一種硅片鑄錠爐用改良加熱器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種加熱器，具體涉及一種改良加熱器，尤其涉及一種硅片鑄錠爐用改良加熱器。
【背景技術(shù)】
[0002]晶體生長裝置中加熱器屬于熱場的供熱元件，在長晶裝置中是必不可少的基礎(chǔ)構(gòu)件，現(xiàn)有技術(shù)中所采用的加熱器種類也比較多，具體有盤繞式加熱絲、桶狀加熱片和矩形加熱片，但是由于加熱電極只能從加熱器的一端接入，所以根據(jù)加熱器采用的不同材料會導(dǎo)致加熱器前期受熱不均勻，長期的受熱不均會導(dǎo)致加熱器局部之間產(chǎn)生差異，而晶體生長比較注重整體成型，所以局部結(jié)構(gòu)的差異會導(dǎo)致內(nèi)部溫度隨之產(chǎn)生差異，最終導(dǎo)致晶體生長形態(tài)不均勻，對生產(chǎn)的產(chǎn)品整體質(zhì)量造成較大的影響，所以現(xiàn)有技術(shù)中對加熱器還需要做進(jìn)一步的改造，從而達(dá)到晶體形態(tài)生長均勻的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的硅片鑄錠爐用改良加熱器。
[0004]本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的:一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體，所述的加熱器本體整體呈圓柱體中空桶狀結(jié)構(gòu)，所述的加熱器本體內(nèi)側(cè)面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準(zhǔn)線左右對稱設(shè)置有固定耳，所述的固定耳上開設(shè)有電極固定孔，所述的加熱器本體側(cè)面上設(shè)置有導(dǎo)流孔，所述的加熱器本體內(nèi)側(cè)面上鋪設(shè)有導(dǎo)熱層，所述的導(dǎo)熱層通過固定螺釘固定在加熱器本體內(nèi)側(cè)壁上。
[0005]所述的導(dǎo)熱層為鋁制網(wǎng)狀層。
[0006]所述的導(dǎo)流孔為豎直的矩形槽孔。
[0007]所述的導(dǎo)流孔在加熱器本體的側(cè)壁上設(shè)置有至少4個。
[0008]本實用新型所產(chǎn)生的有益效果是:由于長晶裝置采用的坩禍一般為圓柱形坩禍，所以將加熱器本體設(shè)置為桶狀結(jié)構(gòu)可以保證與坩禍之間每一點的垂直距離均相等，從而使得坩禍?zhǔn)軣峋鶆?，從而能夠保證晶體生長更加均勻；在加熱器本體內(nèi)側(cè)面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準(zhǔn)線左右對稱設(shè)置的固定耳，能夠提供較好的電極固定位置，在固定耳上設(shè)置的電極固定孔使加熱電極的固定更加方便，在加熱器本體側(cè)面上設(shè)置的導(dǎo)流孔，可以使內(nèi)部氣體在受熱的情況下能夠保持平衡，避免局部壓迫，導(dǎo)流孔也起到熱量流轉(zhuǎn)的作用，使整個長晶裝置內(nèi)部的溫度都能保證均勻，更加有利于晶體的生長，在側(cè)壁上設(shè)置至少4個導(dǎo)流孔保證受熱氣體流轉(zhuǎn)更加充分，其中所述的導(dǎo)流孔設(shè)置為矩形槽孔，使受熱氣體的流轉(zhuǎn)量更大；在加熱器本體內(nèi)側(cè)面鋪設(shè)的導(dǎo)熱層在加熱電極對加熱器進(jìn)行加熱時可以起到先行導(dǎo)熱的作用，對加熱器本體進(jìn)行預(yù)熱，使加熱器的局部溫差大大縮小，從而有效的保證了坩禍?zhǔn)軣峋鶆?，有利于晶體整體形態(tài)的生長，導(dǎo)熱層的設(shè)置能夠有效的解決前期加熱器受局部受熱溫差過大的問題，導(dǎo)熱層采用為鋁制網(wǎng)狀層，因為鋁制材料具有較好的熱傳導(dǎo)作用，對加熱器的預(yù)熱更加充分；其中導(dǎo)熱層在解決加熱器前期受熱不均、預(yù)熱時間過長的問題的同時也在一定程度上增長了其使用壽命；導(dǎo)熱層通過螺釘固定的方式固定在加熱器本體內(nèi)側(cè)壁上具有安裝方便、便于更換維護(hù)等優(yōu)點?？偟谋緦嵱眯滦途哂薪Y(jié)構(gòu)簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優(yōu)點。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖1。
