專(zhuān)利名稱(chēng)：彩色光刻膠的清洗劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及清洗劑的組成物，尤其涉及一種用于去除在顯影和剝離制 程中吸附在管道及設(shè)備內(nèi)壁上彩色光刻膠的清洗劑。
背景技術(shù)：
彩色濾光片(color filter)由玻璃基板、彩色光刻膠(BM、 R、 G、 B)， OC膠、Si02膜、ITO膜共五層組成。
彩色濾光片(color filter)的制程通常為首先，在空白玻璃基片上鍍 第一層膜，然后上BM，前烘、對(duì)準(zhǔn)，曝光、顯影、后烘、蝕刻，去BM， 然后再鍍第二層膜，上彩色光刻膠2,前烘、對(duì)準(zhǔn)，曝光、顯影、后烘、 蝕刻，然后再鍍第三層膜，上彩色光刻膠3，前烘、對(duì)準(zhǔn)，曝光、顯影、 后烘、蝕刻，然后再鍍第三層膜，上彩色光刻膠4，前烘、對(duì)準(zhǔn)，曝光、 顯影、后烘、蝕刻，最后上OC層、Si02層、鍍ITO層。
其中彩色光刻膠l、 2、 3、 4，就是指R、 G、 B、 BM。彩色光刻膠可 以通過(guò)顏料分裝法、染色法、電著法等方法制造。彩色光刻膠是由光聚引 發(fā)劑、單體、分劑、溶劑、色膏、粘合劑等組成。光聚引發(fā)劑在曝光時(shí)受 光后產(chǎn)生自由基的高感光性化合物，而單體則通過(guò)自由基引發(fā)聚合反應(yīng) 后，結(jié)合成高分子形態(tài)，從而形成不溶于顯影溶劑的形態(tài)。粘合劑，在常 溫下保護(hù)液體狀單體使之不溶解于顯影液，并決定色膏分散劑的穩(wěn)定性及 R、 G、 B、 BM的圖案的穩(wěn)定性、耐光性、耐化學(xué)性等可靠性。為了進(jìn)一 步保護(hù)R、 G、 B、 BM的圖案，通常會(huì)彩色光刻膠上OC層，同時(shí)達(dá)到公 用電極施加電壓，上Si02層、鍍ITO層。還經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)不良品，因此需要?jiǎng)冸x己經(jīng)涂上彩色光刻膠及各層，來(lái) 達(dá)到回收玻璃基板的目的，降低生產(chǎn)成本。
其中在顯影和剝離制程中，產(chǎn)生的彩色光刻膠殘膠很容易吸附工藝管 道設(shè)備的內(nèi)壁，造成管道的堵塞，影響正常的生產(chǎn)，造成必要的浪費(fèi)。因 此需要一種清洗劑清洗管道內(nèi)壁上的彩色光刻膠殘膠，保證正常生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種用于去除在顯影 和剝離制程中吸附在管道及設(shè)備內(nèi)壁上彩色光刻膠的清洗劑。 本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)
彩色光刻膠的清洗劑，其組分具有如下的重量百分比1 10wtn/。無(wú)機(jī) 堿氫氧化物或烷基氫氧化銨或苯基垸基氫氧化銨的氫氧化物，0.1 1 Owt% 聚氧乙烯醚，0.01 0.1 wt。/。聚醚多元醇，80 96%純水。
進(jìn)一步地，上述的彩色光刻膠的清洗劑，所述聚氧乙烯醚為垸基酚聚 氧乙烯醚、壬基聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二垸基酚聚氧乙烯醚。
更進(jìn)一步地，上述的彩色光刻膠的清洗劑，所述聚醚多元醇為聚氧化 丙烯二醇、聚四氫呋喃二醇、聚氧四亞甲基二醇、四氫呋喃-氧化丙烯 共聚二醇。
再進(jìn)一步地，上述的彩色光刻膠的清洗劑，所述純水采用經(jīng)離子交換 樹(shù)脂和RO過(guò)濾的純水。
本發(fā)明技術(shù)方案突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著的進(jìn)步主要體現(xiàn)在 本發(fā)明采用科學(xué)的配方，配制的清洗劑能夠安全環(huán)保的清洗管道內(nèi)壁
上的彩色光刻膠殘膠，清洗劑清洗過(guò)的管道內(nèi)壁上均很干凈、無(wú)殘膠，保
證正常生產(chǎn)，應(yīng)用極為方便。
具體實(shí)施例方式
為了研發(fā)對(duì)彩色光刻膠清洗劑殘膠的清洗方法，使用具有科學(xué)組分的清洗劑組合物，可以容易清洗管道內(nèi)壁上的彩色光刻膠殘膠。
本發(fā)明彩色光刻膠的清洗劑配方是1 10城％無(wú)機(jī)堿氫氧化物或烷基
氫氧化銨或苯基烷基氫氧化銨的氫氧化物，0.1 10wt。/。聚氧乙烯醚，0.01
0.1wt。/。聚醚多元醇，80 96%純水。
無(wú)機(jī)堿氫氧化物或烷基氫氧化銨或苯基垸基氫氧化銨的氫氧化物含
量控制在l 10wt%，如果含量低于1 wt。/。就無(wú)法分解彩色光刻膠，進(jìn)而無(wú)
法達(dá)到清洗管道去除殘膠的效果，如果高于10wt。/。，就可能損壞管道，影
響管道的壽命；烷基氫氧化銨包含C1-C4的烷基。
聚氧乙烯醚為烷基酚聚氧乙烯醚、壬基聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯
醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚，含量控制在0.1 10wt%，如果含量低于0.1
Wte/。就無(wú)法分解彩色光刻膠殘膠，進(jìn)而造成彩色光刻膠殘膠容易吸附在管
