O的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及介電陶瓷材料，特別是涉及用于制造微波頻率使用的陶瓷基板、諧振 器與濾波器等微波元器件的介電陶瓷材料及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 微波介電陶瓷是指應(yīng)用于微波頻段（主要是UHF和SHF頻段）電路中作為介質(zhì)材 料并完成一種或多種功能的陶瓷，在現(xiàn)代通訊中被廣泛用作諧振器、濾波器、介質(zhì)基片和介 質(zhì)導(dǎo)波回路等元器件，是現(xiàn)代通信技術(shù)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，已在便攜式移動電話、汽車電話、 無繩電話、電視衛(wèi)星接受器和軍事雷達(dá)等方面有著十分重要的應(yīng)用，在現(xiàn)代通訊工具的小 型化、集成化過程中正發(fā)揮著越來越大的作用。
[0003] 應(yīng)用于微波頻段的介電陶瓷，應(yīng)滿足如下介電特性的要求：（1)系列化介電常數(shù) \以適應(yīng)不同頻率及不同應(yīng)用場合的要求；（2)高的品質(zhì)因數(shù)Q值或低的介質(zhì)損耗tan δ 以降低噪音，一般要求Qf多3000GHz ;(3)諧振頻率的溫度系數(shù)TfS可能小以保證器件具 有好的熱穩(wěn)定性，一般要求-l〇ppm/°C< τ +l〇ppm/°C。國際上從20世紀(jì)30年代末就 有人嘗試將電介質(zhì)材料應(yīng)用于微波技術(shù)，并制備出1102微波介質(zhì)濾波器，但其諧振頻率溫 度系數(shù)T f太大而無法實用化。上世紀(jì)70年代以來，開始了大規(guī)模的對介質(zhì)陶瓷材料的開 發(fā)工作，根據(jù)相對介電常數(shù)\的大小與使用頻段的不同，通?？蓪⒁驯婚_發(fā)和正在開發(fā) 的微波介質(zhì)陶瓷分為4類。
[0004] (1)超低介電常數(shù)微波介電陶瓷，主要代表是Al203-Ti0 2、Y2BaCu05、MgAl2O4和 Mg2SiO4等，其ε #20,品質(zhì)因數(shù)QXf》50000GHz，τ f<l〇ppm/°C。主要用于微波基板 以及高端微波元器件。
[0005] (2)低ε r和高Q值的微波介電陶瓷，主要是BaO-MgO-Ta 205, BaO-ZnO-Ta2O5或 BaO-MgO-Nb2O5, BaO-ZnO-Nb2O5系統(tǒng)或它們之間的復(fù)合系統(tǒng)MWDC材料。其ε 20~35, Q =(1~2) X IO4(在f彡IOGHz下），τ產(chǎn)〇。主要應(yīng)用于f彡8GHz的衛(wèi)星直播等微波通 信機中作為介質(zhì)諧振器件。
[0006] (3)中等ε，Q值的微波介電陶瓷，主要是以BaTi 409、Ba2Ti9O2tl和（Zr、SrOTiO 4 等為基的MWDC材料，其ε r= 35~45, Q = (6~9) X 10 3 (在f = 3~一4GHz下）， τ 5ppm/°C。主要用于4~8GHz頻率范圍內(nèi)的微波軍用雷達(dá)及通信系統(tǒng)中作為介質(zhì)諧 振器件。
[0007] (4)高ε Q值較低的微波介電陶瓷，主要用于0.8~4GHz頻率范圍內(nèi)民用移動 通訊系統(tǒng)，這也是微波介電陶瓷研宄的重點。80年代以來，Kolar、Kato等人相繼發(fā)現(xiàn)并研 宄了類媽鈦礦鶴青銅型BaO -Ln2O3一TiO2系列（Ln = La、Sm、Nd或Pr等，簡稱BLT系）、 復(fù)合媽鈦礦結(jié)構(gòu)CaO -Li2O-Ln2O3-TiO2系列、鉛基系列材料、Ca ^Ln2xiZ3TiO3系等高ε ^微 波介電陶瓷，其中BLT體系的BaO - Nd2O3 - TiO2材料介電常數(shù)達(dá)到90,鉛基系列（Pb, Ca) ZrO3介電常數(shù)達(dá)到105。
