一種真空鍍膜的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種真空鍍膜機(jī)，包括基材、控制系統(tǒng)、真空鍍膜室、真空取件室和真空裝件室，所述的真空鍍膜室分別通過閥門與真空取件室和真空裝件室連接，所述的真空鍍膜室內(nèi)設(shè)有基材、工件車、蒸發(fā)裝置和循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在工件車上，基材沿循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)布置，對(duì)應(yīng)基材的一面或雙面設(shè)置有蒸發(fā)裝置，真空鍍膜室上還設(shè)有充氣閥和若干閥門，閥門上連接有真空泵。本實(shí)用新型真空鍍膜機(jī)具有設(shè)備通用性強(qiáng)、生產(chǎn)效率高和占地面積小的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】一種真空鍍膜機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鍍膜，具體是指一種真空鍍膜機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的鍍膜機(jī)按照結(jié)構(gòu)大體分為箱式真空鍍膜機(jī)、卷繞式鍍膜機(jī)和在線式自動(dòng)鍍膜機(jī)，箱式真空鍍膜機(jī)包括基本型和三室箱式或雙開門鍍膜機(jī)，基本型箱式真空鍍膜機(jī)包括球面扇形零件夾具(也稱傘架)，操作時(shí)需要將零件先裝在鍍膜傘架上的孔洞中，工作過程為:裝件一抽氣一鍍膜一放氣一取件，在零件需要正反兩面鍍膜時(shí)，需要鍍完一面后將零件取出，翻轉(zhuǎn)后再鍍另外一面，有的在傘架上設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)完成雙面鍍膜，然而其結(jié)構(gòu)使得工轉(zhuǎn)架的傳動(dòng)非常復(fù)雜，而且重量大，同時(shí)，該結(jié)構(gòu)不能夠加工柔性基材，當(dāng)然，為了提高加工質(zhì)量，也有采用行星夾具，然其仍然不具備加工柔性基材的條件；
[0003]三室箱或雙開門鍍膜機(jī)采用設(shè)置多個(gè)真空室以節(jié)省建立真空環(huán)境的抽氣時(shí)間，或采用兩套裝夾部件以節(jié)省裝件時(shí)間，然而三室箱鍍膜機(jī)的設(shè)備傘架傳送機(jī)構(gòu)復(fù)雜，中間的真空閥門結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴，雙開門鍍膜機(jī)一般只采用電阻蒸發(fā)，可以加工的鍍膜材料偏少，鍍制多層膜困難，而且，此兩種方式在零件需要正反兩面鍍膜時(shí)，同樣需要鍍完一面后將零件取出，翻轉(zhuǎn)后再裝夾一次進(jìn)行鍍另外一面，同樣需要重復(fù)加工一次。
[0004]卷繞式鍍膜機(jī)設(shè)有放卷輥、收卷輥及多個(gè)導(dǎo)向輥，主要是面向柔性的塑料薄膜或紙張基材，因?yàn)檎舭l(fā)源有較強(qiáng)熱輻射，為防止基材受高溫后變形，鍍膜輥內(nèi)設(shè)有冷卻裝置，然而，該種技術(shù)方案由于需要高速的轉(zhuǎn)動(dòng)，必須有結(jié)構(gòu)復(fù)雜的糾偏裝置及精密的密封結(jié)構(gòu)，而且該種鍍膜機(jī)不具備鍍單個(gè)零件的條件。
[0005]在線式自動(dòng)鍍膜機(jī)分成幾個(gè)大的艙段，呈線狀布局，中間設(shè)置有多個(gè)真空室和閥門，從其一端裝進(jìn)零件，從其另一端卸載零件，鍍單個(gè)零件產(chǎn)能高，然而當(dāng)鍍制柔性基材時(shí)，改裝困難，且設(shè)備占地面積大，真空室容積大，真空環(huán)境建立效率低，另外，該種鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，占地面積大，能源消耗(如電力、冷卻水等)大，而且控制復(fù)雜，當(dāng)設(shè)備中間任一部位出現(xiàn)問題時(shí)，整條生產(chǎn)線都受影響。
