光刻膠的膠瓶蓋子及膠瓶的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種光刻膠的膠瓶蓋子及膠瓶，該膠瓶蓋子包括瓶帽、帽芯、蓋板和膠管引導(dǎo)鎖緊件；其中，瓶帽通過(guò)其下部?jī)?nèi)側(cè)的螺紋與膠瓶的瓶口螺紋連接；帽芯位于瓶口的上方、瓶帽的上部?jī)?nèi)側(cè)；蓋板位于瓶帽和帽芯的上方，并與帽芯相固定；蓋板與帽芯之間形成一環(huán)形凹槽，瓶帽的上部前端嵌入環(huán)形凹槽中，使瓶帽跟蓋板與帽芯之間既不可分離又能彼此獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)；帽芯和蓋板上鉆有上下貫通的孔眼，膠管引導(dǎo)鎖緊件從孔眼中穿過(guò)，并與帽芯和/或蓋板之間螺紋固定；膠管引導(dǎo)鎖緊件的內(nèi)部中空，引導(dǎo)光刻膠的膠管從中穿過(guò)而插入至膠瓶?jī)?nèi)適當(dāng)深度，并將膠管與膠瓶蓋子鎖緊固定。本發(fā)明能夠?qū)⒛z管與膠瓶蓋子固定，防止膠管因不插到瓶底而造成的抽空，避免晶圓缺膠。
【專利說(shuō)明】光刻膠的膠瓶蓋子及膠瓶
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明涉及一種光刻膠的膠瓶蓋子及膠瓶。
【背景技術(shù)】
[0002]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種用于向涂膠設(shè)備供膠的光刻膠的膠瓶蓋子的立體結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有的涂膠設(shè)備(未圖示)的供膠方式是在光刻膠膠瓶100的膠瓶蓋子101上鉆兩個(gè)孔眼，讓供膠管道(outlet) 102和回流管道(vent) 103分別通過(guò)孔眼的膠瓶蓋子101伸入膠瓶100，實(shí)現(xiàn)供膠和回流的功能。
[0003]但是，現(xiàn)有的供膠方式受限于膠瓶蓋子101的構(gòu)造，致使供膠管道102和回流管道103無(wú)法被固定，導(dǎo)致供膠管道102經(jīng)常不插到膠瓶100的瓶底(即供膠管道102經(jīng)常懸空)，造成向涂膠設(shè)備供膠時(shí)抽空，機(jī)臺(tái)上的晶圓(wafer)缺膠。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種光刻膠的膠瓶蓋子及膠瓶，能夠?qū)⒐┠z管道和回流管道與膠瓶蓋子固定，防止供膠管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，避免晶圓缺膠。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種光刻膠的膠瓶蓋子，包括瓶帽、帽芯、蓋板和膠管引導(dǎo)鎖緊件；
[0006]其中，所述瓶帽通過(guò)其下部?jī)?nèi)側(cè)的螺紋與光刻膠的膠瓶的瓶口螺紋連接；所述帽芯位于所述瓶口的上方、所述瓶帽的上部?jī)?nèi)側(cè)；所述蓋板位于所述瓶帽和所述帽芯的上方，并與所述帽芯相固定；所述蓋板與所述帽芯之間形成一環(huán)形凹槽，所述瓶帽的上部前端嵌入所述環(huán)形凹槽中，使所述瓶帽跟所述蓋板與所述帽芯之間既不可分離又能彼此獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)；所述帽芯和所述蓋板上均鉆有上下貫通的孔眼，所述膠管引導(dǎo)鎖緊件從所述孔眼中穿過(guò)，并與所述帽芯和/或所述蓋板之間螺紋固定；所述膠管引導(dǎo)鎖緊件的內(nèi)部中空，引導(dǎo)光刻膠的膠管從中穿過(guò)而插入至所述膠瓶?jī)?nèi)適當(dāng)深度，并將所述膠管與所述膠瓶蓋子之間鎖緊固定。
[0007]可選地，所述膠管引導(dǎo)鎖緊件包括膠管引導(dǎo)件、螺母和膠管鎖緊件；
[0008]其中，所述螺母位于所述膠管引導(dǎo)件的中部并與之相固定；所述膠管引導(dǎo)件的上部和下部均具有螺紋，其下部的螺紋用于使所述膠管引導(dǎo)鎖緊件與所述帽芯和/或所述蓋板之間固定，其上部的螺紋用于使所述膠管鎖緊件與所述膠管引導(dǎo)件之間固定，將所述膠管固定于所述膠管引導(dǎo)鎖緊件上，從而最終使得所述膠管與所述膠瓶蓋子之間實(shí)現(xiàn)鎖緊固定。
[0009]可選地，所述帽芯和所述蓋板上鉆有上下貫通的兩個(gè)孔眼，對(duì)應(yīng)采用的所述膠管引導(dǎo)鎖緊件為兩套，分別用于引導(dǎo)光刻膠的一供膠管道和一回流管道從中穿過(guò)，在所述供膠管道插入至所述膠瓶的瓶底后，將所述供膠管道和所述回流管道與所述膠瓶蓋子之間鎖緊固定。
[0010]可選地，所述膠瓶蓋子的整體材質(zhì)為PVC料。
[0011]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明還提供一種光刻膠的膠瓶，包括上述任一項(xiàng)所述的膠瓶蓋子。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0013]本發(fā)明通過(guò)采用接頭鎖緊螺母方式，將光刻膠的供膠管道和回流管道與膠瓶蓋子鎖定，使得供膠管道固定處于膠瓶的瓶底，防止供膠管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，晶圓缺膠。
