一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于濾光片鍍膜制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，尤其涉及一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在濾光片鍍膜生產(chǎn)過(guò)程中，真空鍍膜室的真空潔凈度是一項(xiàng)重要的生產(chǎn)工藝技術(shù)指標(biāo)，真空潔凈度就是指在真空環(huán)境中某些殘余物質(zhì)分子的多少，它直接影響到鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量，對(duì)于因油分子而影響真空潔凈度的主要因素則來(lái)自真空機(jī)組的油擴(kuò)散栗，雖然油擴(kuò)散栗機(jī)組具有:抽氣能力大、對(duì)惰性氣體抽速適應(yīng)范圍寬，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用壽命長(zhǎng)、容易獲得高真空等優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)油擴(kuò)散栗機(jī)組使用時(shí)也存在真空潔凈度不穩(wěn)定，高溫環(huán)境下設(shè)備冷卻不佳，導(dǎo)致油蒸汽返流的弱點(diǎn)。真空潔凈度不穩(wěn)定，濾光片在真空鍍膜過(guò)程中因油蒸汽返流污染會(huì)造成成品率下降，已不能滿足現(xiàn)代企業(yè)科研生產(chǎn)品質(zhì)上的更高要求，油蒸汽返流污染所造成廢次品增加，已經(jīng)成為提高產(chǎn)品質(zhì)量的瓶頸。
[0003]如何有效的控制真空鍍膜機(jī)的油蒸汽回返現(xiàn)象，保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，一直是衡量真空鍍膜機(jī)組工作質(zhì)量好壞的重要技術(shù)依據(jù)，油蒸汽的返流現(xiàn)象是指高真空擴(kuò)散栗液蒸汽分子從蒸汽噴射流中分離并與氣體，栗體器壁碰撞后向高真空端運(yùn)動(dòng)的反迀移分子流，造成真空環(huán)境污染，影響成膜核心的密度和沉積原子的迀移和附著，引起薄膜的磁、電、超聲等性能呈現(xiàn)無(wú)規(guī)則型和重復(fù)性不佳，導(dǎo)致產(chǎn)品的品質(zhì)因素下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型公開(kāi)一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，用于解決傳統(tǒng)鍍膜機(jī)潔凈度不穩(wěn)定，基片在真空鍍膜過(guò)程中因油蒸汽返流污染而造成成品率下降，不能滿足現(xiàn)代公司科技生產(chǎn)品質(zhì)要求的問(wèn)題。
[0005]本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]—種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，包括真空鍍膜室、油擴(kuò)散栗，所述真空鍍膜室經(jīng)放氣閥、高真空閥、冷阱與油擴(kuò)散栗相連接，所述放氣閥與高真空閥間設(shè)有預(yù)抽閥，所述預(yù)抽閥一方面經(jīng)前級(jí)閥與油擴(kuò)散栗相連，另一方面經(jīng)泄氣閥與機(jī)械真空栗相連接，所述冷阱的出口經(jīng)循環(huán)水管甲延伸到循環(huán)水箱內(nèi)，所述循環(huán)水箱內(nèi)設(shè)有帶有水栗的循環(huán)水管乙，所述循環(huán)水管乙與盛放在半導(dǎo)體制冷水槽的熱交換器相連，所述熱交換器的另一端經(jīng)循環(huán)水管丙與所述冷阱的進(jìn)口相連。
[0007]所述熱交換器的外徑為100mm、長(zhǎng)度為400_，由直徑8mm紫銅管盤(pán)繞而成。
[0008]所述熱交換器兩端分別經(jīng)管道快速接頭與循環(huán)水管乙、循環(huán)水管丙相連。
[0009]所述半導(dǎo)體制冷水槽為小型半導(dǎo)體低溫冰箱，內(nèi)裝有百分之四十的水與酒精混合液。
[0010]所述循環(huán)水管甲、循環(huán)水管乙、循環(huán)水管丙均為聚氨酯塑料管。