[0006]綜上述，上述幾種方式鍍膜機(jī)都針對(duì)特定加工的零件，比如加工單個(gè)零件的不能加工成卷的柔性基材，加工成卷的柔性基材的不能加工單個(gè)零件，可以看到，光學(xué)零件鍍膜設(shè)備和柔性基材鍍膜設(shè)備，其設(shè)備通用性不強(qiáng)，尤其當(dāng)零件同時(shí)雙面鍍膜或鍍多層膜時(shí)，力口工效率低，另外，在線式鍍膜機(jī)占地面積大和能源消耗大。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本實(shí)用新型的目的是提供一種設(shè)備通用性強(qiáng)、生產(chǎn)效率高和占地面積小的真空鍍膜機(jī)。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)出一種真空鍍膜機(jī)，包括基材、控制系統(tǒng)、真空鍍膜室、真空取件室和真空裝件室，所述的真空鍍膜室分別通過閥門與真空取件室和真空裝件室連接，所述的真空鍍膜室內(nèi)設(shè)有基材、工件車、蒸發(fā)裝置和循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在工件車上，基材沿循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)布置，對(duì)應(yīng)基材的一面或雙面設(shè)置有蒸發(fā)裝置，真空鍍膜室上還設(shè)有充氣閥和若干閥門，閥門上連接有真空泵。
[0009]所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)呈傾斜角的正方形狀布局或矩形狀布局。
[0010]所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩處動(dòng)力輪組，每處動(dòng)力輪組均由兩個(gè)動(dòng)力輪組成，該種技術(shù)方案蒸發(fā)源和零件傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在同一基礎(chǔ)上布置，而且有兩套，可以同時(shí)加裝鍍膜材料和零件，同時(shí)加工零件的正反兩面，加工效率高。
[0011]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)從每處動(dòng)力輪組的中間分開，形成兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的小循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該種技術(shù)方案將循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)分成左右對(duì)稱的兩個(gè)部分，加工面積大，可以提高加工效率，同時(shí)，也可以根據(jù)是否需要加工雙面，靈活布置蒸發(fā)源。
[0012]所述的工件車、蒸發(fā)裝置和基材均為兩套，兩套交替工作，或者當(dāng)其中一套出現(xiàn)故障時(shí)，可以立刻換上另一套工件車，一邊繼續(xù)生產(chǎn)一邊維修出現(xiàn)故障工件車，生產(chǎn)不中斷，生產(chǎn)效率高。
[0013]作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述的蒸發(fā)裝置為若干個(gè)蒸發(fā)源，蒸發(fā)源與基材傳動(dòng)方向垂直并呈線狀陣列排布。
[0014]所述的蒸發(fā)源處設(shè)有蒸發(fā)擋板，蒸發(fā)擋板與控制系統(tǒng)連接，通過控制擋板的開啟時(shí)機(jī)，打開的角度，控制所鍍膜層的先后順序和輔助控制鍍層厚度。
[0015]所述的真空取件室、真空裝件室內(nèi)均設(shè)有零件抓取機(jī)構(gòu)和若干個(gè)零件托架；或者設(shè)有放卷棍、收卷棍和零件抓取機(jī)構(gòu)，所述的零件托架、放卷棍和收卷棍與真空取件室和真空裝件室均可拆卸連接，所述的零件托架、放卷輥和收卷輥通過采用相同的安裝面、相同的定位基準(zhǔn)、安裝孔等與真空取件室和真空裝件室可拆卸，通過拆除或鎖緊螺栓，整體吊裝，可以進(jìn)行零件托架和放卷輥、收卷輥之間的更換，從而方便的實(shí)現(xiàn)了加工單個(gè)零件和柔性基材之間的轉(zhuǎn)變，所述的柔性基材可以是紙張、塑料薄膜、金屬箔(薄板)、布匹等。
[0016]所述的真空取件室、真空裝件室上均設(shè)有充氣閥和至少一個(gè)閥門，閥門上連接有真空泵。
[0017]所述的蒸發(fā)源為電子束蒸發(fā)源、電阻蒸發(fā)源、濺射蒸發(fā)源或中頻蒸發(fā)源等。
[0018]上述循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)可以采用傳動(dòng)鏈傳動(dòng)，也可以采用同步帶聯(lián)動(dòng)傳動(dòng)或其它傳動(dòng)方式。
[0019]本實(shí)用新型真空鍍膜機(jī)的有益效果:本實(shí)用新型真空鍍膜機(jī)采用循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)使在線式鍍膜機(jī)的首尾相連，設(shè)置兩套同時(shí)含有蒸發(fā)裝置和加工對(duì)象的工件車，在加工單個(gè)零件時(shí)另外配可以方便移動(dòng)和可拆卸的裝件室、取件室，而且裝件室和取件室也可以快速裝卸放卷輥和收卷輥，使其方便的變化為加工柔性基材的設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了加工單個(gè)零件和柔性基材之間的轉(zhuǎn)變，因此，該種技術(shù)方案通用性強(qiáng)，實(shí)現(xiàn)一次加工雙面鍍膜或多層鍍膜，生產(chǎn)效率高，同時(shí)設(shè)備采用空間立體布局，向上發(fā)展，節(jié)省場(chǎng)地，占地面積小。
