本發(fā)明涉及一種研磨設(shè)備，尤其涉及一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備。

背景技術(shù)：

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之ic產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999％。

晶圓需要對表面進行研磨，目前研磨晶圓的研磨設(shè)備還不能研磨不同尺寸的晶圓，操作復(fù)雜，研磨效率不高，因此亟需研發(fā)一種操作簡單，能夠同時研磨不同尺寸的晶圓，研磨效率高的用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

(1)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明為了克服目前研磨晶圓的研磨設(shè)備還不能研磨不同尺寸的晶圓，操作復(fù)雜，研磨效率不高的缺點，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種操作簡單，能夠同時研磨不同尺寸的晶圓，研磨效率高的用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備。

(2)技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了這樣一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備，包括有底板、左架、頂板、研磨框、研磨片、調(diào)節(jié)機構(gòu)、升降機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，底板頂部左側(cè)安裝有左架，左架頂端連接有頂板，底板頂部右側(cè)安裝有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上連接有研磨框，研磨框底部連接有調(diào)節(jié)機構(gòu)，頂板底部中間安裝有升降機構(gòu)，升降機構(gòu)底部連接有研磨片。

優(yōu)選地，調(diào)節(jié)機構(gòu)包括有第一滑塊、研磨盤、固定塊、第一插銷、第二插銷和第一滑軌，研磨框內(nèi)底部開有第一滑軌，第一滑軌上滑動式連接有第一滑塊，第一滑塊連接有研磨盤，研磨盤頂部均勻開有放置槽，研磨盤左右兩側(cè)均開有凹槽，研磨框左右兩側(cè)均安裝有固定塊，固定塊水平開有第一銷孔，固定塊垂直開有第二銷孔，研磨框左右兩側(cè)底部均開有第一通孔，第一銷孔內(nèi)插有第一插銷，第一插銷內(nèi)開有第二通孔，第一插銷穿過第一銷孔、第一通孔和凹槽，第二銷孔內(nèi)插有第二插銷，第二插銷穿過第二銷孔和第二通孔。

優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括有支撐桿、圓形滑軌、第三滑塊、電機和第二轉(zhuǎn)軸，底板頂部右側(cè)安裝有支撐桿，底板底部右側(cè)安裝有電機，支撐桿在電機左右兩側(cè)，電機頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸，支撐桿頂端連接有圓形滑軌，圓形滑軌上滑動式連接有第三滑塊，第三滑塊頂部連接有研磨框，研磨框底部中心與第二轉(zhuǎn)軸頂端連接。

優(yōu)選地，升降機構(gòu)包括有安裝板、第二滑軌、第二滑塊、第一軸承座、第一轉(zhuǎn)軸、第一錐齒輪、搖桿、第二軸承座、第三軸承座、絲桿、第二錐齒輪、螺母和l型連桿，頂板底部中間設(shè)有安裝板，安裝板底部連接有第二滑軌，第二滑軌上滑動式連接有第二滑塊，第二滑軌右側(cè)上部安裝有第一軸承座，第一軸承座右側(cè)連接有第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸上連接有第一錐齒輪，第一轉(zhuǎn)軸右端連接有搖桿，第二滑軌右側(cè)上部設(shè)有第二軸承座，第二軸承座位于第一軸承座下部，第二滑軌右側(cè)下部設(shè)有第三軸承座，第二軸承座和第三軸承座之間連接有絲桿，絲桿上連接有螺母，螺母與絲桿配合，螺母左側(cè)與第二滑塊連接，螺母右側(cè)連接有l(wèi)型連桿，l型連桿底端與研磨片連接，絲桿頂端連接有第二錐齒輪，第二錐齒輪與第一錐齒輪嚙合。

