專利名稱：傳感器觸發(fā)傳動裝置和機械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及傳感器觸發(fā)裝置領(lǐng)域，更具體地，涉及一種傳感器觸發(fā)傳動裝置和機械手。
背景技術(shù)：
在生產(chǎn)太陽能電池的過程中，需要經(jīng)過等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)的工序。等離子體增強化學(xué)氣相沉積是將氨氣與硅烷在低壓高頻等離子狀態(tài)下附著到硅片的表面。現(xiàn)有技術(shù)中的等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備有兩種，一種是鏈?zhǔn)降入x子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備，另一種是管式等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備。現(xiàn)有技術(shù)中的管式等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備內(nèi)具有一套機械手。機械手用于將石墨載具運送進入爐管或從爐管內(nèi)取出。機械手包括兩個機械臂和兩個機械手指，兩個機械手指分別安裝在兩個機械臂的前端。為了提高機械手的使用可靠性、安全性和準(zhǔn)確性，在機械手指上設(shè)置有傳感器觸發(fā)傳動裝置和限位傳感器(例如:按壓式限位傳感器)，在取放石墨載具的過程中均由限位傳感器確認指令執(zhí)行是否到位。由于傳感器觸發(fā)傳動裝置長時間使用后會發(fā)生變形，因而使得傳感器觸發(fā)傳動裝置無法與限位傳感器接觸到位，從而使系統(tǒng)持續(xù)報警。現(xiàn)有技術(shù)中的傳感器觸發(fā)傳動裝置在變形或磨損后，采用安裝石英玻璃的方法將翹板墊高，從而使傳感器觸發(fā)傳動裝置與限位傳感器接觸到位?；蛘撸趥鞲衅饔|發(fā)傳動裝置上接觸限位傳感器的一端纏裹耐高溫的膠帶，從而使傳感器觸發(fā)傳動裝置與限位傳感器接觸到位。然而上述維修手段只能暫時延長傳感器觸發(fā)傳動裝置的使用壽命，不僅更加容易磨損限位傳感器，而且使機械手運行不穩(wěn)定，同時增加了設(shè)備運行的風(fēng)險、存在安全隱患。由于現(xiàn)有技術(shù)中的傳感器觸發(fā)傳動裝置具有維修復(fù)雜、更換復(fù)雜的問題，因而降低了機械手的使用可靠性、嚴重影響設(shè)備正常運行、設(shè)備運行存在安全隱患。

實用新型內(nèi)容本實用新型旨在提供一種傳感器觸發(fā)傳動裝置和機械手，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的傳感器觸發(fā)傳動裝置維修復(fù)雜、機械手使用可靠性低的問題。為解決上述技術(shù)問題，根據(jù)本實用新型的一個方面，提供了一種傳感器觸發(fā)傳動裝置，包括:第一傳動臂，第一傳動臂包括按壓觸發(fā)端和第一連接端；第二傳動臂，第二傳動臂包括樞轉(zhuǎn)連接部、承壓端和第二連接端，第一傳動臂的第一連接端與第二傳動臂的第二連接端鉸接，第一傳動臂與第二傳動臂之間具有夾角。進一步地，傳感器觸發(fā)傳動裝置還包括用于調(diào)節(jié)夾角的位置調(diào)節(jié)元件，位置調(diào)節(jié)元件分別與第一傳動臂和第二傳動臂活動連接。進一步地，位置調(diào)節(jié)元件包括調(diào)節(jié)連桿，第一傳動臂包括第一滑槽，調(diào)節(jié)連桿的第一端滑動設(shè)置在第一滑槽內(nèi)，調(diào)節(jié)連桿的第二端與第二傳動臂鉸接。進一步地，位置調(diào)節(jié)元件包括調(diào)節(jié)連桿，第一傳動臂包括第一滑槽，第二傳動臂包括第二滑槽，第二滑槽設(shè)置在第二傳動臂的第二連接端與樞轉(zhuǎn)連接部之間，調(diào)節(jié)連桿的兩端分別滑動設(shè)置在第一滑槽和第二滑槽內(nèi)。進一步地，按壓觸發(fā)端的表面為光滑曲面。 進一步地，按壓觸發(fā)端為球形。進一步地，傳感器觸發(fā)傳動裝置還包括承壓板，承壓板與第二傳動臂的承壓端連接。進一步地，傳感器觸發(fā)傳動裝置為鋼材料制成。根據(jù)本實用新型的另一個方面，提供了一種機械手，包括機械臂、機械手指、限位傳感器和傳感器觸發(fā)傳動裝置，機械手指設(shè)置在機械臂的前端，限位傳感器安裝在機械手指上，傳感器觸發(fā)傳動裝置是上述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，傳感器觸發(fā)傳動裝置的第二傳動臂的樞轉(zhuǎn)連接部設(shè)置在機械手指上，傳感器觸發(fā)傳動裝置的第一傳動臂的按壓觸發(fā)端與限位傳感器對應(yīng)地設(shè)置。