專利名稱：板式pecvd設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能硅片PECVD加工設(shè)備領(lǐng)域，具體為板式PECVD設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)。
背景技術(shù)：
板式PECVD設(shè)備的進(jìn)料口與出料口分別位于設(shè)備的兩端，以往分別需要在進(jìn)料口側(cè)與出料口側(cè)設(shè)置相應(yīng)的硅片上料機(jī)構(gòu)和硅片下料機(jī)構(gòu)，其設(shè)備占用空間大、設(shè)備成本高， 且硅片的上下料效率低，為此目前的自動(dòng)上下料系統(tǒng)為了能達(dá)到縮小設(shè)備占用空間、降低設(shè)備成本、并提高硅片上下料效率將整個(gè)硅片上料機(jī)構(gòu)與下料機(jī)構(gòu)集成設(shè)置于PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)，因此在PECVD設(shè)備的出料口與進(jìn)料口之間、在PECVD設(shè)備與自動(dòng)上下料系統(tǒng)的底部設(shè)置有水平輸送線以便將出料口已經(jīng)PECVD處理好的硅片輸送至設(shè)備進(jìn)料口側(cè)的自動(dòng)上下料系統(tǒng)上，但是，由于PECVD設(shè)備的進(jìn)料口與出料口均離設(shè)備地面一定高度，因此還需要設(shè)置垂直升降裝置來(lái)完成硅片在出料口(或進(jìn)料口)與底部水平輸送線之間的垂直輸送。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了板式PECVD設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)，其能完成硅片輸送碳板在設(shè)備出料口(或進(jìn)料口)與底部水平輸送線之間的垂直輸送，保證硅片上下料的全自動(dòng)操作。其技術(shù)方案是這樣的，其包括機(jī)架，其特征在于其還包括豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，所述豎向平移機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板安裝于所述機(jī)架的縱向一側(cè)機(jī)架壁，所述水平輸送機(jī)構(gòu)通過(guò)連接板安裝于所述豎向平移機(jī)構(gòu)。其進(jìn)一步特征在于所述豎向平移機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、直線模組，所述直線模組通過(guò)所述固定板固定于所述機(jī)架的縱向一側(cè)壁的豎向支架上，所述直線模組通過(guò)聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)連接，所述固定板的縱向兩端安裝有直線導(dǎo)軌；所述水平輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)與輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)機(jī)架固定于所述連接板，所述連接板安裝于所述直線模組，且所述連接板背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述直線導(dǎo)軌；所述輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動(dòng)軸、主動(dòng)輸送輪和從動(dòng)輸送輪，所述電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端通過(guò)軸承座一固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架，所述電機(jī)與所述傳動(dòng)軸通過(guò)同步帶輪傳動(dòng)連接，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端均通過(guò)軸承座一安裝有一個(gè)所述主動(dòng)輸送輪，所述兩側(cè)縱向支架上均分別通過(guò)軸承座二安裝有兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪，所述主動(dòng)輸送輪與從動(dòng)輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側(cè)所述縱向支架上、相鄰兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪之間通過(guò)傳送帶傳動(dòng)連接。使用本發(fā)明的碳板升降臺(tái)裝置，其有益效果在于其水平輸送機(jī)構(gòu)可以將平穩(wěn)地接收從PECVD設(shè)備出料口輸送帶送出的載有硅片的碳板，而水平輸送機(jī)構(gòu)整體通過(guò)連接板安裝于豎向平移機(jī)構(gòu)，豎向平移機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)、直線模組工作帶動(dòng)連接板及安裝于連接板的水平輸送機(jī)構(gòu)沿直線導(dǎo)軌作豎向的升降，將放置于水平輸送機(jī)構(gòu)表面的載有硅片的碳板垂直運(yùn)送。


圖1為本發(fā)明碳板升降臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式見(jiàn)圖1，本發(fā)明包括機(jī)架8、豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，豎向平移機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板9安裝于機(jī)架的8縱向一側(cè)機(jī)架壁，水平輸送機(jī)構(gòu)通過(guò)連接板5安裝于豎向平移機(jī)構(gòu)。 