一種研磨液的雙供應(yīng)系統(tǒng)切換裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于溶液添加控制領(lǐng)域，尤其是涉及一種研磨液的雙供應(yīng)系統(tǒng)切換裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有的研磨液供應(yīng)系統(tǒng)中，往往都是一臺(tái)供應(yīng)設(shè)備擁有一條循環(huán)管路，從而為與其對(duì)接的設(shè)備提供溶液，這樣的對(duì)應(yīng)關(guān)系會(huì)在供應(yīng)設(shè)備出現(xiàn)異常的情況下影響所有與其連通的后續(xù)設(shè)備的正常運(yùn)行，進(jìn)而影響整個(gè)工序的順利實(shí)施。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型旨在提出一種研磨液的雙供應(yīng)系統(tǒng)切換裝置，以解決一臺(tái)供應(yīng)設(shè)備對(duì)應(yīng)一條運(yùn)輸管路而存在的斷流風(fēng)險(xiǎn)。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種研磨液的雙供應(yīng)系統(tǒng)切換裝置，其包括控制器、第一循環(huán)控制機(jī)構(gòu)、第二循環(huán)控制機(jī)構(gòu)以及連通氣動(dòng)閥組；
[0006]所述第一循環(huán)控制機(jī)構(gòu)包括第一供液器和第一氣動(dòng)閥組；所述第一供液器通過循環(huán)泵形成液體循環(huán)通路，其包括第一供液器的液體出口和回流口，所述第一氣動(dòng)閥組包括第一氣動(dòng)閥和第二氣動(dòng)閥，所述第一供液器的液體出口與第二氣動(dòng)閥的入口端連接，該第二氣動(dòng)閥的出口端通過第一管道與所述第一氣動(dòng)閥的入口端連通且該段第一管道上開有數(shù)個(gè)第一輸出口，所述第一氣動(dòng)閥的出口端與所述第一供液器的回流口連通；
[0007]所述第二循環(huán)控制機(jī)構(gòu)包括第二供液器和第二氣動(dòng)閥組，所述第二供液器通過循環(huán)泵形成液體循環(huán)通路，其包括第二供液器的液體出口和回流口，所述第二氣動(dòng)閥組包括串聯(lián)連通的第九氣動(dòng)閥和第八氣動(dòng)閥，所述第九氣動(dòng)閥的入口端與所述第二供液器的液體出口連通，所述第八氣動(dòng)閥的出口端與該第二供液器的回流口連通，且第九氣動(dòng)閥和第八氣動(dòng)閥通過第二管道連通，該段第二管道上開有數(shù)個(gè)第二輸出口 ；
[0008]所述連通氣動(dòng)閥組包括第四氣動(dòng)閥和第七氣動(dòng)閥；所述第二氣動(dòng)閥的出口端與第九氣動(dòng)閥的出口端通過第四氣動(dòng)閥連通，所述第一氣動(dòng)閥的入口端與所述第九氣動(dòng)閥的出口端通過第七氣動(dòng)閥連通；
[0009]所述控制器分別與所述連通氣動(dòng)閥組、第一氣動(dòng)閥組和第二氣動(dòng)閥組電連接。
[0010]進(jìn)一步的，所述第一氣動(dòng)閥組還包括第三氣動(dòng)閥，所述第二氣動(dòng)閥的出口端與第一氣動(dòng)閥的入口端之間還連有第三氣動(dòng)閥，所述第三氣動(dòng)閥的出口端通過第一管道與所述第一氣動(dòng)閥的入口端連通。
[0011]進(jìn)一步的，所述第三氣動(dòng)閥的出口端與所述第八氣動(dòng)閥的入口端通過一第六氣動(dòng)閥連通，所述第六氣動(dòng)閥與控制器電連接。
[0012]進(jìn)一步的，所述連通氣動(dòng)閥組還包括第五氣動(dòng)閥，所述第五氣動(dòng)閥與所述第四氣動(dòng)閥并排設(shè)立且第二氣動(dòng)閥和第九氣動(dòng)閥還通過該第五氣動(dòng)閥連通。
[0013]進(jìn)一步的，所述第二氣動(dòng)閥組還包括第十氣動(dòng)閥，所述第九氣動(dòng)閥和第八氣動(dòng)閥之間連有所述第十氣動(dòng)閥，第十氣動(dòng)閥出口端和第八氣動(dòng)閥的入口端通過第二管道連通。
[0014]進(jìn)一步的，所述第十氣動(dòng)閥的出口端與所述第一氣動(dòng)閥的入口端通過一第七氣動(dòng)閥連通，所述第七氣動(dòng)閥與所述控制器電連接。
[0015]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型所述的一種研磨液的雙供應(yīng)系統(tǒng)切換裝置具有以下優(yōu)勢(shì):
