一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電子產(chǎn)品ITO鍍膜加工生產(chǎn)設(shè)備，尤其是一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，形式多樣，有鑲嵌式的，有開(kāi)放式的。開(kāi)放式的，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝夾基片方便，通用性強(qiáng)，造價(jià)便宜，但是鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量受影響，不能生產(chǎn)高品質(zhì)產(chǎn)品；鑲嵌式的，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝夾基片稍難，產(chǎn)品的質(zhì)裝夾基片方便量有保證，但是通用性差，每種產(chǎn)品要對(duì)應(yīng)一套，造價(jià)昂貴；不論鑲嵌式的還是開(kāi)放的，目前都不做到單面和雙面鍍膜的通用性，都需要兩套裝夾裝備；鑒于上述原因，ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝夾基片稍難，單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備，需要改進(jìn)鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，現(xiàn)發(fā)明出一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝夾基片稍難，單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備，需要改進(jìn)鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，通過(guò)合理設(shè)計(jì)，提供一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法，特殊設(shè)計(jì)的橫梁通過(guò)連接片固定到豎梁上，彈性?shī)A具通過(guò)螺釘連接到橫梁上，單面產(chǎn)品或雙面產(chǎn)品，徒手固定在彈性?shī)A具上；單面和雙面產(chǎn)品，裝夾裝備兼容，不同規(guī)格的產(chǎn)品，只要移動(dòng)橫梁，并重新固定，便可使用；橫梁上下的擋片和基片之間的適當(dāng)間距，可以防止繞射，生產(chǎn)的效率尚O
[0004]本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法，所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置，是由:雙面基片、雙面下彈性卡、雙面上彈性卡、橫梁、豎梁、單面上彈性卡、單面下彈性卡、單面基片構(gòu)成；豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁，橫梁設(shè)置為十字型，十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡、上方橫梁下面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡，雙面上彈性卡與雙面下彈性卡的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，雙面下彈性卡與雙面上彈性卡之間設(shè)置雙面基片；上方橫梁下面與中部橫梁上面設(shè)置一組雙面上彈性卡與雙面下彈性卡；上方橫梁的側(cè)梁下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡、中部橫梁的側(cè)梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡，單面上彈性卡與單面下彈性卡的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，單面上彈性卡與單面下彈性卡之間設(shè)置單面基片；豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁，上下相鄰兩根橫梁之間對(duì)應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置，兩根橫梁之間設(shè)置雙面基片；橫梁設(shè)置為十字型，十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；同一側(cè)的兩根橫梁側(cè)梁之間設(shè)置單面基片；
[0005]加工真空濺射鍍膜對(duì)單面基片鍍膜時(shí)，先把單面基片下邊放入下橫梁的單面下彈性卡的卡槽中，單面基片下邊由兩個(gè)單面下彈性卡對(duì)稱(chēng)支撐，再把上邊橫梁的單面上彈性卡的卡槽卡住單面基片的上邊，單面基片上邊由兩個(gè)單面上彈性卡對(duì)稱(chēng)輔助卡緊。
[0006]單面基片通過(guò)單面上彈性卡和單面下彈性卡卡緊，固定在橫梁一側(cè)上部和下部的橫梁之間后；啟動(dòng)輸送小車(chē)，由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁與橫梁和單面基片進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中，對(duì)單面基片進(jìn)行單面的濺射鍍膜。
[0007]加工真空濺射鍍膜對(duì)雙面基片鍍膜時(shí)，先把雙面基片下邊放入下橫梁的雙面下彈性卡的卡槽中，雙面基片下邊由兩個(gè)雙面下彈性卡對(duì)稱(chēng)支撐，再把上邊橫梁的雙面上彈性卡的卡槽卡住雙面基片的上邊，雙面基片上邊由兩個(gè)雙面上彈性卡對(duì)稱(chēng)輔助卡緊；雙面基片通過(guò)雙面上彈性卡和雙面下彈性卡卡緊，固定在橫梁一側(cè)上部和下部的橫梁之間后；啟動(dòng)輸送小車(chē)，由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁與橫梁和雙面基片進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中，對(duì)雙面基片進(jìn)行雙面的濺射鍍膜。
