本發(fā)明屬于光刻材料，具體涉及一類基于金剛烷核心的多丙炔醇型的單分子樹脂光刻膠及其制備方法和應(yīng)用。

背景技術(shù)：

1、光刻膠又稱為光致抗蝕劑，是一類通過光束、電子束、離子束或x射線等能量輻射后，溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻薄膜材料，是微電子工業(yè)中制作大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路不可或缺的核心材料。通過將光刻膠涂覆在半導(dǎo)體、導(dǎo)體或絕緣體表面，經(jīng)曝光、顯影后留下的部分對底層起保護(hù)作用，然后采用蝕刻劑進(jìn)行蝕刻就可將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工的襯底上，因此光刻膠是器件微細(xì)加工技術(shù)中的關(guān)鍵性材料。目前，常規(guī)的高分辨光刻膠都采用化學(xué)放大膠，是由樹脂主體材料、pag以及各種微量添加劑組成的混合物。所謂“化學(xué)放大”是指光致產(chǎn)酸劑（pag）在光照后分解產(chǎn)生酸，酸引發(fā)一系列化學(xué)反應(yīng)，使得光照區(qū)域和非光照區(qū)域的光刻膠材料溶解性發(fā)生顯著變化，然后通過顯影就可以實現(xiàn)圖案轉(zhuǎn)移。“化學(xué)放大”過程極大地提高了光刻膠的靈敏度。隨著特征尺寸的縮小，分子尺寸的縮小也是不可避免的。然而傳統(tǒng)的光刻膠主體材料采用分子量5000~15000道爾頓的聚合物樹脂，這類聚合物樹脂通常因分子體積大、分子量分散以及分子鏈的纏繞等原因影響光刻圖案的分辨率和邊緣粗糙度，無法滿足更精細(xì)的分辨率要求。

2、為了解決這些問題，通過化學(xué)合成控制的方法，來降低光刻膠主體樹脂材料的分子量，使其達(dá)到單一分子狀態(tài)，形成單分子樹脂（也稱分子玻璃），是實現(xiàn)高分辨光刻的一種重要方法。單分子樹脂既保留有樹脂本身所具有的成膜特性和易于加工的性能，同時還具有確定的分子結(jié)構(gòu)，易于合成和修飾的特點(diǎn)，基于單分子樹脂的光刻膠材料有望滿足高分辨光刻的要求。在化學(xué)放大型光刻膠中，常規(guī)鍵接的酸敏感基團(tuán)為4-叔丁氧羰基、叔丁基酯基和1-金剛烷酯基等酸敏感的酯基類官能團(tuán)，但上述酸敏感基團(tuán)存在分解后留膜率低的缺點(diǎn)，不利于后續(xù)刻蝕過程的圖案轉(zhuǎn)移。

3、1922年，k.h.?meyer?and?k.?schuster報道了一類由1,1,3-三苯基-2-丙炔醇經(jīng)濃硫酸催化為1,3,3-三苯基丙烯酮的重排反應(yīng)（參考文獻(xiàn)：meyer,?k.?h.,?schuster,?k.1922,?55b,?819-823.）。幾年后，h.?rupe?報道了一系列酸催化α-丙炔醇重排的生物反應(yīng)（參考文獻(xiàn)：rupe,?h.;?kambli,?e.?helv.?chim.?acta?1926,?9,?672.）。邁耶-舒斯特重排和魯佩重排反應(yīng)相同點(diǎn)是丙炔醇在酸催化下經(jīng)烯炔中間體，重排為α,β-不飽和甲基酮。邁耶-舒斯特重排和魯佩重排反應(yīng)常應(yīng)用于復(fù)雜天然產(chǎn)物的全合成中。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決上述問題，本發(fā)明提供了一系列基于金剛烷為核心的丙炔醇型的單分子樹脂，其可以用作化學(xué)放大型光刻膠主體材料。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

3、如下式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示的化合物：

4、

5、其中，式（i）中r1a~r10a；式（ii）中r1b~r15b；式（iii）中r1c~r20c相同或不同，各自獨(dú)立地選自-c≡c-c(oh)rarb或基團(tuán)z，所述基團(tuán)z為h、c1-15烷基、c1-15烷氧基、c3-20環(huán)烷基、c6-20芳基、5-20元雜芳基、3-20元雜環(huán)基；

