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改進(jìn)的鍍膜設(shè)備真空抽氣系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):3264990閱讀:251來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:改進(jìn)的鍍膜設(shè)備真空抽氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種鍍膜設(shè)備的真空抽氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有鍍膜設(shè)備如成都真空PM1650-II型鍍膜設(shè)備的真空抽氣系統(tǒng)由機(jī)械泵、羅茨泵、增壓泵、擴(kuò)散泵、保持泵和真空管道閥門(mén)等所組成,在每次抽真空過(guò)程中各泵組會(huì)按先后順序,從機(jī)械泵一羅茨泵一增壓泵一擴(kuò)散泵依次逐級(jí)啟動(dòng)。當(dāng)抽真空初始,腔體內(nèi)有大量的空氣,需要機(jī)械泵將大部分空氣抽走之后羅茨泵才能全速啟動(dòng),否則羅茨泵如果過(guò)早全速啟動(dòng)會(huì)因?yàn)榭諝馓喽鴮?dǎo)致超負(fù)荷損壞,所以在機(jī)械泵開(kāi)始抽氣到羅茨泵能正常開(kāi)啟,這中間有1-2分鐘的時(shí)間羅茨泵是處于停止等待的狀態(tài),這就浪費(fèi)了時(shí)間,影響生產(chǎn)效 率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種改進(jìn)的鍍膜設(shè)備真空抽氣系統(tǒng),它使羅茨泵從抽氣一開(kāi)始便可以和其它機(jī)械泵一起參與運(yùn)轉(zhuǎn),加快了整個(gè)抽氣的過(guò)程。本實(shí)用新型解決上述問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種改進(jìn)的鍍膜設(shè)備真空抽氣系統(tǒng),包括按順序依次啟動(dòng)的機(jī)械泵、羅茨泵、增壓泵、擴(kuò)散泵、保持泵,羅茨泵的啟動(dòng)系統(tǒng)裝有可控制轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)變速的變頻器。由于變頻器可根據(jù)電機(jī)的實(shí)際負(fù)荷量來(lái)控制羅茨泵的轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)變速,羅茨泵從抽氣一開(kāi)始便可以和其它機(jī)械泵一起參與運(yùn)轉(zhuǎn),逐漸加速至額定轉(zhuǎn)速,加快了整個(gè)抽氣的過(guò)程,大大提高了生產(chǎn)效率。
以下結(jié)合附圖
和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。圖I :現(xiàn)有技術(shù)工作流程圖圖2 :本實(shí)用新型工作流程圖
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型實(shí)施例是對(duì)成都真空機(jī)械廠生產(chǎn)的PM1650-II型鍍膜設(shè)備真空抽氣系統(tǒng)的改進(jìn)。如圖I所示,PM1650-II型的真空抽氣系統(tǒng)包括機(jī)械泵、羅茨泵、增壓泵、擴(kuò)散泵、保持泵,各種泵按順序依次逐級(jí)啟動(dòng),只有當(dāng)機(jī)械泵將大部分空氣抽走之后羅茨泵才能全速啟動(dòng)。如圖2所示,本實(shí)施例通過(guò)對(duì)羅茨泵進(jìn)行改進(jìn),即其啟動(dòng)系統(tǒng)安裝變頻器,變頻器根據(jù)電機(jī)的實(shí)際負(fù)荷量來(lái)控制羅茨泵的轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)變速,羅茨泵從抽氣一開(kāi)始便可以和其它機(jī)械泵一起參與運(yùn)轉(zhuǎn),逐漸加速至額定轉(zhuǎn)速,加快了整個(gè)抽氣的過(guò)程,經(jīng)測(cè)試,平均每生產(chǎn)一卷薄膜可縮短抽氣時(shí)間2分鐘,大大提高了生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1.ー種改進(jìn)的鍍膜設(shè)備真空抽氣系統(tǒng),包括按順序依次啟動(dòng)的機(jī)械泵、羅茨泵、增壓泵、擴(kuò)散泵、保持泵,其特征在于羅茨泵的啟動(dòng)系統(tǒng)裝有可控制轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)變速的變頻器。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種改進(jìn)的鍍膜設(shè)備真空抽氣系統(tǒng),包括按順序依次啟動(dòng)的機(jī)械泵、羅茨泵、增壓泵、擴(kuò)散泵、保持泵,羅茨泵的啟動(dòng)系統(tǒng)裝有可控制轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)變速的變頻器。由于變頻器可根據(jù)電機(jī)的實(shí)際負(fù)荷量來(lái)控制羅茨泵的轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)變速,羅茨泵從抽氣一開(kāi)始便可以和其它機(jī)械泵一起參與運(yùn)轉(zhuǎn),逐漸加速至額定轉(zhuǎn)速,加快了整個(gè)抽氣的過(guò)程,提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C23C14/56GK202450153SQ20122001887
公開(kāi)日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者吳明忠 申請(qǐng)人:海寧長(zhǎng)宇鍍鋁材料有限公司
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