優(yōu)選地，研磨片的材質(zhì)為氧化硅。

優(yōu)選地，電機為高速電機。

工作原理：當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，將切好的晶圓放置于調(diào)節(jié)機構(gòu)內(nèi)，再將調(diào)節(jié)機構(gòu)固定于研磨框內(nèi)，調(diào)節(jié)升降機構(gòu)帶動研磨片接觸晶圓，控制旋轉(zhuǎn)機構(gòu)轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動研磨框和調(diào)節(jié)機構(gòu)轉(zhuǎn)動，通過轉(zhuǎn)動對晶圓進行研磨，此過程操作簡單，能將不同的晶圓放置于不同的調(diào)節(jié)機構(gòu)中，提高了研磨設(shè)備的研磨效率。

因為調(diào)節(jié)機構(gòu)包括有第一滑塊、研磨盤、固定塊、第一插銷、第二插銷和第一滑軌，研磨框內(nèi)底部開有第一滑軌，第一滑軌上滑動式連接有第一滑塊，第一滑塊連接有研磨盤，研磨盤頂部均勻開有放置槽，研磨盤左右兩側(cè)均開有凹槽，研磨框左右兩側(cè)均安裝有固定塊，固定塊水平開有第一銷孔，固定塊垂直開有第二銷孔，研磨框左右兩側(cè)底部均開有第一通孔，第一銷孔內(nèi)插有第一插銷，第一插銷內(nèi)開有第二通孔，第一插銷穿過第一銷孔、第一通孔和凹槽，第二銷孔內(nèi)插有第二插銷，第二插銷穿過第二銷孔和第二通孔，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，將晶圓放置于放置槽內(nèi)，將第一插銷通過第一銷孔和第一通孔插入凹槽內(nèi)，再將第二插銷插入第二銷孔和第二通孔，固定后開始研磨，再通過第一插銷和第二插銷進行固定，當(dāng)需要研磨的晶圓尺寸需要需要更改時，工人只需替換對應(yīng)尺寸的研磨盤即可，簡單快捷。

因為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括有支撐桿、圓形滑軌、第三滑塊、電機和第二轉(zhuǎn)軸，底板頂部右側(cè)安裝有支撐桿，底板底部右側(cè)安裝有電機，支撐桿在電機左右兩側(cè)，電機頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸，支撐桿頂端連接有圓形滑軌，圓形滑軌上滑動式連接有第三滑塊，第三滑塊頂部連接有研磨框，研磨框底部中心與第二轉(zhuǎn)軸頂端連接，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，工人控制電機轉(zhuǎn)動，電機帶動第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，第二轉(zhuǎn)軸穿過圓形滑軌帶動研磨框轉(zhuǎn)動，因為晶圓與研磨片接觸，從而對晶圓進行研磨，直至研磨的晶圓達標(biāo)后，工人控制電機停止轉(zhuǎn)動。

因為升降機構(gòu)包括有安裝板、第二滑軌、第二滑塊、第一軸承座、第一轉(zhuǎn)軸、第一錐齒輪、搖桿、第二軸承座、第三軸承座、絲桿、第二錐齒輪、螺母和l型連桿，頂板底部中間設(shè)有安裝板，安裝板底部連接有第二滑軌，第二滑軌上滑動式連接有第二滑塊，第二滑軌右側(cè)上部安裝有第一軸承座，第一軸承座右側(cè)連接有第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸上連接有第一錐齒輪，第一轉(zhuǎn)軸右端連接有搖桿，第二滑軌右側(cè)上部設(shè)有第二軸承座，第二軸承座位于第一軸承座下部，第二滑軌右側(cè)下部設(shè)有第三軸承座，第二軸承座和第三軸承座之間連接有絲桿，絲桿上連接有螺母，螺母與絲桿配合，螺母左側(cè)與第二滑塊連接，螺母右側(cè)連接有l(wèi)型連桿，l型連桿底端與研磨片連接，絲桿頂端連接有第二錐齒輪，第二錐齒輪與第一錐齒輪嚙合，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，順時針搖動搖桿，搖桿帶動第一轉(zhuǎn)軸順時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸帶動第一錐齒輪順時針轉(zhuǎn)動，第一錐齒輪帶動第二錐齒輪逆時針轉(zhuǎn)動，第二錐齒輪帶動絲桿逆時針轉(zhuǎn)動，絲桿帶動螺母向下運動，螺母帶動l型連桿向下運動，l型連桿帶動研磨片向下運動直至接觸晶圓，當(dāng)研磨達標(biāo)時，逆時針搖動搖桿，搖桿帶動第一轉(zhuǎn)軸逆時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸帶動第一錐齒輪逆時針轉(zhuǎn)動，第一錐齒輪帶動第二錐齒輪順時針轉(zhuǎn)動，第二錐齒輪帶動絲桿順時針轉(zhuǎn)動，絲桿帶動螺母向上運動，螺母帶動l型連桿向上運動，l型連桿帶動研磨片向上運動遠離研磨框。