6、ra、rb相同或不同，各自獨(dú)立地選自h，未取代，或被一個、兩個或更多個rc取代的如下基團(tuán)：c1-15烷基、c6-20芳基、-c1-15烷基-c6-20芳基、5-20元雜芳基、氘代c1-15烷基（如氘代甲基）；或者ra、rb和與其相連的碳原子一起形成未取代或任選被一個、兩個或更多個rc取代的5-8元環(huán)烷基；所述的ra和rb至少一個不為h；所述5-8元環(huán)烷基任選地再含有1-2個氧或硫；

7、rc相同或不同，彼此獨(dú)立地選自h、氧代（=o）、no2、cn、c1-15烷基、c1-15烷氧基；

8、且式(i)、式(ii)和式(iii)所示化合物中具有1個以上的如下基團(tuán)：-c≡c-c(oh)rarb。

9、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(i)化合物中具有2-6個-c≡c-c(oh)rarb基團(tuán)，如具有4個-c≡c-c(oh)rarb。

10、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(ii)化合物中具有3-9個-c≡c-c(oh)rarb基團(tuán)，如具有6個-c≡c-c(oh)rarb。

11、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(iii)化合物中具有4-12個-c≡c-c(oh)rarb基團(tuán)，如具有4個或8個-c≡c-c(oh)rarb。

12、在本發(fā)明的一些實施方案中，ra和rb均為c6-20芳基，且每個與金剛烷相連的苯基上具有1個或2個-c≡c-c(oh)rarb。

13、在本發(fā)明的一些實施方案中，ra和rb一個為c1-15烷基，一個為c6-20芳基，且每個與金剛烷相連的苯基上具有1個或2個-c≡c-c(oh)rarb。

14、在本發(fā)明的一些實施方案中，ra和rb均為c1-15烷基，且每個與金剛烷相連的苯基上具有1個或2個-c≡c-c(oh)rarb。

15、在本發(fā)明的一些實施方案中，ra和rb一個為c6-20芳基，一個為h，且每個與金剛烷相連的苯基上具有1個或2個-c≡c-c(oh)rarb。

16、在本發(fā)明的一些實施方案中，ra和rb均為c6-20芳基，且每個與金剛烷相連的苯基上具有1個-c≡c-c(oh)rarb。

17、根據(jù)本發(fā)明的實施方案，所述-c≡c-c(oh)rarb選自以下基團(tuán)：

18、

19、其中，表示連接鍵；r1a和r1b可以相同或不同，各自獨(dú)立地選自無取代，或被一個、兩個或更多個rc取代的如下基團(tuán)：c1-15烷基、c6-20芳基、-c1-15烷基-c6-20芳基、5-20元雜芳基、氘代c1-15烷基；rc相同或不同，彼此獨(dú)立地選自h、氧代（=o）、no2、cn、c1-15烷基、c1-15烷氧基；m選自大于3-5的整數(shù)；y選自ch2、o、s、c(o)；

20、優(yōu)選地，基團(tuán)r1a和r1b選自如下結(jié)構(gòu)中的一種：

21、

22、其中，表示連接鍵。

23、在本發(fā)明的一些實施方案中，z選自h、c1-6烷基或c1-6烷氧基。

24、在本發(fā)明的一些實施方案中，ra、rb相同或不同，各自獨(dú)立地選自h、c1-6烷基、-c6-14芳基、-c1-6烷基-c6-14芳基；

25、在本發(fā)明的一些優(yōu)選實施方案中，-c≡c-c(oh)rarb選自-c≡c-ch(oh)c6-14芳基、-c≡c-c(oh)(c1-6烷基)(c6-14芳基)、-c≡c-c(oh)(c1-6烷基)2、-c≡c-c(oh)(c6-14芳基)2。

26、在本發(fā)明的一些優(yōu)選實施方案中，-c≡c-c(oh)rarb選自-c≡c-ch(oh)c6-10芳基、-c≡c-c(oh)(c1-3烷基)(c6-10芳基)、-c≡c-c(oh)(c1-3烷基)2、-c≡c-c(oh)(c6-10芳基)2。

