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自動化單晶硅片倒角裝置的制作方法

文檔序號:12222728閱讀:523來源:國知局

本發(fā)明涉及單晶硅技術領域,尤其涉及單晶硅制造技術領域,具體是指一種單晶硅片倒角裝置。



背景技術:

單晶硅片作為一種很好的導電材料,可以廣泛地應用在半導體、太陽能電池等技術領域。單晶硅片的加工工藝后期一般需要進行倒角、研磨、腐蝕、拋光和清洗等步驟,其中倒角指將切割成的晶片銳利邊修整成圓弧形,防止晶片邊緣破裂及晶格缺陷產生,因此是非常重要的一個工藝步驟。

然而現(xiàn)有技術中的單晶硅片倒角機,操作起來比較復雜,一次一般只能加工一個工件,需要頻繁地裝夾工件,加工效率很低;另外,加工過程中無法實現(xiàn)一個加工效果的觀測,加工前刀具定位的效果也不能令人滿意,導致單晶硅片的倒角處理往往不能達到期望的精度。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是克服了上述現(xiàn)有技術的缺點,提供了一種能夠實現(xiàn)根據拉力傳感器檢測到工位處有單晶硅的放置、從而自動驅動旋轉底座旋轉、可以一次加工多個產品、具有更廣泛應用范圍的自動化單晶硅片倒角裝置。

為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明具有如下構成:該自動化單晶硅片倒角裝置,其主要特點是,所述的裝置包括工作臺、旋轉底座、旋轉驅動電機和砂輪倒角組件,所述的工作臺上設置有數個工位,各個工位設置有一夾緊組件,所述的工作臺設置于所述的旋轉底座上方,所述的旋轉驅動電機與所述的旋轉底座相連接,各個所述的夾緊組件包括兩個夾緊桿和與夾緊桿一一對應的兩個彈簧,所述的彈簧一端連接至所對應的夾緊桿,所述的彈簧的另一端連接至所對應的夾緊桿的外側的工作臺上,且所述的彈簧的另一端設置有拉力傳感器,所述的拉力傳感器與所述的旋轉驅動電機相連接,所述的砂輪倒角組件相對于工作臺可前后移動。

較佳地,所述的夾緊桿的內側面設置有橡膠條。

較佳地,所述的工作臺上設置有四個工位。

較佳地,所述的砂輪倒角組件包括砂輪、砂輪驅動電機,所述的砂輪由所述的砂輪驅動電機驅動旋轉。

更佳地,所述的砂輪倒角組件還包括支架,所述的砂輪和砂輪驅動電機均設置于所述的支架上,且所述的支架相對于所述的工作臺可前后移動。

更進一步地,所述的工作臺和旋轉底座設置于一機架中,所述的砂輪倒角組件還包括一設置于所述的機架上的滑軌,所述的支架通過滾輪設置于所述的滑軌上,所述的支架由一移動驅動電機驅動在所述的滑軌上移動。

較佳地,各個所述的夾緊組件的底部設置有一重力傳感器,所述的重力傳感器連接至所述的旋轉驅動電機。

更佳地,所述的工作臺和旋轉底座設置于一機架中,所述的機架上設置有報警器,所述的報警器同時與所述的重力傳感器和拉力傳感器相連接。

較佳地,所述的工作臺和旋轉底座設置于一機架中,所述的機架上還設置有啟動按鈕,所述的啟動按鈕與所述的旋轉驅動電機相連接。

采用了該發(fā)明中的自動化單晶硅片倒角裝置,具有如下有益效果:(1)通過設置旋轉底座、工作臺以及上面的多個工位,一次上件可以設置多個單晶硅片,從而實現(xiàn)一次裝件對多個工件進行加工,減少了工作人員的操作步驟;(2)在上件的過程中,通過拉力傳感器檢測是否有單晶硅上件,檢測到之后,將自動驅動旋轉底座的驅動電機進行旋轉,將沒有上件的工位旋轉至工作人員的面前,操作更加方便;(3)增加重力傳感器和拉力傳感器雙重檢測,在同一工位的兩個傳感器檢測結果不一致時,例如拉力傳感器檢測到有拉力,而重力傳感器沒有檢測到重力時,將發(fā)出報警,提醒設備故障;(4)整體結構簡單,應用方便,具有更廣泛的應用范圍。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的自動化單晶硅片倒角裝置的工作臺的結構示意圖。