[0016]本實(shí)用新型所述的兩個(gè)循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)之間通過連通氣動(dòng)閥組進(jìn)行相互連通的設(shè)計(jì)，可以有效保障兩個(gè)循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)的正常運(yùn)行，在其中一個(gè)循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)中的輸送管路出現(xiàn)異常的情況下，可隨時(shí)啟用另一個(gè)循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)給輸送，以此保證兩個(gè)循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)均能正常提供液體。
【附圖說明】
[0017]構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0018]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的研磨液的雙供應(yīng)系統(tǒng)切換裝置管路連接示意圖。
[0019]附圖標(biāo)記說明:
[0020]1-第一循環(huán)控制機(jī)構(gòu)，11-第一供液器，12-第一輸出口，121-第一接收器，2_第二循環(huán)控制機(jī)構(gòu)，21-第二供液器，22-第二輸出口，221-第二接收器，Vl-第一氣動(dòng)閥，V2-第二氣動(dòng)閥，V3-第三氣動(dòng)閥，V4-第四氣動(dòng)閥，V5-第五氣動(dòng)閥，V6-第六氣動(dòng)閥，V7-第七氣動(dòng)閥，V8-第八氣動(dòng)閥，V9-第九氣動(dòng)閥，VlO-第十氣動(dòng)閥。
【具體實(shí)施方式】
[0021]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0022]另外，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中所提到的第一供液器和第二供液器均屬于現(xiàn)有技術(shù)中可對(duì)其他設(shè)備提供液體，同時(shí)還能對(duì)多余液體進(jìn)行回收的機(jī)器。
[0023]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。
[0024]如圖1所示，一種研磨液的雙供應(yīng)系統(tǒng)切換裝置，其包括控制器、第一循環(huán)控制機(jī)構(gòu)1、第二循環(huán)控制機(jī)構(gòu)2以及連通氣動(dòng)閥組；
[0025]所述第一循環(huán)控制機(jī)構(gòu)I包括第一供液器11和第一氣動(dòng)閥組；所述第一供液器11通過循環(huán)泵形成液體循環(huán)通路，其包括第一供液器11的液體出口和回流口，所述第一氣動(dòng)閥組包括第一氣動(dòng)閥V1、第二氣動(dòng)閥V2和第三氣動(dòng)閥V3，所述第一供液器11的液體出口與第二氣動(dòng)閥V2的入口端連接，所述第二氣動(dòng)閥V2的出口端與第一氣動(dòng)閥Vl的入口端之間還連有第三氣動(dòng)閥V3，所述第三氣動(dòng)閥V3的出口端通過第一管道與所述第一氣動(dòng)閥Vl的入口端連通且該段第一管道上開有數(shù)個(gè)第一輸出口 12，所述第一輸出口 12分別對(duì)應(yīng)一臺(tái)第一接收器121，該第一接收器即為接受研磨液的機(jī)器，所述第一氣動(dòng)閥Vl的出口端與所述第一供液器11的回流口連通；
[0026]所述第二循環(huán)控制機(jī)構(gòu)2包括第二供液器21和第二氣動(dòng)閥組，所述第二供液器21通過循環(huán)泵形成液體循環(huán)通路，其包括第二供液器21的液體出口和回流口，所述第二氣動(dòng)閥組包括依次串聯(lián)連通的第九氣動(dòng)閥V9、第十氣動(dòng)閥和第八氣動(dòng)閥V8，所述第九氣動(dòng)閥V9的入口端與所述第二供液器21的液體出口連通，所述第八氣動(dòng)閥V8的出口端與該第二供液器21的回流口連通，第十氣動(dòng)閥VlO出口端和第八氣動(dòng)閥V8的入口端通過第二管道連通且該段第二管道上開有數(shù)個(gè)第二輸出口 22，所述第二輸出口 22分別對(duì)應(yīng)一臺(tái)第二接收器221，該第二接收器即為接受研磨液的機(jī)器；
[0027]所述連通氣動(dòng)閥組包括第四氣動(dòng)閥V4、第五氣動(dòng)閥V5、第六氣動(dòng)閥V6和第七氣動(dòng)閥V7 ;所述第二氣動(dòng)閥V2的出口端與第九氣動(dòng)閥V9的出口端通過第四氣動(dòng)閥V4連通，所述第一氣動(dòng)閥Vl的入口端與所述第九氣動(dòng)閥V9的出口端通過第