27、在本發(fā)明的一些優(yōu)選實施方案中，?所述-c≡c-ch(oh)c6-14芳基、-c≡c-c(oh)(c1-6烷基)(c6-14芳基)、-c≡c-c(oh)(c1-6烷基)2、-c≡c-c(oh)(c6-14芳基)2中的c6-14芳基相同或不同，彼此獨(dú)立地選自苯基、萘基或蒽基；所述c1-6烷基相同或不同，彼此獨(dú)立地選自甲基、乙基、丙基、異丙基或正丁基。在本發(fā)明的一些具體實施方案中，-c≡c-c(oh)rarb選自、、或。

28、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(i)所示化合物為對稱結(jié)構(gòu)，即與金剛烷相連的2個苯環(huán)上的結(jié)構(gòu)完全相同。

29、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(ii)所示化合物為對稱結(jié)構(gòu)，即與金剛烷相連的3個苯環(huán)上的結(jié)構(gòu)完全相同。

30、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(iii)所示化合物為對稱結(jié)構(gòu)，即與金剛烷相連的4個苯環(huán)上的結(jié)構(gòu)完全相同。

31、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(i)所示化合物為對稱結(jié)構(gòu)，即與金剛烷相連的2個苯環(huán)上的結(jié)構(gòu)完全相同；其中，r2a、r4a、r7a和r9a選自-c≡c-c(oh)rarb，r1a、r3a、r5a、r6a、r8a和r10a為h；或者r2a、r4a、r7a和r9a選自-c≡c-c(oh)rarb，r1a、r5a、r6a和r10a為h，r3a和r8a為c1-6烷氧基。

32、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(ii)所示化合物為對稱結(jié)構(gòu)，即與金剛烷相連的3個苯環(huán)上的結(jié)構(gòu)完全相同；其中，r2b、r4b、r7b、r9b、r12b和r14b選自-c≡c-c(oh)rarb，r1b、r3b、r5b、r6b、r8b、r10b、r11b、r13b和r15b為h；或者r2b、r4b、r7b、r9b、r12b和r14b選自-c≡c-c(oh)rarb，r1b、r5b、r6b、r10b、r11b和r15b為h，r3b、r8b和r13b為c1-6烷氧基。

33、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(iii)所示化合物為對稱結(jié)構(gòu)，即與金剛烷相連的4個苯環(huán)上的結(jié)構(gòu)完全相同，其中，r3c、r8c、r13c和r18c選自-c≡c-c(oh)rarc，r1c、r2c、r4c、r5c、r6c、r7c、r9c、r10c、r11c、r12c、r14c、r15c、r16c、r17c、r19c和r20c為h。

34、在本發(fā)明的一些實施方案中，式(iii)所示化合物為對稱結(jié)構(gòu)，即與金剛烷相連的4個苯環(huán)上的結(jié)構(gòu)完全相同，其中，r2c、r4c、r7c、r9c、r12c、r14c、r17c和r19c選自-c≡c-c(oh)rarc，r1c、r3c、r5c、r6c、r8c、r10c、r11c、r13c、r15c、r16c、r18c和r20c為h。

35、作為示例，所述式(i)化合物具有如下結(jié)構(gòu)：

36、。

37、作為示例，所述式(ii)化合物具有如下結(jié)構(gòu)：

38、。

39、作為示例，所述式(iii)化合物具有如下結(jié)構(gòu)：

40、。

41、本發(fā)明還提供式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示化合物的制備方法，包括如下步驟：

42、將式(i’)化合物通過sonogashira交叉偶聯(lián)反應(yīng)得到式(i)所示化合物；

43、

44、將式(ii’)化合物通過sonogashira交叉偶聯(lián)反應(yīng)得到式(ii)所示化合物；

45、

46、將式(iii’)化合物通過sonogashira交叉偶聯(lián)反應(yīng)得到式(iii)所示化合物；

47、

48、其中，r1a’~r10a’、r1b’~r20b’、r1c’~r30c’相同或不同，各自獨(dú)立地選自離去基團(tuán)（例如cl、br、i、otf等）或基團(tuán)z；其中，基團(tuán)z具有上述定義；

49、化合物a選自hc≡c-c(oh)rarb；

50、sonogashira交叉偶聯(lián)反應(yīng)使用的化合物b為堿性化合物，選自：et2nh,?et3n,?(i-pr)2net等胺類物質(zhì)；

51、sonogashira交叉偶聯(lián)反應(yīng)使用的金屬催化劑c1為：pd(ii)?配合物[例如pd(dbpf)cl2、pd(dppf)cl2和pd(a-phos)cl2]、pd(i)?配合物{例如[pd(ptbu3)br]2}，pd(0)配合物[例如pd(ptbu3)2)pd(oac)2、pd2(dba)3，pd(pph3)4，pd[p(p-tol)3]4，ptbu3]等。