附圖標記:1 夾緊組件,2 工作臺,3 旋轉驅動電機。

具體實施方式

為了能夠更清楚地描述本發(fā)明的技術內容,下面結合具體實施例來進行進一步的描述。

該自動化單晶硅片倒角裝置,其主要特點是,所述的裝置包括工作臺2、旋轉底座、旋轉驅動電機3和砂輪倒角組件,所述的工作臺2上設置有數個工位,各個工位設置有一夾緊組件1,所述的工作臺2設置于所述的旋轉底座上方,所述的旋轉驅動電機3與所述的旋轉底座相連接,各個所述的夾緊組件1包括兩個夾緊桿和與夾緊桿一一對應的兩個彈簧,所述的彈簧一端連接至所對應的夾緊桿,所述的彈簧的另一端連接至所對應的夾緊桿的外側的工作臺2上,且所述的彈簧的另一端設置有拉力傳感器,所述的拉力傳感器與所述的旋轉驅動電機3相連接,所述的砂輪倒角組件相對于工作臺2可前后移動。

在一種較佳的實施方式中,所述的夾緊桿的內側面設置有橡膠條。

在一種較佳的實施方式中,所述的工作臺2上設置有四個工位。旋轉驅動電機每次旋轉設置為固定的90°即可。

在一種較佳的實施方式中,所述的砂輪倒角組件包括砂輪、砂輪驅動電機,所述的砂輪由所述的砂輪驅動電機驅動旋轉。

在一種更佳的實施方式中,所述的砂輪倒角組件還包括支架,所述的砂輪和砂輪驅動電機均設置于所述的支架上,且所述的支架相對于所述的工作臺2可前后移動。

在一種更進一步的實施方式中,所述的工作臺2和旋轉底座設置于一機架中,所述的砂輪倒角組件還包括一設置于所述的機架上的滑軌,所述的支架通過滾輪設置于所述的滑軌上,所述的支架由一移動驅動電機驅動在所述的滑軌上移動。

在一種較佳的實施方式中,各個所述的夾緊組件1的底部設置有一重力傳感器,所述的重力傳感器連接至所述的驅動電機3。

在一種更佳的實施方式中,所述的工作臺2和旋轉底座設置于一機架中,所述的機架上設置有報警器,所述的報警器同時與所述的重力傳感器和拉力傳感器相連接。

在一種較佳的實施方式中,所述的工作臺2和旋轉底座設置于一機架中,所述的機架上還設置有啟動按鈕,所述的啟動按鈕與所述的旋轉驅動電機3相連接。因此,也可以由工作人員直接手動操作,手動控制驅動電機的旋轉,防止在傳感器出現(xiàn)故障時設備無法正常使用。

本發(fā)明的自動化單晶硅片倒角裝置的技術方案中,其中所包括的各個功能設備和模塊裝置均能夠對應于實際的具體硬件電路結構,因此這些模塊和單元僅利用硬件電路結構就可以實現(xiàn),不需要輔助以特定的控制軟件即可以自動實現(xiàn)相應功能。

采用了該發(fā)明中的自動化單晶硅片倒角裝置,具有如下有益效果:(1)通過設置旋轉底座、工作臺以及上面的多個工位,一次上件可以設置多個單晶硅片,從而實現(xiàn)一次裝件對多個工件進行加工,減少了工作人員的操作步驟;(2)在上件的過程中,通過拉力傳感器檢測是否有單晶硅上件,檢測到之后,將自動驅動旋轉底座的驅動電機進行旋轉,將沒有上件的工位旋轉至工作人員的面前,操作更加方便;(3)增加重力傳感器和拉力傳感器雙重檢測,在同一工位的兩個傳感器檢測結果不一致時,例如拉力傳感器檢測到有拉力,而重力傳感器沒有檢測到重力時,將發(fā)出報警,提醒設備故障;(4)整體結構簡單,應用方便,具有更廣泛的應用范圍。

在此說明書中,本發(fā)明已參照其特定的實施例作了描述。但是,很顯然仍可以作出各種修改和變換而不背離本發(fā)明的精神和范圍。因此,說明書和附圖應被認為是說明性的而非限制性的。

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