專利名稱：涂布液供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在涂布裝置中使用的涂布液供給裝置。
技術(shù)背景以往，作為涂布液供給裝置，公知有如下結(jié)構(gòu)在設(shè)于涂布液收容部件的 開口緣的歧管的內(nèi)表面上形成密封部件，通過密封部件來密封涂布液壓出部 件，并通過涂布液引入部將涂布液引入到在歧管的內(nèi)表面與涂布液壓出部件之 間形成的環(huán)狀空間內(nèi)(例如參照專利文獻(xiàn)l)。專利文獻(xiàn)h日本專利特開2005-246201號公報然而，在上述以往的涂布液供給裝置中，密封部件與涂布液壓出部件的外 周面滑動接觸，有時附著在涂布液壓出部件外周面上的涂布液無法用密封部件 完全封住而會漏出到外部。從而存在如下問題漏出到外部的涂布液接觸外部大氣而固化，導(dǎo)致涂布液壓出部件動作不良，或是再次回到涂布液收容部件中 后混入涂布液內(nèi)，妨礙合適的涂布。發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的課題在于提供一種能可靠防止從涂布液收容部件漏出的涂 布液到達(dá)外部的涂布液供給裝置。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的涂布液供給裝置包括涂布液收容部件， 該涂布液收容部件收容涂布液，并具有涂布液流動部；以及涂布液壓出部件， 該涂布液壓出部件插入在所述涂布液收容部件內(nèi)，并通過所述涂布液流動部將 收容在所述涂布液收容部件內(nèi)的涂布液向外部輸出，所述涂布液收容部件在所 述涂布液壓出部件的插入部上具有涂布液回收部，該涂布液回收部用于回收經(jīng) 由該插入部漏出的涂布液。
采用這種結(jié)構(gòu)，由于涂布液收容部件設(shè)置有涂布液回收部，因此即使附著 在涂布液壓出部件外周面上的涂布液從涂布液收容部件漏出，也不會接觸外部 大氣。因此，不會出現(xiàn)因涂布液固化而造成的不良影響，可在無需維護(hù)的情況 下長時間進(jìn)行良好的涂布作業(yè)。最好所述涂布液回收部由清洗室構(gòu)成，在該清洗室內(nèi)填充有使所述涂布液 溶解的清洗液。采用這種結(jié)構(gòu)，從涂布液收容部件漏出的涂布液被清洗液溶解，可防止該 涂布液回到涂布液收容部件內(nèi)。最好所述清洗室可根據(jù)更換時間特定信息來更換所填充的清洗液。作為更 換時間特定信息，例如可以用定時器等來測定使用時間，當(dāng)該使用時間到達(dá)預(yù) 先設(shè)定的時間時，報知"更換時間已到"，或是自動更換。最好所述涂布液壓出部件可相對于所述涂布液收容部件的內(nèi)周面保持規(guī) 定間隔地往復(fù)移動，所述涂布液回收部由排出用涂布液收容室構(gòu)成，該排出用 涂布液收容室利用隔壁部在所述涂布液收容部件內(nèi)形成，該隔壁部具有將所述 涂布液壓出部件可滑動地引導(dǎo)的導(dǎo)向孔，所述排出用涂布液收容室具有可供給 或排出所述涂布液的結(jié)構(gòu)。采用這種結(jié)構(gòu)，首先可用隔壁部來防止附著在涂布液壓出部件外周面上的 涂布液漏出。另外，即使該涂布液漏出到排出用涂布液收容室內(nèi)，也可與向排 出用涂布液收容室內(nèi)供給的涂布液一起向外部排出。即，用排出用涂布液收容 室來供給、排出涂布液，從而確保流動狀態(tài)。因此，即使附著在涂布液壓出部 件外周面上的涂布液漏出到涂布液收容部件的外部而固化等，該涂布液也可由 在排出用涂布液收容室形成的涂布液的流動而向外部排出。另外，排出的涂布 液也可通過再生處理而循環(huán)再利用。最好所述涂布液收容部件的涂布液流動部包括涂布液供給部，該涂布液 供給部設(shè)在所述涂布液壓出部件的插入部側(cè)；以及涂布液輸出部，該涂布液輸 出部設(shè)在與所述插入部相反的一側(cè)，將供給的涂布液輸出。