脫氣處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于通過將帶狀的被成膜材加熱來進(jìn)行其脫氣處理的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]有時(shí)在對由長條的薄膜或薄片構(gòu)成的薄壁的被成膜材通過濺鍍或等離子CVD進(jìn)行成膜之前，作為其前處理而進(jìn)行脫氣處理。該脫氣處理是將上述被成膜材加熱并使殘留于其中的低聚體及水分成為氣體且從該被成膜材除去的處理，該被成膜材的加熱例如通過從板式加熱器向該被成膜材的輻射或加熱輥與被成膜材的直接的接觸來進(jìn)行。
[0003]以往，作為使用上述板式加熱器的脫氣處理裝置，已知有專利文獻(xiàn)1所記載的結(jié)構(gòu)。該裝置包括分別排列在上側(cè)和下側(cè)的多個(gè)輥、多片的板式加熱器和收納它們的腔室。上側(cè)的輥和下側(cè)的輥分別在上述行進(jìn)方向上相互錯(cuò)開位置地配置，以便一邊將被成膜材沿上下方向輸送一邊使其沿水平方向行進(jìn)。上述板式加熱器以直立姿勢設(shè)置在該被輸送的被成膜材中的在上述行進(jìn)方向上彼此相鄰的垂直部分彼此之間，通過輻射將位于該板式加熱器的兩側(cè)的被成膜材的部分加熱。上述腔室具有將上述各自由輥的兩端能夠旋轉(zhuǎn)地支承的側(cè)壁。
[0004]在上述那樣的基于多個(gè)自由輥與板式加熱器的組合的脫氣處理裝置中，由于構(gòu)成要素的空間填充率高，所以能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的緊湊化，相反地，存在維護(hù)作業(yè)不容易的問題，例如各自由輥和板式加熱器的清掃及被成膜材的所謂通紙的作業(yè)。即，在上述腔室內(nèi)，由于多個(gè)輥、在被輸送的被成膜材中相互在行進(jìn)方向上相鄰的多個(gè)部分及配置在這些部分之間的板式加熱器在行進(jìn)方向上密集，所以進(jìn)行它們的維護(hù)等并不容易。
[0005]作為用來使得該維護(hù)可能的通常的方法，可以考慮在構(gòu)成上述腔室的壁中的不貢獻(xiàn)于上述各自由輥的支承的頂壁上設(shè)置較大的作業(yè)用的開口，但利用該開口，難以期待有效且高效的維護(hù)作業(yè)。具體而言，在從上側(cè)經(jīng)由該開口觀察組合了上述自由輥和板式加熱器的集合體的情況下，由于相對于被成膜材的行進(jìn)方向(排列自由輥和板式加熱器的方向)上的自由輥和板式加熱器、被成膜材的間隙的尺寸較小，該集合體的進(jìn)深的尺寸(即上下方向的尺寸)較大，所以即使作業(yè)人員將手從該開口插入來進(jìn)行作業(yè)，在能夠進(jìn)行該作業(yè)的范圍方面也有顯著的限制。
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010 - 053382號公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的是提供一種脫氣處理裝置，包括用于一邊將被成膜材沿上下方向輸送一邊使其沿左右方向行進(jìn)的多個(gè)輥及多個(gè)板式加熱器，能夠高效地進(jìn)行其維護(hù)。
[0008]本發(fā)明提供一種進(jìn)行脫氣處理的裝置，通過將沿特定方向延伸的帶狀的被成膜材一邊沿其縱長方向輸送一邊加熱來進(jìn)行該被成膜材的脫氣處理，其中包括:多個(gè)引導(dǎo)輥，一邊將上述被成膜材沿上下輸送，一邊引導(dǎo)該被成膜材以使其沿與上述上下方向正交的特定的行進(jìn)方向行進(jìn)，包括在上述行進(jìn)方向上隔開間隔地排列的多個(gè)上側(cè)輥、和在比上述上側(cè)輥靠下側(cè)的位置在上述行進(jìn)方向上隔開間隔地排列的多個(gè)下側(cè)輥；至少一個(gè)板式加熱器，以直立姿勢配設(shè)于沿上下方向被輸送的被成膜材中的在上述行進(jìn)方向上彼此相鄰的部分彼此之間，發(fā)熱以將該部分加熱；和腔室，收納上述引導(dǎo)輥和上述板式加熱器。腔室包括外壁，所述外壁將上述引導(dǎo)輥和上述板式加熱器包圍，形成有將該外壁的內(nèi)外連通的開口。該外壁包括前側(cè)壁和后側(cè)壁，當(dāng)設(shè)與上述各引導(dǎo)輥的旋轉(zhuǎn)中心軸平行的方向?yàn)榍昂蠓较驎r(shí)，所述前側(cè)壁和后側(cè)壁分別位于上述引導(dǎo)輥和上述板式加熱器的該前后方向的兩側(cè)，這些前側(cè)壁和后側(cè)壁分別包括將上述各上側(cè)輥的軸向端部能夠旋轉(zhuǎn)地支承的上側(cè)輥支承部、和在比該上側(cè)輥支承部靠下側(cè)的位置將上述各下側(cè)輥的軸向端部能夠旋轉(zhuǎn)地支承的下側(cè)輥支承部。在上述開口中，包括在上述前側(cè)壁和后側(cè)壁的至少一方上形成在其上側(cè)輥支承部與下側(cè)輥支承部之間的區(qū)域中的輥間開口，該輥間開口具有將沿上下方向被輸送的上述被成膜材和上述各板式加熱器沿上述行進(jìn)方向橫穿的形狀。
【附圖說明】
[0009]圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施方式的成膜裝置的剖面主視圖。
