本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體研磨裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置。
背景技術(shù):
在生產(chǎn)半導(dǎo)體的過程中,需要對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行研磨拋光,目前的半導(dǎo)體研磨裝置,使用的電能來源不清潔,清潔能源供應(yīng)不充足和智能化程度低。
因此,發(fā)明一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置顯得非常必要。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型的目的在于提供一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出目前的半導(dǎo)體研磨裝置,使用的電能來源不清潔,清潔能源供應(yīng)不充足和智能化程度低的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置,包括研磨裝置本體、第一電動(dòng)機(jī)、研磨液儲(chǔ)存桶、第一電動(dòng)伸縮桿、第一研磨石、研磨載料臺(tái)、第三電動(dòng)機(jī)、鋼化玻璃窗、安全防護(hù)門、第二研磨石、折頁(yè)、第二電動(dòng)伸縮桿、軸承、第二電動(dòng)機(jī)、注料漏斗、支撐柱、風(fēng)能發(fā)電機(jī)、太陽(yáng)能電池板、電氣箱、第一頻率控制器、第二頻率控制器、第一變速控制器、第二變速控制器、第三變速控制器、滴定管和開關(guān)閥門,所述研磨裝置本體的左上端與第一電動(dòng)機(jī)固定連接;所述第一電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承與第一電動(dòng)伸縮桿的氣缸端固定連接;所述第一電動(dòng)伸縮桿的伸縮桿端部與第一研磨石的中間固定連接;所述研磨裝置本體的右上端與第二電動(dòng)機(jī)固定連接;所述第二電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承與第二電動(dòng)伸縮桿的氣缸端固定連接;所述第二電動(dòng)伸縮桿的伸縮桿端部與第二研磨石的中間固定連接;所述研磨裝置本體的中上端與研磨液儲(chǔ)存桶固定連接;所述研磨液儲(chǔ)存桶的下端與滴定管的上端連接;所述研磨裝置本體的內(nèi)部下端與第三電動(dòng)機(jī)固定連接;所述第三電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承與研磨載料臺(tái)中間固定連接;所述研磨裝置本體的右端設(shè)置有安全防護(hù)門;所述安全防護(hù)門通過折頁(yè)與研磨裝置本體鉸接;所述裝置本體的右上端通過支撐柱與太陽(yáng)能電池板固定連接;所述裝置本體的左上端通過支撐柱與風(fēng)能發(fā)電機(jī)固定連接;所述裝置本體的下端與電氣箱固定連接;所述電氣箱的內(nèi)部從左到右依次固定有第一頻率控制器、第二頻率控制器、第一變速控制器、第二變速控制器和第三變速控制器;所述第一頻率控制器與第一電動(dòng)伸縮桿電性連接;所述第二頻率控制器與第二電動(dòng)伸縮桿電性連接;所述第一變速控制器與第一電動(dòng)機(jī)電性連接;所述第二變速控制器與第二電動(dòng)機(jī)電性連接;所述第三變速控制器與第三電動(dòng)機(jī)電性連接。
進(jìn)一步,所述研磨液儲(chǔ)存桶的上端設(shè)置有注料漏斗。
進(jìn)一步,所述滴定管的上端設(shè)置有開關(guān)閥門。
進(jìn)一步,所述安全防護(hù)門上設(shè)置有鋼化玻璃窗。
進(jìn)一步,所述支撐柱的下端通過連接法蘭與研磨裝置本體固定連接。
進(jìn)一步,所述風(fēng)能發(fā)電機(jī)采用的是家用W水平軸式風(fēng)能發(fā)電機(jī)。
本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn):該智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置,通過設(shè)置風(fēng)能發(fā)電機(jī)和太陽(yáng)能電池板同時(shí)給裝置提供清潔的電能,使得節(jié)能環(huán)保,并且能夠保證清潔能源的充分供應(yīng);通過設(shè)置第一頻率控制器控制第一電動(dòng)伸縮桿,使得第一電動(dòng)伸縮桿有頻率的定時(shí)伸縮,并帶動(dòng)第一研磨石伸到半導(dǎo)體上,第二頻率控制器控制第二電動(dòng)伸縮桿有頻率的定時(shí)伸縮,并帶動(dòng)第二研磨石伸到半導(dǎo)體上;通過設(shè)置第一變速控制器控制第一電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度,第二變速控制器控制第二電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度,第三變速控制器控制第三電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度,使得裝置的自動(dòng)化程度高,可以通過調(diào)節(jié)相應(yīng)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速,來提高工作效率。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:1-裝置本體;2-第一電動(dòng)機(jī);3-研磨液儲(chǔ)存桶;4-第一電動(dòng)伸縮桿;5-第一研磨石;6-研磨載料臺(tái);7-第三電動(dòng)機(jī);8-鋼化玻璃窗;9-安全防護(hù)門;10-第二研磨石;11-折頁(yè);12-第二電動(dòng)伸縮桿;13-軸承;14-第二電動(dòng)機(jī);15-注料漏斗;16-支撐柱;17-風(fēng)能發(fā)電機(jī);18-太陽(yáng)能電池板;19-電氣箱;20-第一頻率控制器;21-第二頻率控制器;22-第一變速控制器;23-第二變速控制器;24-第三變速控制器;25-滴定管;26-開關(guān)閥門。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