豎向平移機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)1、直線模組2，直線模組2通過(guò)固定板9固定于機(jī)架8的縱向一側(cè)壁的豎向支架上，直線模組2通過(guò)聯(lián)軸器與伺服電機(jī)1連接，固定板9的縱向兩端安裝有直線導(dǎo)軌3 ；水平輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)與輸送機(jī)機(jī)架6，輸送機(jī)安裝于輸送機(jī)機(jī)架6，輸送機(jī)機(jī)架6固定于連接板5，連接板5安裝于直線模組2，且連接板5背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊4，滑塊4卡裝于直線導(dǎo)軌3 ；水平輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)10、傳動(dòng)軸11、主動(dòng)輸送輪12和從動(dòng)輸送輪13，電機(jī)10通過(guò)電機(jī)支架14固定于輸送機(jī)機(jī)架6下部，傳動(dòng)軸11的橫向兩端通過(guò)軸承座一 15固定于輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架18，電機(jī)10與傳動(dòng)軸11通過(guò)同步帶輪16、 20傳動(dòng)連接，傳動(dòng)軸11的橫向兩端均通過(guò)軸承座一 15安裝有一個(gè)主動(dòng)輸送輪12，兩側(cè)縱向支架18上均分別通過(guò)軸承座二 19安裝有兩個(gè)主動(dòng)輸送輪12與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪13，主動(dòng)輸送輪12與從動(dòng)輸送輪13均勻、間隔分布安裝于縱向支架18，單側(cè)縱向支架18上、相鄰兩個(gè)主動(dòng)輸送輪12之間通過(guò)傳送帶17傳動(dòng)連接。圖1中，7為輸送機(jī)機(jī)架6的橫向支架。下面具體描述一下本發(fā)明的工作過(guò)程當(dāng)承載已處理完的硅片的出片碳板從 PECVD設(shè)備出料口運(yùn)出時(shí)，伺服電機(jī)1與直線模組2動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)連接板5以及固定于連接板 5上的水平輸送機(jī)構(gòu)整體沿直線導(dǎo)軌3向上移動(dòng)，直至PECVD設(shè)備出料口輸送線等高的位置后，伺服電機(jī)1與直線模組2停止工作，水平輸送機(jī)構(gòu)的電機(jī)10轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)同步帶輪16、20 帶動(dòng)傳動(dòng)軸11以及主動(dòng)輸送輪12轉(zhuǎn)動(dòng)，待出片碳板由PECVD設(shè)備出料輸送線輸送至水平輸送機(jī)構(gòu)上后，電機(jī)10停止轉(zhuǎn)動(dòng)，連接板5、以及承載出片碳板的水平輸送機(jī)構(gòu)受伺服電機(jī) 1與直線模組的驅(qū)動(dòng)沿直線導(dǎo)軌3下降至底部水平輸送線高度，電機(jī)10繼續(xù)工作將出片碳板輸送入底部水平輸送線。
權(quán)利要求
1.板式PECVD設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)，其包括機(jī)架，其特征在于其還包括豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，所述豎向平移機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板安裝于所述機(jī)架的縱向一側(cè)機(jī)架壁，所述水平輸送機(jī)構(gòu)通過(guò)連接板安裝于所述豎向平移機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板式PECVD設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)，其特征在于 所述豎向平移機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、直線模組，所述直線模組通過(guò)所述固定板固定于所述機(jī)架的縱向一側(cè)壁的豎向支架上，所述直線模組通過(guò)聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)連接，所述固定板的縱向兩端安裝有直線導(dǎo)軌。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板式PECVD設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)，其特征在于所述水平輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)與輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)機(jī)架固定于所述連接板，所述連接板安裝于所述直線模組，且所述連接板背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述直線導(dǎo)軌。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板式PECVD設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)，其特征在于所述輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動(dòng)軸、主動(dòng)輸送輪和從動(dòng)輸送輪，所述電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端通過(guò)軸承座一固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架，所述電機(jī)與所述傳動(dòng)軸通過(guò)同步帶輪傳動(dòng)連接，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端均通過(guò)軸承座一安裝有一個(gè)所述主動(dòng)輸送輪，所述兩側(cè)縱向支架上均分別通過(guò)軸承座二安裝有兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪，所述主動(dòng)輸送輪與從動(dòng)輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側(cè)所述縱向支架上、相鄰兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪之間通過(guò)傳送帶傳動(dòng)連接。
全文摘要
本發(fā)明提供了板式PECVD設(shè)備自動(dòng)上下料系統(tǒng)的碳板升降臺(tái)，其能完成硅片輸送碳板在設(shè)備出料口(或進(jìn)料口)與底部水平輸送線之間的垂直輸送，保證硅片上下料的全自動(dòng)操作。其包括機(jī)架，其特征在于其還包括豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，豎向平移機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板安裝于機(jī)架的縱向一側(cè)機(jī)架壁，水平輸送機(jī)構(gòu)通過(guò)連接板安裝于豎向平移機(jī)構(gòu)。
文檔編號(hào)C23C16/44GK102560423SQ201110458758
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者劉曉平, 陳平 申請(qǐng)人:無(wú)錫市奧曼特科技有限公司