因為研磨片的材質(zhì)為氧化硅，氧化硅能夠更好的研磨晶圓。

因為電機為高速電機，高速電機能夠提高研磨效率。

(3)有益效果

本發(fā)明能將不同的晶圓放置于不同的調(diào)節(jié)機構(gòu)中，再進行研磨，達到了操作簡單，研磨效率高的效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明調(diào)節(jié)機構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明調(diào)節(jié)機構(gòu)抽離研磨盤的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明研磨盤的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明第一插銷的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為本發(fā)明升降機構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7為本發(fā)明旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中的標(biāo)記為：1-底板，2-左架，3-頂板，4-研磨框，5-研磨片，6-調(diào)節(jié)機構(gòu)，61-第一滑塊，62-研磨盤，63-放置槽，64-固定塊，65-第一插銷，66-第二插銷，67-第一滑軌，68-第一通孔，69-第一銷孔，610-第二銷孔，611-凹槽，612-第二通孔，7-升降機構(gòu)，71-安裝板，72-第二滑軌，73-第二滑塊，74-第一軸承座，75-第一轉(zhuǎn)軸，76-第一錐齒輪，77-搖桿，78-第二軸承座，79-第三軸承座，710-絲桿，711-第二錐齒輪，712-螺母，713-l型連桿，8-旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，81-支撐桿，82-圓形滑軌，83-第三滑塊，84-電機，85-第二轉(zhuǎn)軸。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的說明。

實施例1

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備，如圖1-7所示，包括有底板1、左架2、頂板3、研磨框4、研磨片5、調(diào)節(jié)機構(gòu)6、升降機構(gòu)7和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，底板1頂部左側(cè)安裝有左架2，左架2頂端連接有頂板3，底板1頂部右側(cè)安裝有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8上連接有研磨框4，研磨框4底部連接有調(diào)節(jié)機構(gòu)6，頂板3底部中間安裝有升降機構(gòu)7，升降機構(gòu)7底部連接有研磨片5。

實施例2

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備，如圖1-7所示，包括有底板1、左架2、頂板3、研磨框4、研磨片5、調(diào)節(jié)機構(gòu)6、升降機構(gòu)7和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，底板1頂部左側(cè)安裝有左架2，左架2頂端連接有頂板3，底板1頂部右側(cè)安裝有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8上連接有研磨框4，研磨框4底部連接有調(diào)節(jié)機構(gòu)6，頂板3底部中間安裝有升降機構(gòu)7，升降機構(gòu)7底部連接有研磨片5。

調(diào)節(jié)機構(gòu)6包括有第一滑塊61、研磨盤62、固定塊64、第一插銷65、第二插銷66和第一滑軌67，研磨框4內(nèi)底部開有第一滑軌67，第一滑軌67上滑動式連接有第一滑塊61，第一滑塊61連接有研磨盤62，研磨盤62頂部均勻開有放置槽63，研磨盤62左右兩側(cè)均開有凹槽611，研磨框4左右兩側(cè)均安裝有固定塊64，固定塊64水平開有第一銷孔69，固定塊64垂直開有第二銷孔610，研磨框4左右兩側(cè)底部均開有第一通孔68，第一銷孔69內(nèi)插有第一插銷65，第一插銷65內(nèi)開有第二通孔612，第一插銷65穿過第一銷孔69、第一通孔68和凹槽611，第二銷孔610內(nèi)插有第二插銷66，第二插銷66穿過第二銷孔610和第二通孔612。

