套和閥芯且關(guān)于閥芯左右對稱，所述閥體頂部與閥蓋通過螺釘固定連接并構(gòu)成腔室，所述閥蓋與螺母壓套固定連接，所述閥體底部與閥板之間設(shè)有O形密封圈，所述閥板頂部與螺母壓套底之間固定有圓柱螺旋彈簧，所述閥芯一端固定在閥體頂部，另一端置于螺母壓套之間，所述閥體下方有八個(gè)放氣孔，當(dāng)真空室內(nèi)的壓強(qiáng)大于圓柱螺旋彈簧最大的安全工作壓力時(shí)，壓力將圓柱螺旋彈簧壓縮閥板升起，即打開閥板，壓力減?。环粗?，圓柱螺旋彈簧依靠本身的彈性復(fù)位，關(guān)閉閥板，通過這樣的方式，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制壓力的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
【IPC分類】F16K17-06
【公開號(hào)】CN204284567
【申請?zhí)枴緾N201420755184
【發(fā)明人】劉曉華, 陳鵬
【申請人】大連維鈦克科技股份有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月5日