采用這種結(jié)構(gòu)，可使從涂布液供給部供給到涂布液收容部件內(nèi)的涂布液依 次通過涂布液輸出部輸出，因此舊涂布液很難殘留在涂布液收容部件內(nèi)。 最好所述涂布液收容部件在與所述涂布液供給部相反的一側(cè)的最高位置 上具有空氣排出部。采用這種結(jié)構(gòu)，可利用向涂布液收容部件內(nèi)供給的涂布液最自然地排出涂 布液收容部件內(nèi)的空氣。最好通過在隔壁部上形成的開口部向所述排出用涂布液收容室供給涂布 液，并通過涂布液排出部將涂布液從所述排出用涂布液收容室排出，所述涂布 液排出部與所述涂布液輸出部分開設(shè)置并與所述排出用涂布液收容室連通。采用這種結(jié)構(gòu)，可以僅將考慮到可能含有夾雜物而設(shè)有的排出用涂布液收 容室內(nèi)的涂布液有效地排出。采用本發(fā)明，由于用涂布液回收部來回收從涂布液收容部件漏出的涂布 液，因此不會發(fā)生涂布液漏出到外部而固化等的不良情況，可使涂布作業(yè)長時 間維持在良好狀態(tài)。


圖1是第1實(shí)施形態(tài)的涂布裝置的整體結(jié)構(gòu)的概略說明圖。圖2是表示圖1的涂布液供給裝置的初始準(zhǔn)備工序的概略說明圖。圖3是表示圖1的涂布液供給裝置的初始涂布液供給工序的概略說明圖。圖4是表示圖1的涂布液供給裝置的涂布液輸出工序的概略說明圖。圖5是表示圖1的涂布液供給裝置的第二次以后的涂布液供給工序的概略說明圖。圖6是表示圖1的涂布液供給裝置的夾雜物除去工序的概略說明圖。 圖7是表示第2實(shí)施形態(tài)的涂布液供給裝置的概略說明圖。 圖8是表示第2實(shí)施形態(tài)的涂布液供給裝置的另一例的概略說明圖。 圖9是表示第3實(shí)施形態(tài)的涂布液供給裝置的概略說明圖。 (符號說明) 1涂布液箱體 2涂布液供給裝置 3涂布液輸出裝置
4控制裝置5涂布液收容部件6涂布液壓出部件7驅(qū)動部件8第一插通孔9第一密封壁10臺階部11第一密封部件12隔壁部13輸出用涂布液收容室14排出用涂布液收容室15導(dǎo)向孔16貫穿孔17涂布液供給管18涂布液輸出管19空氣排出管20涂布液排出管21a、 21b、 21c、 21d、 21e、 21f開閉閥22涂布液回收部22a清洗室23第二密封壁24第二插通孔25第二密封部件26電動機(jī)27滾珠絲杠28支撐部29支撐臺30被涂布部件 31涂膜32活塞 33缸具體實(shí)施方式
下面參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說明。另外，在下面的說明中，相 同的名稱、符號表示相同或性質(zhì)相同的部件，適當(dāng)省略了詳細(xì)說明。 (第l實(shí)施形態(tài)) (結(jié)構(gòu))圖1表示的是第1實(shí)施形態(tài)的涂布裝置。該涂布裝置大致包括涂布 液箱體l、涂布液供給裝置2、涂布液輸出裝置3以及控制裝置4。在涂布液箱體1內(nèi)儲藏有涂布液，可隨時將涂布液向涂布液供給裝置 2供給。作為涂布液，例如可使用在玻璃基板上進(jìn)行涂布的PDP用玻璃漿液。 但并不局限于此，也可使用以往公知的各種涂布液。涂布液供給裝置2包括涂布液收容部件5、涂布液壓出部件6以及 驅(qū)動部件7。涂布液收容部件5由圓筒狀的缸構(gòu)成。在此，為了提高內(nèi)部的觀看性 而使用了用玻璃形成的缸，但也可以用不銹鋼等金屬材料形成。但是，內(nèi) 表面需要通過鏡面加工等將粗糙度抑制得較小。涂布液收容部件5的一端部閉鎖，另一端部如圖2所示，構(gòu)成第一密 封壁9,在該第一密封壁9上形成有第一插通孔8。在所述第一插通孔8的 內(nèi)周面的兩個部位(兩端開口部)上形成有擴(kuò)大了內(nèi)徑的臺階部10，在其 中分別配設(shè)有0形圈等第一密封部件11。