膜厚控制系統(tǒng)及膜厚控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種膜厚控制系統(tǒng)及膜厚控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，OLED面板在蒸鍍工藝中需要用加熱源把有機(jī)發(fā)光材料加熱，然后將加熱后的發(fā)光材料蒸發(fā)到基板上的預(yù)定位置(利用掩膜板來(lái)控制要蒸鍍的位置區(qū)域)，有機(jī)材料需要按照一定的速率蒸發(fā)到基板上，檢測(cè)的裝置為晶振。但晶振為客觀反映蒸發(fā)到晶振片的材料的實(shí)時(shí)速率，對(duì)于內(nèi)部結(jié)構(gòu)變化的腔體以及敏感型蒸發(fā)材料、加熱源內(nèi)部變化、坩禍?zhǔn)軣岵痪纫蛩嘏及l(fā)顯得力不從心，雖然有補(bǔ)償值(補(bǔ)償值是蒸鍍裝置控制膜厚的參數(shù)，即tooling，補(bǔ)償值=顯示膜厚/實(shí)際膜厚，由于材料的不同和蒸鍍腔室內(nèi)部環(huán)境變化，需要進(jìn)行鍍膜，經(jīng)過(guò)測(cè)試得出補(bǔ)償值，再用此補(bǔ)償值進(jìn)行正式鍍膜，實(shí)現(xiàn)膜厚控制)進(jìn)行參數(shù)修正，但補(bǔ)償值也會(huì)在同一片基板的相同工藝中發(fā)生變化。因此，現(xiàn)有的蒸鍍工藝無(wú)法精確控制有機(jī)發(fā)光材料層的膜厚。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003](一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是:在蒸鍍有機(jī)發(fā)光材料時(shí)如何精確地控制有機(jī)發(fā)光材料層的膜厚。
[0005]( 二)技術(shù)方案
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種膜厚控制系統(tǒng)，包括:移動(dòng)裝置、膜厚測(cè)量?jī)x及計(jì)算機(jī)，所述膜厚測(cè)量?jī)x可移動(dòng)地安裝在所述移動(dòng)裝置上，并連接所述計(jì)算機(jī)，用于從計(jì)算機(jī)獲取待測(cè)基板要測(cè)量位置的坐標(biāo)點(diǎn)，并將測(cè)得的所述要測(cè)量位置的實(shí)際膜厚發(fā)送至計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)用于在實(shí)際膜厚不超出預(yù)設(shè)膜厚的誤差范圍時(shí)根據(jù)所述實(shí)際膜厚、預(yù)設(shè)膜厚及當(dāng)前補(bǔ)償值計(jì)算新補(bǔ)償值，并將所述新補(bǔ)償值發(fā)送至蒸鍍裝置用作補(bǔ)償蒸鍍參考。
[0007]其中，所述移動(dòng)裝置包括:X軸絲杠、第一 Y軸絲杠、第二 Y軸絲杠和伺服電機(jī)，所述X軸絲杠垂直于所述第一 Y軸絲杠和所述第二 Y軸絲杠，所述X軸絲杠的兩端分布可移動(dòng)地安裝在所述第一 Y軸絲杠和所述第二 Y軸絲杠上，所述膜厚測(cè)量?jī)x可移動(dòng)地安裝在所述X軸絲杠上，所述伺服電機(jī)連接所述計(jì)算機(jī)，用于根據(jù)計(jì)算機(jī)指令控制所述第一 Y軸絲杠和第二 Y軸絲杠驅(qū)動(dòng)X軸絲杠和導(dǎo)軌沿Y方向移動(dòng)，并控制所述X軸絲杠驅(qū)動(dòng)所述膜厚測(cè)量?jī)x沿X方向移動(dòng)。
[0008]本發(fā)明還公開(kāi)了一種利用上述膜厚控制系統(tǒng)控制膜厚的方法，反復(fù)執(zhí)行以下步驟SI?S3直到實(shí)際膜厚未達(dá)到預(yù)定要求，
[0009]S1:采用膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量待測(cè)基板上預(yù)定坐標(biāo)的實(shí)際膜厚，并將所述實(shí)際膜厚反饋至計(jì)算機(jī)；