[0008] 以上這些材料體系的燒結(jié)溫度一般高于1300°C，不能直接與Ag和Cu等低熔點金 屬共燒形成多層陶瓷電容器。近年來，隨著低溫共燒陶瓷技術(shù)（Low Temperature Co-fired Ceramics，LTCC)的發(fā)展和微波多層器件發(fā)展的要求，國內(nèi)外的研宄人員對一些低燒體系材 料進(jìn)行了廣泛的探索和研宄，主要是采用微晶玻璃或玻璃-陶瓷復(fù)合材料體系，因低熔點 玻璃相具有相對較高的介質(zhì)損耗，玻璃相的存在大大提高了材料的介質(zhì)損耗。因此研制無 玻璃相的低燒微波介質(zhì)陶瓷材料是當(dāng)前研宄的重點。
[0009] 在探索與開發(fā)新型可低燒微波介電陶瓷材料的過程中，固有燒結(jié)溫度低的Li基 化合物、Bi基化合物、鎢酸鹽體系化合物和碲酸鹽體系化合物等材料體系得到了廣泛關(guān)注 與研宄，但是由于微波介電陶瓷的三個性能指標(biāo)（ε ^與Q · τ f)之間是相互制約的關(guān) 系（見文獻(xiàn)：微波介質(zhì)陶瓷材料介電性能間的制約關(guān)系，朱建華，梁飛，汪小紅，呂文中，電 子元件與材料，2005年3月第3期），滿足三個性能要求且可低溫?zé)Y(jié)的單相微波介質(zhì)陶 瓷非常少，主要是它們的諧振頻率溫度系數(shù)通常過大或者品質(zhì)因數(shù)偏低而無法實際應(yīng)用要 求。目前對微波介質(zhì)陶瓷的研宄大部分是通過大量實驗而得出的經(jīng)驗總結(jié)，卻沒有完整 的理論來闡述微觀結(jié)構(gòu)與介電性能的關(guān)系，因此，在理論上還無法從化合物的組成與結(jié)構(gòu) 上預(yù)測其諧振頻率溫度系數(shù)和品質(zhì)因數(shù)等微波介電性能，這在很大程度上限制了低溫共燒 技術(shù)及微波多層器件的發(fā)展。探索與開發(fā)既能低溫?zé)Y(jié)同時具有近零諧振頻率溫度系數(shù) (_10ppm/°C彡T f<+l〇ppm/°C)與較高品質(zhì)因數(shù)的微波介電陶瓷是本領(lǐng)域技術(shù)人員一直 渴望解決但始終難以獲得成功的難題。
[0010] 我們對組成LiZnV5014、LiCuV5014、LiNiV 5OJ^系列化合物進(jìn)行了微波介電性能的 研宄，發(fā)現(xiàn)它們的燒結(jié)溫度低于900°C，但只有LiZnV5O14具有近零諧振頻率溫度系數(shù)與高 品質(zhì)因數(shù)，LiNiV 5O14陶瓷的諧振頻率溫度系數(shù)τ f偏大（分別為-77ppm/°C )并且介電損 耗也較高而無法作為可實用化的微波介質(zhì)陶瓷。LiCuV5O14為離子導(dǎo)體在微波頻段沒有諧振 峰。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 本發(fā)明的目的是提供一種具有良好的熱穩(wěn)定性與低損耗，同時可低溫?zé)Y(jié)的超低 介電常數(shù)微波介電陶瓷材料及其制備方法。
[0012] 本發(fā)明的微波介電陶瓷材料的化學(xué)組成為LiZnV5014。
[0013] 本微波介電陶瓷材料的制備方法步驟為：
[0014] (1)將純度為99. 9% (重量百分比）以上的Li2C03、ZnO和V2O5的原始粉末按 LiZnV 5O14的組成稱量配料。