道內(nèi)壁，如果高于10wtM，就可能在使用時(shí)產(chǎn)生泡沫較多，不利于安全高
效使用。
聚醚多元醇為聚氧化丙烯二醇又稱(chēng)聚丙二醇(polyoxypropylene glycol,簡(jiǎn)稱(chēng)PPG)、聚四氫呋喃二醇(polytetmhydrofuran glycol,簡(jiǎn) 稱(chēng)PTHF)、聚氧四亞甲基二醇(polyoxytetramethylene glycol,簡(jiǎn)稱(chēng)PIG、 PTMEG 、 PTMG 、 PTMO )、 四氫呋喃-氧化丙烯共聚二醇 (tetrahydrofuranoxide propylene copolymer glycol);聚鵬多兀醇含量?jī)?yōu) 選0.01 0.1wtW，如果低于0.01wtn/。，就可能無(wú)法達(dá)到消泡的效果，如果 高于0.1wt。/。，則會(huì)造成體系的不穩(wěn)定。
純水采用通過(guò)離子交換樹(shù)脂和RO過(guò)濾的純水，最好使用電阻高于或 等于18MQ的超純水?；诮M合物總量其含量?jī)?yōu)選80 96% 。如果含量 低于80%或高于96%，就可能降低組合物的活性，無(wú)法分解彩色光刻膠的 殘膠，無(wú)法達(dá)到清洗管道去除殘膠的效果。
本發(fā)明的上述清洗劑組合物，可在常溫下，較短時(shí)間內(nèi)比較容易地去 除吸附在管道內(nèi)壁上的彩色光刻膠殘膠，達(dá)到清洗管道的效果。下面，通過(guò)實(shí)施例進(jìn)一歩詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
實(shí)施例1 8
實(shí)施例清洗劑的組成物無(wú)機(jī)堿氫氧化物聚氧乙烯醚多元醇純水
1KOH2 wt%烷基酚聚 氧乙烯醚0.5 wt%聚氧四亞 甲基二醇0.01 wt%97.49wt%
2KOHlwt%烷基酚聚 氧乙烯醚1 wt%聚氧四亞 甲基二醇0.1 wt%97.9 wt%
KOH4wt%壬基聚氧 乙烯醚1 wt%聚氧化丙 烯二醇0.04 wt%94.96 wt%
4KOH10 wt%壬基聚氧 乙烯醚2 wt%聚氧化丙 烯—醇0.1 wt%87.9 wt%
NaOH2 wt%辛基酚聚 氧乙烯醚0.1 wt%聚四氫呋 喃二醇0.01 wt0/097.89 wt%
6NaOH2 wt0/。辛基酚聚 氧乙烯醚1 wt%聚四氫呋 喃二醇0.1 wt%96.9 wt%
7NaOH4 wt%十二烷基 酚聚氧乙 烯醚1 wt%聚氧化丙 烯二醇0.04 wt%94.96 wt%
8NaOH4 wt%十二院基 酚聚氧乙 烯醚10 wt%聚氧化丙 烯二醇0.1 wt%85.9 wt%
用上述實(shí)施例1 8配制的清洗劑清洗管道內(nèi)壁，管道內(nèi)壁上均非常 干凈、無(wú)殘膠。
綜上明顯表明，本發(fā)明采用科學(xué)的配方，所得產(chǎn)品能夠安全環(huán)保的清
6洗管道內(nèi)壁上的彩色光刻膠殘膠，保證正常生產(chǎn)，應(yīng)用極為方便。
以上僅是本發(fā)明的具體應(yīng)用范例，對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限 制。凡采用等同變換或者等效替換而形成的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明權(quán)利 保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 彩色光刻膠的清洗劑，其特征在于其組分具有如下的重量百分比1～10wt％無(wú)機(jī)堿氫氧化物或烷基氫氧化銨或苯基烷基氫氧化銨的氫氧化物，0.1～10wt％聚氧乙烯醚，0.01～0.1wt％聚醚多元醇，80～96％純水。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的彩色光刻膠的清洗劑，其特征在于所述聚氧乙烯醚為烷基酚聚氧乙烯醚、壬基聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的彩色光刻膠的清洗劑，其特征在于所述聚醚多元醇為聚氧化丙烯二醇、聚四氫呋喃二醇、聚氧四亞甲基二醇、四氫呋喃-氧化丙烯共聚二醇。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的彩色光刻膠的清洗劑，其特征在于所述純水采用經(jīng)離子交換樹(shù)脂和RO過(guò)濾的純水。
全文摘要
本發(fā)明提供一種彩色光刻膠的清洗劑，其配方1～10wt％無(wú)機(jī)堿氫氧化物或烷基氫氧化銨或苯基烷基氫氧化銨的氫氧化物，0.1～10wt％聚氧乙烯醚，0.01～0.1wt％聚醚多元醇，80～96％純水。采用科學(xué)的配方，配制的清洗劑能夠安全環(huán)保的清洗管道內(nèi)壁上的彩色光刻膠殘膠，保證正常生產(chǎn)，應(yīng)用極為方便。
文檔編號(hào)G03F7/42GK101520612SQ200910026138
公開(kāi)日2009年9月2日 申請(qǐng)日期2009年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月1日
發(fā)明者朱海盛, 奇 顧 申請(qǐng)人:蘇州瑞晶化學(xué)有限公司;蘇州蘇電微電子信息化學(xué)品研發(fā)中心有限公司