[0014]本發(fā)明通過(guò)極小的成本和相對(duì)簡(jiǎn)單的設(shè)備改進(jìn)，避免了晶圓缺膠，提高了生產(chǎn)合格率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]本發(fā)明的上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢(shì)將通過(guò)下面結(jié)合附圖和實(shí)施例的描述而變得更加明顯，其中:
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種用于向涂膠設(shè)備供膠的光刻膠的膠瓶蓋子的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于向涂膠設(shè)備供膠的光刻膠的膠瓶蓋子的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為圖2所示實(shí)施例的光刻膠的膠瓶蓋子中膠管引導(dǎo)鎖緊件的單獨(dú)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，在以下的描述中闡述了更多的細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明顯然能夠以多種不同于此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下根據(jù)實(shí)際應(yīng)用情況作類似推廣、演繹，因此不應(yīng)以此具體實(shí)施例的內(nèi)容限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0020]圖2為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于向涂膠設(shè)備供膠的光刻膠的膠瓶蓋子的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。需要注意的是，這個(gè)以及后續(xù)其他的附圖均僅作為示例，其并非是按照等比例的條件繪制的，并且不應(yīng)該以此作為對(duì)本發(fā)明實(shí)際要求的保護(hù)范圍構(gòu)成限制。如圖2所示，該膠瓶蓋子201可以安裝于光刻膠的膠瓶200上。為突出重點(diǎn)，該膠瓶200僅示出所安裝的瓶口部分，而未示出所有的部分。該膠瓶蓋子201的整體材質(zhì)上可以為PVC料，結(jié)構(gòu)上主要包括瓶帽202、帽芯204、蓋板206和膠管引導(dǎo)鎖緊件208等部件。
[0021]其中，該瓶帽202通過(guò)其下部?jī)?nèi)側(cè)的螺紋與光刻膠的膠瓶200的瓶口螺紋連接。該帽芯204位于瓶口的上方、瓶帽202的上部?jī)?nèi)側(cè)。該蓋板206位于瓶帽202和帽芯204的上方，并與帽芯204相固定。蓋板206與帽芯204之間形成一環(huán)形凹槽210，瓶帽202的上部前端嵌入環(huán)形凹槽210中，使瓶帽202跟蓋板206與帽芯204之間既不可分離又能彼此獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)。帽芯204和蓋板206上均鉆有上下貫通的孔眼212，該膠管引導(dǎo)鎖緊件208從孔眼212中穿過(guò)，并與帽芯204和/或蓋板206之間螺紋固定。膠管引導(dǎo)鎖緊件208的內(nèi)部中空，引導(dǎo)光刻膠的膠管從中穿過(guò)而插入至膠瓶200內(nèi)適當(dāng)深度，并將膠管與膠瓶蓋子201之間鎖緊固定。
[0022]圖3為圖2所示實(shí)施例的光刻膠的膠瓶蓋子中膠管引導(dǎo)鎖緊件的單獨(dú)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參考圖3并結(jié)合圖2所示，該膠管引導(dǎo)鎖緊件208主要包括膠管引導(dǎo)件221、螺母223和膠管鎖緊件225等部件。其中，螺母223位于膠管引導(dǎo)件221的中部并與之相固定。膠管引導(dǎo)件221的上部和下部均具有螺紋，其下部的螺紋用于使膠管引導(dǎo)鎖緊件208與帽芯204和/或蓋板206之間固定，其上部的螺紋用于使膠管鎖緊件225與膠管引導(dǎo)件221之間固定，將膠管固定于膠管引導(dǎo)鎖緊件208上，從而最終使得膠管與膠瓶蓋子201之間實(shí)現(xiàn)鎖緊固定。
[0023]請(qǐng)繼續(xù)參考圖2所示，在本實(shí)施例中，為了實(shí)際光刻工藝中能夠使用兩根膠管，在該膠瓶蓋子201的帽芯204和蓋板206上共鉆有上下貫通的兩個(gè)孔眼212。對(duì)應(yīng)采用的膠管引導(dǎo)鎖緊件208也為兩套，分別用于引導(dǎo)光刻膠的一供膠管道214和一回流管道216從中穿過(guò)。在供膠管道214插入至膠瓶200的瓶底后，可以將供膠管道214和回流管道216與膠瓶蓋子201之間鎖緊固定。