[0011 ]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0012]本實(shí)用新型采用建立小型低溫循環(huán)水系統(tǒng)的方法來(lái)對(duì)擴(kuò)散栗冷阱進(jìn)行獨(dú)立冷卻，小型低溫循環(huán)水系統(tǒng)主要由循環(huán)水箱、半導(dǎo)體制冷水槽組成，使整個(gè)低溫循環(huán)水系統(tǒng)構(gòu)成一個(gè)閉路循環(huán)水系統(tǒng)，該循環(huán)水系統(tǒng)通過(guò)在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中的應(yīng)用，使擴(kuò)散栗冷阱溫度降低并保持在5°C左右，由于擴(kuò)散栗冷阱溫度的降低，使得真空鍍膜機(jī)的油蒸汽回返率得以下降，排除了環(huán)境溫度對(duì)設(shè)備運(yùn)行的干擾因素，提高了產(chǎn)品鍍膜的真空潔凈度，使真空鍍膜機(jī)在生產(chǎn)技術(shù)精準(zhǔn)度要求較高的電子鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量方面有了明顯提高，保障了公司科研生產(chǎn)的發(fā)展需要，本實(shí)用新型應(yīng)用廣泛，可廣泛應(yīng)用于濾光片鍍膜制造技術(shù)領(lǐng)域。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖。
[0014]圖中:1.真空鍍膜室;2.油擴(kuò)散栗;3.放氣閥;4.高真空閥；5.冷阱;6.預(yù)抽閥；7.前級(jí)閥；8.泄氣閥；9.機(jī)械真空栗；10.循環(huán)水管甲；11.循環(huán)水箱；12.水栗；13.循環(huán)水管乙；14.半導(dǎo)體制冷水槽;15.熱交換器;16.循環(huán)水管丙。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明:
[0016]—種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，包括真空鍍膜室1、油擴(kuò)散栗2，所述真空鍍膜室I經(jīng)放氣閥3、高真空閥4、冷阱5與油擴(kuò)散栗2相連接，所述放氣閥3與高真空閥4間設(shè)有預(yù)抽閥6，所述預(yù)抽閥6—方面經(jīng)前級(jí)閥7與油擴(kuò)散栗2相連，另一方面經(jīng)泄氣閥8與機(jī)械真空栗9相連接，所述冷阱5的出口經(jīng)循環(huán)水管甲10延伸到循環(huán)水箱11內(nèi)，所述循環(huán)水箱11內(nèi)設(shè)有帶有水栗12的循環(huán)水管乙13，所述循環(huán)水管乙13與盛放在半導(dǎo)體制冷水槽14的熱交換器15相連，所述熱交換器15的另一端經(jīng)循環(huán)水管丙16與所述冷阱5的進(jìn)口相連。
[0017]所述熱交換器15的外徑為100mm、長(zhǎng)度為400mm，由直徑8mm紫銅管盤(pán)繞而成。
[0018]所述熱交換器15兩端分別經(jīng)管道快速接頭與循環(huán)水管乙13、循環(huán)水管丙16相連。
[0019]所述半導(dǎo)體制冷水槽14為小型半導(dǎo)體低溫冰箱，內(nèi)裝有百分之四十的水與酒精混合液。
[0020]所述循環(huán)水管甲10、循環(huán)水管乙13、循環(huán)水管丙16均為聚氨酯塑料管。
[0021]由返油蒸汽導(dǎo)致鍍膜元件質(zhì)量缺陷，往往反映在氣候溫度的變化上，冬季鍍膜機(jī)油蒸汽回返現(xiàn)象處于正常值，而由油蒸汽影響鍍膜質(zhì)量的現(xiàn)象往往發(fā)生在氣候炎熱的夏季，這是因?yàn)槔鋮s循環(huán)水水溫升高，導(dǎo)致擴(kuò)散栗壁表面冷卻變差，使碰撞在擴(kuò)散栗表面的油蒸汽分子不凝聚，沿栗壁下流，此處油層表面溫度大大高于栗壁溫度，極易產(chǎn)生再蒸發(fā)。另一方面在鍍膜過(guò)程中隨著鍍膜室真空度的提高和壓強(qiáng)的下降，真空管道中的氣體分子運(yùn)動(dòng)呈現(xiàn)分子流狀態(tài)。若擴(kuò)散栗冷卻效果不佳或栗口冷阱冷卻不好，造成油蒸汽分子從前級(jí)反擴(kuò)散回真空室的幾率增多，給鍍膜元件帶來(lái)污染。要排除這些不利因素，首先要有好的栗壁冷卻效果，較低的擴(kuò)散栗口冷阱溫度，從而達(dá)到使返流油蒸汽分子在冷阱人字型的通道中與阱壁碰撞時(shí)被冷阱捕捉幾率提高，使油蒸汽分子被滯阻在擴(kuò)散栗口內(nèi)，當(dāng)形成一定密度的分子量后，一部分凝聚順栗壁流向栗底，一部分被擴(kuò)散栗的定向噴射氣流逐級(jí)撞向栗底聚積，部分不凝聚油氣分子和其它混合氣體分子密度達(dá)到機(jī)械栗口壓強(qiáng)時(shí)被機(jī)械栗抽走。從以上分折的原理中可以得出結(jié)論:擴(kuò)散栗冷阱冷卻效果的好壞，直接影響到在真空鍍膜過(guò)程中油蒸汽分子的返流率高低。
