專利名稱：分體式pecvd及擴(kuò)散設(shè)備架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)中的PECVD及擴(kuò)散的設(shè)備架，尤其涉及對(duì)其設(shè)備框架的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
目前用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)的擴(kuò)散及PECVD設(shè)備的框架，其工作臺(tái)、主機(jī)等都是一體式，不僅占用空間大，而且維修不方便。同時(shí)還給運(yùn)輸造成極大困難，增加了運(yùn)輸成本。 隨著太陽(yáng)能電池片的快速發(fā)展，已無法滿足其產(chǎn)業(yè)需求，急需對(duì)設(shè)備結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)。
發(fā)明內(nèi)容為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)省空間、便于維修及運(yùn)輸?shù)姆煮w式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架。本實(shí)用新型所述分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架，包括工作臺(tái)、排毒箱、主機(jī)、氣源柜， 且工作臺(tái)、排毒箱、主機(jī)、氣源柜順序相連；其中工作臺(tái)包括工作臺(tái)上框、工作臺(tái)中框、機(jī)械手、工作臺(tái)下框、電腦控制臺(tái)，工作臺(tái)上框和工作臺(tái)下框分別位于工作臺(tái)的頂部和底部，二者相互平行，工作臺(tái)中框連接著工作臺(tái)上框和工作臺(tái)下框；電腦控制臺(tái)、機(jī)械手的頂部和底部分別與工作臺(tái)上框、工作臺(tái)下框連接，其長(zhǎng)度方向與工作臺(tái)上框及工作臺(tái)下框的平面相互垂直；主機(jī)包括主機(jī)下框、主機(jī)中框、主機(jī)上框，三者依次相連。本實(shí)用新型所述分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可進(jìn)行分拆，有效地節(jié)約運(yùn)輸空間，不僅便于運(yùn)輸且極大地降低了運(yùn)輸成本；而且其可分式結(jié)構(gòu)給維修帶來了便利。 其中工作臺(tái)可容納工控機(jī)、顯示器、推拉舟和機(jī)械手的等控制原件，而不再使用單獨(dú)的控制柜，電纜不再暴漏在設(shè)備的外面，提高了設(shè)備的空間利用率及安全性能。為達(dá)到更好的效果，本實(shí)用新型所述分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架還可以采用以下措施1、所述電腦控制臺(tái)包括控制臺(tái)上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺(tái)下框，其中控制臺(tái)上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺(tái)下框由上至下順序相連，顯示器安裝框與豎直方向成18度角。該結(jié)構(gòu)采用人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)，便于人員觀察及操作。2、所述工作臺(tái)下框內(nèi)設(shè)置有3個(gè)空氣凈化器，工作臺(tái)上框內(nèi)設(shè)置有3個(gè)軸流風(fēng)機(jī)。 通過風(fēng)機(jī)向上吹風(fēng)及抽風(fēng)，使出爐的石墨舟得到冷卻，再通過風(fēng)筒將熱量排出。3、所述主機(jī)上框內(nèi)設(shè)置有3個(gè)軸流風(fēng)機(jī)。可將主機(jī)內(nèi)的熱量通過風(fēng)筒排到室外。

圖1為本實(shí)用新型所述分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架的結(jié)構(gòu)圖。圖2為圖1中工作臺(tái)部分的結(jié)構(gòu)圖。圖3為圖2中電腦控制臺(tái)部分的主視圖。圖4為圖3的左視圖。[0014]圖5為圖1中主機(jī)部分的結(jié)構(gòu)圖。圖中編號(hào)說明1-工作臺(tái)；2-排毒箱；3-主機(jī)；4-氣源柜；5-工作臺(tái)上框；6_工作臺(tái)中框；7_機(jī)械手；8-工作臺(tái)下框；9-電腦控制臺(tái)；10-主機(jī)下框；11-主機(jī)中框；12-主機(jī)上框；13-控制臺(tái)上框；14-顯示器安裝框；15-鍵盤框；16-控制臺(tái)下框。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖1至圖5對(duì)本實(shí)用新型所述分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖1所示，本實(shí)用新型所述分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架包括工作臺(tái)1、排毒箱2、 主機(jī)3、氣源柜4，工作臺(tái)1、排毒箱2、主機(jī)3、氣源柜4從左至右依次順利相連。其中，工作臺(tái)1是裝舟、卸舟的工作平臺(tái)，其結(jié)構(gòu)如圖2所示，包括工作臺(tái)上框5、 工作臺(tái)中框6、機(jī)械手7、工作臺(tái)下框8、電腦控制臺(tái)9，工作臺(tái)上框5和工作臺(tái)下框6分別位于工作臺(tái)的頂部和底部，二者相互平行且在該方向的面積相同，構(gòu)成工作臺(tái)的頂面和地面。 