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基板濕制程剝膜廢料處理裝置的制作方法

文檔序號:4986597閱讀:215來源:國知局
專利名稱:基板濕制程剝膜廢料處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型關(guān)于一種基板濕制程剝膜廢料處理裝置,特別關(guān)于一種可將在基板濕 制程加工過程中所產(chǎn)生的干膜廢料由化學(xué)藥液中分離出來的剝膜廢料處理裝置。
背景技術(shù)
現(xiàn)有技術(shù)的電路基板在制作的過程中,必須利用顯影設(shè)備及剝膜設(shè)備將成型于該 基板的線路表面的干膜以噴洗的方式去除,但因?yàn)樵摳赡げ蝗芙庥诨瘜W(xué)藥液中,所以在將 該含有剝落后的干膜廢料的化學(xué)藥液重復(fù)抽取、重復(fù)對基板進(jìn)行噴灑時(shí),該化學(xué)藥液內(nèi)所 含的雜質(zhì)不但會大大地影響基板上線路的成形效果,也會大幅縮短該化學(xué)藥液更換的間隔 時(shí)間。此外,淘汰后的含有干膜廢料的化學(xué)藥液若直接丟棄,將會嚴(yán)重污染環(huán)境;若再另外 進(jìn)行將化學(xué)藥劑與干膜廢料分離的加工程序,又會增加加工成本。所以現(xiàn)有技術(shù)的處理含 有干膜廢料的化學(xué)藥液的方式,有待進(jìn)一步改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于前述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型提供一種基板濕制程剝膜廢料處理裝置, 以此設(shè)計(jì)解決干膜廢料會影響基板線路成形效果,且對于含有干膜廢料的化學(xué)藥液的處理 方式會污染環(huán)境或增加加工成本的缺點(diǎn)。為了達(dá)到上述的目的,本實(shí)用新型所利用的技術(shù)手段是使一基板濕制程剝膜廢料 處理裝置包括一槽體;多個(gè)第一支撐組件及多個(gè)第二支撐組件,所述第一、第二支撐組件分別設(shè)于所述 槽體的兩相對內(nèi)壁面上,且所述第一支撐組件頂部的支撐點(diǎn)的高度位置高于所述第二支撐 組件頂部的支撐點(diǎn)的高度位置;—過濾架,其兩相對側(cè)分別架設(shè)于所述槽體兩側(cè)的第一、第二支撐組件上,使得所 述過濾架朝向第二支撐組件方向呈向下傾斜狀的設(shè)計(jì);一震動馬達(dá),其架設(shè)并固定于所述過濾架上;一輸送管,其為一斷面為弧形的半管體,所述輸送管垂直于所述過濾架而架設(shè)在 所述槽體的另外兩相對內(nèi)壁面上,且位于靠近所述第二支撐組件的一側(cè)以及所述過濾架底 部,所述輸送管的一輸出端進(jìn)一步突伸至所述槽體外側(cè);一螺桿,其可轉(zhuǎn)動地架設(shè)于所述槽體上,且沿軸向穿設(shè)于所述輸送管中,螺桿的外 環(huán)壁上環(huán)繞成型有一螺旋刀。所述螺桿的桿體可由細(xì)漸粗,所述螺桿的螺旋刀的螺牙牙距可從桿體較細(xì)的一端 朝桿體較粗的一端由大漸小,且所述螺桿的桿體較粗且螺旋刀的螺牙牙距較小的一端對應(yīng) 所述輸送管的輸出端。所述第一、第二支撐組件中,每一支撐組件可包含一承架及一彈性件,所述承架固 設(shè)于所述槽體的內(nèi)壁面上,所述彈性件設(shè)于所述承架上。[0013]所述過濾架可包含一框體以及覆蓋于所述框體上的一濾網(wǎng),所述框體的一側(cè)間隔 設(shè)有多根延伸桿,所述延伸桿設(shè)于所述第二支撐組件的彈性件上。所述第一、第二支撐組件的承架與彈性件之間可進(jìn)一步設(shè)有一緩沖墊。在槽體旁側(cè)對應(yīng)所述輸送管的輸出端處可進(jìn)一步設(shè)有一收集筒。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于,所述剝膜廢料處理裝置可在對基板進(jìn)行濕制程加工的同 時(shí),將加工過程中所產(chǎn)生的干膜廢料由化學(xué)藥液中分離而出,除了可維持該化學(xué)藥液的加 工效果,并延長該化學(xué)藥液更換的間隔時(shí)間之外,還可將該干膜廢料集中處理,以免污染環(huán) 境,并避免后續(xù)處理含有干膜廢料的化學(xué)藥液所產(chǎn)生的加工成本。