進一步地，限位傳感器是按壓式限位傳感器。本實用新型中的第一傳動臂的第一連接端與第二傳動臂的第二連接端鉸接。使用本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置時，第二傳動臂的承壓端承受被抓取物的壓力，壓力經(jīng)由第二傳動臂傳給第一傳動臂，從而使第一傳動臂的按壓觸發(fā)端觸發(fā)限位傳感器。使用一段時間后，當(dāng)?shù)谝粋鲃颖鄣陌磯河|發(fā)端與限位傳感器接觸不到位時，工作人員可以通過改變第一傳動臂與第二傳動臂之間的夾角，從而保證傳感器觸發(fā)傳動裝置可與限位傳感器接觸到位，進而提高了機械手的使用可靠性。由于通過改變第一傳動臂與第二傳動臂之間的夾角就可以完成傳感器觸發(fā)傳動裝置的維修任務(wù)，因而傳感器觸發(fā)傳動裝置具有維修簡便的特點。同時，本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置具有結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低的特點。

構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:圖1示意性示出了本實用新型中的機械手的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖2示意性示出了本實用新型中的一個優(yōu)選實施例的傳感器觸發(fā)傳動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進行詳細說明，但是本實用新型可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。作為本實用新型的第一個方面，提供了一種傳感器觸發(fā)傳動裝置。如圖1和圖2所示，傳感器觸發(fā)傳動裝置包括:第一傳動臂10，第一傳動臂10包括按壓觸發(fā)端和第一連接端；第二傳動臂20，第二傳動臂20包括樞轉(zhuǎn)連接部21、承壓端和第二連接端，第一傳動臂10的第一連接端與第二傳動臂20的第二連接端鉸接，第一傳動臂10與第二傳動臂20之間具有夾角。使用本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置時，第二傳動臂20的承壓端承受被抓取物(例如石墨載具)的壓力，壓力經(jīng)由第二傳動臂20傳給第一傳動臂10，從而使第一傳動臂10的按壓觸發(fā)端觸發(fā)限位傳感器(例如按壓式限位傳感器)。使用一段時間后，當(dāng)?shù)谝粋鲃颖?0的按壓觸發(fā)端與限位傳感器接觸不到位(按壓觸發(fā)端與限位傳感器位置發(fā)生偏差)時，工作人員可以通過改變第一傳動臂10與第二傳動臂20之間的夾角，從而保證傳感器觸發(fā)傳動裝置可與限位傳感器接觸到位，進而提高了機械手的使用可靠性。由于通過改變第一傳動臂10與第二傳動臂20之間的夾角就可以完成傳感器觸發(fā)傳動裝置的維修任務(wù)，因而傳感器觸發(fā)傳動裝置具有維修簡便的特點。同時，本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置具有結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低的特點。在一未圖示的實施例中，第一傳動臂10的第一連接端與第二傳動臂20的第二連接端通過螺栓與螺母的配合連接。使用傳感器觸發(fā)傳動裝置時，第一傳動臂10與第二傳動臂20之間的夾角大小不變。當(dāng)工作人員發(fā)現(xiàn)傳感器觸發(fā)傳動裝置與限位傳感器接觸不到位時，需要對傳感器觸發(fā)傳動裝置進行維修，此時，工作人員通過調(diào)節(jié)第一傳動臂10與第二傳動臂20之間的夾角，而后再將第一傳動臂10與第二傳動臂20固定緊，就可以使傳感器觸發(fā)傳動裝置與限位傳感器接觸到位，從而使傳感器觸發(fā)傳動裝置具有維修方便的特點，并且延長了傳感器觸發(fā)傳動裝置的使用壽命。優(yōu)選地，本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置還包括用于調(diào)節(jié)夾角的位置調(diào)節(jié)元件30，位置調(diào)節(jié)元件30分別與第一傳動臂10和第二傳動臂20活動連接(請參考圖2)。