目標(biāo)物的相對(duì)位置進(jìn)行校準(zhǔn)，使得點(diǎn)膠過程中能夠準(zhǔn)確對(duì)位。
[0047]在本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述攝像頭107為電耦合器件CXD攝像頭。通過CXD攝像頭，能夠拍攝到清晰的點(diǎn)膠嘴與點(diǎn)膠臺(tái)或目標(biāo)物的相對(duì)位置的圖像，有助于準(zhǔn)確調(diào)整點(diǎn)膠嘴與點(diǎn)膠臺(tái)或目標(biāo)物的相對(duì)位置。
[0048]在本發(fā)明一些實(shí)施例中，仍然參照?qǐng)D1，所述升降頭105包括點(diǎn)膠嘴固定頭1051和可上下伸縮的支撐體1052 ;其中:
[0049]所述點(diǎn)膠嘴固定頭1051可伸縮地設(shè)置于所述支撐體1052上方，用于固定所述攝像頭107和所述點(diǎn)膠嘴104，并將所述攝像頭107和所述點(diǎn)膠嘴104移動(dòng)到靠近所述第一點(diǎn)膠臺(tái)101或第二點(diǎn)膠臺(tái)102的位置。
[0050]如圖1以及圖2所示，支撐體1052為倒置的L形，支撐體1052頂端伸出，點(diǎn)膠嘴固定頭1052即設(shè)置在支撐體1052頂端伸出的部分。攝像頭107和點(diǎn)膠嘴104相對(duì)位置固定，且較為接近，從而使得攝像頭107能夠拍攝到對(duì)準(zhǔn)情況下的點(diǎn)膠臺(tái)或目標(biāo)物。
[0051]為了實(shí)現(xiàn)點(diǎn)膠嘴固定頭1051可伸縮地設(shè)置于支撐體1052上方，可設(shè)置點(diǎn)膠嘴固定頭1051與支撐體1052連接的一端可伸縮，也可設(shè)置支撐體1052頂端為可伸縮。
[0052]在本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述第一點(diǎn)膠臺(tái)101和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)102設(shè)有吸附機(jī)構(gòu)，用于將第一點(diǎn)膠臺(tái)101或第二點(diǎn)膠臺(tái)102所承載的晶圓吸附在第一點(diǎn)膠臺(tái)101或第二點(diǎn)膠臺(tái)102的上表面。
[0053]吸附機(jī)構(gòu)對(duì)目標(biāo)物施加的吸附力能夠使得目標(biāo)物固定在點(diǎn)膠臺(tái)上，避免旋轉(zhuǎn)臺(tái)103旋轉(zhuǎn)的過程中目標(biāo)物從點(diǎn)膠臺(tái)上落下。在目標(biāo)物為晶圓的情況下，由于晶圓較薄，點(diǎn)膠后再加熱的過程中，晶圓會(huì)因?yàn)槭軣岚l(fā)生翹曲，從而使得晶圓的質(zhì)量受到不良影響。在上述實(shí)施例中，通過設(shè)置吸附機(jī)構(gòu)，對(duì)晶圓施加適當(dāng)?shù)奈搅?，將晶圓較為緊固地固定在點(diǎn)膠臺(tái)上，能夠防止晶圓在加熱過程中發(fā)生翹曲。
[0054]具體的，所述吸附機(jī)構(gòu)可以為設(shè)置在點(diǎn)膠臺(tái)上的多個(gè)小型吸盤，每個(gè)吸盤與氣體抽吸部件連接，通過氣體抽吸部件的抽吸力使得小型吸盤吸住晶圓。
[0055]在本發(fā)明一些實(shí)施例中，如圖3所示，所述吸附機(jī)構(gòu)包括氣體抽吸部件和吸附孔301 ;所述吸附孔301設(shè)置于所述第一點(diǎn)膠臺(tái)101和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)102上表面，其孔徑小于晶圓直徑，與所述氣體抽吸部件連通。氣體抽吸部件在圖3中未體現(xiàn)出，在具體實(shí)施例中可采用氣栗，設(shè)置于底座106中。
[0056]較佳的，吸附孔301設(shè)有多個(gè)，大體上均勻分布于第一點(diǎn)膠臺(tái)101和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)102的上表面，類似于洗浴用花灑噴頭表面的出水孔，這樣能夠令晶圓吸附時(shí)受力均勻。吸附孔301的孔徑遠(yuǎn)小于晶圓的直徑或點(diǎn)膠臺(tái)上表面直徑，從而對(duì)晶圓產(chǎn)生的吸附力均勻、大小適中，既防止晶圓因加熱而產(chǎn)生翹曲，又不會(huì)因?yàn)閷?duì)晶圓施加吸附力而導(dǎo)致晶圓變形。