[0010]S2:計(jì)算機(jī)判斷實(shí)際膜厚超出預(yù)設(shè)膜厚的誤差范圍時(shí)根據(jù)所述實(shí)際膜厚、預(yù)設(shè)膜厚及當(dāng)前補(bǔ)償值計(jì)算新補(bǔ)償值，并將新補(bǔ)償值反饋至蒸鍍裝置；
[0011]S3:蒸鍍裝置根據(jù)新的補(bǔ)償值對(duì)預(yù)定坐標(biāo)處補(bǔ)償蒸鍍有機(jī)發(fā)光材料。
[0012]其中，步驟SI中，由所述計(jì)算機(jī)控制所述移動(dòng)裝置將所述膜厚測(cè)量?jī)x移動(dòng)到預(yù)定坐標(biāo)。
[0013]其中，步驟S2的方式具體為-A1= A η XVC，其中i = 1，2，……，N，A。為初始補(bǔ)償值，A1為新補(bǔ)償值，A i —為當(dāng)前補(bǔ)償值，T i為第i次測(cè)試膜厚的厚度，C為所述預(yù)設(shè)膜厚。
[0014]其中，所述預(yù)定坐標(biāo)為基板上每個(gè)面板中心的坐標(biāo)。
[0015](三)有益效果
[0016]本發(fā)明的膜厚控制系統(tǒng)及方法通過(guò)膜厚測(cè)量?jī)x將測(cè)量的實(shí)際膜厚與預(yù)設(shè)膜厚對(duì)比以計(jì)算新補(bǔ)償值，并使蒸鍍裝置按新的補(bǔ)償值進(jìn)行補(bǔ)償蒸鍍，從而更加精確地控制OLED有機(jī)發(fā)光材料的蒸鍍膜厚。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的一種膜厚控制系統(tǒng)的移動(dòng)裝置和膜厚測(cè)量?jī)x結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2是圖1中膜厚控制系統(tǒng)的移動(dòng)裝置和膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量基板的示意圖；
[0019]圖3是本發(fā)明實(shí)施例的一種膜厚控制方法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。
[0021]本發(fā)明實(shí)施例的膜厚控制系統(tǒng)如圖1所示，包括:移動(dòng)裝置、膜厚測(cè)量?jī)x3及計(jì)算機(jī)(圖1中未示出)。膜厚測(cè)量?jī)x3可移動(dòng)地安裝在所述移動(dòng)裝置上，并連接所述計(jì)算機(jī)，用于從計(jì)算機(jī)獲取待測(cè)基板要測(cè)量位置的坐標(biāo)點(diǎn)，并將測(cè)得的所述要測(cè)量位置的實(shí)際膜厚發(fā)送至計(jì)算機(jī)。計(jì)算機(jī)用于在實(shí)際膜厚不超出預(yù)設(shè)膜厚的誤差范圍時(shí)(例如不超過(guò)預(yù)設(shè)膜厚的3%?5% )根據(jù)所述實(shí)際膜厚、預(yù)設(shè)膜厚及當(dāng)前補(bǔ)償值計(jì)算新補(bǔ)償值，并將所述新補(bǔ)償值發(fā)送至蒸鍍裝置用作補(bǔ)償蒸鍍參考。
[0022]本實(shí)施例的膜厚控制系統(tǒng)通過(guò)膜厚測(cè)量?jī)x將測(cè)量的實(shí)際膜厚與預(yù)設(shè)膜厚對(duì)比以計(jì)算新補(bǔ)償值，并使蒸鍍裝置按新的補(bǔ)償值進(jìn)行補(bǔ)償蒸鍍，從而更加精確地控制OLED有機(jī)發(fā)光材料的蒸鍍膜厚。該系統(tǒng)對(duì)于蒸鍍未達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚誤差范圍下限(即預(yù)設(shè)膜厚的95 %?97 %的厚度)的位置按新補(bǔ)償值進(jìn)行補(bǔ)償蒸鍍，從而使OLED有機(jī)發(fā)光材料的整體膜厚達(dá)到均勻。
