用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板的制作方法
【專(zhuān)利摘要】一種用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，包括外框和位于外框中的若干分隔板，外框和分隔板將掩膜板分隔成若干個(gè)格子，每個(gè)格子有四條邊，每個(gè)格子內(nèi)有若干個(gè)長(zhǎng)條結(jié)構(gòu)的鍍膜區(qū)域，所述分隔板為離散式結(jié)構(gòu)，以使得所述每個(gè)格子的四條邊中，至少有一條具有缺口，格子的四個(gè)頂點(diǎn)全部或者部分開(kāi)放，可以容納頂角有凸角的基片，本發(fā)明所述掩膜板中，格子的四周存在可以容納鑷子等工具的空隙，便于平穩(wěn)地放入，取出或者調(diào)整基片。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種鍍膜用的掩膜板，特別涉及一種用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜太陽(yáng)能電池通常由多層具有不同功能的材料薄膜組成。目前的薄膜太陽(yáng)能電池種類(lèi)繁多，常見(jiàn)的包括有機(jī)太陽(yáng)能電池，無(wú)機(jī)太陽(yáng)能電池(非晶硅，碲化鎘，銅銦砸，砷化鎵等等)以及有機(jī)-無(wú)機(jī)雜化太陽(yáng)能電池(鈣鈦礦等等)。薄膜的制備可以采用溶液法(例如旋涂)或者氣相沉積法(例如真空蒸鍍，磁控濺射等)。
[0003]—般來(lái)說(shuō)，金屬材料(例如作為電極的鋁，銀和作為電子傳輸層的鈣)多采用氣相沉積法鍍膜。氣相沉積法中通常需要使用掩模板，掩膜板由多個(gè)分隔開(kāi)的格子組成。每個(gè)格子內(nèi)可放置一塊玻璃基片。格子內(nèi)的鍍膜區(qū)域?yàn)槿舾蓚€(gè)并排的長(zhǎng)條。每個(gè)長(zhǎng)條對(duì)應(yīng)一個(gè)電極。其中一個(gè)電極(通常為最邊緣的一個(gè))的極性與其它幾個(gè)相反。其它部分則被掩膜板底座遮擋。薄膜太陽(yáng)能電池的掩膜板的格子尺寸是固定的，并且與某特定大小基片的尺寸相匹配。但是玻璃基片的制作和切割工藝存在諸多不確定因素，尤其是有些時(shí)候需要由人工完成最后的切割步驟。因此人工掰斷的過(guò)程中也有可能產(chǎn)生凸出的尖角，從而導(dǎo)致基片無(wú)法放入格子中。如果因此導(dǎo)致經(jīng)過(guò)多部工藝處理過(guò)的基片無(wú)法繼續(xù)使用，便會(huì)造成基片和材料的浪費(fèi)。
[0004]掩膜板的格子尺寸是固定的并且與基片的尺寸相匹配。但是基片的尺寸有時(shí)存在誤差，因此在基片放入取出的時(shí)候可能卡在格子里而不好調(diào)整。由于格子的四周都是封閉式環(huán)繞的，此時(shí)很難借助鑷子等工具來(lái)調(diào)整基片的位置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，可便于基片在格子中的調(diào)整。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
[0007]—種用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，包括外框I和位于外框I中的若干分隔板2，外框I和分隔板2將掩膜板分隔成若干個(gè)格子3，每個(gè)格子3有四條邊4，每個(gè)格子3內(nèi)有若干個(gè)長(zhǎng)條結(jié)構(gòu)的鍍膜區(qū)域5，所述分隔板2為離散式結(jié)構(gòu)，以使得所述每個(gè)格子3的四條邊4中，至少有一條具有缺口。
[0008]所述分隔板2為單段結(jié)構(gòu)，即，在一條邊4上僅有一段分隔板2。
[0009]所述的一段分隔板2位于相應(yīng)的邊4的中間位置。
[0010]所述分隔板2為兩段結(jié)構(gòu)，S卩，在一條邊4上有兩段分隔板2。
[0011]所述兩段分隔板2之間的空隙，位于相應(yīng)的邊4的正中間位置。
[0012]所述分隔板2為多段結(jié)構(gòu)，S卩，在一條邊4上有多段分隔板2。
[0013]所述分隔板2為單段和多段復(fù)合結(jié)構(gòu)，S卩，一部分分隔板2為單段結(jié)構(gòu)，在一條邊4上有一段分隔板2;另一部分分隔板2為多段結(jié)構(gòu)，在一條邊4上有多段分隔板2。
[0014]所述分隔板2互不連接，且與外框I也不連接。
[0015]所述每個(gè)格子3的至少一個(gè)頂點(diǎn)位置有缺口，以容納頂角有凸角的基片。
[0016]所述格子3內(nèi)除鍍膜區(qū)域5外，其它部分被掩模板遮擋。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，格子的四條邊由分隔板和外框固定，因此不會(huì)影響格子和基片的匹配，同時(shí)格子的四條邊也足以固定住基片。格子的頂點(diǎn)開(kāi)放，可以容納頂角有凸角的基片。格子的四周存在可以容納鑷子等工具的空隙，便于平穩(wěn)地放入，取出或者調(diào)整基片。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為傳統(tǒng)的掩模板結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2為本發(fā)明所述掩模板的一個(gè)具有6X 6共36個(gè)格子的范例的不意圖。
