專利名稱：一種細(xì)縫式涂布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種細(xì)縫式涂布裝置，且特別涉及一種擠壓式的細(xì)縫式涂布裝置。
背景技術(shù)：
液晶顯示器制造技術(shù)的不斷進(jìn)步，尤其大尺寸液晶顯示器制造技術(shù)的進(jìn)步，使得真空管顯示器在許多應(yīng)用領(lǐng)域被液晶顯示器取代。液晶顯示器的相關(guān)產(chǎn)品也成為近年來的流行產(chǎn)品。
在液晶顯示器的制作過程中，光刻工藝(lithography)是一系列重要工藝之一。光刻工藝通過涂布光刻膠、顯影、曝光等步驟，圖案化液晶顯示器中的膜層。在第四代面板上，一般采用旋涂方式(Spin coating)涂布光刻膠。從第五代面板開始，由于面板的尺寸過大，一般采用細(xì)縫式涂布法。光刻膠層厚度的均勻與否關(guān)系著后續(xù)工藝的合格比例。在大尺寸面板上控制光電膠層的厚度和均勻程度，考驗著液晶顯示器制造商的技術(shù)能力。
在現(xiàn)有的細(xì)縫式涂布方法中，當(dāng)涂布材料被擠壓出噴嘴時，常有膨脹現(xiàn)象，引起成膜厚度不容易控制的問題。此外，為了容易成膜，噴嘴常會非常接近需要涂布的基板，而使得噴嘴被基板上的異物或凸起刮傷。如圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中的細(xì)縫式涂布方法涂布時的情形。噴嘴104在涂布的基板102上涂布光刻膠100。噴嘴104的一側(cè)常會發(fā)生光刻膠膨脹現(xiàn)象。為了解決這個問題，液晶顯示器制造商積極創(chuàng)新涂布方法，改進(jìn)細(xì)縫式涂布方法的不足。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的是提供一種細(xì)縫式涂布裝置，用以控制涂布材料的厚度。
根據(jù)本發(fā)明目的，提供一種改進(jìn)的細(xì)縫式涂布裝置。本裝置包含基座、細(xì)縫式涂布噴嘴及膜片。細(xì)縫式涂布噴嘴位于基座上方。膜片固定在細(xì)縫式涂布噴嘴上。膜片由細(xì)縫式涂布噴嘴向外延伸，且膜片寬度涵蓋細(xì)縫式涂布噴嘴的吐出范圍。細(xì)縫式涂布噴嘴與基座通過相對運動，并擠壓涂布材料于基材上時，膜片可增加涂膜時的穩(wěn)定性。
根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，膜片固定的位置在細(xì)縫式涂布噴嘴開口的內(nèi)側(cè)或外側(cè)。膜片固定的方式包括接著劑黏接、螺絲鎖附或固定柱夾擊。還可對膜片表面進(jìn)行納米處理使膜片不易沾附涂布材料。
由上述內(nèi)容可知，使用本發(fā)明一種細(xì)縫式涂布裝置，可使涂布材料被擠壓出噴嘴時順著膜片，涂布在基材上，改善了膨脹現(xiàn)象，進(jìn)而可增加涂膜時的穩(wěn)定性。在噴嘴開口增加膜片的設(shè)置，可以加大細(xì)縫式涂布噴嘴與涂布材料間距的可調(diào)整范圍，解決噴嘴被基板上的異物或凸起刮傷的問題。


圖1現(xiàn)有技術(shù)的細(xì)縫式涂布方法涂布時示意圖；圖2A為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的側(cè)視圖；圖2B為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的立體圖；圖3A及3B分別為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的膜片的兩種固定位置；圖4為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的經(jīng)過納米表面處理后的膜片；圖5A、5B及5C分別為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的膜片的三種固定方式。
圖號說明涂布材料100 基材102 細(xì)縫式涂布噴嘴104基座110 涂布材料200 基材202細(xì)縫式涂布噴嘴204 細(xì)縫開口204a 膜片206奈米涂層206a 接著劑208a 螺絲208b固定柱208c基座210
具體實施例方式
為了解決細(xì)縫式涂布法，涂布材料被擠壓出噴嘴時的膨脹現(xiàn)象，本發(fā)明提供一種細(xì)縫式涂布裝置。此涂布裝置在細(xì)縫式涂布噴嘴上設(shè)置膜片，使膜片由細(xì)縫式涂布噴嘴向外延伸，且膜片的寬度涵蓋細(xì)縫式涂布噴嘴的吐出范圍。涂布材料被擠壓出噴嘴時會順著膜片涂布在基材上，因而改善了涂布材料的膨脹現(xiàn)象，增加涂膜時的穩(wěn)定性。
如圖2A所示為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的側(cè)視圖。本較佳實施例在一細(xì)縫式涂布裝置的噴嘴204上設(shè)置一膜片206。此膜片由細(xì)縫開口204a向外延伸。當(dāng)執(zhí)行細(xì)縫式涂布時，噴嘴204與基座210相對運動，加上此膜片206可增加涂布材料200的膜厚形成時的穩(wěn)定性，避免了膨脹情形發(fā)生，使涂布材料200在成形初期即可達(dá)到控制，并改善均勻度。請參照圖2A，膜片206的寬度D需涵蓋細(xì)縫式涂布噴嘴204的吐出范圍，才能達(dá)到上述的效果。膜片206的厚度、軟硬度、延伸長度及材質(zhì)可隨噴嘴、基板及涂布材料的特性而有不同的設(shè)計。
