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一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法

文檔序號(hào):9364213閱讀:387來(lái)源:國(guó)知局
一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電子產(chǎn)品ITO鍍膜加工生產(chǎn)設(shè)備,尤其是一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備,形式多樣,有鑲嵌式的,有開(kāi)放式的。開(kāi)放式的,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,裝夾基片方便,通用性強(qiáng),造價(jià)便宜,但是鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量受影響,不能生產(chǎn)高品質(zhì)產(chǎn)品;鑲嵌式的,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,裝夾基片稍難,產(chǎn)品的質(zhì)裝夾基片方便量有保證,但是通用性差,每種產(chǎn)品要對(duì)應(yīng)一套,造價(jià)昂貴;不論鑲嵌式的還是開(kāi)放的,目前都不做到單面和雙面鍍膜的通用性,都需要兩套裝夾裝備;鑒于上述原因,ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,裝夾基片稍難,單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備,需要改進(jìn)鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備,現(xiàn)發(fā)明出一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,裝夾基片稍難,單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備,需要改進(jìn)鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備,通過(guò)合理設(shè)計(jì),提供一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法,特殊設(shè)計(jì)的橫梁通過(guò)連接片固定到豎梁上,彈性?shī)A具通過(guò)螺釘連接到橫梁上,單面產(chǎn)品或雙面產(chǎn)品,徒手固定在彈性?shī)A具上;單面和雙面產(chǎn)品,裝夾裝備兼容,不同規(guī)格的產(chǎn)品,只要移動(dòng)橫梁,并重新固定,便可使用;橫梁上下的擋片和基片之間的適當(dāng)間距,可以防止繞射,生產(chǎn)的效率尚O
[0004]本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的,采用如下技術(shù)方案:一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法,所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置,是由:雙面基片、雙面下彈性卡、雙面上彈性卡、橫梁、豎梁、單面上彈性卡、單面下彈性卡、單面基片構(gòu)成;豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁,橫梁設(shè)置為十字型,十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁;中部橫梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡、上方橫梁下面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡,雙面上彈性卡與雙面下彈性卡的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置,雙面下彈性卡與雙面上彈性卡之間設(shè)置雙面基片;上方橫梁下面與中部橫梁上面設(shè)置一組雙面上彈性卡與雙面下彈性卡;上方橫梁的側(cè)梁下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡、中部橫梁的側(cè)梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡,單面上彈性卡與單面下彈性卡的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置,單面上彈性卡與單面下彈性卡之間設(shè)置單面基片;豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁,上下相鄰兩根橫梁之間對(duì)應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置,兩根橫梁之間設(shè)置雙面基片;橫梁設(shè)置為十字型,十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁;同一側(cè)的兩根橫梁側(cè)梁之間設(shè)置單面基片;
[0005]加工真空濺射鍍膜對(duì)單面基片鍍膜時(shí),先把單面基片下邊放入下橫梁的單面下彈性卡的卡槽中,單面基片下邊由兩個(gè)單面下彈性卡對(duì)稱(chēng)支撐,再把上邊橫梁的單面上彈性卡的卡槽卡住單面基片的上邊,單面基片上邊由兩個(gè)單面上彈性卡對(duì)稱(chēng)輔助卡緊。
[0006]單面基片通過(guò)單面上彈性卡和單面下彈性卡卡緊,固定在橫梁一側(cè)上部和下部的橫梁之間后;啟動(dòng)輸送小車(chē),由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁與橫梁和單面基片進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中,對(duì)單面基片進(jìn)行單面的濺射鍍膜。