圖1為本實(shí)用新型在使用狀態(tài)的側(cè)視示意圖。圖2為本實(shí)用新型的過濾架的俯視圖。圖3為本實(shí)用新型的另一側(cè)視圖。圖4為本實(shí)用新型的部分組件的放大側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
以下配合附圖及本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí) 用新型目的所采取的技術(shù)手段。參見圖1所示,本實(shí)用新型的剝膜廢料處理裝置1設(shè)置并連接于一基板濕制程加 工設(shè)備80的旁側(cè),基板濕制程加工設(shè)備80具有一混合液槽81及一第一泵浦84 混合液槽 81上方架設(shè)有一集液槽82,集液槽82上方又進(jìn)一步架設(shè)有多個(gè)輸送輪組83,待加工的基板 設(shè)置于輸送輪組83之間且受輸送輪組83的帶動而移動;第一泵浦84上設(shè)有一輸入管841 及兩噴管842,輸入管841與混合液槽81相連通,兩噴管842的出口端分別對應(yīng)于輸送輪 組83的上、下側(cè)。以此抽取混合液槽81內(nèi)的化學(xué)藥液,并同時(shí)對該基板的上、下兩側(cè)進(jìn)行 噴灑。進(jìn)一步參見圖3所示,本實(shí)用新型的剝膜廢料處理裝置1包括一槽體10、多個(gè)第一 支撐組件20A、多個(gè)第二支撐組件20B、一過濾架30、一震動馬達(dá)40、一輸送管50、一螺桿60 及一收集筒70,其中第一、第二支撐組件20A、20B分別設(shè)于槽體10的兩相對內(nèi)壁面上,第一支撐組件 20A頂部的支撐點(diǎn)的高度位置高于第二支撐組件20B頂部的支撐點(diǎn)的高度位置,每一支撐 組件20A、20B包含一承架21A、21B及一彈性件22A、22B,承架21A、21B固設(shè)于槽體10的內(nèi) 壁面上,彈性件22A、22B設(shè)于承架21A、2IB上,且承架21A、21B與彈性件22A、22B之間設(shè)有 一緩沖墊23A、23B ;參見圖1所示,過濾架30的兩相對側(cè)分別架設(shè)于槽體10兩側(cè)的第一、第二支撐組 件20A、20B上,使得過濾架30朝向第二支撐組件20B的方向呈向下傾斜狀的設(shè)計(jì),進(jìn)一步 參見圖2所示,過濾架30包含一框體31以及覆蓋于框體31上的一濾網(wǎng)32,框體31的一側(cè) 間隔設(shè)有多根延伸桿33,延伸桿33設(shè)于第二支撐組件20B的彈性件22B上;震動馬達(dá)40架設(shè)并固定于過濾架30的框體31上,當(dāng)震動馬達(dá)40啟動時(shí),會產(chǎn)生 震動以帶動過濾架30—同連動,接著再通過第一、第二支撐組件20A、20B的彈性件22A、22B與緩沖墊23A、2!3B緩沖其動能,以避免槽體10也會產(chǎn)生震動;輸送管50是一斷面為弧形的半管體,其垂直過濾架30而架設(shè)在槽體10的另外兩 相對內(nèi)壁面上,位于靠近第二支撐組件20B的一側(cè)以及過濾架30的底部,且對應(yīng)過濾架30 的延伸桿33,輸送管50的一輸出端51進(jìn)一步突伸至槽體10的外側(cè);進(jìn)一步參見圖4所示,螺桿60可轉(zhuǎn)動地架設(shè)于槽體10上,且沿軸向穿設(shè)于輸送管 50中,螺桿60的桿體由細(xì)漸粗,螺桿60的外環(huán)壁上環(huán)繞成型有一螺旋刀61,螺旋刀61的 螺牙牙距從桿體較細(xì)的一端朝桿體較粗的一端由大漸小,螺桿60的桿體較粗且螺旋刀61 的螺牙牙距較小的一端對應(yīng)輸送管50的輸出端51,且也突伸至槽體10的外側(cè);收集筒70設(shè)于槽體10的旁側(cè),且位于對應(yīng)輸送管50的輸出端51處。