由于設(shè)置有位置調(diào)節(jié)元件30，且位置調(diào)節(jié)元件30分別與第一傳動臂10和第二傳動臂20活動連接，因而當(dāng)調(diào)節(jié)上述的夾角的大小時，位置調(diào)節(jié)元件30相對于第一傳動臂10和第二傳動臂20的位置改變，且位置調(diào)節(jié)元件30加強了傳感器觸發(fā)傳動裝置的結(jié)構(gòu)強度。在一未圖示的實施例中，位置調(diào)節(jié)元件30包括調(diào)節(jié)連桿31，第一傳動臂10包括第一滑槽11，調(diào)節(jié)連桿31的第一端滑動設(shè)置在第一滑槽11內(nèi)，調(diào)節(jié)連桿31的第二端與第二傳動臂20鉸接。當(dāng)調(diào)節(jié)第一傳動臂10與第二傳動臂20之間夾角的大小時，調(diào)節(jié)連桿31的第一端會在第一滑槽11內(nèi)滑動，從而不僅保證上述夾角的大小可改變，而且傳感器觸發(fā)傳動裝置具有夾角變形量大、維修方便的特點。在一優(yōu)選的實施例中，如圖2所示，位置調(diào)節(jié)元件30包括調(diào)節(jié)連桿31，第一傳動臂10包括第一滑槽11，第二傳動臂20包括第二滑槽22，第二滑槽22設(shè)置在第二傳動臂20的第二連接端與樞轉(zhuǎn)連接部21之間，調(diào)節(jié)連桿31的兩端分別滑動設(shè)置在第一滑槽11和第二滑槽22內(nèi)。優(yōu)選地，第一傳動臂10與第二傳動臂20通過螺絲連接。由于調(diào)節(jié)連桿31的兩端分別滑動設(shè)置在第一滑槽11和第二滑槽22內(nèi)，因而使得第一傳動臂10與第二傳動臂20之間夾角具有更大地調(diào)節(jié)范圍，從而擴大了傳感器觸發(fā)傳動裝置的使用范圍。優(yōu)選地，調(diào)節(jié)連桿31的兩端通過螺栓滑動設(shè)置在第一滑槽11和第二滑槽22內(nèi)。優(yōu)選地，第一滑槽11和/或第二滑槽22為腰形。本實用新型中的按壓觸發(fā)端的表面為光滑曲面(請參考圖2)。由于按壓觸發(fā)端的表面為光滑曲面，因而按壓觸發(fā)端與限位傳感器70接觸時，降低了限位傳感器70的磨損，從而延長了限位傳感器70的使用壽命。優(yōu)選地，按壓觸發(fā)端為球形。由于按壓觸發(fā)端為球形，因而不僅減少了限位傳感器70的磨損，并且使按壓觸發(fā)端與限位傳感器70接觸時受力均勻，即使當(dāng)上述的夾角大小改變后，按壓觸發(fā)端仍能與限位傳感器70接觸良好，從而提高了傳感器觸發(fā)傳動裝置的使用可靠性。在一優(yōu)選的實施例中，第一傳動臂10的按壓觸發(fā)端為鋼球。如圖2所示，本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置還包括承壓板40，承壓板40與第二傳動臂20的承壓端連接。由于設(shè)置有承壓板40，因而保證第二傳動臂20與被抓取物(例如石墨載具)之間接觸可靠，從而提高了傳感器觸發(fā)傳動裝置的使用可靠性。優(yōu)選地，承壓板40為鋼板。進一步地,承壓板40為方形。優(yōu)選地，傳感器觸發(fā)傳動裝置為鋼材料制成。鋼材料具有耐高溫、耐磨損、不易變形的特點。作為本實用新型的第二個方面，提供了一種機械手。如圖1和圖2所示，機械手包括機械臂50、機械手指60、限位傳感器70和傳感器觸發(fā)傳動裝置，機械手指60設(shè)置在機械臂50的前端，限位傳感器70安裝在機械手指60上，傳感器觸發(fā)傳動裝置是上述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，傳感器觸發(fā)傳動裝置的第二傳動臂20的樞轉(zhuǎn)連接部21與機械手指60可樞轉(zhuǎn)地連接，傳感器觸發(fā)傳動裝置的第一傳動臂10的按壓觸發(fā)端與限位傳感器70對應(yīng)地設(shè)置。優(yōu)選地，限位傳感器70是按壓式限位傳感器。由于第二傳動臂20的樞轉(zhuǎn)連接部21設(shè)置在機械手指60上，因而第一傳動臂10的按壓觸發(fā)端與限位傳感器70按壓或松開。優(yōu)選地，機械手指60上設(shè)置有連接桿，傳感器觸發(fā)傳動裝置通過第二傳動臂20的樞轉(zhuǎn)連接部21與連接桿連接。進一步地,連接桿是金屬材料的。進一步地，樞轉(zhuǎn)連接部21為連接孔。本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置與高溫石墨載具接觸后具有散熱快的特點。由于傳感器觸發(fā)傳動裝置的傳熱距離長，因而當(dāng)熱量經(jīng)由第二傳動臂20到第一傳動臂10，再與限位傳感器70接觸時，不會發(fā)生由于傳感器觸發(fā)傳動裝置導(dǎo)熱而將限位傳感器70熔化的問題，從而延長了機械手的使用壽命。