為了便于運(yùn)輸，減小運(yùn)輸空間，工作臺(tái)1采用分體式的，工作臺(tái)上框5、工作臺(tái)中框6、機(jī)械手 7、工作臺(tái)下框8、電腦控制臺(tái)9都是分體單獨(dú)的部件。工作臺(tái)中框6位于工作臺(tái)上框5和工作臺(tái)下框8之間并與之連接。在工作臺(tái)上框5和工作臺(tái)下框6左前角、垂直于其二者平行方向上，設(shè)置有電腦控制臺(tái)9，其連接著工作臺(tái)上框5和工作臺(tái)下框6。機(jī)械手7中有兩根豎直構(gòu)架，其中一根位于工作臺(tái)上框5和工作臺(tái)下框6的右前角且垂直于其二者平行方向，其上下端分別與工作臺(tái)上框5和工作臺(tái)下框6連接，另一根的上下端在位于工作臺(tái)上框5和工作臺(tái)下框6的中部與之連接，兩根構(gòu)架的長(zhǎng)度方向與工作臺(tái)上框5及工作臺(tái)下框6的平面相互垂直。電腦控制臺(tái)9的結(jié)構(gòu)如圖3和圖4所示，包括控制臺(tái)上框13、顯示器安裝框14、鍵盤框15、控制臺(tái)下框16，其中控制臺(tái)上框13、顯示器安裝框14、鍵盤框15、控制臺(tái)下框16由上至下依次連接，電腦控制臺(tái)采用人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)，安裝后電腦顯示器平面與豎直方向成18度。主機(jī)3主要是用于承載加熱爐體，如圖5所示，它主要由主機(jī)下框10、主機(jī)中框 11、主機(jī)上框12三部分組成，為了便于運(yùn)輸，減小運(yùn)輸空間，這三部分都是單獨(dú)的，可以分體的。主機(jī)上框12有3個(gè)軸流風(fēng)機(jī)將主機(jī)內(nèi)的熱量通過3個(gè)風(fēng)筒排到室外。氣源柜4主要是放置氣路盤、氣路原件的框架，它不僅將氣路盤、氣路原件裝配到上面，而且將控制氣爐的電器原件、控制爐體溫度的溫控儀表等電器件都裝配其中，有效的節(jié)約的設(shè)備的空間，使設(shè)備的外形更美觀。
權(quán)利要求1.一種分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架，其特征在于它包括工作臺(tái)、排毒箱、主機(jī)、氣源柜， 且工作臺(tái)、排毒箱、主機(jī)、氣源柜順序相連；其中工作臺(tái)包括工作臺(tái)上框、工作臺(tái)中框、機(jī)械手、工作臺(tái)下框、電腦控制臺(tái)，工作臺(tái)上框和工作臺(tái)下框分別位于工作臺(tái)的頂部和底部，二者相互平行，工作臺(tái)中框連接著工作臺(tái)上框和工作臺(tái)下框；電腦控制臺(tái)、機(jī)械手的頂部和底部分別與工作臺(tái)上框、工作臺(tái)下框連接，其長(zhǎng)度方向與工作臺(tái)上框及工作臺(tái)下框的平面相互垂直；主機(jī)包括主機(jī)下框、主機(jī)中框、主機(jī)上框，三者依次相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架，其特征在于所述電腦控制臺(tái)包括控制臺(tái)上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺(tái)下框，其中控制臺(tái)上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺(tái)下框由上至下順序相連，顯示器安裝框與豎直方向成18度角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架，其特征在于所述工作臺(tái)下框內(nèi)設(shè)置有3個(gè)空氣凈化器，工作臺(tái)上框內(nèi)設(shè)置有3個(gè)軸流風(fēng)機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架，其特征在于所述主機(jī)上框內(nèi)設(shè)置有3個(gè)軸流風(fēng)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架，其特征在于所述主機(jī)上框內(nèi)設(shè)置有3個(gè)軸流風(fēng)機(jī)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種分體式PECVD及擴(kuò)散設(shè)備架，它包括工作臺(tái)、排毒箱、主機(jī)、氣源柜，且工作臺(tái)、排毒箱、主機(jī)、氣源柜順序相連；其中工作臺(tái)包括工作臺(tái)上框、工作臺(tái)中框、機(jī)械手、工作臺(tái)下框、電腦控制臺(tái)，工作臺(tái)上框和工作臺(tái)下框分別位于工作臺(tái)的頂部和底部，二者相互平行，工作臺(tái)中框連接著工作臺(tái)上框和工作臺(tái)下框；電腦控制臺(tái)、機(jī)械手的頂部和底部分別與工作臺(tái)上框、工作臺(tái)下框連接，其長(zhǎng)度方向與工作臺(tái)上框及工作臺(tái)下框的平面相互垂直；主機(jī)包括主機(jī)下框、主機(jī)中框、主機(jī)上框，三者依次相連；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可進(jìn)行分拆，有效地節(jié)約運(yùn)輸空間，不僅便于運(yùn)輸且極大地降低了運(yùn)輸成本；而且其可分式結(jié)構(gòu)給維修帶來了便利。
文檔編號(hào)C23C16/44GK202332927SQ20112045983
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月18日
發(fā)明者宋立祿 申請(qǐng)人:青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司