[0020]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0021]圖1是本實(shí)用新型真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2是圖1中循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)呈傾斜45角的正方形狀布局的真空鍍膜機(jī)的平面示意圖；
[0023]圖3是圖2中循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的平面示意圖；[0024]圖4是圖3分成兩個(gè)小循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的平面示意圖；
[0025]圖5是圖1中循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)呈矩形狀布局的真空鍍膜機(jī)的平面示意圖；
[0026]圖6是圖5中循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的平面示意圖；
[0027]圖7是圖6分成兩個(gè)小循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的平面示意圖；
[0028]圖8是圖1加工單個(gè)零件時(shí)零件托架與循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的關(guān)系圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解，下面將結(jié)合具體實(shí)施例及附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0030]實(shí)施例1
[0031]如圖1、圖2、圖3、圖8所示，一種真空鍍膜機(jī)，包括基材、控制系統(tǒng)、真空鍍膜室2、真空取件室3和真空裝件室4，所述的真空鍍膜室2分別通過閥門與真空取件室3和真空裝件室4連接，所述的真空鍍膜室2內(nèi)設(shè)有基材、工件車1、蒸發(fā)裝置5和循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)
6,循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6安裝在工件車I上，基材沿循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6布置,對(duì)應(yīng)基材的一面或雙面設(shè)置有蒸發(fā)裝置5，真空鍍膜室2上還設(shè)有充氣閥和若干閥門，閥門上連接有真空泵，所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6呈傾斜45角的正方形狀布局，所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6包括兩處動(dòng)力輪組9，每處動(dòng)力輪組9均由兩個(gè)動(dòng)力輪10組成,該種技術(shù)方案蒸發(fā)源和零件傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在同一基礎(chǔ)上布置，而且有兩套，可以同時(shí)加裝鍍膜材料和零件，同時(shí)加工零件的正反兩面，加工效率高。
[0032]如圖1至圖4所示，所述的工件車1、蒸發(fā)裝置5和基材均為兩套，兩套交替工作工，或者當(dāng)其中一套出現(xiàn)故障時(shí)，可以立刻換上另一套工件車，一邊繼續(xù)生產(chǎn)一邊維修出現(xiàn)故障工件車，生產(chǎn)不中斷，生產(chǎn)效率高，所述的蒸發(fā)裝置5為若干個(gè)蒸發(fā)源，蒸發(fā)源與基材傳動(dòng)方向垂直并呈線狀陣列排布，所述的蒸發(fā)源處設(shè)有蒸發(fā)擋板，蒸發(fā)擋板與控制系統(tǒng)連接，通過控制擋板的開啟時(shí)機(jī)，打開的角度，控制所鍍膜層的先后順序和輔助控制鍍層厚度。
[0033]如圖2所示，所述的真空取件室3、真空裝件室4內(nèi)均設(shè)有零件抓取機(jī)構(gòu)8和若干個(gè)零件托架7 ;或者設(shè)有放卷輥、收卷輥和零件抓取機(jī)構(gòu)8，所述的零件托架7、放卷輥和收卷輥與真空取件室3和真空裝件室4均可拆卸連接，通過采用相同的安裝面、相同的定位基準(zhǔn)、安裝孔等，拆除或鎖緊螺栓，整體吊裝，進(jìn)行零件托架7和放卷輥、收卷輥之間的更換，從而方便的實(shí)現(xiàn)了加工單個(gè)零件和柔性基材之間的轉(zhuǎn)變。
