一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片(包括薄膜太陽(yáng)能電池)制造裝備、等離子刻蝕、真空反應(yīng)腔密閉技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)門(mén)板與墻壁貼合不緊密，反應(yīng)室很難實(shí)現(xiàn)真空倉(cāng)體，不利于太陽(yáng)能電池表面鍍膜；另外傳統(tǒng)的不是彈性結(jié)構(gòu)，門(mén)板密封沒(méi)有自復(fù)位功能，上門(mén)板、下門(mén)板、轉(zhuǎn)軸、門(mén)框表面易被腐蝕，門(mén)板的冷卻效果差;導(dǎo)致壽命降低，增加生產(chǎn)成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]現(xiàn)有技術(shù)難以滿足人們的需要，為了解決上述存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)該技術(shù)目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)，包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0005]所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸、第一連桿、第二連桿、第三連桿、第四連桿和軸銷;所述氣缸的推動(dòng)桿與第四連桿連接，第四連桿的底端與第三連桿鉸接，所述第三連桿的頂端通過(guò)軸銷與第二連桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一連桿與第三連桿的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一連桿的右端與密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；
[0006]所述密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、右傳動(dòng)軸套、右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座、旋轉(zhuǎn)密封圈、張緊組合外套、張緊組合內(nèi)套、通冷卻水口、張緊組合環(huán)、旋轉(zhuǎn)密封圈隔套、張緊組合摩擦盤(pán)、左座蓋滑動(dòng)軸套和端面密封壓蓋;所述右傳動(dòng)軸套套設(shè)在轉(zhuǎn)軸的右端，所述右傳動(dòng)軸套設(shè)置在右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座內(nèi)，在所述右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座內(nèi)部右端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)密封圈和旋轉(zhuǎn)密封圈隔套;所述張緊組合外套、張緊組合內(nèi)套、張緊組合環(huán)和張緊組合摩擦盤(pán)套設(shè)在轉(zhuǎn)軸上，并設(shè)置在右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座的右端;所述通冷卻水口開(kāi)設(shè)在轉(zhuǎn)軸軸心位置的右端，轉(zhuǎn)軸軸心處設(shè)置有管道;在轉(zhuǎn)軸的左端設(shè)置有左座蓋滑動(dòng)軸套和端面密封壓蓋，所述左座蓋滑動(dòng)軸套套設(shè)在轉(zhuǎn)軸的左端，所述端面密封壓蓋卡套在左座蓋滑動(dòng)軸套上；
[0007]所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)活動(dòng)翻板連接模塊、翻板進(jìn)水模塊、螺母、螺柱、墊圈、球面墊圈、錐面墊圈和蝶形彈簧;所述螺母的與螺柱的左端連接，所述螺柱連接活動(dòng)翻板連接模塊蓋板與下門(mén)板;在螺柱的右端依次套設(shè)有球面墊圈、錐面墊圈、蝶形彈簧和墊圈；
[0008]所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與上門(mén)板連接，上門(mén)板通過(guò)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與下門(mén)板連接，所述上門(mén)板和下門(mén)板設(shè)置在門(mén)框內(nèi)。
[0009]進(jìn)一步，所述螺母、螺柱、墊圈、球面墊圈和錐面墊圈均采用不銹鋼材質(zhì)制成。
[0010]進(jìn)一步，所述上門(mén)板、下門(mén)板、轉(zhuǎn)軸和門(mén)框的表面均噴涂特氟龍或氧化鋁涂層。
[0011]進(jìn)一步，所述上門(mén)板和下門(mén)板內(nèi)設(shè)置有冷卻管道。