涂布液收容部件5的內(nèi)部被與所 述第一密封壁9隔開規(guī)定間隔設(shè)置的隔壁部12分離成輸出用涂布液收容室 13和排出用涂布液收容室14。在隔壁部12上分別形成有導(dǎo)向孔15和兩個 部位上的貫穿孔16，所述導(dǎo)向孔15與所述第一密封壁9的第一插通孔8 相對，所述貫穿孔16可使涂布液從輸出用涂布液收容室13流入。另外， 貫穿孔16也可設(shè)置在一個部位上，或設(shè)置在三個以上部位上。
在涂布液收容部件5上分別連接有涂布液供給管17、涂布液輸出管18、 空氣排出管19以及涂布液排出管20。涂布液供給管17在所述隔壁部12附近與輸出用涂布液收容室13連 通，將來自涂布液箱體1的涂布液向輸出用涂布液收容室13內(nèi)供給。另外，涂布液輸出管18在與所述第一密封壁9相反的一側(cè)的端部側(cè)與 輸出用涂布液收容室13連通，使輸出的涂布液向涂布液輸出裝置3流動。另外，空氣排出管19在與所述涂布液供給管17相反的一側(cè)的端部的 最高位置上與輸出用涂布液收容室13連通。由此，可利用經(jīng)涂布液供給管 17供給來的涂布液將輸出用涂布液收容室13內(nèi)的空氣順利地向外部排出。另外，涂布液排出管20與排出用涂布液收容室14連通，并將附著在 涂布液壓出部件6外周面上的夾雜物(例如為附著在涂布液壓出部件6外 周面上的涂布液因與第一密封部件ll滑動接觸而固化等所產(chǎn)生的固態(tài)物體 等)、從后述的涂布液回收部22泄漏到排出用涂布液收容室14內(nèi)的清洗 液向外部排出。此時，最好進(jìn)行將夾雜物等從被排出的涂布液中除去的再 生處理，使涂布液向所述涂布液供給管17回流后向輸出用涂布液收容室13 內(nèi)供給。另外，在所述各配管(涂布液供給管17、涂布液輸出管18、空氣排出 管19、涂布液排出管20)上分別設(shè)置有開閉閥21a、 21b、 21c、 21d。而且， 如后面所述，各開閉闊21a、 21b、 21c、 21d的開閉動作由控制裝置4進(jìn)行 驅(qū)動控制。另外，在涂布液收容部件5上與第一密封壁9相鄰地設(shè)置有涂布液回 收部22。在此，涂布液回收部22包括清洗室22a，在該清洗室22a內(nèi)填充有可使涂布液溶解的清洗液。作為清洗液，可使用涂布液的溶劑。例如， 可使用PGMEA (丙二醇單甲醚醋酸鹽)。但是并不局限于此，可根據(jù)涂布液的種類使用各種溶劑。涂布液回收部22的一端側(cè)開口部與第一密封壁9形成為一體，另一端 部由第二密封壁23構(gòu)成。第二密封壁23與所述第一密封壁9一樣，形成 有與所述第一插通孔8相對的第二插通孔24，在其內(nèi)周面上設(shè)置有第二密
封部件25。最好在第一插通孔8與第二插通孔24之間確保足夠的距離。由 此，貫穿的涂布液壓出部件6的支撐狀態(tài)穩(wěn)定，可對進(jìn)入輸出用涂布液收 容室13內(nèi)的涂布液壓出部件6的整個區(qū)域進(jìn)行清洗。另外，也可以在所述涂布液回收部22上具有可更換清洗液的結(jié)構(gòu)，或 者利用蒸餾回收裝置等對從涂布液回收部22排出的清洗液進(jìn)行再利用，使 其向涂布液回收部22回流。涂布液壓出部件6將金屬材料(例如不銹鋼、鐵或在表面上進(jìn)行了鍍 鉻的材料)做成圓柱狀。涂布液壓出部件6的表面通過鏡面加工等而將粗 糙度抑制得較小。驅(qū)動部件7構(gòu)成為在電動機(jī)26的驅(qū)動下使與其轉(zhuǎn)軸形成一體的滾珠 絲杠27旋轉(zhuǎn)，通過與該滾珠絲杠27旋合的支撐部28使所述涂布液壓出部件6 往復(fù)移動。涂布液輸出裝置3為以往公知的結(jié)構(gòu)，通過狹縫噴嘴將涂布液涂布到 諸如載放在石平臺等支撐臺29上的PDP (等離子顯示板)等被涂布部件30 上而形成涂膜31 (例如參照日本專利特開2002-113411號公報、日本專利 特開平8-229497號公報等)?？