本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體研磨裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置。

背景技術(shù)：

在生產(chǎn)半導(dǎo)體的過程中，需要對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行研磨拋光，目前的半導(dǎo)體研磨裝置，使用的電能來源不清潔，清潔能源供應(yīng)不充足和智能化程度低。

因此，發(fā)明一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置顯得非常必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出目前的半導(dǎo)體研磨裝置，使用的電能來源不清潔，清潔能源供應(yīng)不充足和智能化程度低的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置,包括研磨裝置本體、第一電動(dòng)機(jī)、研磨液儲(chǔ)存桶、第一電動(dòng)伸縮桿、第一研磨石、研磨載料臺(tái)、第三電動(dòng)機(jī)、鋼化玻璃窗、安全防護(hù)門、第二研磨石、折頁(yè)、第二電動(dòng)伸縮桿、軸承、第二電動(dòng)機(jī)、注料漏斗、支撐柱、風(fēng)能發(fā)電機(jī)、太陽(yáng)能電池板、電氣箱、第一頻率控制器、第二頻率控制器、第一變速控制器、第二變速控制器、第三變速控制器、滴定管和開關(guān)閥門，所述研磨裝置本體的左上端與第一電動(dòng)機(jī)固定連接；所述第一電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承與第一電動(dòng)伸縮桿的氣缸端固定連接；所述第一電動(dòng)伸縮桿的伸縮桿端部與第一研磨石的中間固定連接；所述研磨裝置本體的右上端與第二電動(dòng)機(jī)固定連接；所述第二電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承與第二電動(dòng)伸縮桿的氣缸端固定連接；所述第二電動(dòng)伸縮桿的伸縮桿端部與第二研磨石的中間固定連接；所述研磨裝置本體的中上端與研磨液儲(chǔ)存桶固定連接；所述研磨液儲(chǔ)存桶的下端與滴定管的上端連接；所述研磨裝置本體的內(nèi)部下端與第三電動(dòng)機(jī)固定連接；所述第三電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承與研磨載料臺(tái)中間固定連接；所述研磨裝置本體的右端設(shè)置有安全防護(hù)門；所述安全防護(hù)門通過折頁(yè)與研磨裝置本體鉸接；所述裝置本體的右上端通過支撐柱與太陽(yáng)能電池板固定連接；所述裝置本體的左上端通過支撐柱與風(fēng)能發(fā)電機(jī)固定連接；所述裝置本體的下端與電氣箱固定連接；所述電氣箱的內(nèi)部從左到右依次固定有第一頻率控制器、第二頻率控制器、第一變速控制器、第二變速控制器和第三變速控制器；所述第一頻率控制器與第一電動(dòng)伸縮桿電性連接；所述第二頻率控制器與第二電動(dòng)伸縮桿電性連接；所述第一變速控制器與第一電動(dòng)機(jī)電性連接；所述第二變速控制器與第二電動(dòng)機(jī)電性連接；所述第三變速控制器與第三電動(dòng)機(jī)電性連接。