[0008]有益效果:單面或雙面鍍膜共用一套裝夾裝備，通用性強(qiáng)；更換產(chǎn)品品種，方便快捷；徒手快速裝卸基片，減少人力資源的使用；解決繞射問(wèn)題，可以生產(chǎn)低阻高檔產(chǎn)品；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工容易，造價(jià)便宜，永久使用。
[0009]本發(fā)明的豎梁是和移動(dòng)小車(chē)是一體的，特殊設(shè)計(jì)的橫梁通過(guò)連接片固定到豎梁上，彈性?shī)A具通過(guò)螺釘連接到橫梁上，單面產(chǎn)品或雙面產(chǎn)品，徒手固定在彈性?shī)A具上；單面和雙面產(chǎn)品，裝夾裝備兼容，不同規(guī)格的產(chǎn)品，只要移動(dòng)橫梁，并重新固定，便可使用；橫梁上下的擋片和基片之間的適當(dāng)間距，可以防止繞射。
【附圖說(shuō)明】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0011]圖1是，總裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是，側(cè)視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3是，安裝雙面基片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖4是，安裝單面基片結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖1、2、3、4中:雙面基片1、雙面下彈性卡2、雙面上彈性卡3、橫梁4、豎梁5、單面上彈性卡6、單面下彈性卡7、單面基片8。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合實(shí)施例與【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明:
[0017]實(shí)施例1
[0018]豎梁5 —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁4，橫梁4設(shè)置為十字型，十字型橫梁4兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁4上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡2、上方橫梁4下面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡3，雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，雙面下彈性卡2與雙面上彈性卡3之間設(shè)置雙面基片I ;上方橫梁4下面與中部橫梁4上面設(shè)置一組雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2 ;上方橫梁4的側(cè)梁下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡6、中部橫梁4的側(cè)梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡7，單面上彈性卡6與單面下彈性卡7的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，單面上彈性卡6與單面下彈性卡7之間設(shè)置單面基片8 ;豎梁5 —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁4，上下相鄰兩根橫梁4之間對(duì)應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置，兩根橫梁4之間設(shè)置雙面基片I ;橫梁4設(shè)置為十字型，十字型橫梁4兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；同一側(cè)的兩根橫梁4側(cè)梁之間設(shè)置單面基片8 ；
[0019]加工真空濺射鍍膜對(duì)單面基片8鍍膜時(shí)，先把單面基片8下邊放入下橫梁4的單面下彈性卡7的卡槽中，單面基片8下邊由兩個(gè)單面下彈性卡7對(duì)稱(chēng)支撐，再把上邊橫梁4的單面上彈性卡6的卡槽卡住單面基片8的上邊，單面基片8上邊由兩個(gè)單面上彈性卡6對(duì)稱(chēng)輔助卡緊。
[0020]實(shí)施例2
[0021]單面基片8通過(guò)單面上彈性卡6和單面下彈性卡7卡緊，固定在橫梁4 一側(cè)上部和下部的橫梁4之間后；啟動(dòng)輸送小車(chē)，由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁5與橫梁4和單面基片8進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中，對(duì)單面基片8進(jìn)行單面的濺射鍍膜。
[0022]實(shí)施例3
[0023]加工真空濺射鍍膜對(duì)雙面基片I鍍膜時(shí)，先把雙面基片I下邊放入下橫梁4的雙面下彈性卡2的卡槽中，雙面基片I下邊由兩個(gè)雙面下彈性卡2對(duì)稱(chēng)支撐，再把上邊橫梁4的雙面上彈性卡3的卡槽卡住雙面基片I的上邊，雙面基片I上邊由兩個(gè)雙面上彈性卡3對(duì)稱(chēng)輔助卡緊；雙面基片I通過(guò)雙面上彈性卡3和雙面下彈性卡2卡緊，固定在橫梁4 一側(cè)上部和下部的橫梁4之間后；啟動(dòng)輸送小車(chē)，由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁5與橫梁4和雙面基片I進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中，對(duì)雙面基片I進(jìn)行雙面的濺射鍍膜。