專利名稱：多工位自動磨角機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型特別涉及一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中完成磨角環(huán)節(jié)的多工位自動磨角機(jī)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體芯片手工磨角工藝，是在磨盤電動旋轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)上，人工將芯片按壓在磨盤上滑動磨角，同時手動填砂，時間、力度、角度、填砂量都需要工人憑經(jīng)驗(yàn)決定，因此對工人的能力有很高要求；同時手工磨角工作效率低，成品率低，對成品芯片的質(zhì)量也有一定影響。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種工作效率高，成品率高，加工質(zhì)量好， 對工人能力要求較低并可降低生產(chǎn)成本的多工位自動磨角機(jī)。本實(shí)用新型涉及的多工位自動磨角機(jī)包括一個機(jī)架，在機(jī)架上前部設(shè)有立板，在立板上均布有多根垂直布置并可旋轉(zhuǎn)的主軸，在主軸上端分別設(shè)有支撐盤，在支撐盤上面分別設(shè)有磨盤，在磨盤上放置有芯片壓盤，在機(jī)架后部設(shè)有具有兩個輸出軸端的驅(qū)動裝置， 驅(qū)動裝置的一個輸出軸端通過皮帶或鏈條傳動機(jī)構(gòu)與主軸連接，在機(jī)架上位于主軸和驅(qū)動裝置之間鉸接有擺動架，在擺動架的上端鉸接有擺軸，在擺軸上對應(yīng)每個磨盤處分別套裝有推桿，推桿前部分別通過插銷壓在對應(yīng)的芯片壓盤的中心孔內(nèi)，驅(qū)動裝置的另一個輸出軸端通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動架的中部連接。上述的多工位自動磨角機(jī)，在立板上端固定有漿槽，所述的主軸上部分別貫穿漿槽且支撐盤和磨盤分別位于漿槽內(nèi)，在機(jī)架內(nèi)放置有砂漿桶，在漿槽底面均布有分別插入到砂漿桶內(nèi)的排漿管。上述的多工位自動磨角機(jī)，在機(jī)架上固定有支架，在支架上支撐有加漿管，在加漿管上均布連接有閥門和注漿軟管，在砂漿桶內(nèi)設(shè)有水泵，水泵與加漿管通過上水管連通，以實(shí)現(xiàn)自動添加金剛砂漿。上述的多工位自動磨角機(jī)，在支撐盤上表面的中心和靠近邊緣處分別設(shè)有一個卡銷，支撐盤與磨盤通過插入支撐盤內(nèi)的卡銷傳動。上述的多工位自動磨角機(jī)，所述的曲柄連桿機(jī)構(gòu)是由固定在所述驅(qū)動裝置的另一個輸出軸端的連接座和通過鉸軸與連接座偏心鉸接的連桿構(gòu)成，連桿的另一端與固定在擺動架中部的銷軸鉸接，在連接座的上表面沿徑向設(shè)有燕尾槽，所述的鉸軸下端固定在燕尾槽內(nèi)，以便于調(diào)整曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄長度，從而調(diào)節(jié)推桿的往復(fù)行程。上述的多工位自動磨角機(jī)，在推桿的外端分別設(shè)有配重，以將芯片壓盤緊壓在磨 In ο本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)了機(jī)械自動化加工，工作效率高，避免了傳統(tǒng)的手工磨角工藝對產(chǎn)品質(zhì)量的影響，成品率高，加工質(zhì)量好；對工人能力要求較低，每人可同時操作四臺設(shè)備，大大減少了工人數(shù)量，降低了生產(chǎn)成本。
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的俯視圖。圖中機(jī)架1，主軸2，軸套3，立板4，支撐盤5，卡銷6，磨盤7，漿槽8，芯片壓盤9， 配重10，插銷11，推桿12，注漿軟管13，閥門14，加漿管15，上水管16，支架17，擺軸18，擺動架19，銷軸20，連桿21，鉸軸22，連接座23，減速機(jī)24，電機(jī)25，皮帶或鏈條傳動機(jī)構(gòu)沈， 擺動架支座27，水泵觀，砂漿桶四，排漿管30。
具體實(shí)施方式
如圖所示，該多工位自動磨角機(jī)包括一個機(jī)架1，在機(jī)架1上前部固定有立板4，在立板4上分別通過軸套3和軸承均布安裝有多根垂直布置的主軸2，本實(shí)施例以四根主軸為例，在主軸2上端分別固定有支撐盤5，在支撐盤5上面分別設(shè)有上表面為內(nèi)凹弧形面的磨盤7，在支撐盤5上表面的中心和靠近邊緣處分別設(shè)有一個卡銷6，支撐盤5與磨盤7通過插入支撐盤5內(nèi)的卡銷6傳動。在磨盤7上放置有芯片壓盤9。在機(jī)架1后部安裝有驅(qū)動裝置，驅(qū)動裝置是由電機(jī)25和減速機(jī)M連接而成。在機(jī)架1上位于主軸2和驅(qū)動裝置之間固定有擺動架支座27，在擺動架支座27上鉸接有擺動架19，在擺動架19的上端橫穿鉸接有擺軸18，在擺軸18上對應(yīng)每個磨盤7處分別套裝有一根推桿12，在推桿12前部分別固定一個插銷11，插銷11下端插入對應(yīng)的芯片壓盤9的中心孔內(nèi)，在推桿12的外端分別固定有配重10。所述減速機(jī)M的上、下兩端分別設(shè)有輸出軸端，其中位于下端的輸出軸端通過皮帶或鏈條傳動機(jī)構(gòu)26與主軸2下端連接，本實(shí)施例以皮帶傳動機(jī)構(gòu)為例；位于上端的輸出軸端通過一個曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動架19的中部連接。