本實(shí)用新型涉及晶體生產(chǎn)工裝夾具的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種濺射成膜夾具。

背景技術(shù)：

目前在生產(chǎn)車間的濺射成膜的產(chǎn)線大都使用366工位成膜夾具，如圖1所示為現(xiàn)有的366工位成膜夾具，其存在著以下方面的不足：

1.成膜工序使用366工位夾具生產(chǎn)的制品不能滿足后工序產(chǎn)能的需求，造成整條產(chǎn)線產(chǎn)能低及生產(chǎn)成本高；

2.成膜后銀片批次頻率FL值：-500~2000PPM良品率約為97%，其良品率不高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、產(chǎn)能高和成膜后銀片批次良品率高的濺射成膜夾具。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：本實(shí)用新型包括鍍膜夾具外框板，所述鍍膜夾具外框板上陣列有若干個(gè)矩形狀鍍膜夾具，所述鍍膜夾具上陣列有若干組鍍膜電極孔組，所述鍍膜夾具上設(shè)置有若干個(gè)磁鐵孔，所述磁鐵孔均勻排布于所述鍍膜電極孔組的四周。

進(jìn)一步的，所述鍍膜電極孔組均陣列有若干個(gè)鍍膜電極孔，所述鍍膜電極孔呈三行十三列排布于所述鍍膜夾具上，每組所述鍍膜電極孔組的兩個(gè)上下相鄰的所述鍍膜電極孔的中間位置的距離為3.85mm，每組所述鍍膜電極孔組的兩個(gè)左右相鄰的所述鍍膜電極孔的中間位置的距離為2.60mm。

進(jìn)一步的，所述鍍膜夾具的四端中間部分均設(shè)置有鍍膜夾具定位孔一，所述鍍膜夾具外框板設(shè)有與所述鍍膜夾具定位孔一相適配的所述鍍膜夾具定位孔二。

進(jìn)一步的，所述鍍膜夾具外框板的一端兩側(cè)各設(shè)置有一個(gè)外框定位孔一，所述鍍膜夾具外框板的兩側(cè)中間部分各設(shè)置有一個(gè)外框定位孔二。

進(jìn)一步的，所述鍍膜夾具外框板的外形為矩形，且所述鍍膜夾具外框板的四邊設(shè)有倒圓角。

進(jìn)一步的，所述鍍膜夾具長(zhǎng)為121.50mm，所述鍍膜夾具寬為79.19mm，所述鍍膜夾具的四邊設(shè)有倒圓角。

本實(shí)用新型的有益效果是：由于本實(shí)用新型包括鍍膜夾具外框板，所述鍍膜夾具外框板上陣列有若干個(gè)矩形狀鍍膜夾具，所述鍍膜夾具陣列有若干組鍍膜電極孔組，所述鍍膜夾具上設(shè)置有若干個(gè)磁鐵孔，所述磁鐵孔均勻排布于所述鍍膜電極孔組的四周,所以本實(shí)用新型利用矩形狀的所述鍍膜夾具，且此設(shè)計(jì)的所述鍍膜電極孔組的排布方式使本實(shí)用新型具有產(chǎn)能高和成膜后銀片批次良品率高的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是366工位成膜夾具的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的示意圖；

圖3是鍍膜夾具的示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1至圖3所示，在本實(shí)施例中，本實(shí)用新型包括矩形狀的鍍膜夾具外框板1，所述鍍膜夾具外框板1上陣列有四個(gè)矩形狀鍍膜夾具2，所述鍍膜夾具2上均陣列有八行兩列的鍍膜電極孔組3，所述鍍膜夾具2上設(shè)置有若干個(gè)磁鐵孔4，所述磁鐵孔4均勻排布于所述鍍膜電極孔組3的四周；所述鍍膜夾具外框板1的長(zhǎng)為342mm，且所述鍍膜夾具外框板1的四邊設(shè)有倒圓角，所述鍍膜夾具外框板1的寬為342mm，且所述鍍膜夾具2長(zhǎng)為121.50mm，所述鍍膜夾具2寬為79.19mm，且所述鍍膜夾具2的四邊設(shè)有倒圓角，相鄰的兩個(gè)所述鍍膜夾具之間的距離為1.5mm。

在本實(shí)施例中，所述鍍膜電極孔組3均陣列有三行十三列的鍍膜電極孔5，每組所述鍍膜電極孔組3的兩個(gè)上下相鄰的所述鍍膜電極孔5的中間位置的距離為3.85mm，每組所述鍍膜電極孔組3的兩個(gè)左右相鄰的所述鍍膜電極孔5的中間位置的距離為2.60mm。

在本實(shí)施例中，所述鍍膜夾具2的四端中間部分均設(shè)置有鍍膜夾具定位孔一6，所述鍍膜夾具2的上下兩端中間部分的兩個(gè)所述鍍膜夾具定位孔一6的圓心之間的距離為113.94mm，所述鍍膜夾具2的左右兩端中間部分的兩個(gè)所述鍍膜夾具定位孔一6的圓心之間的距離為73.20mm，所述鍍膜夾具外框板1設(shè)有與所述鍍膜夾具定位孔一6相適配的所述鍍膜夾具定位孔二；位于所述所述鍍膜夾具2的上下兩端中間部分的兩個(gè)所述鍍膜夾具定位孔一6處的所述鍍膜電極孔組3比其它所述鍍膜電極孔組3少一個(gè)所述鍍膜電極孔5，這是為了騰出空間給所述鍍膜夾具2的上下兩端中間部分的兩個(gè)所述鍍膜夾具定位孔一6，使所述鍍膜夾具2能定位于所述鍍膜夾具外框板1。

在本實(shí)施例中，所述鍍膜夾具外框板1的一端兩側(cè)各設(shè)置有一個(gè)外框定位孔一7，所述鍍膜夾具外框板1的兩側(cè)中間部分各設(shè)置有一個(gè)外框定位孔二8。

此設(shè)計(jì)利用所述濺射成膜夾具代替366工位夾具，此設(shè)計(jì)使濺射成膜的產(chǎn)線產(chǎn)能高，同時(shí)也降低了生產(chǎn)成本；也使成膜后銀片頻率良品率進(jìn)一步提升。

本實(shí)用新型應(yīng)用于晶體生產(chǎn)工裝夾具的技術(shù)領(lǐng)域。

雖然本實(shí)用新型的實(shí)施例是以實(shí)際方案來(lái)描述的，但是并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型含義的限制，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員，根據(jù)本說(shuō)明書(shū)對(duì)其實(shí)施方案的修改及與其他方案的組合都是顯而易見(jiàn)的。