刂蒲b置4按照預(yù)先設(shè)定的控制程序?qū)Ω鏖_閉閥21a、 21b、 21c、 21d 進(jìn)行開閉，對電動機(jī)26等進(jìn)行驅(qū)動控制，進(jìn)行下面的各工序。但是，開閉 閥21a、 21b也可以不用電氣控制，而使用機(jī)械式開閉的止回閥。下面對所述結(jié)構(gòu)的涂布液供給裝置2的動作進(jìn)行說明。 (初始準(zhǔn)備工序)首先，如圖2所示，使涂布液壓出部件6移動至后退到最后面的位置 (涂布液壓出部件6的前端面與隔壁部12的輸出用涂布液收容室側(cè)的內(nèi)表 面成為一個面的位置，下面稱作初始位置)上。此時，預(yù)先使開閉閥21a、 21b、 21c、 21d全部處于閉鎖狀態(tài)，但為了使涂布液推壓部件6順利地動作， 也可預(yù)先開放開閉閥21c，從而可通過空氣排出管19來吸入外部大氣。 (涂布液供給工序) 接著，如圖3所示，開放開閉閥21a，將儲藏在涂布液箱體1中的涂布液通過涂布液供給管17向輸出用涂布液收容室13內(nèi)供給。此時，開放開閉閥21c，通過空氣排出管19將輸出用涂布液收容室13內(nèi)的空氣排出。 空氣排出管19設(shè)置在與涂布液供給管17相反的一側(cè)的位置的、輸出用涂 布液收容室13的最高位置上。因此，輸出用涂布液收容室13內(nèi)的空氣可 順利地排出，不會殘留在內(nèi)部。另外，最好開閉閥21c因涂布液從空氣排 出管19溢出而閉鎖，從而停止供給。另外，向輸出用涂布液收容室13內(nèi) 供給后的涂布液也經(jīng)由在隔壁部12上形成的貫穿孔16流入到排出用涂布 液收容室14內(nèi)(此時，也可預(yù)先開放開閉閥21d，將排出用涂布液收容室 14內(nèi)的空氣從涂布液排出管20排出。另外，最好開閉閥21d也與所述開閉 閥21c—樣，因涂布液從涂布液排出管20溢出而閉鎖)。 (涂布液輸出工序) 若像這樣向(包括排出用涂布液收容室14在內(nèi))輸出用涂布液收容室 13內(nèi)供給涂布液后(在此狀態(tài)下，將曾經(jīng)開放的所有開閉閥21a、 21c (根 據(jù)需要，也包括21d)閉鎖)，則如圖4所示，開放開閉闊21b，驅(qū)動驅(qū)動 部件7的電動機(jī)26，使?jié)L珠絲杠27旋轉(zhuǎn)，從而使涂布液壓出部件6前進(jìn)。 涂布液壓出部件6進(jìn)入輸出用涂布液收容室13內(nèi)，填充在內(nèi)部的涂布液經(jīng) 由涂布液輸出管18向涂布液輸出裝置3輸出。此時，涂布液大致從先供給 到輸出用涂布液收容室13內(nèi)的涂布液開始依次經(jīng)由涂布液輸出管18輸出， 即以所謂的先入先出的方式輸出。另外，在涂布液輸出裝置3中，像以往 公知的那樣，例如在PDP的表面上覆蓋涂布液。因此，不會出現(xiàn)舊涂布液 殘留在輸出用涂布液收容室13內(nèi)的情況，可始終以良好的狀態(tài)進(jìn)行涂布作 業(yè)。此時，也可使開閉閥21c開放一定時間，從而通過空氣排出管19將混入涂布液中的空氣從上方排出。 (第二次以后的準(zhǔn)備工序) 若涂布液的輸出結(jié)束，則如圖5所示，驅(qū)動驅(qū)動部件7的電動機(jī)26反 轉(zhuǎn)，使涂布液壓出部件6向所述初始位置后退。另外，閉鎖開閉閥21b。此 時，開放開閉閥21a，經(jīng)由涂布液供給管17開始向輸出用涂布液收容室13 內(nèi)供給涂布液。由于對應(yīng)于使涂布液壓出部件6后退而增大的空間體積，