[0057]在本發(fā)明一些實(shí)施例中，仍然參照?qǐng)D3、圖4，所述第一點(diǎn)膠臺(tái)101和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)102上表面設(shè)有可升降的頂針302，用于在點(diǎn)膠和/或加熱結(jié)束后將吸附在第一點(diǎn)膠臺(tái)101和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)102上表面的晶圓頂起，使得晶圓脫離第一點(diǎn)膠臺(tái)101和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)102上表面。
[0058]圖2中也展示了晶圓201由頂針302頂起時(shí)的狀態(tài)，頂針302在點(diǎn)膠加熱工藝結(jié)束后頂起目標(biāo)物，方便取回目標(biāo)物。
[0059]頂針302為直徑較小的桿狀物，可從點(diǎn)膠臺(tái)表面升起，將點(diǎn)膠臺(tái)表面的晶圓頂起，也可降至點(diǎn)膠臺(tái)表面以下，使得晶圓能夠貼覆在點(diǎn)膠臺(tái)上表面或貼覆在吸附機(jī)構(gòu)上。頂針302頂端平坦，且在一個(gè)點(diǎn)膠臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)，使得晶圓被頂起時(shí)受力均勻。
[0060]在本發(fā)明一些實(shí)施例中，如圖5所示，所述點(diǎn)膠嘴104內(nèi)設(shè)有加熱電阻絲1041，用于在點(diǎn)膠時(shí)加熱點(diǎn)膠嘴內(nèi)的膠水。
[0061]仍然參照?qǐng)D5，在點(diǎn)膠嘴104內(nèi)設(shè)置的電阻絲使得點(diǎn)膠嘴104具有自加熱的功能，即點(diǎn)膠嘴104內(nèi)部纏繞有加熱電阻絲1041，當(dāng)電流通過加熱電阻絲1041的時(shí)候，加熱電阻絲1041可以加熱點(diǎn)膠嘴104。通過調(diào)節(jié)電流的大小，就可以提供不同的溫度，可對(duì)加熱電阻絲1041的加熱溫度進(jìn)行調(diào)整，這樣就可以避免膠水或其他流體材料因溫度過低會(huì)出現(xiàn)的拉絲，或者溫度過高使膠水提前固化而導(dǎo)致膠水流動(dòng)不暢且堵塞點(diǎn)膠嘴104等不良現(xiàn)象。
[0062]在具體實(shí)施例中，使得加熱電阻絲1041加熱的溫度適用于不同種類的膠水。
[0063]在本發(fā)明一種具體實(shí)施例中，在開始點(diǎn)膠以及加熱過程之前，將目標(biāo)物放置到第一點(diǎn)膠臺(tái)和第二點(diǎn)膠臺(tái)上面，啟動(dòng)吸附機(jī)構(gòu)，固定目標(biāo)物的在第一點(diǎn)膠臺(tái)和第二點(diǎn)膠臺(tái)上的位置。調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的位置，使第一點(diǎn)膠臺(tái)處于點(diǎn)膠嘴工作區(qū)域；然后根據(jù)第一點(diǎn)膠臺(tái)上的目標(biāo)物的高度，通過與升降頭連接的直線電機(jī)調(diào)整升降頭，使得升降頭沿著與其連接的直線導(dǎo)軌滑動(dòng)，使點(diǎn)膠嘴處于便于點(diǎn)膠的高度。通過攝像頭實(shí)時(shí)拍攝點(diǎn)膠嘴和目標(biāo)物的相對(duì)位置圖像，根據(jù)實(shí)時(shí)拍攝的相對(duì)位置圖像對(duì)點(diǎn)膠嘴在X軸方向上的位置進(jìn)行調(diào)整，使得點(diǎn)膠嘴處于適合點(diǎn)膠的位置。當(dāng)?shù)谝稽c(diǎn)膠臺(tái)上的目標(biāo)物完成點(diǎn)膠后，啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)開關(guān)，調(diào)換第一點(diǎn)膠臺(tái)和第二點(diǎn)膠臺(tái)的位置，對(duì)第二點(diǎn)膠臺(tái)上的目標(biāo)物進(jìn)行點(diǎn)膠，同時(shí)啟動(dòng)加熱部件使其對(duì)第一點(diǎn)膠臺(tái)上的目標(biāo)物進(jìn)行加熱。在第一點(diǎn)膠臺(tái)上的目標(biāo)物加熱完成之后，將第一點(diǎn)膠臺(tái)的頂針升起，頂起目標(biāo)物，方便對(duì)目標(biāo)物進(jìn)行更換。