[0020]圖3為本發(fā)明所述掩模板的另一個(gè)范例的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0022]傳統(tǒng)的掩模板如圖1所示，分隔板2之間相互連接，且外框I和分隔板2也是連接的，由此形成的格子3是四周封閉的，基片在格子3中被完全限制，不便于調(diào)整。
[0023]本發(fā)明所述用于薄膜太陽(yáng)能電池鍍膜的掩膜板的一種結(jié)構(gòu)如圖2所示，包括外框I和分隔板2。外框I和分隔板2把掩模板分割成6 X 6總共36個(gè)正方形的格子3，每個(gè)格子3可放置一塊基片。每個(gè)格子有四條邊4，邊4的位置由外框I或者分隔板2確定。格子每條邊4的分隔板2為一段，長(zhǎng)度大約為邊長(zhǎng)的30%。分隔板2位于格子每條邊4的中點(diǎn)附近。正方形格子3的四個(gè)頂點(diǎn)開(kāi)放，可以容納四角有凸角的基片。分隔板2之間或者分隔板2與外框I之間的頂點(diǎn)存在空隙，可以容納鑷子等工具，便于平穩(wěn)地放入、取出或者調(diào)整基片。
[0024]本發(fā)明所述用于薄膜太陽(yáng)能電池鍍膜的掩膜板的另一種結(jié)構(gòu)如圖3所示，包括外框I和分隔板2。外框I和分隔板2把掩模板分割成6 X 6總共36個(gè)正方形格子3，每個(gè)格子3可放置一塊基片。格子3每邊4的分隔板2為兩段，每段長(zhǎng)度大約為邊長(zhǎng)的30%。兩段分隔板2分別位于每條邊4中點(diǎn)的左右兩邊。兩段分隔板2都不接觸正方形格子3的頂點(diǎn)。正方形格子3的四個(gè)頂點(diǎn)開(kāi)放，可以容納四角有凸角的基片。兩段分隔板2之間存在空隙，可以容納鑷子等工具。鑷子施加于基片的受力點(diǎn)位于基片兩條對(duì)邊4的中點(diǎn)，因此受力平衡，方便平穩(wěn)地放入、取出或者調(diào)整基片。
[0025]本發(fā)明掩膜板的其它結(jié)構(gòu)形式，在一個(gè)掩模板中，分隔板2可以有多種形式，可以進(jìn)行單段和多段的組合，可以將格子3的頂點(diǎn)部分或者全部開(kāi)放，以適應(yīng)不同的基片形式。
[0026]以上所述僅為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施范例而已，并不用于限制本發(fā)明。對(duì)于本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，包括外框(I)和位于外框(I)中的若干分隔板(2)，外框(I)和分隔板(2)將掩膜板分隔成若干個(gè)格子(3)，每個(gè)格子(3)有四條邊(4)，每個(gè)格子(3)內(nèi)有若干個(gè)長(zhǎng)條結(jié)構(gòu)的鍍膜區(qū)域(5)，其特征在于，所述分隔板(2)為離散式結(jié)構(gòu)，以使得所述每個(gè)格子(3)的四條邊(4)中，至少有一條具有缺口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述分隔板(2)為單段結(jié)構(gòu)，S卩，在一條邊(4)上僅有一段分隔板(2)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述的一段分隔板(2)位于相應(yīng)的邊(4)的中間位置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述分隔板(2)為兩段結(jié)構(gòu)，S卩，在一條邊(4)上有兩段分隔板(2)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述兩段分隔板(2)之間的空隙，位于相應(yīng)的邊(4)的正中間位置。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述分隔板(2)為多段結(jié)構(gòu)，S卩，在一條邊(4)上有多段分隔板(2)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述分隔板(2)為單段和多段復(fù)合結(jié)構(gòu)，即，一部分分隔板(2)為單段結(jié)構(gòu)，在一條邊(4)上有一段分隔板(2);另一部分分隔板(2)為多段結(jié)構(gòu)，在一條邊(4)上有多段分隔板(2)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述分隔板(2)互不連接，且與外框(I)也不連接。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述每個(gè)格子(3)的至少一個(gè)頂點(diǎn)位置有缺口，以容納頂角有凸角的基片。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于薄膜太陽(yáng)能電池氣相沉積鍍膜的掩膜板，其特征在于，所述格子(3)內(nèi)除鍍膜區(qū)域(5)外，其它部分被掩模板遮擋。
【文檔編號(hào)】C23C14/04GK105908123SQ201610429347
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年6月16日
【發(fā)明人】楊洋, 王丹, 王一丹, 秦校軍, 趙志國(guó), 鄔俊波
【申請(qǐng)人】中國(guó)華能集團(tuán)公司, 中國(guó)華能集團(tuán)清潔能源技術(shù)研究院有限公司