[0024]在本實(shí)施例中，該膠管引導(dǎo)鎖緊件208的膠管鎖緊件225可以采用本領(lǐng)域公知的各類技術(shù)，對(duì)此圖2和圖3中所示的內(nèi)部構(gòu)造僅為示意，并非用以特指只能采用如圖所示的方式，不再贅述。
[0025]綜上所述，本發(fā)明通過(guò)采用接頭鎖緊螺母方式，將光刻膠的供膠管道和回流管道與膠瓶蓋子鎖定，使得供膠管道固定處于膠瓶的瓶底，防止供膠管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，晶圓缺膠。
[0026]本發(fā)明通過(guò)極小的成本和相對(duì)簡(jiǎn)單的設(shè)備改進(jìn)，避免了晶圓缺膠，提高了生產(chǎn)合格率。
[0027]本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來(lái)限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和修改。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何修改、等同變化及修飾，均落入本發(fā)明權(quán)利要求所界定的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻膠的膠瓶蓋子(201)，其特征在于，包括瓶帽(202)、帽芯(204)、蓋板(206)和膠管引導(dǎo)鎖緊件(208)； 其中，所述瓶帽(202)通過(guò)其下部?jī)?nèi)側(cè)的螺紋與光刻膠的膠瓶(200)的瓶口螺紋連接；所述帽芯(204)位于所述瓶口的上方、所述瓶帽(202)的上部?jī)?nèi)側(cè)；所述蓋板(206)位于所述瓶帽(202)和所述帽芯(204)的上方，并與所述帽芯(204)相固定；所述蓋板(206)與所述帽芯(204)之間形成一環(huán)形凹槽(210)，所述瓶帽(202)的上部前端嵌入所述環(huán)形凹槽(210)中，使所述瓶帽(202)跟所述蓋板(206)與所述帽芯(204)之間既不可分離又能彼此獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)；所述帽芯(204)和所述蓋板(206)上均鉆有上下貫通的孔眼(212)，所述膠管引導(dǎo)鎖緊件(208)從所述孔眼(212)中穿過(guò)，并與所述帽芯(204)和/或所述蓋板(206)之間螺紋固定；所述膠管引導(dǎo)鎖緊件(208)的內(nèi)部中空，引導(dǎo)光刻膠的膠管從中穿過(guò)而插入至所述膠瓶(200)內(nèi)適當(dāng)深度，并將所述膠管與所述膠瓶蓋子(201)之間鎖緊固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠的膠瓶蓋子(201)，其特征在于，所述膠管引導(dǎo)鎖緊件(208)包括膠管引導(dǎo)件(221)、螺母(223)和膠管鎖緊件(225)； 其中，所述螺母(223)位于所述膠管引導(dǎo)件(221)的中部并與之相固定；所述膠管引導(dǎo)件(221)的上部和下部均具有螺紋，其下部的螺紋用于使所述膠管引導(dǎo)鎖緊件(208)與所述帽芯(204)和/或所述蓋板(206)之間固定，其上部的螺紋用于使所述膠管鎖緊件(225)與所述膠管引導(dǎo)件(221)之間固定，將所述膠管固定于所述膠管引導(dǎo)鎖緊件(208)上，從而最終使得所述膠管與所述膠瓶蓋子(201)之間實(shí)現(xiàn)鎖緊固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻膠的膠瓶蓋子(201)，其特征在于，所述帽芯(204)和所述蓋板(206)上鉆有上下貫通的兩個(gè)孔眼(212)，對(duì)應(yīng)采用的所述膠管引導(dǎo)鎖緊件(208)為兩套，分別用于引導(dǎo)光刻膠的一供膠管道(214)和一回流管道(216)從中穿過(guò)，在所述供膠管道(214)插入至所述膠瓶(200)的瓶底后，將所述供膠管道(214)和所述回流管道(216)與所述膠瓶蓋子(201)之間鎖緊固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻膠的膠瓶蓋子(201)，其特征在于，所述膠瓶蓋子(201)的整體材質(zhì)為PVC料。
5.一種光刻膠的膠瓶(200)，包括權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的膠瓶蓋子(200)。
【文檔編號(hào)】B65D47/06GK104029908SQ201410312377
【公開日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年7月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月2日
【發(fā)明者】鄒劍平 申請(qǐng)人:上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造股份有限公司