藍(lán)寶石襯底拋光裝置的制造方法
【專利摘要】藍(lán)寶石襯底拋光裝置，包括機(jī)架，設(shè)置在機(jī)架上端的水平支架，水平支架上設(shè)置水平導(dǎo)軌，垂直支架導(dǎo)向滑動(dòng)設(shè)置于水平導(dǎo)軌上，在水平支架上設(shè)置有與垂直支架連接的橫向驅(qū)動(dòng)裝置，垂直支架上設(shè)置縱向?qū)к?，縱向?qū)к壣匣瑒?dòng)設(shè)置有滑座，所述滑座向下連接有拋光板，在垂直支架上還設(shè)置有與滑座連接的縱向驅(qū)動(dòng)裝置；拋光板在縱向驅(qū)動(dòng)裝置作用下沿垂直支架上下移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)藍(lán)寶石襯底的壓實(shí)與安放，垂直支架在橫向驅(qū)動(dòng)裝置作用下可以沿水平支架往復(fù)移動(dòng)，以適應(yīng)不同寬度大小襯底的打磨加工；同時(shí)在拋光板與配重塊的凹槽之間設(shè)置有緩沖塊，可以對(duì)垂直縱向驅(qū)動(dòng)裝置下壓時(shí)拋光板與襯底接觸時(shí)的沖擊力的緩沖，有利于保護(hù)藍(lán)寶石襯底免受硬性損壞。
【專利說明】
藍(lán)寶石襯底拋光裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，特別是涉及一種藍(lán)寶石襯底拋光裝置?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]藍(lán)寶石又稱為白寶石，它具有很好的導(dǎo)熱性、極好的電氣特性，因此被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國防、科研及民用領(lǐng)域，隨著LED的迅猛發(fā)展，藍(lán)寶石晶片成為多行急需的耗材，由于藍(lán)寶石硬度極高、脆性大、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，給材料加工，尤其是藍(lán)寶石襯底的拋光帶來很多麻煩，為應(yīng)對(duì)光電技術(shù)對(duì)產(chǎn)品襯底表面提出的超光滑、無損傷的要求，必須對(duì)其襯底進(jìn)行拋光處理；由于藍(lán)寶石襯底的直徑大小不一，在襯底打磨的過程中一般需要安裝多個(gè)拋光板， 另外拋光板在下壓過程中存在易損壞藍(lán)寶石襯底的缺陷。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種藍(lán)寶石襯底拋光裝置，其可以打磨多種不同直徑大小的藍(lán)寶石襯底，提高了藍(lán)寶石襯底的打磨效率，同時(shí)還解決了拋光板在下壓過程中易損壞藍(lán)寶石襯底的缺陷。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:藍(lán)寶石襯底拋光裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在機(jī)架下端的轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸的頂端部固定有拋光臺(tái)，在拋光臺(tái)的上表面固定有拋光墊， 拋光墊的上方設(shè)有拋光機(jī)構(gòu)，所述的拋光機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架上端的水平支架，水平支架上設(shè)置水平導(dǎo)軌，垂直支架導(dǎo)向滑動(dòng)設(shè)置于水平導(dǎo)軌上，在水平支架上設(shè)置有與垂直支架連接的橫向驅(qū)動(dòng)裝置，垂直支架上設(shè)置縱向?qū)к?，縱向?qū)к壣匣瑒?dòng)設(shè)置有滑座，所述滑座向下連接有拋光板，在垂直支架上還設(shè)置有與滑座連接的縱向驅(qū)動(dòng)裝置。
[0005]所述滑座通過連接桿向下連接有配重塊，配重塊的下端凹槽內(nèi)嵌置有拋光板，在拋光板的上端面與凹槽的底端面之間連接有緩沖塊。
[0006]所述的橫向驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)置在水平支架兩端的水平帶輪，兩水平帶輪之間繞置有同步帶，所述同步帶與垂直支架連接，水平電機(jī)設(shè)置在水平支架上，其輸出端與其中任意一水平帶輪連接。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:拋光板在縱向驅(qū)動(dòng)裝置作用下沿垂直支架上下移動(dòng)， 以實(shí)現(xiàn)對(duì)藍(lán)寶石襯底的壓實(shí)與安放，垂直支架在橫向驅(qū)動(dòng)裝置作用下可以沿水平支架往復(fù)移動(dòng)，以適應(yīng)不同寬度大小襯底的打磨加工；同時(shí)在拋光板與配重塊的凹槽之間設(shè)置有緩沖塊，可以對(duì)垂直縱向驅(qū)動(dòng)裝置下壓時(shí)拋光板與襯底接觸時(shí)的沖擊力的緩沖，有利于保護(hù)藍(lán)寶石襯底免受硬性損壞。【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:
