專利名稱：Pecvd用硅片載片器的改裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽能光伏產(chǎn)業(yè)工藝設(shè)備，具體地說是用于平板爐PECVD (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)中的配套裝置。
背景技術(shù)：
太陽能光伏電池片有多晶、單晶之分，多晶硅片是正四邊形的，單晶硅片 是帶有四個圓角的正四邊形。在進(jìn)行平板爐PECVD的工藝時，和它們相配套的 硅片載片器也要與它們的外型相匹配才可以。有些廠家只配置了多晶的(即正 四邊形的)硅片載片器，在接到單晶的訂單時，就需要配置新的單晶硅片載片 器。由于硅片載片器的價格很貴，代價太高，從而增加了采購成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對上述問題，提供一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，該裝置 安裝于多晶硅片載片器上，可將多晶硅片載片器轉(zhuǎn)換成單晶硅片載片器，可大 幅度降低采購成本。
按照本發(fā)明的技術(shù)方案 一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，包括十字 形的板體，所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂， 使所述板體成十字形，各個相鄰的支臂的交叉處設(shè)置有過渡圓弧，所述支臂的 寬度與多晶硅片載片器的框桿寬度相等，所述過渡圓弧的直徑與單晶硅片載片 器的圓角直徑相等。
本發(fā)明的技術(shù)效果在于本發(fā)明安裝于相鄰的多晶硅片載片器的交叉處， 將正四邊形的多晶硅片載片器改裝成帶有圓角的正四邊形硅片載片器，用于生 產(chǎn)單晶硅片，可以節(jié)省大量采購成本；拆除本發(fā)明后，又可以生產(chǎn)多晶硅片， 轉(zhuǎn)換方便。


圖1為多晶硅片載片器中的一個方框的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖3為本發(fā)明安裝于多晶硅片載片器中的結(jié)構(gòu)示 圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。
本發(fā)明是一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，可將多晶硅片載片器改裝 成單晶硅片載片器，用來生產(chǎn)單晶硅片。
圖1為多晶硅片載片器中的一個方框1的結(jié)構(gòu)示意圖。
如圖2所示，本發(fā)明PECVD用硅片載片器的改裝裝置2，包括板體3，所 述板體3的角部以板體3的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂4，使所述 板3體成十字形；各個相鄰的支臂4的交叉處設(shè)置有過渡圓弧5。支臂4的寬度 與多晶硅片載片器框的框桿寬度相等，過渡圓弧5的直徑與單晶硅片載片器的 圓角直徑相等。
如圖3所示，本發(fā)明PECVD用硅片載片器的改裝裝置2安裝于相鄰的多晶 硅片載片器的方框1的交叉處，將多晶硅片載片器轉(zhuǎn)換為單晶硅片載片器，生 產(chǎn)單晶硅片，可節(jié)省2/3的硅片載片器成本。拆除本發(fā)明后又可進(jìn)行多晶硅片的 生產(chǎn)。本發(fā)明裝卸方便，使用效果好。
權(quán)利要求
1、一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，包括板體(3)，其特征是所述板體(3)的角部以板體(3)的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂(10)，使所述板體(3)成十字形，各個相鄰的支臂(4)的交叉處設(shè)置有過渡圓弧(5)，所述支臂(4)的寬度與多晶硅片載片器的框桿寬度相等，所述過渡圓弧(5)的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，其包括十字形的板體，所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂，使所述板體成十字形，各個相鄰的支臂的交叉處設(shè)置有過渡圓弧，所述支臂的寬度與多晶硅片載片器的框桿寬度相等，所述過渡圓弧的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。本發(fā)明安裝于相鄰的多晶硅片載片器的交叉處，將正四邊形的多晶硅片載片器改裝成帶有圓角的正四邊形的硅片載片器，用于生產(chǎn)單晶硅片，可以節(jié)省大量采購成本；拆除本發(fā)明后，又可以生產(chǎn)多晶硅片，轉(zhuǎn)換方便。
文檔編號C23C16/50GK101634016SQ20091018376
公開日2010年1月27日 申請日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月7日
發(fā)明者尤耀明 申請人:無錫綠波新能源設(shè)備有限公司