此外，膜片206還可加大細(xì)縫式涂布噴嘴204與涂布材料200的間距的調(diào)整范圍?，F(xiàn)有的細(xì)縫式涂布裝置，通常為了避免噴嘴被基板上的異物或凸起刮傷，而不敢將其間距縮小。然而，有時為了容易成膜，需要將間距盡量縮小，而造成噴嘴被基板上的異物或突起刮傷的問題。本實施例上述的解決方法，可將膜片206設(shè)計成可拆換式，所以不怕異物損傷。膜片206可以盡可能的接近涂布材料200，增進(jìn)涂布穩(wěn)定性，且可減少細(xì)縫式涂布噴嘴204損傷的可能性。
如圖3A，圖3B分別為本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置之膜片的兩種固定位置。在圖3A中，膜片206被固定在細(xì)縫開口204a內(nèi)，并向外延伸。在圖3B中，膜片206被固定在細(xì)縫開口204a外，并向外延伸。
如圖4所示為根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的經(jīng)納米表面處理后的膜片。膜片206經(jīng)過納米表面處理后形成一納米涂層206a，使膜片不易沾附涂布材料。
如圖5A、圖5B及圖5C分別表示本發(fā)明一較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置的膜片的三種固定方式。在圖5A中，在細(xì)縫式涂布噴嘴204的細(xì)縫開口204a開口外，涂上接著劑208a固定膜片206。在圖5B中，在細(xì)縫式涂布噴嘴204的細(xì)縫開口204a開口外，通過螺絲208b藉以鎖附固定膜片206。在圖5C中，在細(xì)縫式涂布噴嘴204的細(xì)縫開口204a開口內(nèi)，通過固定柱208c夾擊固定膜片206。
由上述的本發(fā)明較佳實施例可知，使用上述較佳實施例的一種細(xì)縫式涂布裝置，可使涂布材料被擠壓出噴嘴時順著膜片涂布在基材上，改善涂布材料的膨脹現(xiàn)象，進(jìn)而增加涂膜時的穩(wěn)定性。在噴嘴開口增加上膜片的設(shè)置，還可加大細(xì)縫式涂布噴嘴與涂布材料的間距的可調(diào)整范圍，改善噴嘴被基板上的異物或凸起刮傷的問題。
雖然本發(fā)明已通過較佳實施例說明了本發(fā)明的實施過程，然實施例并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，根據(jù)本發(fā)明實施的各種變化均包括在本發(fā)明權(quán)利要求書所保護(hù)的范圍中。
權(quán)利要求
1.一種細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的細(xì)縫式涂布裝置至少包含一基座，承載一基材；一細(xì)縫式涂布噴嘴，位于基座上方；以及一膜片，固定在所述的細(xì)縫式涂布噴嘴上，所述的膜片由所述的細(xì)縫式涂布噴嘴向外延伸，且所述的膜片的寬度涵蓋所述的細(xì)縫式涂布噴嘴的吐出范圍，當(dāng)所述的細(xì)縫式涂布噴嘴與所述的基座通過相對運動以擠壓涂布材料于所述的基材上時，所述的膜片增加了涂膜時的穩(wěn)定性。
2.如權(quán)利要求1所述的一種細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片固定在所述的細(xì)縫式涂布噴嘴的內(nèi)側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片固定在所述的細(xì)縫式涂布噴嘴的外側(cè)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片與所述的細(xì)縫式涂布噴嘴為一體成型。
5.如權(quán)利要求1所述的一種細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片通過接著劑固定在所述的細(xì)縫式涂布噴嘴上。
6.如權(quán)利要求1所述的細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片通過螺絲固定在所述的細(xì)縫式涂布噴嘴上。
7.如權(quán)利要求1所述的細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片通過固定柱夾擊固定在所述的細(xì)縫式涂布噴嘴上。
8.如權(quán)利要求1所述的細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片通過固定柱夾擊固定在所述的細(xì)縫式涂布噴嘴內(nèi)側(cè)。
9.如權(quán)利要求1所述的細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片表面為一納米涂層，使所述的膜片不易沾附涂布材料。
10.如權(quán)利要求1所述的細(xì)縫式涂布裝置，其特征是所述的膜片為一種非金屬材料。
全文摘要
一種改進(jìn)的細(xì)縫式涂布裝置包含基座、細(xì)縫式涂布噴嘴及膜片。細(xì)縫式涂布噴嘴位于基座上方。膜片固定在細(xì)縫式涂布噴嘴上。膜片由細(xì)縫式涂布噴嘴向外延伸，且膜片寬度涵蓋細(xì)縫式涂布噴嘴的吐出范圍。當(dāng)細(xì)縫式涂布噴嘴與基座通過相對運動，并擠壓涂布材料于基材上時，膜片增加涂膜的穩(wěn)定性。
文檔編號B05C11/00GK1824392SQ20051000748
公開日2006年8月30日 申請日期2005年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月22日
發(fā)明者劉昱庭, 柯山文, 謝秉原, 陳重廷, 顧鴻壽 申請人:展茂光電股份有限公司