技術編號：10871761
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。單晶硅是具有完整的點陣結構的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造?，F(xiàn)有的單晶硅制造設備為單晶爐，其主要包括爐底、下爐體、上爐體、上爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。以往的上爐體和下爐體之間連接時，是將下爐體頂部設置成凸臺狀，再將上爐體直接蓋在下爐體頂部，這樣便完成了固定。但是此類的單晶爐爐體存在著很大的局限性，無法滿足現(xiàn)代化工業(yè)生產(chǎn)需要。發(fā)明內容本實用新型需要解決的技術問題是通過給位于外爐筒內的感應線圈通電，利用感應線圈...
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