[0064]從上面所述可以看出，本發(fā)明提供的點(diǎn)膠裝置，具有至少兩個(gè)點(diǎn)膠臺(tái)，且點(diǎn)膠臺(tái)與加熱部件連接，能夠在對(duì)一個(gè)點(diǎn)膠臺(tái)上的目標(biāo)物進(jìn)行點(diǎn)膠的同時(shí)，對(duì)另一個(gè)點(diǎn)膠臺(tái)上的目標(biāo)物進(jìn)行加熱，使得點(diǎn)膠加熱能夠同時(shí)進(jìn)行，相比現(xiàn)有技術(shù)的晶圓加熱過程，省去了元器件點(diǎn)膠完成后再轉(zhuǎn)移到加熱裝置的過程，節(jié)省了目標(biāo)物的加工時(shí)間；本發(fā)明實(shí)施例采用雙點(diǎn)膠臺(tái)或多點(diǎn)膠臺(tái)，并使用旋轉(zhuǎn)臺(tái)交換不同的點(diǎn)膠臺(tái)的位置，每個(gè)點(diǎn)膠臺(tái)都能夠?qū)δ繕?biāo)物進(jìn)行加熱，不僅能夠在一個(gè)點(diǎn)膠臺(tái)進(jìn)行點(diǎn)膠的時(shí)候，另外一個(gè)點(diǎn)膠加熱臺(tái)可以同時(shí)進(jìn)行加熱，還能夠使得點(diǎn)膠加熱在一個(gè)點(diǎn)膠臺(tái)上同時(shí)進(jìn)行，可以進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。此外，本發(fā)明實(shí)施例的點(diǎn)膠臺(tái)帶有吸附機(jī)構(gòu)，可以將目標(biāo)物吸附在點(diǎn)膠臺(tái)上，保證臺(tái)上的目標(biāo)物不掉落，并且能避免加熱時(shí)目標(biāo)物因?yàn)榕蛎洸痪鶆虍a(chǎn)生的翹曲現(xiàn)象。
[0065]應(yīng)當(dāng)理解，本說明書所描述的多個(gè)實(shí)施例僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。并且在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0066]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種點(diǎn)膠裝置，其特征在于，包括第一點(diǎn)膠臺(tái)、第二點(diǎn)膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、點(diǎn)膠嘴、升降頭、底座、加熱部件；其中: 底座:用于支撐固定所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)和升降頭； 升降頭:與所述點(diǎn)膠嘴連接，用于將所述點(diǎn)膠嘴送至點(diǎn)膠所需的相應(yīng)位置； 點(diǎn)膠嘴:用于對(duì)目標(biāo)物進(jìn)行點(diǎn)膠； 旋轉(zhuǎn)臺(tái):以可相對(duì)旋轉(zhuǎn)的方式固定于所述底座上； 所述第一點(diǎn)膠臺(tái)和第二點(diǎn)膠臺(tái)設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，用于承載目標(biāo)物；所述加熱部件與所述第一點(diǎn)膠臺(tái)和第二點(diǎn)膠臺(tái)連接，用于加熱目標(biāo)物。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述裝置還包括: 攝像頭:設(shè)置于升降頭上與所述點(diǎn)膠嘴相對(duì)固定的位置，用于拍攝所述第一點(diǎn)膠臺(tái)或第二點(diǎn)膠臺(tái)的位置圖像，使得能夠根據(jù)所述位置圖像調(diào)整所述點(diǎn)膠嘴和第一點(diǎn)膠臺(tái)或第二點(diǎn)膠臺(tái)的相對(duì)位置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述升降頭包括點(diǎn)膠嘴固定頭和可上下伸縮的支撐體；其中: 所述點(diǎn)膠嘴固定頭可伸縮地設(shè)置于所述支撐體上方，用于固定所述攝像頭和所述點(diǎn)膠嘴，并將所述攝像頭和所述點(diǎn)膠嘴移動(dòng)到靠近所述第一點(diǎn)膠臺(tái)或第二點(diǎn)膠臺(tái)的位置。