[0007]加工真空濺射鍍膜對(duì)雙面基片鍍膜時(shí),先把雙面基片下邊放入下橫梁的雙面下彈性卡的卡槽中,雙面基片下邊由兩個(gè)雙面下彈性卡對(duì)稱(chēng)支撐,再把上邊橫梁的雙面上彈性卡的卡槽卡住雙面基片的上邊,雙面基片上邊由兩個(gè)雙面上彈性卡對(duì)稱(chēng)輔助卡緊;雙面基片通過(guò)雙面上彈性卡和雙面下彈性卡卡緊,固定在橫梁一側(cè)上部和下部的橫梁之間后;啟動(dòng)輸送小車(chē),由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁與橫梁和雙面基片進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中,對(duì)雙面基片進(jìn)行雙面的濺射鍍膜。
[0008]有益效果:單面或雙面鍍膜共用一套裝夾裝備,通用性強(qiáng);更換產(chǎn)品品種,方便快捷;徒手快速裝卸基片,減少人力資源的使用;解決繞射問(wèn)題,可以生產(chǎn)低阻高檔產(chǎn)品;結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,加工容易,造價(jià)便宜,永久使用。
[0009]本發(fā)明的豎梁是和移動(dòng)小車(chē)是一體的,特殊設(shè)計(jì)的橫梁通過(guò)連接片固定到豎梁上,彈性?shī)A具通過(guò)螺釘連接到橫梁上,單面產(chǎn)品或雙面產(chǎn)品,徒手固定在彈性?shī)A具上;單面和雙面產(chǎn)品,裝夾裝備兼容,不同規(guī)格的產(chǎn)品,只要移動(dòng)橫梁,并重新固定,便可使用;橫梁上下的擋片和基片之間的適當(dāng)間距,可以防止繞射。
【附圖說(shuō)明】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0011]圖1是,總裝結(jié)構(gòu)示意圖;
[0012]圖2是,側(cè)視剖面結(jié)構(gòu)示意圖;
[0013]圖3是,安裝雙面基片的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]圖4是,安裝單面基片結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖1、2、3、4中:雙面基片1、雙面下彈性卡2、雙面上彈性卡3、橫梁4、豎梁5、單面上彈性卡6、單面下彈性卡7、單面基片8。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合實(shí)施例與【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明:
[0017]實(shí)施例1
[0018]豎梁5 —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁4,橫梁4設(shè)置為十字型,十字型橫梁4兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁;中部橫梁4上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡2、上方橫梁4下面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡3,雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置,雙面下彈性卡2與雙面上彈性卡3之間設(shè)置雙面基片I ;上方橫梁4下面與中部橫梁4上面設(shè)置一組雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2 ;上方橫梁4的側(cè)梁下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡6、中部橫梁4的側(cè)梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡7,單面上彈性卡6與單面下彈性卡7的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置,單面上彈性卡6與單面下彈性卡7之間設(shè)置單面基片8 ;豎梁5 —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁4,上下相鄰兩根橫梁4之間對(duì)應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置,兩根橫梁4之間設(shè)置雙面基片I ;橫梁4設(shè)置為十字型,十字型橫梁4兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁;同一側(cè)的兩根橫梁4側(cè)梁之間設(shè)置單面基片8 ;
[0019]加工真空濺射鍍膜對(duì)單面基片8鍍膜時(shí),先把單面基片8下邊放入下橫梁4的單面下彈性卡7的卡槽中,單面基片8下邊由兩個(gè)單面下彈性卡7對(duì)稱(chēng)支撐,再把上邊橫梁4的單面上彈性卡6的卡槽卡住單面基片8的上邊,單面基片8上邊由兩個(gè)單面上彈性卡6對(duì)稱(chēng)輔助卡緊。
[0020]實(shí)施例2
[0021]單面基片8通過(guò)單面上彈性卡6和單面下彈性卡7卡緊,固定在橫梁4 一側(cè)上部和下部的橫梁4之間后;啟動(dòng)輸送小車(chē),由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁5與橫梁4和單面基片8進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中,對(duì)單面基片8進(jìn)行單面的濺射鍍膜。
[0022]實(shí)施例3