[0022]本實(shí)用新型采用建立小型低溫循環(huán)水系統(tǒng)的方法來(lái)對(duì)擴(kuò)散栗冷阱進(jìn)行獨(dú)立冷卻，小型低溫循環(huán)水系統(tǒng)主要由循環(huán)水箱、半導(dǎo)體制冷水槽組成，使整個(gè)低溫循環(huán)水系統(tǒng)構(gòu)成一個(gè)閉路循環(huán)水系統(tǒng)，該循環(huán)水系統(tǒng)通過(guò)在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中的應(yīng)用，使擴(kuò)散栗冷阱溫度降低并保持在5°C左右，由于擴(kuò)散栗冷阱溫度的降低，使得真空鍍膜機(jī)的油蒸汽回返率得以下降，排除了環(huán)境溫度對(duì)設(shè)備運(yùn)行的干擾因素，提高了產(chǎn)品鍍膜的真空潔凈度，使真空鍍膜機(jī)在生產(chǎn)技術(shù)精準(zhǔn)度要求較高的電子鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量方面有了明顯提高，保障了公司科研生產(chǎn)的發(fā)展需要，本實(shí)用新型應(yīng)用廣泛，可廣泛應(yīng)用于濾光片鍍膜制造技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型工作程序是先打開(kāi)半導(dǎo)體低溫冰箱電源開(kāi)關(guān)，將溫度控制設(shè)置在零度，啟動(dòng)水栗開(kāi)關(guān)，循環(huán)水流經(jīng)到半導(dǎo)體制冷水槽14的熱交換器15中，降溫后流回循環(huán)水箱11形成了一個(gè)閉合循環(huán)水系統(tǒng)。
[0023]綜上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用來(lái)限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍，凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所為的均等變化與修飾，均應(yīng)包括于本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，包括真空鍍膜室(I)、油擴(kuò)散栗(2)，其特征在于:所述真空鍍膜室(I)經(jīng)放氣閥(3)、高真空閥(4)、冷阱(5)與油擴(kuò)散栗(2)相連接，所述放氣閥(3)與高真空閥(4)間設(shè)有預(yù)抽閥(6)，所述預(yù)抽閥(6) —方面經(jīng)前級(jí)閥(7)與油擴(kuò)散栗(2)相連，另一方面經(jīng)泄氣閥(8)與機(jī)械真空栗(9)相連接，其特征在于:所述冷阱(5)的出口經(jīng)循環(huán)水管甲(10)延伸到循環(huán)水箱(11)內(nèi)，所述循環(huán)水箱(11)內(nèi)設(shè)有帶有水栗(12)的循環(huán)水管乙(13)，所述循環(huán)水管乙(13)與盛放在半導(dǎo)體制冷水槽(14)的熱交換器(15)相連，所述熱交換器(15)的另一端經(jīng)循環(huán)水管丙(16)與所述冷阱(5)的進(jìn)口相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述熱交換器(15)的外徑為100mm、長(zhǎng)度為400_，由直徑8mm紫銅管盤(pán)繞而成。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述熱交換器(15)兩端分別經(jīng)管道快速接頭與循環(huán)水管乙(13)、循環(huán)水管丙(16)相連。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述半導(dǎo)體制冷水槽(14)為小型半導(dǎo)體低溫冰箱，內(nèi)裝有百分之四十的水與酒精混合液。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述循環(huán)水管甲(10)、循環(huán)水管乙(13)、循環(huán)水管丙(16)均為聚氨酯塑料管。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種改進(jìn)型真空鍍膜機(jī)，屬于濾光片鍍膜制造技術(shù)領(lǐng)域，解決了傳統(tǒng)鍍膜機(jī)潔凈度不穩(wěn)定，基片在真空鍍膜過(guò)程中因油蒸汽返流污染所造成的成品率下降，不能滿足現(xiàn)代公司科技生產(chǎn)品質(zhì)要求的問(wèn)題。主要包括真空鍍膜室、油擴(kuò)散泵、機(jī)械真空泵、熱交換器，真空鍍膜室經(jīng)放氣閥、高真空閥、冷阱與油擴(kuò)散泵相連接。本實(shí)用新型提高了產(chǎn)品鍍膜的真空潔凈度，使真空鍍膜機(jī)在生產(chǎn)技術(shù)精準(zhǔn)度要求較高的電子鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量方面有了明顯提高，保障了公司科研生產(chǎn)的發(fā)展需要，本實(shí)用新型應(yīng)用廣泛，可廣泛應(yīng)用于濾光片鍍膜制造技術(shù)領(lǐng)域。
【IPC分類】C23C14/22
【公開(kāi)號(hào)】CN205205221
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520872357
【發(fā)明人】楊志民, 王軍
【申請(qǐng)人】江蘇星浪光學(xué)儀器有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年11月4日