本實(shí)用新型涉及一種清洗夾具，尤其涉及一種用于清洗MOCVD設(shè)備反應(yīng)室中石英件、石墨件的夾具。

背景技術(shù)：

MOCVD是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)。因?yàn)镸OCVD生長(zhǎng)使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長(zhǎng)多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料。因此，在進(jìn)行MOCVD時(shí)，需要在MOCVD反應(yīng)室中進(jìn)行。其中，MOCVD反應(yīng)室是由石英管和石墨基座組成。目前，MOCVD設(shè)備反應(yīng)室的石英、石墨配件在使用后需要進(jìn)行清洗以便再利用，然而，在清潔再利用的過(guò)程中，石英、石墨配件容易受到外力作用而損壞。

因此，針對(duì)上述問(wèn)題，有必要提出進(jìn)一步的解決方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種清洗夾具，以克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足。

為實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型提供一種清洗夾具，其用于清洗MOCVD設(shè)備反應(yīng)室中石英件、石墨件的夾具，所述清洗夾具包括：第一夾板和第二夾板；

所述第一夾板邊緣設(shè)置有卡扣，所述第二夾板的邊緣設(shè)置有收容所述卡扣的卡槽，所述第一夾板通過(guò)所述卡扣和卡槽的配合實(shí)現(xiàn)與所述第二夾板的拆卸式連接，所述第一夾板和第二夾板之間形成所述石英件、石墨件的夾持空間；所述第一夾板和第二夾板的對(duì)應(yīng)位置處開設(shè)有定位螺孔，所述定位螺孔中安裝有定位螺栓。

作為本實(shí)用新型的清洗夾具的改進(jìn)，所述第一夾板和第二夾板采用PVC材料。

作為本實(shí)用新型的清洗夾具的改進(jìn)，所述卡扣自所述第一夾板邊緣垂直延而出，所述卡槽自所述第二夾板的邊緣水平凹陷而成。

作為本實(shí)用新型的清洗夾具的改進(jìn)，所述卡扣分布于所述第一夾板的左右兩側(cè)及下方的邊緣，所述卡槽對(duì)應(yīng)分布于第二夾板的左右兩側(cè)及下方的邊緣。

作為本實(shí)用新型的清洗夾具的改進(jìn)，所述第一夾板和第二夾板鏤空設(shè)置，所述鏤空設(shè)置包括：正方形鏤空結(jié)構(gòu)以及分布于所述正方形鏤空結(jié)構(gòu)四周的圓形鏤空結(jié)構(gòu)。

作為本實(shí)用新型的清洗夾具的改進(jìn)，所述正方形鏤空結(jié)構(gòu)為四個(gè)，四個(gè)正方形鏤空結(jié)構(gòu)以陣列形式進(jìn)行排布，所述正方形鏤空結(jié)構(gòu)的任一側(cè)設(shè)置有三個(gè)圓形鏤空結(jié)構(gòu)。

作為本實(shí)用新型的清洗夾具的改進(jìn)，所述定位螺栓采用耐酸堿定位螺栓。

作為本實(shí)用新型的清洗夾具的改進(jìn)，所述第一夾板和第二夾板的上方邊緣處還對(duì)應(yīng)開設(shè)有腰形通孔。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型的清洗夾具能夠防止配件損傷、提高材料利用率、降低生產(chǎn)成本，使用本實(shí)用新型的清洗夾具時(shí)，石英件、石墨件在清洗移動(dòng)的過(guò)程中能更好的得到保護(hù)，保證石英、石墨件不受外力擠壓，碰撞等，最大限度保護(hù)石英件、石墨件的完整性。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型中記載的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為應(yīng)用本實(shí)用新型的清洗夾具一具體實(shí)施方式的立體示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖所示的各實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，這些實(shí)施方式并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)這些實(shí)施方式所作的功能、方法、或者結(jié)構(gòu)上的等效變換或替代，均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