[0034]如圖2所示，所述的真空取件室3、真空裝件室4上均設(shè)有充氣閥和至少一個(gè)閥門，閥門上連接有真空泵。
[0035]如圖1至圖4所示，所述的蒸發(fā)源為電子束蒸發(fā)源，也可以根據(jù)需要采用電阻蒸發(fā)源、濺射蒸發(fā)源或中頻蒸發(fā)源等。
[0036]實(shí)施例2
[0037]如圖1、圖5、圖6、圖8所不,本實(shí)施例同實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)和原理基本相同，不一樣的地方在于:所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6呈矩形狀布局，所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6包括兩處動(dòng)力輪組9，每處動(dòng)力輪組9均由兩個(gè)動(dòng)力輪10組成，該種技術(shù)方案蒸發(fā)源和零件傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在同一基礎(chǔ)上布置，而且有兩套，可以同時(shí)加裝鍍膜材料和零件，同時(shí)加工零件的正反兩面，加工效率高。
[0038]如圖4、圖7所示，根據(jù)鍍膜材料的使用情況不同，當(dāng)需要加工柔性基材時(shí)，為了提高加工效率，除上述方案外，還可以將所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6從每處動(dòng)力輪組9的中間分開，形成兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的小循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)11，將循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)分成左右對(duì)稱的兩個(gè)部分，加工面積大，可以提高加工效率，同時(shí)，也可以根據(jù)是否需要加工雙面，靈活布置蒸發(fā)源。
[0039]上述循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)可以采用傳動(dòng)鏈傳動(dòng)，也可以采用同步帶聯(lián)動(dòng)傳動(dòng)或其它傳動(dòng)方式。
[0040]如圖1至圖8所示，本實(shí)用新型真空鍍膜機(jī)的工作原理:加工單個(gè)零件時(shí)，將真空取件室3和真空裝件室4分別通過閥門與真空鍍膜室2連接，然后根據(jù)零件尺寸及生產(chǎn)需求，將待加工的圓形零件12和/或長(zhǎng)方形零件13放置在設(shè)有相應(yīng)開口的板狀零件托架7上，打開相應(yīng)的閥門，通過零件抓取機(jī)構(gòu)8將零件送入已經(jīng)進(jìn)入真空鍍膜室2的工件車I上的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6上，旋轉(zhuǎn)一周后，鍍膜結(jié)束，再經(jīng)真空取件室4內(nèi)的零件抓取機(jī)構(gòu)8將零件送入真空取件室4，依次循環(huán)，直至完成所有零件的鍍膜工作。加工柔性基材時(shí)，有兩種裝夾傳動(dòng)方式:1、分別把真空取件室3和真空裝件室4中的零件托架7卸掉，換成放卷輥和收卷輥，然后將柔性基材從真空裝件室4的放卷輥引至已經(jīng)進(jìn)入真空鍍膜室2內(nèi)的工件車循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6后，再引至收卷輥；2、將真空取件室3和真空裝件室4移開或關(guān)閉相應(yīng)的閥門，將柔性基材首尾相接，直接固定在已經(jīng)移入真空鍍膜室2的工件車循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6上，通過上述兩種方式都可以實(shí)現(xiàn)柔性基材的鍍膜加工。
[0041]綜上述，本實(shí)用新型真空鍍膜機(jī)采用循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)變單個(gè)零件和柔性基材的加工，工件車上柔性基材傳動(dòng)布局和蒸發(fā)源的排布，尤其是傾斜45度的正方形狀布局，可以同時(shí)加工基材的正反兩面，該種技術(shù)方案通用性強(qiáng)，實(shí)現(xiàn)一次加工雙面鍍膜或多層鍍膜，生產(chǎn)效率高，同時(shí)設(shè)備采用空間立體布局，向上發(fā)展，節(jié)省場(chǎng)地，占地面積小。