本實(shí)用新型提供了如圖1所示的一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置,包括研磨裝置本體1、第一電動(dòng)機(jī)2、研磨液儲(chǔ)存桶3、第一電動(dòng)伸縮桿4、第一研磨石5、研磨載料臺(tái)6、第三電動(dòng)機(jī)7、鋼化玻璃窗8、安全防護(hù)門9、第二研磨石10、折頁(yè)11、第二電動(dòng)伸縮桿12、軸承13、第二電動(dòng)機(jī)14、注料漏斗15、支撐柱16、風(fēng)能發(fā)電機(jī)17、太陽(yáng)能電池板18、電氣箱19、第一頻率控制器20、第二頻率控制器21、第一變速控制器22、第二變速控制器23、第三變速控制器24、滴定管25和開關(guān)閥門26,所述研磨裝置本體1的左上端與第一電動(dòng)機(jī)2固定連接;所述第一電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承13與第一電動(dòng)伸縮桿4的氣缸端固定連接;所述第一電動(dòng)伸縮桿4的伸縮桿端部與第一研磨石5的中間固定連接;所述研磨裝置本體1的右上端與第二電動(dòng)機(jī)14固定連接;所述第二電動(dòng)機(jī)14的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承13與第二電動(dòng)伸縮桿12的氣缸端固定連接;所述第二電動(dòng)伸縮桿12的伸縮桿端部與第二研磨石10的中間固定連接;所述研磨裝置本體1的中上端與研磨液儲(chǔ)存桶3固定連接;所述研磨液儲(chǔ)存桶3的下端與滴定管25的上端連接;所述研磨裝置本體1的內(nèi)部下端與第三電動(dòng)機(jī)7固定連接;所述第三電動(dòng)機(jī)7的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承13與研磨載料臺(tái)6中間固定連接;所述研磨裝置本體1的右端設(shè)置有安全防護(hù)門9;所述安全防護(hù)門9通過折頁(yè)11與研磨裝置本體1鉸接;所述裝置本體1的右上端通過支撐柱16與太陽(yáng)能電池板18固定連接;所述裝置本體1的左上端通過支撐柱16與風(fēng)能發(fā)電機(jī)17固定連接;所述裝置本體1的下端與電氣箱19固定連接;所述電氣箱19的內(nèi)部從左到右依次固定有第一頻率控制器20、第二頻率控制器21、第一變速控制器22、第二變速控制器23和第三變速控制器24;所述第一頻率控制器20與第一電動(dòng)伸縮桿4電性連接;所述第二頻率控制器21與第二電動(dòng)伸縮桿12電性連接;所述第一變速控制器22與第一電動(dòng)機(jī)2電性連接;所述第二變速控制器23與第二電動(dòng)機(jī)14電性連接;所述第三變速控制器24與第三電動(dòng)機(jī)7電性連接。
進(jìn)一步,所述研磨液儲(chǔ)存桶3的上端設(shè)置有注料漏斗15。
進(jìn)一步,所述滴定管25的上端設(shè)置有開關(guān)閥門26。
進(jìn)一步,所述安全防護(hù)門9上設(shè)置有鋼化玻璃窗8。
進(jìn)一步,所述支撐柱16的下端通過連接法蘭與研磨裝置本體1固定連接。
進(jìn)一步,所述風(fēng)能發(fā)電機(jī)17采用的是家用600W水平軸式風(fēng)能發(fā)電機(jī)。
工作原理:該智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置,通過設(shè)置風(fēng)能發(fā)電機(jī)17和太陽(yáng)能電池板18同時(shí)給裝置提供清潔的電能,使得節(jié)能環(huán)保,并且能夠保證清潔能源的充分供應(yīng);通過設(shè)置第一頻率控制器20控制第一電動(dòng)伸縮桿4,使得第一電動(dòng)伸縮桿4有頻率的定時(shí)伸縮,并帶動(dòng)第一研磨石5伸到半導(dǎo)體上,第二頻率控制器21控制第二電動(dòng)伸縮桿12有頻率的定時(shí)伸縮,并帶動(dòng)第二研磨石10伸到半導(dǎo)體上;通過設(shè)置第一變速控制器22控制第一電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)速度,第二變速控制器23控制第二電動(dòng)機(jī)14的轉(zhuǎn)動(dòng)速度,第三變速控制器24控制第三電動(dòng)機(jī)7的轉(zhuǎn)動(dòng)速度,使得裝置的自動(dòng)化程度高,可以通過調(diào)節(jié)相應(yīng)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速,來提高工作效率。
利用本實(shí)用新型所述技術(shù)方案,或本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案的啟發(fā)下,設(shè)計(jì)出類似的技術(shù)方案,而達(dá)到上述技術(shù)效果的,均是落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。