參見圖1所示,對基板進(jìn)行噴灑后,混合有剝落的干膜廢料的化學(xué)藥液會先集中 在集液槽82之中,此時(shí),首先利用一導(dǎo)管85將集液槽82內(nèi)的化學(xué)藥液輸送到本實(shí)用新型 的剝膜廢料處理裝置1的過濾架30高度較高的一側(cè),由過濾架30的濾網(wǎng)32分離該干膜廢 料與化學(xué)藥液,如此一來,一方面可使該分離后的化學(xué)藥液集中于槽體10的底部,再由一 第二泵浦86將該化學(xué)藥液抽回混合液槽81內(nèi)繼續(xù)循環(huán)利用,另一方面則利用震動馬達(dá)40 所產(chǎn)生的震動,使濾網(wǎng)32上的干膜廢料朝過濾架30高度較低的一側(cè)移動,使該干膜廢料掉 入輸送管50中;進(jìn)一步參見圖4所示,接著,再又進(jìn)行轉(zhuǎn)動的螺桿60的螺旋刀61將干膜廢料朝輸 送管50的輸出端51推送,直到掉入并集中于收集筒70之中。其中,由于螺桿60的桿體由 細(xì)漸粗且螺旋刀61的螺牙螺距由大漸小,還可進(jìn)一步將該干膜廢料中的水分?jǐn)D干,省去之 后需對該干膜廢料進(jìn)行干燥的步驟。通過上述的設(shè)計(jì),本實(shí)用新型的剝膜廢料處理裝置可在對基板進(jìn)行濕制程加工的 同時(shí),將加工過程中所產(chǎn)生的干膜廢料由化學(xué)藥液中分離而出,除了可維持該化學(xué)藥液的 加工效果,并延長該化學(xué)藥液更換的間隔時(shí)間之外,還可將該干膜廢料集中處理,以免污染 環(huán)境,并避免后續(xù)處理含有干膜廢料的化學(xué)藥液所產(chǎn)生的加工成本。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已,并非對本實(shí)用新型做任何形式上的 限制,雖然本實(shí)用新型已以優(yōu)選實(shí)施例披露如上,然而并非用以限定本實(shí)用新型,任何本領(lǐng) 域的技術(shù)人員,在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi),應(yīng)當(dāng)可以利用上述揭示的技術(shù)內(nèi) 容作出些許改變或修飾為等同變化的等效實(shí)施例,但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi) 容,依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍 屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其包括一槽體、多個(gè)第一支撐組件、多個(gè)第二支 撐組件、一過濾架、一震動馬達(dá)、一輸送管及一螺桿,其特征在于所述第一、第二支撐組件分別設(shè)于所述槽體的兩相對內(nèi)壁面上,第一支撐組件頂部的 支撐點(diǎn)的高度位置高于所述第二支撐組件頂部的支撐點(diǎn)的高度位置;所述過濾架的兩相對側(cè)分別架設(shè)于所述槽體兩側(cè)的第一、第二支撐組件上,所述過濾 架朝向第二支撐組件方向呈向下傾斜狀;所述震動馬達(dá)架設(shè)并固定于所述過濾架上;所述輸送管為一斷面為弧形的半管體,其垂直于所述過濾架而架設(shè)在所述槽體的另外 兩相對內(nèi)壁面上,位于靠近所述第二支撐組件的一側(cè)以及所述過濾架底部,所述輸送管的 一輸出端進(jìn)一步突伸至所述槽體外側(cè);所述螺桿可轉(zhuǎn)動地架設(shè)于所述槽體上,且沿軸向穿設(shè)于所述輸送管中,所述螺桿的外 環(huán)壁上環(huán)繞成型有一螺旋刀。