[0009]1.機(jī)架，2.水平電機(jī)，3.滑座，4.連接桿，5.配重塊，6.緩沖塊，7.拋光板，8.拋光臺(tái)，9.垂直支架，10.縱向?qū)к墸?1.水平支架，12.水平帶輪，13.同步帶，14.襯底，15.拋光墊，16.轉(zhuǎn)軸?！揪唧w實(shí)施方式】
[0010]下面通過具體實(shí)施例進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0011]如圖1所示:藍(lán)寶石襯底拋光裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在機(jī)架1下端的轉(zhuǎn)軸16,轉(zhuǎn)軸16的頂端部固定有拋光臺(tái)8,在拋光臺(tái)8的上表面固定有拋光墊15,拋光墊15的上方設(shè)有拋光機(jī)構(gòu)，所述的拋光機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架1上端的水平支架11，水平支架11上設(shè)置水平導(dǎo)軌，垂直支架9導(dǎo)向滑動(dòng)設(shè)置于水平導(dǎo)軌上，在水平支架11上設(shè)置有與垂直支架9連接的橫向驅(qū)動(dòng)裝置，垂直支架9上設(shè)置縱向?qū)к?0,縱向?qū)к?0上滑動(dòng)設(shè)置有滑座3,所述滑座3向下連接有拋光板7,在垂直支架9上還設(shè)置有與滑座3連接的縱向驅(qū)動(dòng)裝置。
[0012]所述滑座3通過連接桿4向下連接有配重塊5,配重塊5的下端凹槽內(nèi)嵌置有拋光板 7，在拋光板7的上端面與凹槽的底端面之間連接有緩沖塊6。
[0013]所述的橫向驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)置在水平支架11兩端的水平帶輪12,兩水平帶輪12之間繞置有同步帶13,所述同步帶13與垂直支架9連接，水平電機(jī)2設(shè)置在水平支架11上，其輸出端與其中任意一水平帶輪12連接。[〇〇14]拋光板7在縱向驅(qū)動(dòng)裝置作用下沿垂直支架9上下移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)藍(lán)寶石襯底14的壓實(shí)與安放，垂直支架9在橫向驅(qū)動(dòng)裝置作用下可以沿水平支架11往復(fù)移動(dòng)，以適應(yīng)不同寬度大小襯底的打磨加工；同時(shí)在拋光板7與配重塊5的凹槽之間設(shè)置有緩沖塊6,可以對(duì)垂直縱向驅(qū)動(dòng)裝置下壓時(shí)拋光板7與襯底14接觸時(shí)的沖擊力的緩沖，有利于保護(hù)藍(lán)寶石襯底14 免受硬性損壞。[〇〇15]除說明書所述技術(shù)特征外，均為本專業(yè)技術(shù)人員已知技術(shù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.藍(lán)寶石襯底拋光裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在機(jī)架(1)下端的轉(zhuǎn)軸(16)，轉(zhuǎn)軸(16)的頂端部 固定有拋光臺(tái)(8)，在拋光臺(tái)(8)的上表面固定有拋光墊(15)，拋光墊(15)的上方設(shè)有拋光 機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的拋光機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架(1)上端的水平支架(11)，水平支架 (11)上設(shè)置水平導(dǎo)軌，垂直支架(9)導(dǎo)向滑動(dòng)設(shè)置于水平導(dǎo)軌上，在水平支架(11)上設(shè)置有 與垂直支架(9)連接的橫向驅(qū)動(dòng)裝置，垂直支架(9)上設(shè)置縱向?qū)к?10)，縱向?qū)к?10)上 滑動(dòng)設(shè)置有滑座(3)，所述滑座(3)向下連接有拋光板(7)，在垂直支架(9)上還設(shè)置有與滑 座(3 )連接的縱向驅(qū)動(dòng)裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底拋光裝置，其特征在于:所述滑座(3)通過連接桿 (4)向下連接有配重塊(5)，配重塊(5)的下端凹槽內(nèi)嵌置有拋光板(7)，在拋光板(7)的上端 面與凹槽的底端面之間連接有緩沖塊(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底拋光裝置，其特征在于:所述的橫向驅(qū)動(dòng)裝置包括 設(shè)置在水平支架(11)兩端的水平帶輪(12)，兩水平帶輪(12)之間繞置有同步帶(13)，所述 同步帶(13)與垂直支架(9)連接，水平電機(jī)(2)設(shè)置在水平支架(11)上，其輸出端與其中任 意一水平帶輪(12)連接。
【文檔編號(hào)】B24B37/34GK205588136SQ201620401635
【公開日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月3日
【發(fā)明人】朱寧, 劉增偉, 魏行行
【申請(qǐng)人】元鴻（山東）光電材料有限公司