同時，本實用新型中的傳感器觸發(fā)傳動裝置還具有故障率低、維修成本低的特點。以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，包括: 第一傳動臂(10)，所述第一傳動臂(10)包括按壓觸發(fā)端和第一連接端； 第二傳動臂(20)，所述第二傳動臂(20)包括樞轉(zhuǎn)連接部(21)、承壓端和第二連接端，所述第一傳動臂(10)的所述第一連接端與所述第二傳動臂(20)的所述第二連接端鉸接，所述第一傳動臂(10)與所述第二傳動臂(20)之間具有夾角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，所述傳感器觸發(fā)傳動裝置還包括用于調(diào)節(jié)所述夾角的位置調(diào)節(jié)元件(30)，所述位置調(diào)節(jié)元件(30)分別與所述第一傳動臂(10)和所述第二傳動臂(20)活動連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，所述位置調(diào)節(jié)元件(30)包括調(diào)節(jié)連桿(31)，所述第一傳動臂(10)包括第一滑槽(11)，所述調(diào)節(jié)連桿(31)的第一端滑動設(shè)置在所述第一滑槽(11)內(nèi)，所述調(diào)節(jié)連桿(31)的第二端與所述第二傳動臂(20)鉸接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，所述位置調(diào)節(jié)元件(30)包括調(diào)節(jié)連桿(31)，所述第一傳動臂(10)包括第一滑槽(11)，所述第二傳動臂(20)包括第二滑槽(22)，所述第二滑槽(22)設(shè)置在所述第二傳動臂(20)的所述第二連接端與所述樞轉(zhuǎn)連接部(21)之間，所述調(diào)節(jié)連桿(31)的兩端分別滑動設(shè)置在所述第一滑槽(11)和所述第二滑槽(22)內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，所述按壓觸發(fā)端的表面為光滑曲面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，所述按壓觸發(fā)端為球形。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，所述傳感器觸發(fā)傳動裝置還包括承壓板(40)，所述承壓板(40)與所述第二傳動臂(20)的所述承壓端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，其特征在于，所述傳感器觸發(fā)傳動裝置為鋼材料制成。
9.一種機械手，包括機械臂(50)、機械手指(60)、限位傳感器(70)和傳感器觸發(fā)傳動裝置，所述機械手指(60 )設(shè)置在所述機械臂(50 )的前端，所述限位傳感器(70 )安裝在所述機械手指(60)上，其特征在于，所述傳感器觸發(fā)傳動裝置是權(quán)利要求1至8中任一項所述的傳感器觸發(fā)傳動裝置，所述傳感器觸發(fā)傳動裝置的第二傳動臂(20)的樞轉(zhuǎn)連接部(21)設(shè)置在所述機械手指(60)上，所述傳感器觸發(fā)傳動裝置的第一傳動臂(10)的按壓觸發(fā)端與所述限位傳感器(70)對應(yīng)地設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的機械手，其特征在于，所述限位傳感器(70)是按壓式限位傳感器。
專利摘要本實用新型提供了一種傳感器觸發(fā)傳動裝置和機械手。傳感器觸發(fā)傳動裝置包括第一傳動臂，第一傳動臂包括按壓觸發(fā)端和第一連接端；第二傳動臂，第二傳動臂包括樞轉(zhuǎn)連接部、承壓端和第二連接端，第一傳動臂的第一連接端與第二傳動臂的第二連接端鉸接，第一傳動臂與第二傳動臂之間具有夾角。使用一段時間后，當(dāng)?shù)谝粋鲃颖鄣陌磯河|發(fā)端與限位傳感器接觸不到位時，工作人員可以通過改變第一傳動臂與第二傳動臂之間的夾角，從而保證傳感器觸發(fā)傳動裝置可與限位傳感器接觸到位，進而提高了機械手的使用可靠性。由于通過改變第一傳動臂與第二傳動臂之間的夾角就可以完成傳感器觸發(fā)傳動裝置的維修任務(wù)，因而傳感器觸發(fā)傳動裝置具有維修簡便的特點。
文檔編號C23C16/44GK202985579SQ20122074877
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者李智洋 申請人:保定天威英利新能源有限公司