2.如權(quán)利要求1所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于所述螺桿的桿體 由細(xì)漸粗,所述螺桿的螺旋刀的螺牙牙距從桿體較細(xì)的一端朝桿體較粗的一端由大漸小, 且所述螺桿的桿體較粗且螺旋刀的螺牙牙距較小的一端對應(yīng)所述輸送管的輸出端。
3.如權(quán)利要求1所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于在所述第一、第二 支撐組件中,每一支撐組件包含一承架及一彈性件,所述承架固設(shè)于所述槽體的內(nèi)壁面上, 所述彈性件設(shè)于所述承架上。
4.如權(quán)利要求2所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于在所述第一、第二 支撐組件中,每一支撐組件包含一承架及一彈性件,所述承架固設(shè)于所述槽體的內(nèi)壁面上, 所述彈性件設(shè)于所述承架上。
5.如權(quán)利要求3所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于所述過濾架包含 一框體以及覆蓋于所述框體上的一濾網(wǎng),所述框體的一側(cè)間隔設(shè)有多根延伸桿,所述延伸 桿設(shè)于所述第二支撐組件的彈性件上。
6.如權(quán)利要求4所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于所述過濾架包含 一框體以及覆蓋于所述框體上的一濾網(wǎng),所述框體的一側(cè)間隔設(shè)有多根延伸桿,所述延伸 桿設(shè)于所述第二支撐組件的彈性件上。
7.如權(quán)利要求3至6中任一項(xiàng)所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于所 述第一、第二支撐組件的承架與彈性件之間進(jìn)一步設(shè)有一緩沖墊。
8.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于在 所述槽體旁側(cè)對應(yīng)所述輸送管的輸出端處進(jìn)一步設(shè)有一收集筒。
9.如權(quán)利要求7所述的基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其特征在于在所述槽體旁側(cè) 對應(yīng)所述輸送管的輸出端處進(jìn)一步設(shè)有一收集筒。
專利摘要本實(shí)用新型為一種基板濕制程剝膜廢料處理裝置,其包括一槽體、設(shè)于所述槽體的兩相對內(nèi)壁面上的多個(gè)支撐組件、傾斜地架設(shè)于所述支撐組件上的一過濾架、架設(shè)于所述過濾架上的一震動馬達(dá)、架設(shè)在于所述槽體的另外兩相對內(nèi)壁面上的一輸送管、以及穿設(shè)于所述輸送管間的一螺桿;本實(shí)用新型的剝膜廢料處理裝置可在對基板進(jìn)行濕制程加工的同時(shí),將加工過程中所產(chǎn)生的干膜廢料由化學(xué)藥液中分離而出,以維持化學(xué)藥液的加工效果,并延長化學(xué)藥液更換的間隔時(shí)間,此外還可將干膜廢料集中處理,以免污染環(huán)境,并避免后續(xù)處理含有干膜廢料的化學(xué)藥液所產(chǎn)生的加工成本。
文檔編號B01D29/05GK201840920SQ20102054935
公開日2011年5月25日 申請日期2010年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者徐美華 申請人:徐美華
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