殘余物料回收裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及化工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種殘余物料回收裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]M0源即高純金屬有機化合物，是采用金屬有機化學(xué)氣相沉積(M0CVD)技術(shù)進行外延生長時的支撐材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半導(dǎo)體超薄型膜材料，可用來生產(chǎn)LED外延片、HEMT器件、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等；是發(fā)展光電子產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料之一，也是生產(chǎn)高亮度、超高亮度發(fā)光材料及大規(guī)模集成電路的必備原料。M0源具有非?；顫姷幕瘜W(xué)性質(zhì)，對空氣和水汽極為敏感，在空氣中會瞬間自燃，遇水則發(fā)生猛烈爆炸。因此，M0源的灌裝需要在密閉且無02、無H20的環(huán)境下進行，并且在使用完之后，仍然需要在密閉且無02、無H20的環(huán)境下進行殘余物料的回收，以使得存儲M0源的鋼瓶能夠再利用。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，較為常用的M0源殘余物料回收的方式是在無氧無水惰性氣氛的手套箱內(nèi)將剩有殘余M0源的鋼瓶倒入固定的回收鋼瓶中，回收鋼瓶收集滿之后再進行處理。然而，這種回收方式存在諸多缺陷，例如，在傾倒時由于M0源極易揮發(fā)并具有較強的腐蝕性，因此非常容易損壞手套箱設(shè)備。尤其是，隨著市場經(jīng)濟的快速發(fā)展、電子技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大，M0源的市場需求量大幅度增加，用于灌裝M0源的鋼瓶的規(guī)格也隨之不斷放大，由最初的500g，1000g放大到8kg，16kg甚至更大，因此，鋼瓶的體積也相應(yīng)地較大，這非常不利于傾倒操作。并且，在通過傾倒的方式處理M0源鋼瓶殘余物料時，鋼瓶內(nèi)的殘余物料非常不容易處理干凈，這為后續(xù)開口處理鋼瓶時埋下了非常大的隱患。如果鋼瓶內(nèi)的殘余物料沒有處理干凈，那么當打開鋼瓶的開口時，基于M0源的物理特性和化學(xué)特性，易出現(xiàn)冒煙冒火等情況，并伴有大量刺鼻有害煙霧，對環(huán)境造成較大的污染，同時危害周圍人的健康。
[0004]由此可以得出，傳統(tǒng)的用于回收M0源鋼瓶中的殘余物料的方式不僅對操作環(huán)境要求較高且不便于操作，而且還存在較大的安全隱患。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種殘余物料回收裝置，該殘余物料回收裝置能夠在普通空氣環(huán)境中作業(yè)，不僅操作方便，而且具有較高的安全系數(shù)。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種殘余物料回收裝置，其中，所述殘余物料回收裝置包括殘余物料容器、緩沖罐、第一管路和抽真空裝置，所述第一管路將所述容器與所述緩沖罐連接，所述抽真空裝置通過第二管路連接于所述緩沖罐，所述殘余物料容器中的殘余物料能夠通過所述第一管路進入到所述緩沖罐。
[0007]優(yōu)選地，所述第一管路和/或所述第二管路上連接有檢漏裝置。
[0008]優(yōu)選地，所述緩沖罐容納在冷卻裝置中。
[0009]優(yōu)選地，所述冷卻裝置為冷阱。
[0010]優(yōu)選地，所述殘余物料回收裝置還包括連接于所述第一管路和/或所述第二管路的置換氣體源。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述第一管路上設(shè)置有第一閥門。
[0012]所述第二管路上設(shè)置有第二閥門。
[0013]優(yōu)選地，所述第一管路上連接有壓力表。
[0014]優(yōu)選地，所述容器通過金屬軟管連接于所述第一管路。
[0015]優(yōu)選地，所述殘余物料為M0源。
[0016]通過上述技術(shù)方案，本實用新型提供的殘余物料回收裝置為待回收的殘余物料提供密閉的環(huán)境，能夠為待回收的殘余物料提供特定的氣體氛圍，具有較高的安全性，因此，殘余物料的回收操作不再局限于附加設(shè)備，能夠在普通空氣環(huán)境下進行殘余物料的回收工作。并且本實用新型提供的殘余物料回收裝置通過抽真空裝置，能夠?qū)堄辔锪先萜髦械臍堄辔锪辖?jīng)第一管路抽入緩沖罐中，以達到回收的目的，操作簡單方便快捷。