[0010]圖2是圖1的II — II線剖視圖。
[0011]圖3是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的成膜裝置的剖面主視圖。
[0012]圖4是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的成膜裝置的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]參照【附圖說明】本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0014]圖1和圖2表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的脫氣處理裝置。該實(shí)施方式的脫氣處理裝置例如作為構(gòu)成成膜系統(tǒng)的單元之一構(gòu)成。具體而言，如圖1所示，該脫氣處理裝置配置在執(zhí)行其上游側(cè)的加工的上游側(cè)單元U1與執(zhí)行其下游側(cè)的加工的下游側(cè)單元U2之間，通過將從上述上游側(cè)單元U1排出的帶狀的被成膜材10 —邊沿其縱長方向輸送一邊加熱來進(jìn)行脫氣處理，將其處理后的被成膜材10送至上述下游側(cè)單元U2。上述被成膜材10例如是如塑料制的薄膜那樣長條且具有撓性的，其脫氣處理通過將上述被成膜材10加熱而使該被成膜材10中包含的殘留的低聚體及水分成為氣體并從該被成膜材分離來進(jìn)行。在將該脫氣處理裝置組裝到例如用于對被成膜材10的表面實(shí)施成膜的成膜系統(tǒng)中的情況下，例如包括展開滾筒的展開單元對應(yīng)于上述上游側(cè)單元U1，例如包括成膜輥的成膜單元對應(yīng)于上述下游側(cè)單元U2。
[0015]該實(shí)施方式的脫氣處理裝置包括多個(gè)引導(dǎo)輥、多個(gè)板式加熱器12、收納這些引導(dǎo)輥和板式加熱器12的腔室14、和將該腔室14從下方支承的支承框架16。
[0016]如圖1所示，上述多個(gè)引導(dǎo)輥配置為，一邊將上述被成膜材10沿上下方向輸送，一邊引導(dǎo)該被成膜材10以使其沿著與上下方向正交的特定的行進(jìn)方向即左右方向行進(jìn)，上述多個(gè)引導(dǎo)輥分別由腔室14支承，以便能夠繞沿著裝置的前后方向(圖1的進(jìn)深方向)延伸的軸旋轉(zhuǎn)。
[0017]具體而言，上述多個(gè)引導(dǎo)輥包括多個(gè)上側(cè)輥18A和多個(gè)下側(cè)輥18B。各上側(cè)輥18A在特定的高度位置(在該實(shí)施方式中是腔室14的上端附近的高度位置)在上述行進(jìn)方向(左右方向)上隔開與下側(cè)輥18B的直徑大致相同的間隔地排列。各下側(cè)輥18B在比上述上側(cè)輥18A靠下側(cè)的高度位置(在該實(shí)施方式中是腔室14的下端附近的高度位置)相互隔開間隔地排列，以使其關(guān)于上述行進(jìn)方向位于彼此相鄰的上側(cè)輥18A彼此之間。在本發(fā)明中，弓丨導(dǎo)輥的個(gè)數(shù)沒有限定，但在該實(shí)施方式中，在上下分別排列有4個(gè)上側(cè)輥18A和3個(gè)下側(cè)輥18B，因而，相對于這些輥18A、18B的組，將被成膜材10從上側(cè)輥18A的高度位置導(dǎo)入并從相同的高度位置導(dǎo)出。
[0018]對于這些上側(cè)輥18A和下側(cè)輥18B，上述被成膜材10交替地穿過各上側(cè)輥18A的上側(cè)和各下側(cè)輥18B的下側(cè)，以交錯(cuò)狀架設(shè)在這些輥18A、18B上。因而，通過對該被成膜材10施加沿著其縱長方向的輸送力，使得能夠一邊將該被成膜材10沿上下方向輸送一邊使其沿左右方向行進(jìn)。
[0019]上述各板式加熱器12呈平板狀，配設(shè)在通過其自身的發(fā)熱將上述被成膜材10高效地加熱的位置。具體而言，如上述那樣架設(shè)在輥18A、18B上以沿上下方向被輸送的被成膜材10具有在其行進(jìn)方向上排列的多片(在圖1所示的例子中有共計(jì)6片)垂直部分10a，而上述板式加熱器12以直立姿勢配置以夾在這些垂直部分10a中的彼此相鄰的部分彼此之間。在本發(fā)明中，板式加熱器的個(gè)數(shù)也沒有限定，但在該實(shí)施方式中，在從上述行進(jìn)方向的上游側(cè)數(shù)位于第2個(gè)和第3個(gè)的位置的垂直部分10a彼此之間、和位于第4個(gè)和第5個(gè)的位置的垂直部分10a彼此之間，分別配置上述板式加熱器12。
[0020]上述腔室14包括將上述引導(dǎo)輥18A、18B及上述板式加熱器12包圍的外壁，所述外壁形成有將該外壁的內(nèi)外連通的多個(gè)開口。上述外壁具有前側(cè)壁20、后側(cè)壁22、左側(cè)壁24、右側(cè)壁26、頂壁28及底壁30。
[0021]上述前側(cè)壁20和上述后側(cè)壁22是在如上述那樣設(shè)與各輥18A、18B的旋轉(zhuǎn)中心軸平行的方向?yàn)檠b置的前后方向時(shí)位于該輥18A、18B及板式加熱器12的該前后方向的兩側(cè)的側(cè)壁，以直立的姿勢將該輥18A、18B的軸向端部分別能夠旋轉(zhuǎn)地支承。即，前側(cè)壁20和后側(cè)壁22具有將上側(cè)輥18A