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法，所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置，，是由:雙面基片(I)、雙面下彈性卡(2)、雙面上彈性卡(3)、橫梁(4)、豎梁(5)、單面上彈性卡￠)、單面下彈性卡(7)、單面基片(8)構(gòu)成；其特征在于:豎梁(5) —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁(4)，橫梁⑷設(shè)置為十字型，十字型橫梁⑷兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁⑷上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡(2)、上方橫梁(4)下面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡(3)，雙面上彈性卡(3)與雙面下彈性卡(2)的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，雙面下彈性卡(2)與雙面上彈性卡(3)之間設(shè)置雙面基片(I);上方橫梁(4)下面與中部橫梁(4)上面設(shè)置一組雙面上彈性卡(3)與雙面下彈性卡(2);上方橫梁(4)的側(cè)梁下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡￠)、中部橫梁(4)的側(cè)梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡(7)，單面上彈性卡(6)與單面下彈性卡(7)的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，單面上彈性卡(6)與單面下彈性卡(7)之間設(shè)置單面基片(8);豎梁(5) —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁(4)，上下相鄰兩根橫梁(4)之間對(duì)應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置，兩根橫梁(4)之間設(shè)置雙面基片⑴；橫梁⑷設(shè)置為十字型，十字型橫梁⑷兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；同一側(cè)的兩根橫梁⑷側(cè)梁之間設(shè)置單面基片(8)。 加工真空濺射鍍膜對(duì)單面基片(8)鍍膜時(shí)，先把單面基片(8)下邊放入下橫梁(4)的單面下彈性卡(7)的卡槽中，單面基片(8)下邊由兩個(gè)單面下彈性卡(7)對(duì)稱(chēng)支撐，再把上邊橫梁(4)的單面上彈性卡￠)的卡槽卡住單面基片(8)的上邊，單面基片(8)上邊由兩個(gè)單面上彈性卡(6)對(duì)稱(chēng)輔助卡緊。2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法，其特征在于:單面基片(8)通過(guò)單面上彈性卡(6)和單面下彈性卡(7)卡緊，固定在橫梁(4) 一側(cè)上部和下部的橫梁(4)之間后；啟動(dòng)輸送小車(chē)，由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁(5)與橫梁(4)和單面基片(8)進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中，對(duì)單面基片(8)進(jìn)行單面的濺射鍍膜。3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法，其特征在于:加工真空濺射鍍膜對(duì)雙面基片(I)鍍膜時(shí)，先把雙面基片(I)下邊放入下橫梁(4)的雙面下彈性卡(2)的卡槽中，雙面基片(I)下邊由兩個(gè)雙面下彈性卡(2)對(duì)稱(chēng)支撐，再把上邊橫梁(4)的雙面上彈性卡(3)的卡槽卡住雙面基片(I)的上邊，雙面基片(I)上邊由兩個(gè)雙面上彈性卡(3)對(duì)稱(chēng)輔助卡緊；雙面基片(I)通過(guò)雙面上彈性卡(3)和雙面下彈性卡(2)卡緊，固定在橫梁(4) 一側(cè)上部和下部的橫梁(4)之間后；啟動(dòng)輸送小車(chē)，由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁(5)與橫梁(4)和雙面基片(I)進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中，對(duì)雙面基片(I)進(jìn)行雙面的濺射鍍膜。
【專(zhuān)利摘要】一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法，所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置，是由：豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁，橫梁設(shè)置為十字型，十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁；中部橫梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡，雙面上彈性卡與雙面下彈性卡的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置、單面上彈性卡與單面下彈性卡之間設(shè)置單面基片；加工真空濺射鍍膜時(shí)，單面基片上邊由兩個(gè)單面上彈性卡對(duì)稱(chēng)輔助卡緊后；啟動(dòng)輸送小車(chē)，由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁與橫梁和雙面基片進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中，對(duì)基片進(jìn)行濺射鍍膜；單面或雙面鍍膜共用一套裝夾裝備，通用性強(qiáng)；更換產(chǎn)品品種，方便快捷；徒手快速裝卸基片；解決繞射問(wèn)題，可以生產(chǎn)低阻高檔產(chǎn)品；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工容易，造價(jià)便宜，永久使用。
【IPC分類(lèi)】C23C14/50
【公開(kāi)號(hào)】CN105088169
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510540934
【發(fā)明人】王新, 牛建國(guó)
【申請(qǐng)人】洛陽(yáng)新兆電子有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年8月23日