[0017]本實用新型的其它特征和優(yōu)點將在隨后的【具體實施方式】部分予以詳細說明。
【附圖說明】
[0018]附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本實用新型，但并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中:
[0019]圖1是根據(jù)本實用新型提供的【具體實施方式】的殘余物料回收裝置的簡略示意圖。
[0020]附圖標記說明
[0021]1殘余物料容器(或鋼瓶);2緩沖罐；3第一管路；31第一閥門；4抽真空裝置；5第二管路；51第二閥門；6檢漏裝置；61第三閥門；7冷卻裝置；8置換氣體源；81第四閥門；9壓力表；91第五閥門。
【具體實施方式】
[0022]以下結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細說明。應(yīng)當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。
[0023]根據(jù)本實用新型提供的【具體實施方式】，提供一種殘余物料回收裝置，其中，所述殘余物料回收裝置包括殘余物料容器1、緩沖罐2、第一管路3和抽真空裝置4，所述第一管路3將所述容器1與所述緩沖罐2連接，所述抽真空裝置4通過第二管路5連接于所述緩沖罐2，所述殘余物料容器1中的殘余物料能夠通過第一管路3進入到所述緩沖罐2。
[0024]通過打開抽真空裝置4，能夠?qū)堄辔锪先萜?中的殘余物料經(jīng)第一管路3抽到緩沖罐2中，實現(xiàn)殘余物料的回收，結(jié)構(gòu)簡單，操作安全方便。在回收殘余物料容器1中的殘余物料的整個過程中，由于殘余物料是在密閉環(huán)境中從殘余物料容器1通過第一管路3進入緩沖罐2，殘余物料并不與外界環(huán)境接觸，因此整個回收作業(yè)能夠在普通環(huán)境中進行，由此可見，本實用新型提供的殘余物料回收裝置尤其適用于在普通空氣環(huán)境下容易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)(例如與氧氣或水蒸氣)的物料，例如【背景技術(shù)】中提到的M0源，當使用本實用新型提供的殘余物料回收裝置回收這類物料時，只需要在連通殘余物料容器1與第一管路3之前，通過抽真空裝置4將第一管路3、緩沖罐2以及第二管路5抽真空即可為這類物料提供避免發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的安全的氣體氛圍(下面會描述通過另一種方式達到為這類物料提供安全的氣體氛圍的目的)。在這種情況下，當將第一管路3、緩沖罐2以及第二管路5抽真空之后，關(guān)閉抽真空裝置4，接著打開殘余物料容器1，其中的殘余物料在負壓的作用下即可被抽入緩沖罐2中。
[0025]下面將結(jié)合圖1詳細描述本實用新型的【具體實施方式】。在下面的描述中，為了便于理解，上述物料指【背景技術(shù)】中提到的M0源，相應(yīng)地，殘余物料容器1指用于存儲M0源的鋼瓶。
[0026]由于M0源對H20以及02非常敏感，因此，在回收鋼瓶中的殘余M0源之前，需要確保由鋼瓶、第一管路3、緩沖罐2、第二管路5以及抽真空裝置4之間的連接處不漏氣。因此，優(yōu)選地，在本實用新型提供的殘余物料回收裝置，所述第一管路3和/或所述第二管路5上連接有檢漏裝置6，以檢查各連接處和各管路是否漏氣。之后在漏氣量滿足一定要求時才能進行鋼瓶中殘余M0源的回收作業(yè)。
[0027]為了將回收到緩沖罐2中的殘余M0源盡可能地留在其中，優(yōu)選地，緩沖罐2能夠?qū)0源進行冷卻，可以通過多種方式，例如:所述緩沖罐2可以容納在冷卻裝置7中，該冷卻裝置7可以為冷阱，在打開鋼瓶的開關(guān)之前，可以先向冷阱中通入液氮以對緩沖罐2進行冷卻。當鋼瓶中的殘余M0源被回收到緩沖罐2中之后，冷凝成固體留在緩沖罐2中，從而能夠避免氣態(tài)的M0源進入抽真空裝置4。
[0028]此外，在根據(jù)本實用新型提供的【具體實施方式】中，可以通過將第一管路3、緩沖罐3和第二管路5中的空氣替換為不與M0源發(fā)生反應(yīng)的氣體(例如惰性氣體、氮氣等)的方式為M0源提供安全的氣體氛圍。這種方式可以通過多種結(jié)構(gòu)實現(xiàn)，優(yōu)選地，所述殘余物料回收裝置還包括連接于所述第一管路3和/或所述第二管路5的置換氣體源8，例如惰性氣體源或氮氣源。在這種【具體實施方式】中，在打開鋼瓶的開關(guān)之前，開啟抽真空裝置4將第一管路3、緩沖罐2以及第二管路5抽真空，之后打開置換氣體源8，向第一管路3、緩沖罐2以及第二管路5中通入置換氣體，之后關(guān)閉置換氣體源8，再次打開抽真空裝置4將第一管路3、緩沖罐2以及第二管路5抽真空，……多次循環(huán)抽真空一通入置換氣體的操作，例如至少三次，將第一管路3、緩沖罐2以及第二管路