[0042]以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制；凡本行業(yè)的普通技術(shù)人員均可按說明書附圖所示和以上所述而順暢地實(shí)施本實(shí)用新型；但是，凡熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，可利用以上所揭示的技術(shù)內(nèi)容而作出的些許更動(dòng)、修飾與演變的等同變化，均為本實(shí)用新型的等效實(shí)施例；同時(shí)，凡依據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)技術(shù)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何等同變化的更動(dòng)、修飾與演變等，均仍屬于本實(shí)用新型的技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空鍍膜機(jī)，包括基材、控制系統(tǒng)、真空鍍膜室(2)、真空取件室(3)和真空裝件室(4 )，所述的真空鍍膜室(2 )分別通過閥門與真空取件室(3 )和真空裝件室(4 )連接，其特征在于:所述的真空鍍膜室(2 )內(nèi)設(shè)有基材、工件車(I)、蒸發(fā)裝置(5 )和循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)，循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)安裝在工件車(I)上，基材沿循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)布置，對(duì)應(yīng)基材的一面或雙面設(shè)置有蒸發(fā)裝置(5 )，真空鍍膜室(2 )上還設(shè)有充氣閥和若干閥門，閥門上連接有真空泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)呈傾斜45角的正方形狀布局或矩形狀布局。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)包括兩處動(dòng)力輪組(9)，每處動(dòng)力輪組(9)均由兩個(gè)動(dòng)力輪(10)組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)從每處動(dòng)力輪組(9)的中間分開，形成兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的小循環(huán)輪轉(zhuǎn)式傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(11)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的工件車(I)、蒸發(fā)裝置(5)和基材均為兩套。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的蒸發(fā)裝置(5)為若干個(gè)蒸發(fā)源，蒸發(fā)源與基材傳動(dòng)方向垂直并呈線狀陣列排布。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的蒸發(fā)源處設(shè)有蒸發(fā)擋板，蒸發(fā)擋板與控制系統(tǒng)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的真空取件室(3)、真空裝件室(4)內(nèi)均設(shè)有零件抓取機(jī)構(gòu)(8)和若干個(gè)零件托架(7);或者設(shè)有放卷輥、收卷輥和零件抓取機(jī)構(gòu)(8)，所述的零件托架(7)、放卷輥和收卷輥與真空取件室(3)和真空裝件室(4)均可拆卸連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的真空取件室(3)、真空裝件室(4)上均設(shè)有充氣閥和至少一個(gè)閥門，閥門上連接有真空泵。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于:所述的蒸發(fā)源為電子束蒸發(fā)源、電阻蒸發(fā)源、濺射蒸發(fā)源或中頻蒸發(fā)源。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK203569180SQ201320785741
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2013年12月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月4日
【發(fā)明者】王普 申請(qǐng)人:王普