進(jìn)一步，所述研磨液儲(chǔ)存桶的上端設(shè)置有注料漏斗。

進(jìn)一步，所述滴定管的上端設(shè)置有開關(guān)閥門。

進(jìn)一步，所述安全防護(hù)門上設(shè)置有鋼化玻璃窗。

進(jìn)一步，所述支撐柱的下端通過連接法蘭與研磨裝置本體固定連接。

進(jìn)一步，所述風(fēng)能發(fā)電機(jī)采用的是家用W水平軸式風(fēng)能發(fā)電機(jī)。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：該智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置，通過設(shè)置風(fēng)能發(fā)電機(jī)和太陽(yáng)能電池板同時(shí)給裝置提供清潔的電能，使得節(jié)能環(huán)保，并且能夠保證清潔能源的充分供應(yīng)；通過設(shè)置第一頻率控制器控制第一電動(dòng)伸縮桿，使得第一電動(dòng)伸縮桿有頻率的定時(shí)伸縮，并帶動(dòng)第一研磨石伸到半導(dǎo)體上，第二頻率控制器控制第二電動(dòng)伸縮桿有頻率的定時(shí)伸縮，并帶動(dòng)第二研磨石伸到半導(dǎo)體上；通過設(shè)置第一變速控制器控制第一電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，第二變速控制器控制第二電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，第三變速控制器控制第三電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，使得裝置的自動(dòng)化程度高，可以通過調(diào)節(jié)相應(yīng)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，來提高工作效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-裝置本體；2-第一電動(dòng)機(jī)；3-研磨液儲(chǔ)存桶；4-第一電動(dòng)伸縮桿；5-第一研磨石；6-研磨載料臺(tái)；7-第三電動(dòng)機(jī)；8-鋼化玻璃窗；9-安全防護(hù)門；10-第二研磨石；11-折頁(yè)；12-第二電動(dòng)伸縮桿；13-軸承；14-第二電動(dòng)機(jī)；15-注料漏斗；16-支撐柱；17-風(fēng)能發(fā)電機(jī)；18-太陽(yáng)能電池板；19-電氣箱；20-第一頻率控制器；21-第二頻率控制器；22-第一變速控制器；23-第二變速控制器；24-第三變速控制器；25-滴定管；26-開關(guān)閥門。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型提供了如圖1所示的一種智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置,包括研磨裝置本體1、第一電動(dòng)機(jī)2、研磨液儲(chǔ)存桶3、第一電動(dòng)伸縮桿4、第一研磨石5、研磨載料臺(tái)6、第三電動(dòng)機(jī)7、鋼化玻璃窗8、安全防護(hù)門9、第二研磨石10、折頁(yè)11、第二電動(dòng)伸縮桿12、軸承13、第二電動(dòng)機(jī)14、注料漏斗15、支撐柱16、風(fēng)能發(fā)電機(jī)17、太陽(yáng)能電池板18、電氣箱19、第一頻率控制器20、第二頻率控制器21、第一變速控制器22、第二變速控制器23、第三變速控制器24、滴定管25和開關(guān)閥門26，所述研磨裝置本體1的左上端與第一電動(dòng)機(jī)2固定連接；所述第一電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承13與第一電動(dòng)伸縮桿4的氣缸端固定連接；所述第一電動(dòng)伸縮桿4的伸縮桿端部與第一研磨石5的中間固定連接；所述研磨裝置本體1的右上端與第二電動(dòng)機(jī)14固定連接；所述第二電動(dòng)機(jī)14的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承13與第二電動(dòng)伸縮桿12的氣缸端固定連接；所述第二電動(dòng)伸縮桿12的伸縮桿端部與第二研磨石10的中間固定連接；所述研磨裝置本體1的中上端與研磨液儲(chǔ)存桶3固定連接；所述研磨液儲(chǔ)存桶3的下端與滴定管25的上端連接；所述研磨裝置本體1的內(nèi)部下端與第三電動(dòng)機(jī)7固定連接；所述第三電動(dòng)機(jī)7的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過軸承13與研磨載料臺(tái)6中間固定連接；所述研磨裝置本體1的右端設(shè)置有安全防護(hù)門9；所述安全防護(hù)門9通過折頁(yè)11與研磨裝置本體1鉸接；所述裝置本體1的右上端通過支撐柱16與太陽(yáng)能電池板18固定連接；所述裝置本體1的左上端通過支撐柱16與風(fēng)能發(fā)電機(jī)17固定連接；所述裝置本體1的下端與電氣箱19固定連接；所述電氣箱19的內(nèi)部從左到右依次固定有第一頻率控制器20、第二頻率控制器21、第一變速控制器22、第二變速控制器23和第三變速控制器24；所述第一頻率控制器20與第一電動(dòng)伸縮桿4電性連接；所述第二頻率控制器21與第二電動(dòng)伸縮桿12電性連接；所述第一變速控制器22與第一電動(dòng)機(jī)2電性連接；所述第二變速控制器23與第二電動(dòng)機(jī)14電性連接；所述第三變速控制器24與第三電動(dòng)機(jī)7電性連接。

進(jìn)一步，所述研磨液儲(chǔ)存桶3的上端設(shè)置有注料漏斗15。

進(jìn)一步，所述滴定管25的上端設(shè)置有開關(guān)閥門26。

進(jìn)一步，所述安全防護(hù)門9上設(shè)置有鋼化玻璃窗8。

進(jìn)一步，所述支撐柱16的下端通過連接法蘭與研磨裝置本體1固定連接。

進(jìn)一步，所述風(fēng)能發(fā)電機(jī)17采用的是家用600W水平軸式風(fēng)能發(fā)電機(jī)。

工作原理：該智能節(jié)能的半導(dǎo)體研磨裝置，通過設(shè)置風(fēng)能發(fā)電機(jī)17和太陽(yáng)能電池板18同時(shí)給裝置提供清潔的電能，使得節(jié)能環(huán)保，并且能夠保證清潔能源的充分供應(yīng)；通過設(shè)置第一頻率控制器20控制第一電動(dòng)伸縮桿4，使得第一電動(dòng)伸縮桿4有頻率的定時(shí)伸縮，并帶動(dòng)第一研磨石5伸到半導(dǎo)體上，第二頻率控制器21控制第二電動(dòng)伸縮桿12有頻率的定時(shí)伸縮，并帶動(dòng)第二研磨石10伸到半導(dǎo)體上；通過設(shè)置第一變速控制器22控制第一電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，第二變速控制器23控制第二電動(dòng)機(jī)14的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，第三變速控制器24控制第三電動(dòng)機(jī)7的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，使得裝置的自動(dòng)化程度高，可以通過調(diào)節(jié)相應(yīng)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，來提高工作效率。

利用本實(shí)用新型所述技術(shù)方案，或本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案的啟發(fā)下，設(shè)計(jì)出類似的技術(shù)方案，而達(dá)到上述技術(shù)效果的，均是落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。