一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)，包括安裝聯(lián)接法蘭，安裝聯(lián)接法蘭上安裝有真空貫穿件、靶材旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和一芯電力貫穿件，真空貫穿件中心安裝有靶材組件，靶材組件底端連接旋轉(zhuǎn)式冷卻水供應(yīng)裝置，靶材組件上通過(guò)靶材支撐組件安裝有靶材，所述靶材組件的圓周側(cè)設(shè)有安裝在安裝聯(lián)接法蘭上的電刷，電刷為兩個(gè)。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)是：本實(shí)用新型采用了雙電刷設(shè)計(jì)，兩個(gè)電刷是并聯(lián)結(jié)構(gòu)，同時(shí)都與碳靶接觸，使其穩(wěn)定持續(xù)帶有負(fù)電荷。接觸面更廣，電荷輸出更穩(wěn)定；并聯(lián)設(shè)計(jì)，當(dāng)一個(gè)電刷出現(xiàn)故障時(shí)，另一電刷也能正常工作，不影響整體工況；工作更可靠，安全，穩(wěn)定，降低機(jī)器故障和提高生產(chǎn)效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及電刷結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的真空鍍膜靶材結(jié)構(gòu)是采用單電刷結(jié)構(gòu)，原理是單電刷結(jié)構(gòu)與陰極電極連通，其卡簧帶負(fù)電荷把電刷固定，電刷與碳靶表面接觸從而使碳靶帶負(fù)電荷，與工作的碳頭運(yùn)動(dòng)到低位時(shí)產(chǎn)生電弧。但因?yàn)槭菃坞娝⒔Y(jié)構(gòu)，時(shí)常會(huì)因接觸不良或斷路等等情況出現(xiàn)異常，整個(gè)靶材結(jié)構(gòu)無(wú)法正常工作，同時(shí)會(huì)導(dǎo)致離子無(wú)法均勻穩(wěn)定地輸出，使鍍膜工作出現(xiàn)瑕疵或廢品。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型是為了解決上述不足，提供了一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)。
[0004]本實(shí)用新型的上述目的通過(guò)以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)，包括安裝聯(lián)接法蘭，安裝聯(lián)接法蘭上安裝有真空貫穿件、靶材旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和一芯電力貫穿件，真空貫穿件中心安裝有靶材組件，靶材組件底端連接旋轉(zhuǎn)式冷卻水供應(yīng)裝置，靶材組件上通過(guò)靶材支撐組件安裝有靶材，其特征在于:所述靶材組件的圓周側(cè)設(shè)有安裝在安裝聯(lián)接法蘭上的電刷，電刷為兩個(gè)。
[0005 ]所述電刷包括電刷底座和側(cè)立板，所述電刷底座和側(cè)立板均呈弧形，所述電刷底座兩側(cè)端設(shè)有絕緣螺絲;所述側(cè)立板固定于電刷底座上，側(cè)立板上固定有電刷銅片，所述電刷銅片橫截面呈7字形。
[0006]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)是:本實(shí)用新型采用了雙電刷設(shè)計(jì)，兩個(gè)電刷是并聯(lián)結(jié)構(gòu)，同時(shí)都與碳靶接觸，使其穩(wěn)定持續(xù)帶有負(fù)電荷。接觸面更廣，電荷輸出更穩(wěn)定；并聯(lián)設(shè)計(jì)，當(dāng)一個(gè)電刷出現(xiàn)故障時(shí)，另一電刷也能正常工作，不影響整體工況;工作更可靠，安全，穩(wěn)定，降低機(jī)器故障和提高生產(chǎn)效率。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖。
[0008]圖2是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖3是本實(shí)用新型中電刷的正面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖4是圖2的俯視圖。
[0011]圖5是本實(shí)用新型中電刷的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖6是本實(shí)用新型中電刷的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳述。
[0014]如圖1至圖6所示，一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)，包括安裝聯(lián)接法蘭3，安裝聯(lián)接法蘭3上安裝有真空貫穿件4、靶材旋轉(zhuǎn)馬達(dá)8和一芯電力貫穿件9，真空貫穿件4中心安裝有靶材組件5，靶材組件5底端連接旋轉(zhuǎn)式冷卻水供應(yīng)裝置6，靶材組件5上通過(guò)靶材支撐組件10安裝有靶材7，其特征在于:所述靶材組件5的圓周側(cè)設(shè)有安裝在安裝聯(lián)接法蘭上的電刷2，電刷2為兩個(gè)。所述電刷2包括電刷底座2-1和側(cè)立板2-2，所述電刷底座2-1和側(cè)立板2-2均呈弧形，所述電刷底座2-1兩側(cè)端設(shè)有絕緣螺絲2-3;所述側(cè)立板2-2固定于電刷底座2-1上，側(cè)立板2-1上固定有電刷銅片2-4，所述電刷銅片2-4橫截面呈7字形。
[0015]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)，包括安裝聯(lián)接法蘭，安裝聯(lián)接法蘭上安裝有真空貫穿件、靶材旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和一芯電力貫穿件，真空貫穿件中心安裝有靶材組件，靶材組件底端連接旋轉(zhuǎn)式冷卻水供應(yīng)裝置，靶材組件上通過(guò)靶材支撐組件安裝有靶材，其特征在于:所述靶材組件的圓周側(cè)設(shè)有安裝在安裝聯(lián)接法蘭上的電刷，電刷為兩個(gè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空鍍膜靶材雙電刷結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述電刷包括電刷底座和側(cè)立板，所述電刷底座和側(cè)立板均呈弧形，所述電刷底座兩側(cè)端設(shè)有絕緣螺絲;所述側(cè)立板固定于電刷底座上，側(cè)立板上固定有電刷銅片，所述電刷銅片橫截面呈7字形。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK205501410SQ201620283464
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年4月7日
【發(fā)明人】黃裕祥
【申請(qǐng)人】廣東耐信鍍膜科技有限公司