實施例3

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備，如圖1-7所示，包括有底板1、左架2、頂板3、研磨框4、研磨片5、調(diào)節(jié)機構(gòu)6、升降機構(gòu)7和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，底板1頂部左側(cè)安裝有左架2，左架2頂端連接有頂板3，底板1頂部右側(cè)安裝有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8上連接有研磨框4，研磨框4底部連接有調(diào)節(jié)機構(gòu)6，頂板3底部中間安裝有升降機構(gòu)7，升降機構(gòu)7底部連接有研磨片5。

調(diào)節(jié)機構(gòu)6包括有第一滑塊61、研磨盤62、固定塊64、第一插銷65、第二插銷66和第一滑軌67，研磨框4內(nèi)底部開有第一滑軌67，第一滑軌67上滑動式連接有第一滑塊61，第一滑塊61連接有研磨盤62，研磨盤62頂部均勻開有放置槽63，研磨盤62左右兩側(cè)均開有凹槽611，研磨框4左右兩側(cè)均安裝有固定塊64，固定塊64水平開有第一銷孔69，固定塊64垂直開有第二銷孔610，研磨框4左右兩側(cè)底部均開有第一通孔68，第一銷孔69內(nèi)插有第一插銷65，第一插銷65內(nèi)開有第二通孔612，第一插銷65穿過第一銷孔69、第一通孔68和凹槽611，第二銷孔610內(nèi)插有第二插銷66，第二插銷66穿過第二銷孔610和第二通孔612。

旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8包括有支撐桿81、圓形滑軌82、第三滑塊83、電機84和第二轉(zhuǎn)軸85，底板1頂部右側(cè)安裝有支撐桿81，底板1底部右側(cè)安裝有電機84，支撐桿81在電機84左右兩側(cè)，電機84頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸85，支撐桿81頂端連接有圓形滑軌82，圓形滑軌82上滑動式連接有第三滑塊83，第三滑塊83頂部連接有研磨框4，研磨框4底部中心與第二轉(zhuǎn)軸85頂端連接。

實施例4

一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備，如圖1-7所示，包括有底板1、左架2、頂板3、研磨框4、研磨片5、調(diào)節(jié)機構(gòu)6、升降機構(gòu)7和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，底板1頂部左側(cè)安裝有左架2，左架2頂端連接有頂板3，底板1頂部右側(cè)安裝有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8上連接有研磨框4，研磨框4底部連接有調(diào)節(jié)機構(gòu)6，頂板3底部中間安裝有升降機構(gòu)7，升降機構(gòu)7底部連接有研磨片5。

調(diào)節(jié)機構(gòu)6包括有第一滑塊61、研磨盤62、固定塊64、第一插銷65、第二插銷66和第一滑軌67，研磨框4內(nèi)底部開有第一滑軌67，第一滑軌67上滑動式連接有第一滑塊61，第一滑塊61連接有研磨盤62，研磨盤62頂部均勻開有放置槽63，研磨盤62左右兩側(cè)均開有凹槽611，研磨框4左右兩側(cè)均安裝有固定塊64，固定塊64水平開有第一銷孔69，固定塊64垂直開有第二銷孔610，研磨框4左右兩側(cè)底部均開有第一通孔68，第一銷孔69內(nèi)插有第一插銷65，第一插銷65內(nèi)開有第二通孔612，第一插銷65穿過第一銷孔69、第一通孔68和凹槽611，第二銷孔610內(nèi)插有第二插銷66，第二插銷66穿過第二銷孔610和第二通孔612。

旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8包括有支撐桿81、圓形滑軌82、第三滑塊83、電機84和第二轉(zhuǎn)軸85，底板1頂部右側(cè)安裝有支撐桿81，底板1底部右側(cè)安裝有電機84，支撐桿81在電機84左右兩側(cè)，電機84頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸85，支撐桿81頂端連接有圓形滑軌82，圓形滑軌82上滑動式連接有第三滑塊83，第三滑塊83頂部連接有研磨框4，研磨框4底部中心與第二轉(zhuǎn)軸85頂端連接。

升降機構(gòu)7包括有安裝板71、第二滑軌72、第二滑塊73、第一軸承座74、第一轉(zhuǎn)軸75、第一錐齒輪76、搖桿77、第二軸承座78、第三軸承座79、絲桿710、第二錐齒輪711、螺母712和l型連桿713，頂板3底部中間設(shè)有安裝板71，安裝板71底部連接有第二滑軌72，第二滑軌72上滑動式連接有第二滑塊73，第二滑軌72右側(cè)上部安裝有第一軸承座74，第一軸承座74右側(cè)連接有第一轉(zhuǎn)軸75，第一轉(zhuǎn)軸75上連接有第一錐齒輪76，第一轉(zhuǎn)軸75右端連接有搖桿77，第二滑軌72右側(cè)上部設(shè)有第二軸承座78，第二軸承座78位于第一軸承座74下部，第二滑軌72右側(cè)下部設(shè)有第三軸承座79，第二軸承座78和第三軸承座79之間連接有絲桿710，絲桿710上連接有螺母712，螺母712與絲桿710配合，螺母712左側(cè)與第二滑塊73連接，螺母712右側(cè)連接有l(wèi)型連桿713，l型連桿713底端與研磨片5連接，絲桿710頂端連接有第二錐齒輪711，第二錐齒輪711與第一錐齒輪76嚙合。

研磨片5的材質(zhì)為氧化硅。

電機84為高速電機84。

工作原理：當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，將切好的晶圓放置于調(diào)節(jié)機構(gòu)6內(nèi)，再將調(diào)節(jié)機構(gòu)6固定于研磨框4內(nèi)，調(diào)節(jié)升降機構(gòu)7帶動研磨片5接觸晶圓，控制旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8帶動研磨框4和調(diào)節(jié)機構(gòu)6轉(zhuǎn)動，通過轉(zhuǎn)動對晶圓進行研磨，此過程操作簡單，能將不同的晶圓放置于不同的調(diào)節(jié)機構(gòu)6中，提高了研磨設(shè)備的研磨效率。

因為調(diào)節(jié)機構(gòu)6包括有第一滑塊61、研磨盤62、固定塊64、第一插銷65、第二插銷66和第一滑軌67，研磨框4內(nèi)底部開有第一滑軌67，第一滑軌67上滑動式連接有第一滑塊61，第一滑塊61連接有研磨盤62，研磨盤62頂部均勻開有放置槽63，研磨盤62左右兩側(cè)均開有凹槽611，研磨框4左右兩側(cè)均安裝有固定塊64，固定塊64水平開有第一銷孔69，固定塊64垂直開有第二銷孔610，研磨框4左右兩側(cè)底部均開有第一通孔68，第一銷孔69內(nèi)插有第一插銷65，第一插銷65內(nèi)開有第二通孔612，第一插銷65穿過第一銷孔69、第一通孔68和凹槽611，第二銷孔610內(nèi)插有第二插銷66，第二插銷66穿過第二銷孔610和第二通孔612，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，將晶圓放置于放置槽63內(nèi)，將第一插銷65通過第一銷孔69和第一通孔68插入凹槽611內(nèi)，再將第二插銷66插入第二銷孔610和第二通孔612，固定后開始研磨，再通過第一插銷65和第二插銷66進行固定，當(dāng)需要研磨的晶圓尺寸需要需要更改時，工人只需替換對應(yīng)尺寸的研磨盤62即可，簡單快捷。