[0023]加工真空濺射鍍膜對(duì)雙面基片I鍍膜時(shí),先把雙面基片I下邊放入下橫梁4的雙面下彈性卡2的卡槽中,雙面基片I下邊由兩個(gè)雙面下彈性卡2對(duì)稱(chēng)支撐,再把上邊橫梁4的雙面上彈性卡3的卡槽卡住雙面基片I的上邊,雙面基片I上邊由兩個(gè)雙面上彈性卡3對(duì)稱(chēng)輔助卡緊;雙面基片I通過(guò)雙面上彈性卡3和雙面下彈性卡2卡緊,固定在橫梁4 一側(cè)上部和下部的橫梁4之間后;啟動(dòng)輸送小車(chē),由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁5與橫梁4和雙面基片I進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中,對(duì)雙面基片I進(jìn)行雙面的濺射鍍膜。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法,所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置,,是由:雙面基片(I)、雙面下彈性卡(2)、雙面上彈性卡(3)、橫梁(4)、豎梁(5)、單面上彈性卡¢)、單面下彈性卡(7)、單面基片(8)構(gòu)成;其特征在于:豎梁(5) —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁(4),橫梁⑷設(shè)置為十字型,十字型橫梁⑷兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁;中部橫梁⑷上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡(2)、上方橫梁(4)下面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面上彈性卡(3),雙面上彈性卡(3)與雙面下彈性卡(2)的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置,雙面下彈性卡(2)與雙面上彈性卡(3)之間設(shè)置雙面基片(I);上方橫梁(4)下面與中部橫梁(4)上面設(shè)置一組雙面上彈性卡(3)與雙面下彈性卡(2);上方橫梁(4)的側(cè)梁下方對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面上彈性卡¢)、中部橫梁(4)的側(cè)梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)單面下彈性卡(7),單面上彈性卡(6)與單面下彈性卡(7)的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置,單面上彈性卡(6)與單面下彈性卡(7)之間設(shè)置單面基片(8);豎梁(5) —側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁(4),上下相鄰兩根橫梁(4)之間對(duì)應(yīng)基片的規(guī)格設(shè)置,兩根橫梁(4)之間設(shè)置雙面基片⑴;橫梁⑷設(shè)置為十字型,十字型橫梁⑷兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁;同一側(cè)的兩根橫梁⑷側(cè)梁之間設(shè)置單面基片(8)。 加工真空濺射鍍膜對(duì)單面基片(8)鍍膜時(shí),先把單面基片(8)下邊放入下橫梁(4)的單面下彈性卡(7)的卡槽中,單面基片(8)下邊由兩個(gè)單面下彈性卡(7)對(duì)稱(chēng)支撐,再把上邊橫梁(4)的單面上彈性卡¢)的卡槽卡住單面基片(8)的上邊,單面基片(8)上邊由兩個(gè)單面上彈性卡(6)對(duì)稱(chēng)輔助卡緊。2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法,其特征在于:單面基片(8)通過(guò)單面上彈性卡(6)和單面下彈性卡(7)卡緊,固定在橫梁(4) 一側(cè)上部和下部的橫梁(4)之間后;啟動(dòng)輸送小車(chē),由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁(5)與橫梁(4)和單面基片(8)進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中,對(duì)單面基片(8)進(jìn)行單面的濺射鍍膜。3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法,其特征在于:加工真空濺射鍍膜對(duì)雙面基片(I)鍍膜時(shí),先把雙面基片(I)下邊放入下橫梁(4)的雙面下彈性卡(2)的卡槽中,雙面基片(I)下邊由兩個(gè)雙面下彈性卡(2)對(duì)稱(chēng)支撐,再把上邊橫梁(4)的雙面上彈性卡(3)的卡槽卡住雙面基片(I)的上邊,雙面基片(I)上邊由兩個(gè)雙面上彈性卡(3)對(duì)稱(chēng)輔助卡緊;雙面基片(I)通過(guò)雙面上彈性卡(3)和雙面下彈性卡(2)卡緊,固定在橫梁(4) 一側(cè)上部和下部的橫梁(4)之間后;啟動(dòng)輸送小車(chē),由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁(5)與橫梁(4)和雙面基片(I)進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中,對(duì)雙面基片(I)進(jìn)行雙面的濺射鍍膜。
【專(zhuān)利摘要】一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置的使用方法,所述的一種真空濺射鍍膜基片裝夾裝置,是由:豎梁一側(cè)設(shè)置至少兩根橫梁,橫梁設(shè)置為十字型,十字型橫梁兩側(cè)分別設(shè)置側(cè)梁;中部橫梁上面對(duì)稱(chēng)設(shè)置兩個(gè)雙面下彈性卡,雙面上彈性卡與雙面下彈性卡的卡頭對(duì)應(yīng)設(shè)置、單面上彈性卡與單面下彈性卡之間設(shè)置單面基片;加工真空濺射鍍膜時(shí),單面基片上邊由兩個(gè)單面上彈性卡對(duì)稱(chēng)輔助卡緊后;啟動(dòng)輸送小車(chē),由輸送小車(chē)帶動(dòng)豎梁與橫梁和雙面基片進(jìn)入真空濺射鍍膜箱中,對(duì)基片進(jìn)行濺射鍍膜;單面或雙面鍍膜共用一套裝夾裝備,通用性強(qiáng);更換產(chǎn)品品種,方便快捷;徒手快速裝卸基片;解決繞射問(wèn)題,可以生產(chǎn)低阻高檔產(chǎn)品;結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,加工容易,造價(jià)便宜,永久使用。
【IPC分類(lèi)】C23C14/50
【公開(kāi)號(hào)】CN105088169
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510540934
【發(fā)明人】王新, 牛建國(guó)
【申請(qǐng)人】洛陽(yáng)新兆電子有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年8月23日
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