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述攝像頭為電耦合器件CCD攝像頭。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述第一點(diǎn)膠臺(tái)和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)設(shè)有吸附機(jī)構(gòu)，用于將第一點(diǎn)膠臺(tái)或第二點(diǎn)膠臺(tái)所承載的晶圓吸附在第一點(diǎn)膠臺(tái)或第二點(diǎn)膠臺(tái)的上表面。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述吸附機(jī)構(gòu)包括氣體抽吸部件和吸附孔；所述吸附孔設(shè)置于所述第一點(diǎn)膠臺(tái)和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)上表面，其孔徑小于晶圓直徑，與所述氣體抽吸部件連通。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述第一點(diǎn)膠臺(tái)和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)上表面設(shè)有可升降的頂針，用于在點(diǎn)膠和/或加熱結(jié)束后將吸附在第一點(diǎn)膠臺(tái)和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)上表面的晶圓頂起，使得晶圓脫離第一點(diǎn)膠臺(tái)和/或第二點(diǎn)膠臺(tái)上表面。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述點(diǎn)膠嘴內(nèi)設(shè)有加熱電阻絲，用于在點(diǎn)膠時(shí)加熱點(diǎn)膠嘴內(nèi)的膠水。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠裝置，其特征在于，所述裝置還包括用于引導(dǎo)所述升降頭升降的直線導(dǎo)軌和用于驅(qū)動(dòng)所述升降頭的直線電機(jī)，所述直線電機(jī)設(shè)有用于檢測(cè)升降頭位移的光柵尺傳感器。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種點(diǎn)膠裝置，包括第一點(diǎn)膠臺(tái)、第二點(diǎn)膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、點(diǎn)膠嘴、升降頭、底座、加熱部件；底座：用于支撐固定所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)和升降頭；升降頭：與所述點(diǎn)膠嘴連接，用于將所述點(diǎn)膠嘴送至點(diǎn)膠所需的相應(yīng)位置；點(diǎn)膠嘴：用于對(duì)目標(biāo)物進(jìn)行點(diǎn)膠；旋轉(zhuǎn)臺(tái)：以可相對(duì)旋轉(zhuǎn)的方式固定于所述底座上；所述第一點(diǎn)膠臺(tái)和第二點(diǎn)膠臺(tái)設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，用于承載目標(biāo)物；所述加熱部件與所述第一點(diǎn)膠臺(tái)和第二點(diǎn)膠臺(tái)連接，用于加熱目標(biāo)物。本發(fā)明所提供的點(diǎn)膠裝置能夠提高目標(biāo)物點(diǎn)膠和加熱過程的執(zhí)行效率。
【IPC分類】B05C11/00, B05C5/02, B05C13/02
【公開號(hào)】CN105032711
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510400373
【發(fā)明人】葉樂志, 王家鵬, 王磊
【申請(qǐng)人】北京中電科電子裝備有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2015年7月9日