[0015] (2)將步驟（1)原料濕式球磨混合12小時，球磨介質(zhì)為蒸餾水，烘干后在750°C大 氣氣氛中預(yù)燒6小時。
[0016] (3)在步驟（2)制得的粉末中添加粘結(jié)劑并造粒后，再壓制成型，最后在800~ 850°C大氣氣氛中燒結(jié)4小時；所述的粘結(jié)劑采用質(zhì)量濃度為5%的聚乙烯醇溶液，聚乙烯 醇添加量占粉末總質(zhì)量的3%。
[0017] 本發(fā)明的優(yōu)點：1^21^5014陶瓷燒結(jié)溫度低，原料成本低；介電常數(shù)達(dá)到 15. 6~16.2,其諧振頻率的溫度系數(shù)"小，溫度穩(wěn)定性好；品質(zhì)因數(shù)Qf值高達(dá) 119000-161000GHZ，可廣泛用于各種介質(zhì)基板、諧振器和濾波器等微波器件的制造，可滿足 低溫共燒技術(shù)及微波多層器件的技術(shù)需要。
【具體實施方式】
[0018] 實施例：
[0019] 表1示出了構(gòu)成本發(fā)明的不同燒結(jié)溫度的3個具體實施例及其微波介電性能。其 制備方法如上所述，用圓柱介質(zhì)諧振器法進(jìn)行微波介電性能的評價。
[0020] 本陶瓷可廣泛用于各種介質(zhì)基板、諧振器和濾波器等微波器件的制造，可滿足移 動通信和衛(wèi)星通信等系統(tǒng)的技術(shù)需要。
[0021] 表 1 :
[00221
【主權(quán)項】
1. 一種低損耗溫度穩(wěn)定型超低介電常數(shù)微波介電陶瓷，其特征在于所述微波介電陶瓷 的化學(xué)組成為！LiZnV5O14; 所述微波介電陶瓷的制備方法步驟為： (1) 將純度為99. 9% (重量百分比）以上的Li2C03、ZnO和V2O5的原始粉末按LiZnV 5014 的組成稱量配料； (2) 將步驟（1)原料濕式球磨混合12小時，球磨介質(zhì)為蒸餾水，烘干后在750°C大氣氣 氛中預(yù)燒6小時； (3) 在步驟（2)制得的粉末中添加粘結(jié)劑并造粒后，再壓制成型，最后在800~850°C大 氣氣氛中燒結(jié)4小時；所述的粘結(jié)劑采用質(zhì)量濃度為5%的聚乙烯醇溶液，聚乙烯醇的添加 量占粉末總質(zhì)量的3%。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種可低溫?zé)Y(jié)的溫度穩(wěn)定型超低介電常數(shù)微波介電陶瓷LiZnV5O14及其制備方法。（1）將純度為99.9%（重量百分比）以上的Li2CO3、ZnO和V2O5的原始粉末按LiZnV5O14的組成稱量配料；（2）將步驟（1）原料濕式球磨混合12小時，球磨介質(zhì)為蒸餾水，烘干后在750℃大氣氣氛中預(yù)燒6小時；（3）在步驟（2）制得的粉末中添加粘結(jié)劑并造粒后，再壓制成型，最后在800~850℃大氣氣氛中燒結(jié)4小時；所述的粘結(jié)劑采用質(zhì)量濃度為5%的聚乙烯醇溶液，聚乙烯醇的添加量占粉末總質(zhì)量的3%。本發(fā)明制備的陶瓷在850℃以下燒結(jié)良好，介電常數(shù)達(dá)到15.6～16.2，其品質(zhì)因數(shù)Qf值高達(dá)119000-161000GHz，諧振頻率溫度系數(shù)小，在工業(yè)上有著極大的應(yīng)用價值。
【IPC分類】C04B35-622, C04B35-495
【公開號】CN104744039
【申請?zhí)枴緾N201510099831
【發(fā)明人】方亮, 孫宜華, 李東升, 孫小華
【申請人】三峽大學(xué)
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2015年3月6日