因為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)8包括有支撐桿81、圓形滑軌82、第三滑塊83、電機84和第二轉(zhuǎn)軸85，底板1頂部右側(cè)安裝有支撐桿81，底板1底部右側(cè)安裝有電機84，支撐桿81在電機84左右兩側(cè)，電機84頂部連接有第二轉(zhuǎn)軸85，支撐桿81頂端連接有圓形滑軌82，圓形滑軌82上滑動式連接有第三滑塊83，第三滑塊83頂部連接有研磨框4，研磨框4底部中心與第二轉(zhuǎn)軸85頂端連接，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，工人控制電機84轉(zhuǎn)動，電機84帶動第二轉(zhuǎn)軸85轉(zhuǎn)動，第二轉(zhuǎn)軸85穿過圓形滑軌82帶動研磨框4轉(zhuǎn)動，因為晶圓與研磨片5接觸，從而對晶圓進行研磨，直至研磨的晶圓達標(biāo)后，工人控制電機84停止轉(zhuǎn)動。

因為升降機構(gòu)7包括有安裝板71、第二滑軌72、第二滑塊73、第一軸承座74、第一轉(zhuǎn)軸75、第一錐齒輪76、搖桿77、第二軸承座78、第三軸承座79、絲桿710、第二錐齒輪711、螺母712和l型連桿713，頂板3底部中間設(shè)有安裝板71，安裝板71底部連接有第二滑軌72，第二滑軌72上滑動式連接有第二滑塊73，第二滑軌72右側(cè)上部安裝有第一軸承座74，第一軸承座74右側(cè)連接有第一轉(zhuǎn)軸75，第一轉(zhuǎn)軸75上連接有第一錐齒輪76，第一轉(zhuǎn)軸75右端連接有搖桿77，第二滑軌72右側(cè)上部設(shè)有第二軸承座78，第二軸承座78位于第一軸承座74下部，第二滑軌72右側(cè)下部設(shè)有第三軸承座79，第二軸承座78和第三軸承座79之間連接有絲桿710，絲桿710上連接有螺母712，螺母712與絲桿710配合，螺母712左側(cè)與第二滑塊73連接，螺母712右側(cè)連接有l(wèi)型連桿713，l型連桿713底端與研磨片5連接，絲桿710頂端連接有第二錐齒輪711，第二錐齒輪711與第一錐齒輪76嚙合，當(dāng)電子產(chǎn)品制造的晶圓需要研磨時，順時針搖動搖桿77，搖桿77帶動第一轉(zhuǎn)軸75順時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸75帶動第一錐齒輪76順時針轉(zhuǎn)動，第一錐齒輪76帶動第二錐齒輪711逆時針轉(zhuǎn)動，第二錐齒輪711帶動絲桿710逆時針轉(zhuǎn)動，絲桿710帶動螺母712向下運動，螺母712帶動l型連桿713向下運動，l型連桿713帶動研磨片5向下運動直至接觸晶圓，當(dāng)研磨達標(biāo)時，逆時針搖動搖桿77，搖桿77帶動第一轉(zhuǎn)軸75逆時針轉(zhuǎn)動，第一轉(zhuǎn)軸75帶動第一錐齒輪76逆時針轉(zhuǎn)動，第一錐齒輪76帶動第二錐齒輪711順時針轉(zhuǎn)動，第二錐齒輪711帶動絲桿710順時針轉(zhuǎn)動，絲桿710帶動螺母712向上運動，螺母712帶動l型連桿713向上運動，l型連桿713帶動研磨片5向上運動遠離研磨框4。

因為研磨片5的材質(zhì)為氧化硅，氧化硅能夠更好的研磨晶圓。

因為電機84為高速電機84，高速電機84能夠提高研磨效率。

以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形、改進及替代，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。