所述的曲柄連桿機(jī)構(gòu)是由固定在減速機(jī)M上端的輸出軸端的連接座23和通過鉸軸22與連接座23偏心鉸接的連桿21構(gòu)成，連桿21的另一端與固定在擺動架19中部的銷軸20鉸接。在連接座23的上表面沿徑向設(shè)有燕尾槽，所述的鉸軸22下端固定在燕尾槽內(nèi)， 以便于調(diào)整曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄長度，從而調(diào)節(jié)推桿的往復(fù)行程。在立板4上端固定有漿槽8，所述的主軸2上部分別貫穿漿槽8且支撐盤5和磨盤 7分別位于漿槽8內(nèi)，在機(jī)架1內(nèi)放置有內(nèi)裝金剛砂漿的砂漿桶四，在漿槽8底面均布有分別插入到砂漿桶四內(nèi)的排漿管30。在機(jī)架1上固定有支架17，在支架17上支撐有加漿管 15，在加漿管15上均布連接有閥門14和注漿軟管13，在砂漿桶四內(nèi)設(shè)有水泵觀，水泵觀與加漿管15通過上水管16連通。工作時，將半導(dǎo)體芯片放置在芯片壓盤9內(nèi)并夾持在芯片壓盤9與磨盤7之間，啟動電機(jī)25和水泵28，電機(jī)25通過減速機(jī)M驅(qū)動主軸2和磨盤7旋轉(zhuǎn)，同時通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)驅(qū)動擺動架19往復(fù)擺動，從而通過推桿12帶動芯片壓盤9和半導(dǎo)體芯片在磨盤7上往復(fù)滑動，滑動過程中打開閥門14向磨盤7表面添加金剛砂漿，即可使芯片在往復(fù)滑動過程中完成磨角工序。
權(quán)利要求1.一種多工位自動磨角機(jī)，包括一個機(jī)架，其特征是在機(jī)架上前部設(shè)有立板，在立板上均布有多根垂直布置并可旋轉(zhuǎn)的主軸，在主軸上端分別設(shè)有支撐盤，在支撐盤上面分別設(shè)有磨盤，在磨盤上放置有芯片壓盤，在機(jī)架后部設(shè)有具有兩個輸出軸端的驅(qū)動裝置，驅(qū)動裝置的一個輸出軸端通過皮帶或鏈條傳動機(jī)構(gòu)與主軸連接，在機(jī)架上位于主軸和驅(qū)動裝置之間鉸接有擺動架，在擺動架的上端鉸接有擺軸，在擺軸上對應(yīng)每個磨盤處分別套裝有推桿，推桿前部分別通過插銷壓在對應(yīng)的芯片壓盤的中心孔內(nèi)，驅(qū)動裝置的另一個輸出軸端通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動架的中部連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動磨角機(jī)，其特征是在立板上端固定有漿槽，所述的主軸上部分別貫穿漿槽且支撐盤和磨盤分別位于漿槽內(nèi)，在機(jī)架內(nèi)放置有砂漿桶，在漿槽底面均布有分別插入到砂漿桶內(nèi)的排漿管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多工位自動磨角機(jī)，其特征是在機(jī)架上固定有支架，在支架上支撐有加漿管，在加漿管上均布連接有閥門和注漿軟管，在砂漿桶內(nèi)設(shè)有水泵，水泵與加漿管通過上水管連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動磨角機(jī)，其特征是在支撐盤上表面的中心和靠近邊緣處分別設(shè)有一個卡銷，支撐盤與磨盤通過插入支撐盤內(nèi)的卡銷傳動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動磨角機(jī)，其特征是所述的曲柄連桿機(jī)構(gòu)是由固定在所述驅(qū)動裝置的另一個輸出軸端的連接座和通過鉸軸與連接座偏心鉸接的連桿構(gòu)成， 連桿的另一端與固定在擺動架中部的銷軸鉸接，在連接座的上表面沿徑向設(shè)有燕尾槽，所述的鉸軸下端固定在燕尾槽內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動磨角機(jī)，其特征是在推桿的外端分別設(shè)有配重。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種多工位自動磨角機(jī)，包括一個機(jī)架，其特殊之處是在機(jī)架上前部設(shè)有立板，在立板上均布有多根垂直布置的主軸，在主軸上端分別設(shè)有支撐盤，在支撐盤上面分別設(shè)有磨盤，在磨盤上放置有芯片壓盤，在機(jī)架后部設(shè)有具有兩個輸出軸端的驅(qū)動裝置，其中一個輸出軸端通過傳動機(jī)構(gòu)與主軸連接，在機(jī)架上鉸接有上端橫穿有擺軸的擺動架，在擺軸上對應(yīng)每個磨盤處分別套有推桿，推桿前部通過插銷壓在對應(yīng)的芯片壓盤的中心孔內(nèi)，驅(qū)動裝置的另一個輸出軸端通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動架連接。優(yōu)點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)了機(jī)械自動化加工，工作效率高，成品率高，加工質(zhì)量好；對工人能力要求較低，每人可同時操作四臺設(shè)備，減少了工人數(shù)量，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號B24B9/06GK202088048SQ201120164449
公開日2011年12月28日 申請日期2011年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月23日
發(fā)明者康春華, 王文學(xué), 鄭錦春 申請人:錦州市錦利電器有限公司