[0012]進(jìn)一步，所述所述活動(dòng)翻板連接模塊有大小之分，在兩個(gè)大的活動(dòng)翻板連接模塊之間設(shè)置有翻板進(jìn)水模塊，在兩個(gè)大的活動(dòng)翻板連接模塊兩側(cè)連接有若干小翻板連接模塊。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果:利用蝶形彈簧的伸縮性和大彈性系數(shù)讓下門(mén)板與墻體壁貼合緊密，即使整個(gè)翻板系統(tǒng)有一些變形，蝶形彈簧相當(dāng)于可伸長(zhǎng)的壓緊螺釘，恢復(fù)上門(mén)板對(duì)下門(mén)板的壓緊；因?yàn)榍惑w內(nèi)溫度很高，通冷卻水口，經(jīng)過(guò)上門(mén)板和下門(mén)板的冷卻管道，對(duì)上門(mén)板和下門(mén)板冷卻;上門(mén)板、下門(mén)板、轉(zhuǎn)軸、門(mén)框表面噴涂特氟龍或氧化鋁涂層，防止腔體內(nèi)高能粒子對(duì)屏蔽門(mén)的腐蝕;該太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)操作簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)，易于推廣使用。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的氣缸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)不意圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型的第二連桿結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本實(shí)用新型的活動(dòng)翻板連接模塊安裝示意圖；
[0017]圖4為本實(shí)用新型的門(mén)板連接示意圖；
[0018]圖5為本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)軸連接示意圖；
[0019]圖6為本實(shí)用新型的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)示意圖；
[0020]圖7為圖5中A的局部放大圖；
[0021 ] 附圖標(biāo)記中:1-氣缸、11 -第一連桿、12-第二連桿、13-第三連桿、14_第四連桿、121-軸銷、2-上門(mén)板、3-下門(mén)板、4-門(mén)框、5-活動(dòng)翻板連接模塊、51-翻板進(jìn)水模塊、52-螺母、53-螺柱、54-墊圈、55-球面墊圈、56-錐面墊圈、57-蝶形彈簧、6-轉(zhuǎn)軸、61-右傳動(dòng)軸套、62-右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座、63-旋轉(zhuǎn)密封圈、64-張緊組合外套、65-張緊組合內(nèi)套、66-通冷卻水口、67-張緊組合環(huán)、68-旋轉(zhuǎn)密封圈隔套、69-張緊組合摩擦盤(pán)、610-左座蓋滑動(dòng)軸套、611-端面密封壓蓋。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0023]請(qǐng)參閱說(shuō)明書(shū)附圖1-7，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，一種太陽(yáng)能電池表面鍍膜工藝用反應(yīng)腔腔體屏蔽門(mén)結(jié)構(gòu)，包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0024]所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸1、第一連桿11、第二連桿12、第三連桿13、第四連桿14和軸銷121;所述氣缸I的推動(dòng)桿與第四連桿14連接，第四連桿14的底端與第三連桿13鉸接，所述第三連桿13的頂端通過(guò)軸銷121與第二連桿12轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一連桿11與第三連桿13的頂端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一連桿11的右端與密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；
[0025]所述密封轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸6、右傳動(dòng)軸套61、右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座62、旋轉(zhuǎn)密封圈63、張緊組合外套64、張緊組合內(nèi)套65、通冷卻水口 66、張緊組合環(huán)67、旋轉(zhuǎn)密封圈隔套68、張緊組合摩擦盤(pán)69、左座蓋滑動(dòng)軸套610和端面密封壓蓋611;所述右傳動(dòng)軸套61套設(shè)在轉(zhuǎn)軸6的右端，所述右傳動(dòng)軸套61設(shè)置在右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座62內(nèi)，在所述右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座62內(nèi)部右端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)密封圈63和旋轉(zhuǎn)密封圈隔套68;所述張緊組合外套64、張緊組合內(nèi)套65、張緊組合環(huán)67和張緊組合摩擦盤(pán)69套設(shè)在轉(zhuǎn)軸6上，并設(shè)置在右轉(zhuǎn)動(dòng)軸承座62的右端;所述通冷卻水口 66開(kāi)設(shè)在轉(zhuǎn)軸6軸心位置的右端，轉(zhuǎn)軸6軸