[0010]圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖2。
[0011]圖中:1、加熱器本體 2、固定耳 3、電極固定孔 4、導(dǎo)流孔 5、導(dǎo)熱層6、固定螺釘。
具體實施例
[0012]下面根據(jù)實施例對本實用的技術(shù)方案做進(jìn)一步說明:
[0013]實施例1
[0014]如圖1一2所示，一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體1，所述的加熱器本體I整體呈圓柱體中空桶狀結(jié)構(gòu)，所述的加熱器本體I內(nèi)側(cè)面最下邊緣位置以加熱器本體I中心線為基準(zhǔn)線左右對稱設(shè)置有固定耳2，所述的固定耳2上開設(shè)有電極固定孔3，所述的加熱器本體I側(cè)面上設(shè)置有導(dǎo)流孔4，所述的加熱器本體I內(nèi)側(cè)面上鋪設(shè)有導(dǎo)熱層5，所述的導(dǎo)熱層5通過固定螺釘6固定在加熱器本體I內(nèi)側(cè)壁上。
[0015]本實用新型在使用時:首先將導(dǎo)熱層環(huán)繞加熱器本體內(nèi)側(cè)壁進(jìn)行鋪設(shè)，并通過固定螺釘將導(dǎo)熱層安裝固定在加熱器本體內(nèi)側(cè)壁上，采用螺釘固定的方式使導(dǎo)熱層的安裝和拆卸維護(hù)更加方便；然后將加熱電極固定安裝在固定耳上設(shè)置的電極固定孔內(nèi)，并通電導(dǎo)熱，在導(dǎo)熱的過程中由于導(dǎo)熱層具有較佳的導(dǎo)熱效果，從而熱量從加熱電極處向外蔓延，對整個導(dǎo)熱層進(jìn)行先預(yù)熱，在加熱電極對導(dǎo)熱層加熱的同時，對加熱器本體也進(jìn)行加熱，由于加熱器導(dǎo)熱效果較導(dǎo)熱層較差，所以導(dǎo)熱層在受熱后對加熱器本體進(jìn)行加熱輔助，從而使加熱器本體的預(yù)熱更加迅速，提供了生產(chǎn)效率，保證了晶體生產(chǎn)所需求的受溫均衡，使晶體的生長更加規(guī)則，整體質(zhì)量更好；在整體的加熱過程中，內(nèi)部惰性氣體受熱可能存在一定的膨脹，此時導(dǎo)流孔可以實現(xiàn)內(nèi)部惰性氣體的流轉(zhuǎn)，使內(nèi)部氣壓均衡；總的本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優(yōu)點。
[0016]實施例2
[0017]如圖1一2所示，一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體1，所述的加熱器本體I整體呈圓柱體中空桶狀結(jié)構(gòu)，所述的加熱器本體I內(nèi)側(cè)面最下邊緣位置以加熱器本體I中心線為基準(zhǔn)線左右對稱設(shè)置有固定耳2，所述的固定耳2上開設(shè)有電極固定孔3，所述的加熱器本體I側(cè)面上設(shè)置有導(dǎo)流孔4，所述的加熱器本體I內(nèi)側(cè)面上鋪設(shè)有導(dǎo)熱層5，所述的導(dǎo)熱層5通過固定螺釘6固定在加熱器本體I內(nèi)側(cè)壁上。
[0018]所述的導(dǎo)熱層5為鋁制網(wǎng)狀層。
[0019]所述的導(dǎo)流孔4為豎直的矩形槽孔。
[0020]所述的導(dǎo)流孔4在加熱器本體I的側(cè)壁上設(shè)置有6個。