依次向輸出用涂布液收容室13內(nèi)供給涂布液，因此在初始準(zhǔn)備工序后的涂 布液供給工序中，如上所述，開閉閥21c可以維持閉鎖狀態(tài)。 (夾雜物除去工序) 通過反復(fù)進(jìn)行上面的工序來進(jìn)行涂布作業(yè)。但是，也可能因第一密封部件11滑動接觸涂布液壓出部件6的外周面而導(dǎo)致涂布液固化或變性。但 是，涂布液壓出部件6以貫穿涂布液回收部22的形態(tài)設(shè)置。即，在每次往 復(fù)移動時，涂布液壓出部件6與所述第一密封部件11的滑動接觸部分會進(jìn) 入清洗液內(nèi)，會使涂布液溶解。另外，在涂布液回收部22的前方側(cè)設(shè)置有 排出用涂布液收容室14。因此，固化或變性了的涂布液不會進(jìn)入輸出用涂 布液收容室13內(nèi)，可將涂布作業(yè)長時間維持在良好狀態(tài)。另外，根據(jù)需要，只要如圖6所示地在所述初始位置上僅開放開閉閥 21a及開閉閥21d，向輸出用涂布液收容室13內(nèi)供給涂布液，經(jīng)由涂布液 排出管20將排出用涂布液收容室14內(nèi)的涂布液排出即可。由此，即使在 涂布液壓出部件6的外周面上固化(變性)后的涂布液未被涂布液回收部 22回收而殘留在涂布液收容部件5內(nèi)，這也只是在排出用涂布液收容室14 內(nèi)，而并非在輸出用涂布液收容室13內(nèi)，而且該處的涂布液可經(jīng)由涂布液 排出管20排出到外部。因此，可將輸出用涂布液收容室13內(nèi)的涂布液始 終維持在沒有夾雜物的良好狀態(tài)，可長時間順利進(jìn)行涂布作業(yè)。 (第2實(shí)施形態(tài))圖7表示的是第2實(shí)施形態(tài)的涂布液供給裝置2。與上述第1實(shí)施形 態(tài)的裝置的不同點(diǎn)在于，該涂布液供給裝置2沒有排出用涂布液收容室14。艮口，在圖7中沒有隔壁部12，涂布液收容部件5內(nèi)部僅由輸出用涂布 液收容室13構(gòu)成。另外，對于涂布液在涂布液壓出部件6的外周面上固化 (變性)，僅通過使其在涂布液回收部22內(nèi)的清洗液中溶解來應(yīng)對。因此， 最好在涂布液回收部22上具有可更換清洗液的結(jié)構(gòu)。此時，清洗液可根據(jù) 更換時間特定信息進(jìn)行更換。作為更換時間特定信息，除了自使用開始起 的時間和涂布液壓出部件6的實(shí)際往復(fù)次數(shù)之外，可使用通過直接用傳感 器對清洗液的污濁情況進(jìn)行檢測(例如通過利用光傳感器來檢測透射率) 而獲得的信息等。另外，也可以在涂布液回收部22上分別連接供給清洗液的清洗液供給管(未圖示)和將清洗液從涂布液回收部22排出的清洗液排出管(未圖示)，在各配管上設(shè)置開閉閥(未圖示)，利用泵(未圖示) 等來進(jìn)行清洗液的自動供給和排出。另外，還可利用蒸餾回收裝置等對從涂布液回收部22排出的清洗液進(jìn)行再利用，使其向涂布液回收部22回流。 另外，若是僅設(shè)置有所述涂布液回收部22的結(jié)構(gòu)，則如圖8所示，涂 布液壓出部件6可以與以往一樣，做成使活塞32與缸33的內(nèi)周面滑動接 觸的結(jié)構(gòu)。此時，最好在涂布液回收部22，即與缸33內(nèi)部被活塞32分割 而成的后方側(cè)空間連通的配管上設(shè)置開閉閥21e、 21f，在與前方側(cè)空間連 通的配管上分支設(shè)置涂布液供給管17和涂布液排出管18。另外，當(dāng)活塞 32前進(jìn)時，開放開閉閥21e，供給清洗液(此時預(yù)先使開閉閥21f閉鎖)， 當(dāng)使活塞32后退時，開放開閉閥21f，排出清洗液(此時預(yù)先使開閉閥21e 閉鎖)。但是，開閉閥21e和開閉閥21f并非必須，也可以是清洗液可從 另行設(shè)置的清洗液箱體(未圖示)自由出入缸33內(nèi)的結(jié)構(gòu)。 (第3實(shí)施形態(tài))圖9表示的是第3實(shí)施形態(tài)的涂布液供給裝置2。