一種分子泵過濾裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于晶體生長技術領域，特別是涉及一種分子栗過濾裝置。
【背景技術】
[0002]碳化硅單晶生長爐的氣路系統(tǒng)包含三個栗，分別為分子栗、機械栗、控壓栗，其中分子栗與爐腔直接相連。在單晶生長過程中，通過氣路向爐腔內輸送特氣時，殘留在爐腔內裝置上及保溫氈上的雜質，會不可避免的隨氣流進入爐體，然后被吸附進生長坩禍內，作為雜質離子降低晶體質量。這些雜質隨著氣流進入爐腔，與爐腔內殘留的粉塵等物質形成污染源，引起晶體質量下降；高溫下，腔體內的石墨氈會產(chǎn)生石墨纖維，這些纖維也可通過氣路進入分子栗，引起分子栗在高速抽氣時沾污在旋片上造成栗體污染。從而導致噪聲大、縮短分子栗使用壽命。甚至堵塞氣路，這些纖維也作為下次生長時的污染源。
【實用新型內容】
[0003]針對現(xiàn)有技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種分子栗過濾裝置，用來保護分子栗自身，也為了消除氣路中的進入爐體中的雜質。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型的技術方案如下:
[0005]—種分子栗過濾裝置，該過濾裝置設置在連接分子栗與爐體的氣路上，包括:第一濾網(wǎng)和第二濾網(wǎng)，在所述第一濾網(wǎng)和所述第二濾網(wǎng)之間設置有供氣流通過的迷宮通道，所述迷宮通道的底部為雜質容留區(qū)域。
[0006]進一步，所述第一濾網(wǎng)和所述第二濾網(wǎng)之間的距離為15mm。
[0007]進一步，所述迷宮通道為由不在同一平面的兩個隔板將氣流通道隔成“S”型。
[0008]在本實用新型中，擋板可以使進入管道的粉塵、顆粒及腔體中產(chǎn)生的石墨纖維等雜質沉積在過濾網(wǎng)內，同時過濾網(wǎng)也可以把雜質吸附在網(wǎng)上，保證分子栗不被污染，堵塞。采用本實用新型的分子栗過濾裝置后，氣流中攜帶的雜質及管道中的雜質絕大部分被攔截在爐腔外，保證了生長室內的潔凈，減少了單晶生長中的引入雜質，提高了晶體質量，為企業(yè)帶來效益。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型分子栗過濾裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]下面結合附圖，詳細說明本實用新型的【具體實施方式】。
[0011]如圖1所示為本實用新型一種分子栗過濾裝置的具體實施例，在本實施例中該過濾裝置安裝在連接分子栗與爐體的氣路上，主要包括:第一濾網(wǎng)I和第二濾網(wǎng)2，第一濾網(wǎng)I和第二濾網(wǎng)2間隔15mm，在第一濾網(wǎng)I和第二濾網(wǎng)2之間設置有供氣流通過的迷宮通道，迷宮通道的底部為雜質5的容留區(qū)域。在本實施例中的迷宮通道具體為由不在同一平面的兩個隔板3、4將氣流通道隔成“S”型。
[0012]單晶生長的基本步驟分為:抽真空、預溫、升溫、控壓、停爐。抽真空過程中需要開啟控壓栗和機械栗，機械栗管道與分子栗管道相通，氣體最后都是通過分子栗與爐腔相連的管道進入爐腔。機械栗為油栗，在使用過程中不可避免的會產(chǎn)生油分子等雜質，這些雜質隨著氣流進入爐腔，與爐腔內殘留的粉塵等物質形成污染源，引起晶體質量下降。在氣流進入爐腔前增加本實用新型的過濾裝置，可以有效吸附管道內與爐腔內的雜質，降低雜質含量，進而提高晶體生長質量。
[0013]上述示例只是用于說明本實用新型，本實用新型的實施方式并不限于這些示例，本領域技術人員所做出的符合本實用新型思想的各種【具體實施方式】都在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種分子栗過濾裝置，其特征在于，該過濾裝置設置在連接分子栗與爐體的氣路上，包括:第一濾網(wǎng)和第二濾網(wǎng)，在所述第一濾網(wǎng)和所述第二濾網(wǎng)之間設置有供氣流通過的迷宮通道，所述迷宮通道的底部為雜質容留區(qū)域。2.如權利要求1所述的分子栗過濾裝置，其特征在于，所述第一濾網(wǎng)和所述第二濾網(wǎng)之間的距離為15mm。3.如權利要求1所述的分子栗過濾裝置，其特征在于，所述迷宮通道為由不在同一平面的兩個隔板將氣流通道隔成“S”型。
【專利摘要】本實用新型公開了一種分子泵過濾裝置，該過濾裝置設置在連接分子泵與爐體的氣路上，包括：第一濾網(wǎng)和第二濾網(wǎng)，在所述第一濾網(wǎng)和所述第二濾網(wǎng)之間設置有供氣流通過的迷宮通道，所述迷宮通道的底部為雜質容留區(qū)域。本實用新型可以有效吸附管道內與爐腔內的雜質，降低雜質含量，進而提高晶體生長質量。
【IPC分類】F04D29/70
【公開號】CN204985100
【申請?zhí)枴緾N201520506031
【發(fā)明人】韓金波, 靳麗婕, 張云偉
【申請人】北京世紀金光半導體有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年7月14日