如圖1所示，本實(shí)用新型的清洗夾具包括：第一夾板10和第二夾板20。

所述第一夾板10邊緣設(shè)置有卡扣11，所述第二夾板20的邊緣設(shè)置有收容所述卡扣11的卡槽21，所述第一夾板10通過(guò)所述卡扣11和卡槽21的配合實(shí)現(xiàn)與所述第二夾板20的拆卸式連接，同時(shí)，所述第一夾板10和第二夾板20之間形成石英件、石墨件的夾持空間。優(yōu)選地，所述第一夾板10和第二夾板20采用耐酸堿的PVC材料。

具體地，所述卡扣11自所述第一夾板10邊緣垂直延而出，所述卡槽21自所述第二夾板20的邊緣水平凹陷而成。從而，所述卡扣11可扣合于所述卡槽21中實(shí)現(xiàn)所述第一夾板10和第二夾板20安裝。優(yōu)選地，所述卡扣11分布于所述第一夾板10的左右兩側(cè)及下方的邊緣，所述卡槽21對(duì)應(yīng)分布于第二夾板20的左右兩側(cè)及下方的邊緣。如此，以方便所述第一夾板10和第二夾板20的打開。

此外，為了方便對(duì)所述石英件、石墨件的進(jìn)行清洗，所述第一夾板10和第二夾板20鏤空設(shè)置，其中，所述鏤空設(shè)置包括：正方形鏤空結(jié)構(gòu)31以及分布于所述正方形鏤空結(jié)構(gòu)31四周的圓形鏤空結(jié)構(gòu)32。如此，清洗液可通過(guò)鏤空結(jié)構(gòu)與所述石英件、石墨件充分接觸，實(shí)現(xiàn)清洗的目的。優(yōu)選地，所述正方形鏤空結(jié)構(gòu)31為四個(gè)，四個(gè)正方形鏤空結(jié)構(gòu)31以陣列形式進(jìn)行排布，所述正方形鏤空結(jié)構(gòu)31的任一側(cè)設(shè)置有三個(gè)圓形鏤空結(jié)構(gòu)32。

為了進(jìn)一步對(duì)待清洗的石英件、石墨件進(jìn)行固定，防止其發(fā)生移動(dòng)。所述第一夾板10和第二夾板20的對(duì)應(yīng)位置處開設(shè)有定位螺孔40，所述定位螺孔40中安裝有定位螺栓(未圖示)。所述定位螺孔40開設(shè)的位置根據(jù)石英件、石墨件在夾持空間中的固定位置而定。優(yōu)選地，所述定位螺栓采用耐酸堿定位螺栓。

所述第一夾板10和第二夾板20的上方邊緣處還對(duì)應(yīng)開設(shè)有腰形通孔50。所述腰形通孔50可作為把手使用，從而便于本實(shí)用新型的清洗夾具的整體移動(dòng)。

本實(shí)用新型的清洗夾具使用時(shí)，先將所述第一夾板10和第二夾板20打開，將石英件或石墨件放置于第一夾板10或第二夾板20上，再將第一夾板10和第二夾板20扣合，并安裝定位螺栓，完成石英件或石墨件的定位固定。清洗時(shí)，石英件或石墨件始終處于所述夾持空間中，所述第一夾板10和第二夾板20對(duì)石英件或石墨件提供持續(xù)的保護(hù)。如此，保證石英、石墨件在清洗的同時(shí)，不受外力擠壓，碰撞等，最大限度保護(hù)石英件、石墨件的完整性。

綜上所述，本實(shí)用新型的清洗夾具能夠防止配件損傷、提高材料利用率、降低生產(chǎn)成本，使用本實(shí)用新型的清洗夾具時(shí)，石英件、石墨件在清洗移動(dòng)的過(guò)程中能更好的得到保護(hù)，保證石英、石墨件不受外力擠壓，碰撞等，最大限度保護(hù)石英件、石墨件的完整性。

對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說(shuō)明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說(shuō)明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。