與上述第1實(shí)施形 態(tài)的裝置的不同之處在于，該涂布液供給裝置2沒有涂布液回收部22。在該涂布液供給裝置2中，若涂布液因與設(shè)在第一密封壁9的第一插 通孔8內(nèi)的第一密封部件11滑動接觸或與外部大氣接觸而在涂布液壓出部 件6的外周面固化等、從而成為夾雜物，則該夾雜物可經(jīng)由涂布液排出管 20排出到外部。因此，夾雜物不會混入到輸出用涂布液收容室13內(nèi)，可將 涂布作業(yè)長時間維持在良好狀態(tài)。另外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，涂布液供給裝置2橫向配置，即配置成 使涂布液壓出部件6沿水平方向往復(fù)移動，但涂布液供給裝置2也可以縱 向配置，即配置成使涂布液壓出部件6沿鉛垂方向往復(fù)移動。
權(quán)利要求
1.一種涂布液供給裝置，其特征在于，包括涂布液收容部件，該涂布液收容部件具有可將收容的涂布液輸出的涂布液流動部；以及涂布液壓出部件，該涂布液壓出部件插入在所述涂布液收容部件內(nèi)，并通過所述涂布液流動部將收容在所述涂布液收容部件內(nèi)的涂布液向外部輸出，所述涂布液收容部件在所述涂布液壓出部件的插入部上具有涂布液回收部，該涂布液回收部用于回收經(jīng)由該插入部漏出的涂布液。
2. 如權(quán)利要求1所述的涂布液供給裝置，其特征在于，所述涂布液回 收部由清洗室構(gòu)成，在該清洗室內(nèi)填充有使所述涂布液溶解的清洗液。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的涂布液供給裝置，其特征在于， 所述涂布液壓出部件可相對于所述涂布液收容部件的內(nèi)周面保持規(guī)定間隔地往復(fù)移動，所述涂布液回收部由排出用涂布液收容室構(gòu)成，所述排出用涂布液收容室 利用隔壁部在所述涂布液收容部件內(nèi)形成，所述隔壁部具有將所述涂布液壓出 部件可滑動地引導(dǎo)的導(dǎo)向孔，所述排出用涂布液收容室具有可供給或排出所述涂布液的結(jié)構(gòu)。
4. 如權(quán)利要求3所述的涂布液供給裝置，其特征在于， 所述涂布液收容部件的涂布液流動部包括涂布液供給部，該涂布液供給部設(shè)在所述涂布液壓出部件的插入部側(cè)；以及涂布液輸出部，該涂布液輸出部設(shè)在與所述插入部相反的一側(cè)，將已供給 的涂布液輸出。
5. 如權(quán)利要求3所述的涂布液供給裝置，其特征在于，所述涂布液收容 部件在與所述涂布液供給部相反的一側(cè)的最高位置上具有空氣排出部。
6. 如權(quán)利要求3所述的涂布液供給裝置，其特征在于， 通過在隔壁部上形成的開口部向所述排出用涂布液收容室供給涂布液， 通過涂布液排出部將涂布液從所述排出用涂布液收容室排出，所述涂布液 排出部與所述涂布液輸出部分開設(shè)置并與所述排出用涂布液收容室連通。
全文摘要
一種涂布液供給裝置，該涂布液供給裝置能可靠防止從涂布液收容部件漏出的涂布液到達(dá)外部。所述涂布液供給裝置包括收容涂布液、具有涂布液流動部(18)的涂布液收容部件(5)；以及插入在涂布液收容部件(5)內(nèi)、通過涂布液流動部(18)將收容在涂布液收容部件(5)內(nèi)的涂布液向外部輸出的涂布液壓出部件(6)。涂布液收容部件(5)在涂布液壓出部件(6)的插入部(9)上具有涂布液回收部(22)，該涂布液回收部(22)用于回收經(jīng)由插入部(9)漏出的涂布液。
文檔編號B05C11/10GK101209444SQ200710307339
公開日2008年7月2日 申請日期2007年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月27日
發(fā)明者甲田正紀(jì), 西尾勤, 近藤尚城 申請人:中外爐工業(yè)株式會社