[0023]本實(shí)施例中，移動(dòng)裝置包括:X軸絲杠1、第一 Y軸絲杠21、第二 Y軸絲杠22和伺服電機(jī)。所述X軸絲杠I垂直于第一 Y軸絲杠21和所述第二 Y軸絲杠22，X軸絲杠I的兩端分布可移動(dòng)地安裝在所述第一 Y軸絲杠21和所述第二 Y軸絲杠22上，膜厚測(cè)量?jī)x3可移動(dòng)地安裝在X軸絲杠I上，伺服電機(jī)連接所述計(jì)算機(jī)，用于根據(jù)計(jì)算機(jī)指令控制所述第一 Y軸絲杠21和第二 Y軸絲杠22驅(qū)動(dòng)X軸絲杠I沿Y方向移動(dòng)，并控制所述X軸絲杠I驅(qū)動(dòng)所述膜厚測(cè)量?jī)x3沿X方向移動(dòng)。
[0024]如圖2所示，在測(cè)量時(shí)將圖1中裝置位于掩膜板5的下方，基板4位于掩膜板5的上方，計(jì)算機(jī)控制膜厚測(cè)量?jī)x3移動(dòng)到預(yù)設(shè)坐標(biāo)位置下方，膜厚測(cè)量?jī)x3通過(guò)起偏鏡頭31和檢偏鏡頭32監(jiān)測(cè)膜厚。已知入射光的偏振態(tài)，入射光在起偏鏡頭射出，偏振光在樣品表面被反射，檢偏鏡頭測(cè)量得到反射光偏振態(tài)(幅度和相位)，通過(guò)計(jì)算入射光和反射光的幅度和相位差擬合出材料的屬性。
[0025]本發(fā)明還提供了一種利用上述膜厚控制系統(tǒng)控制膜厚的方法，具體流程如圖3所示，包括:
[0026]步驟S310，采用膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量待測(cè)基板上預(yù)定坐標(biāo)的實(shí)際膜厚，并將實(shí)際膜厚反饋至計(jì)算機(jī)。
[0027]步驟S320，計(jì)算機(jī)判斷實(shí)際膜厚是否超出預(yù)設(shè)膜厚的誤差范圍，若未超出，則結(jié)束整個(gè)流程，否則執(zhí)行步驟S330。
[0028]步驟S330，實(shí)際膜厚超出預(yù)設(shè)膜厚誤差范圍時(shí)，計(jì)算機(jī)根據(jù)所述實(shí)際膜厚、預(yù)設(shè)膜厚及當(dāng)前補(bǔ)償值計(jì)算新補(bǔ)償值，并將新的補(bǔ)償值反饋至蒸鍍裝置。
[0029]步驟S340，蒸鍍裝置根據(jù)新的補(bǔ)償值對(duì)預(yù)定坐標(biāo)處補(bǔ)償蒸鍍有機(jī)發(fā)光材料。補(bǔ)償蒸鍍后返回步驟S310，反復(fù)執(zhí)行步驟S310?S340，直到實(shí)際膜厚是否達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚，不超出預(yù)設(shè)膜厚的誤差范圍，例如不超過(guò)預(yù)設(shè)膜厚的3%?5%。
[0030]步驟S310中，由所述計(jì)算機(jī)控制所述移動(dòng)裝置將所述膜厚測(cè)量?jī)x3移動(dòng)到預(yù)定坐標(biāo)。
[0031]步驟S320的方式具體為=A1= A i ^XT1ZU其中i = 1,2,……，N，A。為初始補(bǔ)償值，~為新的補(bǔ)償值，A , _ Λ當(dāng)前補(bǔ)償值，T i為第i次測(cè)試膜厚的厚度，C為預(yù)設(shè)膜厚。
[0032]顯示面板中心區(qū)域顯示質(zhì)量的好壞確定了整個(gè)顯示面板的顯示質(zhì)量，因此預(yù)定坐標(biāo)優(yōu)選為基板(包括多個(gè)面板，之后會(huì)切割成單個(gè)面板)上每個(gè)面板中心的坐標(biāo)，相當(dāng)于檢測(cè)系統(tǒng)的機(jī)械零點(diǎn)。
[0033]以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種膜厚控制系統(tǒng)，其特征在于，包括:移動(dòng)裝置、膜厚測(cè)量?jī)x及計(jì)算機(jī)，所述膜厚測(cè)量?jī)x可移動(dòng)地安裝在所述移動(dòng)裝置上，并連接所述計(jì)算機(jī)，用于從計(jì)算機(jī)獲取待測(cè)基板要測(cè)量位置的坐標(biāo)點(diǎn)，并將測(cè)得的所述要測(cè)量位置的實(shí)際膜厚發(fā)送至計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)用于在實(shí)際膜厚不超出預(yù)設(shè)膜厚的誤差范圍時(shí)根據(jù)所述實(shí)際膜厚、預(yù)設(shè)膜厚及當(dāng)前補(bǔ)償值計(jì)算新補(bǔ)償值，并將所述新補(bǔ)償值發(fā)送至蒸鍍裝置用作補(bǔ)償蒸鍍參考。