[0021]本實用新型在使用時:首先將導(dǎo)熱層環(huán)繞加熱器本體內(nèi)側(cè)壁進(jìn)行鋪設(shè)，并通過固定螺釘將導(dǎo)熱層安裝固定在加熱器本體內(nèi)側(cè)壁上，采用螺釘固定的方式使導(dǎo)熱層的安裝和拆卸維護(hù)更加方便；然后將加熱電極固定安裝在固定耳上設(shè)置的電極固定孔內(nèi)，并通電導(dǎo)熱，在導(dǎo)熱的過程中由于導(dǎo)熱層具有較佳的導(dǎo)熱效果，從而熱量從加熱電極處向外蔓延，對整個導(dǎo)熱層進(jìn)行先預(yù)熱，在加熱電極對導(dǎo)熱層加熱的同時，對加熱器本體也進(jìn)行加熱，由于加熱器導(dǎo)熱效果較導(dǎo)熱層較差，所以導(dǎo)熱層在受熱后對加熱器本體進(jìn)行加熱輔助，從而使加熱器本體的預(yù)熱更加迅速，提供了生產(chǎn)效率，保證了晶體生產(chǎn)所需求的受溫均衡，使晶體的生長更加規(guī)則，整體質(zhì)量更好，其中導(dǎo)熱層采用鋁制網(wǎng)狀層使導(dǎo)熱效果更好；在整體的加熱過程中，內(nèi)部惰性氣體受熱可能存在一定的膨脹，此時導(dǎo)流孔可以實現(xiàn)內(nèi)部惰性氣體的流轉(zhuǎn)，使內(nèi)部氣壓均衡，其中導(dǎo)流孔設(shè)計為矩形槽孔使其整體倒流面積更大，且上下倒流均勻，設(shè)置的6個導(dǎo)流孔大大增加倒流面積；總的本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優(yōu)點。
【主權(quán)項】
1.一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體，其特征在于:所述的加熱器本體整體呈圓柱體中空桶狀結(jié)構(gòu)，所述的加熱器本體內(nèi)側(cè)面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準(zhǔn)線左右對稱設(shè)置有固定耳，所述的固定耳上開設(shè)有電極固定孔，所述的加熱器本體側(cè)面上設(shè)置有導(dǎo)流孔，所述的加熱器本體內(nèi)側(cè)面上鋪設(shè)有導(dǎo)熱層，所述的導(dǎo)熱層通過固定螺釘固定在加熱器本體內(nèi)側(cè)壁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，其特征在于:所述的導(dǎo)熱層為鋁制網(wǎng)狀層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，其特征在于:所述的導(dǎo)流孔為豎直的矩形槽孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，其特征在于:所述的導(dǎo)流孔在加熱器本體的側(cè)壁上設(shè)置有至少4個。
【專利摘要】一種硅片鑄錠爐用改良加熱器，包括加熱器本體，加熱器本體整體呈圓柱體中空桶狀結(jié)構(gòu)，加熱器本體內(nèi)側(cè)面最下邊緣位置以加熱器本體中心線為基準(zhǔn)線左右對稱設(shè)置有固定耳，固定耳上開設(shè)有電極固定孔，加熱器本體側(cè)面上設(shè)置有導(dǎo)流孔，加熱器本體內(nèi)側(cè)面上鋪設(shè)有導(dǎo)熱層，導(dǎo)熱層通過固定螺釘固定在加熱器本體內(nèi)側(cè)壁上，導(dǎo)熱層為鋁制網(wǎng)狀層，導(dǎo)流孔為豎直的矩形槽孔，導(dǎo)流孔在加熱器本體的側(cè)壁上設(shè)置有至少4個，總的本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、整體受熱均勻、使用壽命長、熱流動均勻的優(yōu)點。
【IPC分類】C30B35-00, C30B29-06
【公開號】CN204570094
【申請?zhí)枴緾N201520089431
【發(fā)明人】陳坤助, 李圣琦, 林彥廷, 張立峰
【申請人】洛陽巨子新能源科技有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2015年2月9日