52、sonogashira交叉偶聯(lián)反應(yīng)使用的金屬催化劑c2為：cui或cubr。

53、本發(fā)明還提供上述式(i)?、或式(ii)、或式(iii)所示的化合物用于制備光刻膠的用途。

54、根據(jù)本發(fā)明的實施方案，所述光刻膠中，式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示化合物用作主體材料。

55、本發(fā)明還提供一種正性或負(fù)性光刻膠組合物，其包括如上所述式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示化合物中的至少一種，光致產(chǎn)酸劑，防酸擴(kuò)散劑和光刻膠溶劑。

56、優(yōu)選的，式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示的化合物的濃度在所述光刻膠組合物中為10~100mg/ml，所述光致產(chǎn)酸劑的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示化合物的5~20?wt%。所述防酸擴(kuò)散劑的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為光致產(chǎn)酸劑的5~20?wt%。

57、優(yōu)選地，所述光致產(chǎn)酸劑選自離子型或非離子型光致產(chǎn)酸劑，包括：三氟甲磺酸三苯基硫鎓鹽、全氟丁基磺酸三苯基硫鎓鹽、六氟銻酸三苯基硫鎓鹽、對甲苯磺酸二(4-叔丁基苯基)碘鎓鹽或n-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸鹽中的一種或幾種。

58、優(yōu)選地，所述防酸擴(kuò)散劑選自三辛胺（toa）。

59、根據(jù)本發(fā)明的實施方案，所述光刻膠溶劑選自下列物質(zhì)中的一種，兩種或多種：丙二醇甲醚醋酸酯（pgmea）、丙二醇甲醚（pgme）、n,n-二甲基甲酰胺、環(huán)己酮、乙基正戊酮、乙基異戊酮、乙醇、乙腈、異丙醇、丙酮、甲基正戊酮、甲基異戊酮。

60、在一些實施方式中，所述光刻膠組合物為負(fù)性光刻膠組合物，其由式(i)、或式(ii)、或式(iii)所示化合物中的任一種，光致產(chǎn)酸劑，防酸擴(kuò)散劑和光刻膠溶劑組成。

61、本發(fā)明還提供一種光刻膠涂層，其包括式(i)?、或式(ii)、或式(iii)所示化合物中的至少一種。

62、本發(fā)明還提供上述光刻膠涂層的制備方法，包括：將上述光刻膠組合物施加在基底上制備得到。

63、優(yōu)選地，所述施加方式為旋涂法。

64、優(yōu)選地，所述基底例如為硅片基底。

65、優(yōu)選地，所述光刻膠涂層為薄膜。

66、本發(fā)明還提供如上所述光刻膠涂層在光刻中的應(yīng)用。

67、本發(fā)明的化合物因其獨(dú)特的單分子結(jié)構(gòu)而具有較高熱穩(wěn)定性，可用于光刻加工。

68、根據(jù)本發(fā)明，所述光刻膠涂層可以用于深紫外的365nm光刻、254nm光刻、248nm光刻、193nm光刻，極紫外（euv）光刻，納米壓印光刻或電子束光刻中等現(xiàn)代光刻技術(shù)中，優(yōu)選用于極紫外以及電子束光刻。

69、本發(fā)明的有益效果如下：

70、（1）本發(fā)明提供了一系列基于金剛烷結(jié)構(gòu)的丙炔醇類新型單分子樹脂，即式(i)、或式?(ii)、或式(iii)所示的化合物。本發(fā)明的化合物具有確定的分子結(jié)構(gòu)，分子尺寸單一，其原料便宜易得，可以用作光刻膠的主體材料，在各種極性溶劑中都具有很好的溶解性，可以采用旋涂法（spin?coating）制得良好的薄膜，適合光刻加工工藝的要求。

71、（2）本發(fā)明所述基于金剛烷結(jié)構(gòu)的丙炔醇類單分子樹脂創(chuàng)新性地利用了丙炔醇基團(tuán)在酸催化下發(fā)生重排這一特性，與光刻膠曝光前后溶解度變化這一特性相吻合，可以很好地應(yīng)用到高分辨光刻上，且其需要后烘才能引發(fā)反應(yīng)，相對于其他光刻膠性能更穩(wěn)定。