2.如權(quán)利要求1所述的膜厚控制系統(tǒng)，其特征在于，所述移動(dòng)裝置包括:X軸絲杠、第一Y軸絲杠、第二 Y軸絲杠和伺服電機(jī)，所述X軸絲杠垂直于所述第一 Y軸絲杠和所述第二 Y軸絲杠，所述X軸絲杠的兩端分布可移動(dòng)地安裝在所述第一 Y軸絲杠和所述第二 Y軸絲杠上，所述膜厚測(cè)量?jī)x可移動(dòng)地安裝在所述X軸絲杠上，所述伺服電機(jī)連接所述計(jì)算機(jī)，用于根據(jù)計(jì)算機(jī)指令控制所述第一 Y軸絲杠和第二 Y軸絲杠驅(qū)動(dòng)X軸絲杠和導(dǎo)軌沿Y方向移動(dòng)，并控制所述X軸絲杠驅(qū)動(dòng)所述膜厚測(cè)量?jī)x沿X方向移動(dòng)。3.一種利用權(quán)利要求1或2所述膜厚控制系統(tǒng)控制膜厚的方法，其特征在于，反復(fù)執(zhí)行以下步驟SI?S3直到實(shí)際膜厚未達(dá)到預(yù)定要求， 51:采用膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量待測(cè)基板上預(yù)定坐標(biāo)的實(shí)際膜厚，并將所述實(shí)際膜厚反饋至計(jì)算機(jī); 52:計(jì)算機(jī)判斷實(shí)際膜厚超出預(yù)設(shè)膜厚的誤差范圍時(shí)根據(jù)所述實(shí)際膜厚、預(yù)設(shè)膜厚及當(dāng)前補(bǔ)償值計(jì)算新補(bǔ)償值，并將新補(bǔ)償值反饋至蒸鍍裝置； 53:蒸鍍裝置根據(jù)新補(bǔ)償值對(duì)預(yù)定坐標(biāo)處補(bǔ)償蒸鍍有機(jī)發(fā)光材料。4.如權(quán)利要求3所述的控制膜厚的方法，其特征在于，步驟SI中，由所述計(jì)算機(jī)控制所述移動(dòng)裝置將所述膜厚測(cè)量?jī)x移動(dòng)到預(yù)定坐標(biāo)。5.如權(quán)利要求3所述的控制膜厚的方法，其特征在于，步驟S2的方式具體為-A1=K1-:X T1ZU其中i = 1,2,……，N，A。為初始補(bǔ)償值,A1為新補(bǔ)償值，A 為當(dāng)前補(bǔ)償值，T第i次測(cè)試的膜厚，C為所述預(yù)設(shè)膜厚。6.如權(quán)利要求3?5中任一項(xiàng)所述的控制膜厚的方法，其特征在于，所述預(yù)定坐標(biāo)為基板上每個(gè)面板中心的坐標(biāo)。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種膜厚控制系統(tǒng)，包括：移動(dòng)裝置、膜厚測(cè)量?jī)x及計(jì)算機(jī)，所述膜厚測(cè)量?jī)x可移動(dòng)地安裝在所述移動(dòng)裝置上，并連接所述計(jì)算機(jī)，用于從計(jì)算機(jī)獲取要測(cè)量位置的坐標(biāo)點(diǎn)，并將測(cè)得的所述要測(cè)量位置的實(shí)際膜厚發(fā)送至計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)根據(jù)所述實(shí)際膜厚、預(yù)設(shè)膜厚及當(dāng)前補(bǔ)償值計(jì)算新補(bǔ)償值，并將所述新補(bǔ)償值發(fā)送至蒸鍍裝置用作補(bǔ)償蒸鍍參考。本發(fā)明還公開(kāi)了一種膜厚控制方法。本發(fā)明的裝置及方法能夠更加精確地控制OLED有機(jī)發(fā)光材料的蒸鍍膜厚。
【IPC分類(lèi)】C23C14/24, C23C14/54
【公開(kāi)號(hào)】CN105088172
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510605228
【發(fā)明人】付文悅, 陳立強(qiáng), 孫俊民
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年9月21日