1.一種在粉末表面均勻鍍膜的原子層沉積裝置，其特征在于：包括電機(jī)、旋轉(zhuǎn)多孔進(jìn)源器、反應(yīng)腔、加熱器、進(jìn)氣管路和抽氣管路，旋轉(zhuǎn)多孔進(jìn)源器為由空心軸和槳葉構(gòu)成，空心軸兩端為密封的，側(cè)壁上設(shè)有氣孔，槳葉螺旋固定在空心軸上，槳葉上設(shè)有與空心軸連通的微孔；旋轉(zhuǎn)多孔進(jìn)源器架設(shè)在反應(yīng)腔內(nèi)，上端與電機(jī)軸連接，進(jìn)氣管路與空心軸連通，抽氣管路與反應(yīng)腔連通；加熱器包覆反應(yīng)腔外壁上。
2.如權(quán)利要求1所述在粉末表面均勻鍍膜的原子層沉積裝置，其特征在于：槳葉為若干個(gè)，為多層螺旋設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述在粉末表面均勻鍍膜的原子層沉積裝置，其特征在于：槳葉為整體螺旋狀，使所述反應(yīng)腔中的粉末不斷上下交換。
4.如權(quán)利要求1所述在粉末表面均勻鍍膜的原子層沉積裝置，其特征在于：反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有過濾網(wǎng)，抽氣管路與過濾網(wǎng)上部空腔連通。
5.如權(quán)利要求1或4所述在粉末表面均勻鍍膜的原子層沉積裝置，其特征在于：抽氣管路上設(shè)有粉末收集器。
6.如權(quán)利要求1所述在粉末表面均勻鍍膜的原子層沉積裝置，其特征在于：槳葉材質(zhì)為多孔金屬、多孔陶瓷或多孔薄膜。