72、（3）本發(fā)明的化合物以金剛烷和苯環(huán)為基本單元，最大限度地提高了主體材料的抗刻蝕性能，同時提高了其熱穩(wěn)定性、溶解性和成膜性，綜合性能大大提高，所述主體材料的熱分解溫度大于140℃，擴(kuò)大了材料的應(yīng)用范圍，適合光刻加工工藝的要求。

73、綜上，本專利利用了邁耶-舒斯特重排或魯佩重排反應(yīng)在酸催化下發(fā)生重排這一特性設(shè)計了基于金剛烷結(jié)構(gòu)的丙炔醇類化合物并將其應(yīng)用到高分辨光刻上。而其需要后烘才能引發(fā)反應(yīng)，因此相對于其他化學(xué)放大型光刻膠性能更穩(wěn)定。此外，相對于分解型的酯類酸敏感基團(tuán)，丙炔醇酸催化后重排留膜率的損失低，有利于后續(xù)的圖案轉(zhuǎn)移。

74、術(shù)語與定義

75、除非另有定義，否則本文所有科技術(shù)語具有的含義與權(quán)利要求主題所屬領(lǐng)域技術(shù)人員通常理解的含義相同。

76、“更多個”表示三個或三個以上。

77、術(shù)語“c1-15烷基”應(yīng)理解為表示具有1~15個碳原子的直鏈或支鏈飽和一價烴基。優(yōu)選為“c1-6烷基”?！癱1-6烷基”表示具有1、2、3、4、5、或6個碳原子的直鏈和支鏈烷基。所述烷基是例如甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、異丙基、異丁基、仲丁基、異戊基、2-甲基丁基、1-甲基丁基、1-乙基丙基、1,2-二甲基丙基、新戊基、1,1-二甲基丙基、4-甲基戊基、3-甲基戊基、2-甲基戊基、1-甲基戊基、2-乙基丁基、1-乙基丁基、3,3-二甲基丁基、2,2-二甲基丁基、1,1-二甲基丁基、2,3-二甲基丁基、1,3-二甲基丁基或1,2-二甲基丁基等或它們的異構(gòu)體。

78、術(shù)語“c1-15烷氧基”應(yīng)理解為-o-c1-15烷基，其中c1-15烷基具有上述定義。

79、術(shù)語“c3-20環(huán)烷基”應(yīng)理解為表示飽和的一價單環(huán)、雙環(huán)烴環(huán)或多環(huán)烴環(huán)（也稱稠環(huán)烴環(huán)），其具有3-20個碳原子。雙環(huán)或多環(huán)環(huán)烷基包括并環(huán)環(huán)烷基、橋環(huán)烷基、螺環(huán)烷基；所述的并環(huán)是指由兩個或兩個以上環(huán)狀結(jié)構(gòu)彼此公用兩個相鄰的環(huán)原子(即共用一個鍵)所形成的稠環(huán)結(jié)構(gòu)。所述的橋環(huán)是指有兩個或兩個以上環(huán)裝結(jié)構(gòu)彼此共用兩個非相鄰的環(huán)原子所形成的稠環(huán)結(jié)構(gòu)。所述的螺環(huán)是指由兩個或兩個以上環(huán)狀結(jié)構(gòu)彼此共用一個環(huán)原子所形成的稠環(huán)結(jié)構(gòu)。例如所述c3-20環(huán)烷基可以是c3-8單環(huán)環(huán)烷基，如環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基，或者是c7-12并環(huán)環(huán)烷基，如十氫化萘環(huán)；也可以是c7-12橋環(huán)環(huán)烷基，如降冰片烷、金剛烷、二環(huán)[2,2,2]辛烷。

80、術(shù)語“3-20元雜環(huán)基”意指飽和或不飽和的一價單環(huán)或雙環(huán)烴環(huán)，其包含1-5個獨(dú)立選自n、o和s的雜原子，優(yōu)選“3-10元雜環(huán)基”。術(shù)語“3-10元雜環(huán)基”意指飽和的一價單環(huán)或雙環(huán)烴環(huán)，其包含1-5個，優(yōu)選1-3個選自n、o和s的雜原子。所述雜環(huán)基可以通過所述碳原子中的任一個或氮原子（如果存在的話）與分子的其余部分連接。特別地，所述雜環(huán)基可以包括但不限于：4元環(huán)，如氮雜環(huán)丁烷基、氧雜環(huán)丁烷基；5元環(huán)，如四氫呋喃基、二氧雜環(huán)戊烯基、吡咯烷基、咪唑烷基、吡唑烷基、吡咯啉基；或6元環(huán)，如四氫吡喃基、哌啶基、嗎啉基、二噻烷基、硫代嗎啉基、哌嗪基或三噻烷基；或7元環(huán)，如二氮雜環(huán)庚烷基。任選地，所述雜環(huán)基可以是苯并稠合的。所述雜環(huán)基可以是雙環(huán)的，例如但不限于5,5元環(huán)，如六氫環(huán)戊并[c]吡咯-2(1h)-基環(huán)，或者5,6元雙環(huán)，如六氫吡咯并[1,2-a]吡嗪-2(1h)-基環(huán)。含氮原子的環(huán)可以是部分不飽和的，即它可以包含一個、兩個或更多個雙鍵，例如但不限于2,5-二氫-1h-吡咯基、4h-[1,3,4]噻二嗪基、4,5-二氫噁唑基或4h-[1,4]噻嗪基，或者，它可以是苯并稠合的，例如但不限于二氫異喹啉基、1,3-苯并噁唑基、1,3-苯并二氧雜環(huán)戊烯基。根據(jù)本發(fā)明，所述雜環(huán)基是無芳香性的。

81、術(shù)語“c6-20芳基”應(yīng)理解為表示具有6~20個碳原子的一價芳香性或部分芳香性的單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)烴環(huán)，優(yōu)選“c6-14芳基”。術(shù)語“c6-14芳基”應(yīng)理解為優(yōu)選表示具有6、7、8、9、10、11、12、13或14個碳原子的一價芳香性或部分芳香性的單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)烴環(huán)（“c6-14芳基”），特別是具有6個碳原子的環(huán)（“c6芳基”），例如苯基；或聯(lián)苯基，或者是具有9個碳原子的環(huán)（“c9芳基”），例如茚滿基或茚基，或者是具有10個碳原子的環(huán)（“c10芳基”），例如四氫化萘基、二氫萘基或萘基，或者是具有13個碳原子的環(huán)（“c13芳基”），例如芴基，或者是具有14個碳原子的環(huán)（“c14芳基”），例如蒽基。當(dāng)所述c6-20芳基被取代時，其可以為單取代或者多取代。并且，對其取代位點(diǎn)沒有限制，例如可以為鄰位、對位或間位取代。

82、術(shù)語“5-20元雜芳基”應(yīng)理解為包括這樣的一價單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)芳族環(huán)系：其具有5~20個環(huán)原子且包含1-5個獨(dú)立選自n、o和s的雜原子，例如“5-14元雜芳基”。術(shù)語“5-14元雜芳基”應(yīng)理解為包括這樣的一價單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)芳族環(huán)系：其具有5、6、7、8、9、10、11、12、13或14個環(huán)原子，特別是5或6或9或10個碳原子，且其包含1-5個，優(yōu)選1-3個獨(dú)立選自n、o和s的雜原子并且，另外在每一種情況下可為苯并稠合的。特別地，雜芳基選自噻吩基、呋喃基、吡咯基、噁唑基、噻唑基、咪唑基、吡唑基、異噁唑基、異噻唑基、噁二唑基、三唑基、噻二唑基、噻-4h-吡唑基等以及它們的苯并衍生物，例如苯并呋喃基、苯并噻吩基、苯并噁唑基、苯并異噁唑基、苯并咪唑基、苯并三唑基、吲唑基、吲哚基、異吲哚基等；或吡啶基、噠嗪基、嘧啶基、吡嗪基、三嗪基等，以及它們的苯并衍生物，例如喹啉基、喹唑啉基、異喹啉基等；或吖辛因基、吲嗪基、嘌呤基等以及它們的苯并衍生物；或噌啉基、酞嗪基、喹唑啉基、喹喔啉基、萘啶基、蝶啶基、咔唑基、吖啶基、吩嗪基、吩噻嗪基、吩噁嗪基等。

83、上述術(shù)語“c1-15烷基”的定義也適用于其它含c1-15烷基的基團(tuán)，例如-c1-15烷基-c6-20芳基等。

84、同理，c6-20芳基、5-20元雜芳基、c3-20環(huán)烷基在全文中具有相同的定義。